液滴喷出装置、图案形成方法、及电光装置的制造方法.pdf

一种液滴喷出装置，其具备将含有图案形成材料的液滴喷出在被喷出面上的液滴喷出机构、和能量束照射机构，该能量束照射机构对以相互不同的定时着落在被喷出面上的液滴彼此的边界照射能量束，以使各液滴的边界区域流动。根据该液滴喷出装置可知，能够形成具有被高精度控制的形状的图案。

1.  一种液滴喷出装置，其具备将由含有图案形成材料的液体构成的液滴喷出在被喷出面上的液滴喷出机构，其特征在于，
还具备能量束照射机构，该能量束照射机构对以相互不同的定时着落在被喷出面上的液滴彼此的边界照射能量束，以使各液滴的边界区域的液体流动。

2.  根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，
在以相互不同的定时着落于被喷出面上的液滴彼此的边界，两液滴的边界区域相互重叠而形成叠层区域，进行能量束向所述液滴彼此的边界的照射，以使所述叠层区域的液体朝向液滴的非边界区域即非叠层区域流动。

3.  根据权利要求2所述的液滴喷出装置，其特征在于，
所述能量束照射机构具备扫描机构，该扫描机构用能量束从所述叠层区域朝向所述非叠层区域相对地扫描被喷出面上的液滴。

4.  根据权利要求2或3所述的液滴喷出装置，其特征在于，
从所述能量束照射机构照射的能量束具有与所述叠层区域的厚度对应的强度。

5.  根据权利要求2或3所述的液滴喷出装置，其特征在于，
从所述能量束照射机构照射的能量束包含从所述叠层区域朝向所述非叠层区域的方向的成分。

6.  根据权利要求2或3所述的液滴喷出装置，其特征在于，
所述能量束照射机构具备扫描机构，该扫描机构用能量束朝向所述叠层区域所延伸的方向相对地扫描被喷出面上的液滴。

7.  根据权利要求2或3所述的液滴喷出装置，其特征在于，
所述液滴喷出机构具备多个液滴喷出头，
所述叠层区域在从相互不同的液滴喷出头喷出的液滴彼此的边界，由两液滴的边界区域相互重叠而形成。

8.  根据权利要求1～3中任一项所述的液滴喷出装置，其特征在于，
从所述能量束照射机构照射的能量束是光。

9.  根据权利要求8所述的液滴喷出装置，其特征在于，
从所述能量束照射机构照射的能量束是相干光。

10.  根据权利要求1～3中任一项所述的液滴喷出装置，其特征在于，
所述能量束照射机构具备覆盖被喷出面上的液滴，且能够使能量束透射的罩。

11.  一种图案形成方法，其特征在于，包括：
将由含有图案形成材料的液体构成的液滴喷出在被喷出面的工序；
通过干燥着落在被喷出面上的液滴，在被喷出面上形成规定的图案的工序；
在着落于被喷出面上的液滴的干燥前或干燥中，对以相互不同的定时着落在被喷出面上的液滴彼此的边界照射能量束，以使各液滴的边界区域的液体流动的工序。

12.  根据权利要求11所述的图案形成方法，其特征在于，
在以相互不同的定时着落于被喷出面上的液滴彼此的边界，两液滴的边界区域相互重叠而形成叠层区域，进行能量束向所述液滴彼此的边界的照射，以使所述叠层区域的液体朝向液滴的非边界区域即非叠层区域流动。

13.  根据权利要求11所述的图案形成方法，其特征在于，
所述能量束的照射在着落于被喷出面上的液滴的干燥前进行。

14.  根据权利要求11所述的图案形成方法，其特征在于，
所述能量束的照射在用能量束从所述叠层区域朝向所述非叠层区域扫描的同时进行。

15.  根据权利要求11所述的图案形成方法，其特征在于，
照射在所述液滴彼此的边界上的能量束具有与所述叠层区域的厚度对应的强度。

16.  根据权利要求11所述的图案形成方法，其特征在于，
照射在所述液滴彼此的边界上的能量束包含从所述叠层区域朝向所述非叠层区域的方向的成分。

17.  根据权利要求11所述的图案形成方法，其特征在于，
所述能量束的照射在用能量束朝向所述叠层区域所延伸的方向扫描的同时进行。

18.  一种制造具备形成有取向膜的衬底的电光装置的方法，其特征在于，具备通过权利要求11～17中任一项所述的方法，在衬底上形成所述取向膜的工序。

液滴喷出装置、图案形成方法、及电光装置的制造方法
技术领域
本发明涉及液滴喷出装置、图案形成方法、及电光装置的制造方法。
背景技术
在配备于液晶显示装置的滤色器或取向膜等的薄膜制造工序中，利用如下的所谓液相工序，即：将含有薄膜形成材料的液体喷出在作为被喷出面的膜形成面，并干燥着落在所述膜形成面上的液体，由此形成各种薄膜。
该液相工序中的喷墨法中，将所述液体作为液滴喷出在所述膜形成面，并干燥该液滴，由此形成各种薄膜。因而，喷墨法与其他的液相工序(例如，旋涂法或分配器法)相比，能够减少所使用的所述液体的容量，而且能够更高精度地控制薄膜的形成位置。
然而，在所述的喷墨法中，当在大型的液晶衬底等大范围的膜形成面上形成薄膜时，将喷出所述液滴的液滴喷出头设成往返多次扫描所述衬底。但是，在这样的通过多次扫描进行的喷出过程中，通过在先的扫描而喷出的液滴干燥得比后续的扫描的液滴快。因此，通过各扫描而喷出的液滴间形成边界(换行不均)，从而导致使液晶显示装置的显示画像质量劣化的问题。
因此，在喷墨法中，以往就提出了消除这样的喷出定时不同的液滴间的边界(换行不均)的提案(例如，专利文献1)。在专利文献1中，将多个液滴喷出头排列在与衬底的扫描方向正交的方向(副扫描方向)上，且喷出所述液滴的喷出喷嘴的排列间距配置为在所述副扫描方向上相等。还有，通过沿扫描方向扫描一次，将连续的液滴喷出在所述被喷出面的整体上，避免了所述换行不均的形成。
然而，在专利文献1中，如图17(a)所示，为了使所述喷出喷嘴N的排列间距在副扫描方向(X箭头方向)上为相等的间距宽度Pn，而使邻接的液滴喷出头FH1、FH2的喷出喷嘴N的主扫描方向(Y箭头方向)的位置只间隔液滴喷出头FH1、FH2的Y箭头方向的宽度(头宽度Wh)的量。即，从邻接的液滴喷出头FH1、FH2喷出的微小液滴以仅所述头宽度Wh的量不同的定时着落。
还有，若以不同的定时着落的液滴103、104相互重叠而流动，则如图17(b)所示，导致在衬底101的膜形成面102上的液滴103、104的边界区域上形成以数100nm～数μm的厚度隆起的隆起部FDT。另一方面，若以不同的定时着落的液滴103、104不相互重叠，则导致在液滴103、104间的边界区域上形成液滴的厚度变薄或未喷出有液滴的区域。
从而，在以不同的定时着落的液滴的边界区域上，该液滴的厚度即薄膜的膜厚发生变动，导致使液晶显示装置的显示画像质量劣化的问题。
专利文献1：特开2004-347694号公报
发明内容
本发明的目的在于提供能够形成具有被高精度控制的形状的图案的液滴喷出装置及图案形成方法、以及制造具备具有被高精度控制的形状的取向膜的电光装置的方法。
本发明的液滴喷出装置具备将由含有图案形成材料的液体构成的液滴喷出在被喷出面上的液滴喷出机构、和能量束照射机构，该能量束照射机构对以相互不同的定时着落在被喷出面上的液滴彼此的边界照射能量束，以使各液滴的边界区域的液体流动。根据本发明的液滴喷出装置可知，能够通过能量束使各液滴的边界区域的液体流动，能够抑制液滴的边界区域的隆起及液滴间的凹陷。即，能够将喷出在被喷出面上的液滴的形状形成为所希望的形状(例如，将边界区域平坦化，或形成为凹面或凸面)。从而，能够提高喷出在被喷出面上的液滴的形状控制性。其结果，能够提高由液滴形成的图案的形状控制性。换言之，能够形成具有被高精度控制的形状的图案。
可以在以相互不同的定时着落于被喷出面上的液滴彼此的边界，两液滴的边界区域相互重叠而形成叠层区域，可以进行能量束向液滴彼此的边界的照射，以使叠层区域的液体朝向液滴的非边界区域即非叠层区域流动。在这种情况下，能够避免叠层区域的隆起，能够将喷出的液滴的表面平坦化。从而，能够提高液滴的形状控制性，从而能够提高图案的形状控制性。
能量束照射机构可以具备扫描机构，该扫描机构用能量束从叠层区域朝向非叠层区域相对地扫描被喷出面上的液滴。在这种情况下，通过利用扫描机构进行能量束的扫描，叠层区域的液体更有效地朝向非叠层区域流动，从而能够将喷出的液滴的表面控制为与所希望的形状对应的形状。
从能量束照射机构照射的能量束可以具有与叠层区域的厚度对应的强度。在这种情况下，例如，能够使液体从厚的区域向薄的区域有效流动，能够将液滴的表面更加平坦化。
从能量束照射机构照射的能量束可以包含从叠层区域朝向非叠层区域的方向的成分。在这种情况下，能量束的能量更高效地转换为用于使液滴流动的平移能量。
能量束照射机构具备扫描机构，该扫描机构用能量束朝向叠层区域所延伸的方向相对地扫描被喷出面上的液滴。在这种情况下，能够更可靠地避免叠层区域的隆起，能够将喷出的液滴的表面控制为与所希望的形状更加对应的形状。
液滴喷出机构可以具备多个液滴喷出头，叠层区域可以在从相互不同的液滴喷出头喷出的液滴彼此的边界，由两液滴的边界区域相互重叠而形成。在这种情况下，能够提高通过具备多个液滴喷出头的液滴喷出装置形成的在大范围内的图案的形状控制性。
从能量束照射机构照射的能量束可以是光。在这种情况下，容易选择与液滴的构成材料(例如，溶剂或分散剂等)对应的波长区域或照射强度的能量束。其结果，能够扩大能量束的选择范围，能够扩大可适用的液滴的范围。
从能量束照射机构照射的能量束可以是相干光。在这种情况下，能够以更高的精度成形所希望的束形状或强度分布，能够进一步提高液滴的形状控制性、进而图案的形状控制性。
能量束照射机构可以具备覆盖被喷出面上的液滴，且能够使能量束透射的罩。在这种情况下，能够抑制液滴因能量束的照射而产生的干燥，能够维持液滴的流动性。
本发明的图案形成方法包括：将由含有图案形成材料的液体构成的液滴喷出在被喷出面的工序；通过干燥着落在被喷出面上的液滴，在被喷出面上形成规定的图案的工序；在着落于被喷出面上的液滴的干燥前或干燥中，对以相互不同的定时着落在被喷出面上的液滴彼此的边界照射能量束，以使各液滴的边界区域的液体流动的工序。根据本发明的图案形成方法可知，能够通过能量束使各液滴的边界区域的液体流动，能够抑制液滴的边界区域的隆起及液滴间的凹陷。即，能够将喷出在被喷出面上的液滴的形状形成为所希望的形状(例如，将边界区域平坦化、或形成为凹面或凸面)。从而，能够提高喷出在被喷出面上的液滴的形状控制性。其结果，能够提高由液滴形成的图案的形状控制性。换言之，能够形成具有被高精度控制的形状的图案。
可以在以相互不同的定时着落于被喷出面上的液滴彼此的边界，两液滴的边界区域相互重叠而形成叠层区域，可以进行能量束向液滴彼此的边界的照射，以使叠层区域的液体朝向液滴的非边界区域即非叠层区域流动。在这种情况下，能够避免叠层区域的隆起，能够将喷出的液滴的表面平坦化。从而，能够提高液滴的形状控制性、进而图案的形状控制性。
所述能量束的照射可以在着落于被喷出面上的液滴的干燥前进行。在这种情况下，与在液滴的干燥中照射能量束的情况相比，能够确保液滴的流动性，能够进一步提高液滴的形状控制性。
能量束的照射可以在用能量束从叠层区域朝向非叠层区域扫描的同时进行。在这种情况下，能够使叠层区域的液体朝向非叠层区域更有效地流动，能够将液滴的表面更加平坦化。
照射在液滴彼此的边界的能量束可以具有与所述叠层区域的厚度对应的强度。在这种情况下，例如，能够使液体从厚的区域有效地向薄的区域流动，能够将液滴的表面更加平坦化。
照射在液滴彼此的边界的能量束可以包含从所述叠层区域朝向所述非叠层区域的方向的成分。在这种情况下，能量束的能量更有效地转换为用于使液滴流动的平移能量。
能量束的照射可以在用能量束朝向所述叠层区域所延伸的方向扫描的同时进行。在这种情况下，能够更可靠地避免叠层区域的隆起，能够更可靠地将喷出的液滴的表面平坦化。
本发明的电光装置的制造方法具备通过所述图案形成方法，在衬底上形成所述取向膜的工序。根据本发明的电光装置的制造方法可知，能够制造具备具有被高精度控制的形状的取向膜的电光装置。
附图说明
图1是本发明的第一实施方式的液晶显示装置的立体图。
图2是图1的液晶显示装置的滤色器衬底的立体图。
图3是图2的A-A线的剖面图。
图4是第一实施方式的液滴喷出装置的概略立体图。
图5是用于说明图4的液滴喷出装置的液滴喷出头及照射口的俯视图。
图6是图5的A-A线的剖面图。
图7是放大表示图6的局部的剖面图。
图8(a)、(b)及(c)是用于说明液滴喷出头的配置、着落在衬底上的液滴的图。
图9(a)、(b)及(c)是用于说明液滴喷出头的配置、着落在衬底上的液滴的图。
图10是用于说明激光束的扫描区域的图。
图11(a)、(b)及(c)是用于说明照射口的配置、着落在衬底上的液滴的图。
图12是用于说明图4的液滴喷出装置的电结构的电路框图。
图13是用于说明本发明的第二实施方式的液滴喷出头的概略剖面图。
图14是说明本发明的其他实施方式的液滴喷出装置的图。
图15是说明本发明的另一实施方式的液滴喷出装置的图。
图16是说明本发明的又一实施方式的液滴喷出装置的图。
图17(a)及(b)是用于说明以往例的液滴喷出装置的液滴喷出头的配置和着落在衬底上的液滴的图。
具体实施方式
以下，根据图1～图12，对具体化了本发明的第一实施方式进行说明。
首先，对作为本发明的电光装置的液晶显示装置进行说明。图1是液晶显示装置的立体图，图2是液晶显示装置所配备的滤色器衬底的立体图，图3是滤色器衬底的要部剖面图。
在图1中，液晶显示装置1具备液晶面板2、和对所述液晶面板2照射平面状的光L1的照明装置3。
照明装置3具备：LED等光源4、使从所述光源4射出的光透射并将其作为平面状的光照射在所述液晶面板2的导光体5。另一方面，液晶面板2具备配备在所述照明装置3侧的滤色器衬底10、和与所述滤色器衬底10相对置的元件衬底11，并通过将这些滤色器衬底10和元件衬底11贴合，且在其间隙中封入液晶分子而形成。
元件衬底11是四边板状的无碱玻璃衬底，在该照明装置3侧(滤色器衬底10)侧的侧面(元件形成面11a)，留有规定的间隔而形成有在X箭头方向上延伸的多个扫描线12。各扫描线12分别与在元件衬底11的一侧端配置的扫描线驱动电路13电连接。扫描线驱动电路13根据来自未图示的控制电路的扫描控制信号，以规定的定时从多个扫描线12中选择驱动规定的扫描线12，并向所选择的扫描线12输出扫描信号。
另外，在元件形成面11a留有规定的间隔而形成有沿与所述扫描线12正交的Y箭头方向延伸的多个数据线14。各数据线14分别与在元件衬底11的一侧端配置的数据线驱动电路15电连接。数据线驱动电路15根据来自未图示的外部装置的显示数据，生成数据信号，并以规定的定时向对应的数据线14输出该数据信号。
在所述扫描线12和所述数据线14交叉的位置，形成有与对应的扫描线12及数据线14连接，并排列成i行×j列的矩阵状的多个像素区域16。在各像素区域16内，分别形成有由TFT等构成的未图示的控制元件、和由ITO等透明导电膜构成的像素电极。
即，本实施方式的液晶显示装置1是具备作为控制元件的TFT的、所谓有源矩阵(active matrix)方式的液晶显示装置。还有，在所述扫描线12、数据线14及像素区域16的下侧(滤色器衬底10侧)，在元件形成面11a的整体上，通过研磨处理实施取向处理，从而形成有能够设定所述像素电极附近的液晶分子的取向的未图示的取向膜。
如图2所示，滤色器衬底10具有由无碱玻璃构成的四边形状的透明玻璃衬底(以下，简称为衬底21)。
如图2及图3所示，在衬底21的一侧面即与所述元件衬底11相对置的侧面(滤色器形成面21a)形成有隔壁22。隔壁22由铬或碳黑等遮光性材料等形成，且以格子状形成在滤色器形成面21a的大致整个面上，以与所述扫描线12及所述数据线14相对。还有，通过形成该隔壁22，由所述隔壁22围成的区域(着色层区域23)以与所述像素区域16对峙的方式呈i行×j列的矩阵状排列在滤色器形成面21a上。
如图2及图3所示，在着色层区域23内，形成有将所述光L1转换为有色光而射出的着色层24(转换为红色光的红色着色层24R、转换为绿色光的绿色着色层24G及转换为蓝色光的蓝色着色层24B)。在各着色层24和所述隔壁22的上侧(元件形成面11a侧)，叠层有未图示的保护层或过涂层，从而，使该上侧面平坦化。如图3所示，在各着色层24(所述保护层或罩面层(overcoat))的上侧，叠层有与所述隔壁22大致相同地形成的对置电极25。对置电极25的上侧面(作为被喷出面的取向膜形成面25a)沿所述滤色器形成面21a而平坦地形成，并供给规定的共用电位。在对置电极25的上侧(取向膜形成面25a上)形成有作为能够设定所述对置电极25附近的液晶分子的取向的图案的取向膜26。
取向膜26通过在取向膜形成面25a的整个面上由后述的液滴喷出装置30(参照图4)形成均匀膜厚的液状膜26L，并对干燥的所述液状膜26L的表面实施研磨处理等取向处理而形成。具体来说，所述液状膜26L通过从液滴喷出装置30(参照图4)的喷嘴N(参照图5)将含有作为图案形成材料的取向膜形成材料的微小液滴Fb(参照图7)喷出在取向膜形成面25a的整个面上，并对着落在取向膜形成面25a上的微小液滴Fb照射后述的激光束B(参照图10)，使其平坦化而形成。
还有，若所述扫描线驱动电路13基于线依次扫描而一个个地依次选择扫描线12，则像素区域16的控制元件依次只在选择期间中成为接通状态。若控制元件成为接通状态，则从数据线驱动电路15输出的数据信号经由数据线14及控制元件输出到所述像素电极。这样一来，根据元件衬底11的像素电极和滤色器衬底10的对置电极25的电位差，维持所述液晶分子的取向状态，以调制照明装置3照射的光L1。还有，通过调制的光通过未图示的偏振片与否，而在液晶面板2上显示经由了滤色器衬底10的所希望的全彩图像。
其次，对为了形成所述着色层24而使用的液滴喷出装置30进行说明。图4是表示液滴喷出装置30的结构的立体图。
在图4中，液滴喷出装置30具备形成为长方体形状的基台31。基台31以在后述的衬底台33上载置有所述滤色器衬底10的状态，沿所述Y箭头方向而形成其长度方向。
在基台31的上面，在Y箭头方向的整个宽度形成有沿Y箭头方向延伸的一对导向凹槽32，在该导向凹槽32内安装有衬底台33，该衬底台33与Y轴电动机MY(参照图12)连结，并被其驱动而在Y箭头方向及Y箭头相反方向上直线运动，由此构成扫描装置(即扫描机构)。还有，若对所述Y轴电动机MY输入规定的驱动信号，则Y轴电动机MY正转或反转，使得衬底台33沿Y箭头方向以规定的速度(输送速度Vy)往复运动(沿Y箭头方向移动)。在本实施方式中，如图4所示，将基台31的位于最Y箭头相反方向的配置位置称为去往运动位置，将最Y箭头方向的配置位置(图4所示的双点划线)称为返回运动位置。
在衬底台33的上面形成有将衬底21的取向膜形成面25a作为上侧而载置的载置部34，并将载置的衬底21相对衬底台33定位。在基台31的X箭头方向两侧立设有一对支撑台35a、35b，在该一对支撑台35a、35b上架设有沿X箭头方向延伸的导向构件36。在该导向构件36的上侧配置有收容罐37，在该收容罐37内，收容有使作为图案形成材料的取向膜形成材料分散在分散剂中而成的取向膜形成液F(参照图7)，且该取向膜形成液F能够导出到后述的液滴喷出头FH。还有，本实施方式的取向膜形成液F的表面张力为20mN/m，但不限于此。
在导向构件36的下侧，沿X箭头方向延伸的一对导轨38在X箭头方向的大致整个宽度上形成，且在该导轨38上安装有与X轴电动机MX(参照图12)连结并被其驱动而沿X箭头方向及X箭头相反方向直线运动的承载器39。承载器39的X箭头方向的宽度形成为与所述衬底21(滤色器形成面21a)的X箭头方向的宽度大致相同的尺寸。还有，若对X轴电动机MX输入规定的驱动信号，则X轴电动机正转或反转，使得承载器39沿X箭头方向往复运动(在X箭头方向上移动)。在本实施方式中，如图4所示，将承载器39的位于最支撑台35a侧(X箭头相反方向侧)的配置位置称为去往运动位置，将位于最支撑台35b侧(X箭头方向侧)的配置位置(图4所示的双点划线)称为返回运动位置。
在承载器39的下面(头配置面39a)配置有构成液滴喷出装置(即液滴喷出部)的多个液滴喷出头(以下，简称为喷出头FH)。图5表示从下侧(衬底台33侧)观察所述头配置面39a的俯视图。图6及图7是沿图5的A-A的概略剖面图及概略放大剖面图。
在图5中，各喷出头FH形成为沿X箭头方向延伸的大致长方体形状，并沿X箭头方向排成两列。具体来说，各喷出头FH形成有由Y箭头相反方向侧(衬底台33的去往运动位置侧)的喷出头FH(第一喷出头FH1)构成的第一头列LH1、和由邻接在该第一头列LH1的Y箭头方向侧的喷出头FH(第二喷出头FH2)构成的第二头列LH2。还有，这些第一头列LH1及第二头列LH2的各喷出头FH分别在X箭头方向上以间隔规定距离的方式等间距排列，从Y箭头方向观察，在相邻的各第一喷出头FH1间隔的空间分别配置有对应的第二喷出头FH2。
在第一及第二喷出头FH1、FH2的下侧(衬底台33侧)分别配备有喷嘴板41，在各喷嘴板41的下面(喷嘴形成面41a)，沿衬底21的法线方向(Z箭头方向：参照图4)贯通形成有用于喷出后述微小液滴Fb(参照图7)的多个喷嘴N。各喷嘴N以该X箭头方向上的形成间距为相等间距宽度(喷嘴间距宽度Pn)的方式，沿X箭头方向形成为一列，并在各喷出头FH(喷嘴形成面41)上形成有X箭头方向的宽度是规定的宽度(喷嘴列宽度Wn)的喷嘴列。
具体来说，第一头列LH1的喷嘴列和第二头列LH2的喷嘴列从X箭头方向观察，其间的距离只间隔喷出头FH的Y箭头方向的宽度(头宽度Wh)的量。另外，各第一喷出头FH1的喷嘴列和第二喷出头FH2的喷嘴列从Y箭头方向观察，其间的距离只间隔所述喷嘴间距宽度Pn的量。
还有，第一及第二喷出头FH1、FH2的喷嘴N如图6所示，从Y箭头方向观察，形成由所述喷嘴间距宽度Pn构成的连续的一列喷嘴列，通过这些第一及第二喷出头FH1、FH2的喷嘴N形成的喷嘴列的X箭头方向的宽度与所述取向膜形成面25a的X箭头方向的宽度相对。
即，本实施方式的液滴喷出装置30通过将第一喷出头FH1和第二喷出头FH2沿X箭头方向交替配置，使X箭头方向的间距宽度为喷嘴间距宽度Pn的连续的喷嘴N可以在取向膜形成面25a的X箭头方向整个宽度上对峙。
在本实施方式中，在各第二喷出头FH2的喷嘴列中，将其最X箭头方向侧及最X箭头相反方向侧的喷嘴N分别称为叠层喷嘴NE1及叠层喷嘴NE2。
如图7所示，在各喷嘴N的Z箭头方向上，分别形成有作为压力室的腔体42。腔体42经由未图示的供给路与所述收容罐37内相连通，且导入收容罐37所导出的所述取向膜形成液F。还有，腔体42将导入的取向膜形成液F向分别对应的喷嘴N供给。在腔体42的Z箭头方向上，具备能够在Z箭头方向及Z箭头相反方向上振动地贴附的振动膜43，从而扩大、缩小腔体42内的容积。在振动膜43的Z箭头方向上配置有与各喷嘴N对应的压电元件PZ。压电元件PZ接受用于驱动控制该压电元件PZ的信号(压电元件驱动信号COM1：参照图12)而收缩、伸长，使所述振动膜43在Z箭头方向及Z箭头相反方向上振动。
还有，输送的取向膜形成面25a的Y箭头方向的端部侵入所述第一头列LH1的正下方，各第一喷出头FH1的压电元件PZ收缩、伸长。这样一来，第一喷出头FH1的各腔体42内的容积扩大、缩小，与缩小的容积对应的取向膜形成液F从各第一喷出头FH1的所有喷嘴N一齐作为微小液滴Fb而喷出。喷出的微小液滴Fb沿Z箭头相反方向飞行，一齐着落在取向膜形成面25a的Y箭头方向的端部。
图8(a)～(c)是说明着落在取向膜形成面25a上的来自第一喷出头FH1的微小液滴Fb的说明图，图8(a)是从承载器39侧观察各喷出头FH1、FH2的俯视图，图8(b)是从承载器39侧观察取向膜形成面25a的俯视图。另外，图8(c)是沿图8(b)的A-A的概略要部剖面图。
来自第一头列LH1的微小液滴Fb着落在取向膜形成面25a上，并进行流动使得与取向膜形成面25a及大气的边界区域的表面能量最小。即，来自第一头列LH1的微小液滴Fb如图8(a)及图8(b)所示，在取向膜形成面25a上的与各第一喷出头FH1的喷嘴相对的位置，形成所述微小液滴Fb聚集的、沿X箭头方向延伸的带状的第一液滴FD1(在图8(b)中为虚线)。第一液滴FD1的该X箭头方向的宽度形成为比所述喷嘴列宽度Wn稍大的宽度。
还有，若沿Y箭头方向输送衬底21(取向膜形成面25a)，反复从第一喷出头FH1喷出微小液滴Fb，则第一液滴FD1沿Y箭头方向只延伸取向膜形成面25a被输送的量而连结，从而形成由连结的第一液滴FD1构成的下层液状膜26L1。
接着，若沿Y箭头方向将取向膜形成面25a的Y箭头方向的端部只输送所述头宽度Wh，第二喷出头FH2的各压电元件PZ收缩、伸长，则从各第二喷出头FH2的所有喷嘴N喷出微小液滴Fb。喷出的微小液滴Fb沿Z箭头相反方向飞行，并着落在取向膜形成面25a的Y箭头方向的端部。
图9(a)～(c)是用于说明着落在取向膜形成面25a上的来自第二喷出头FH2的微小液滴Fb的说明图，图9(a)是从承载器39侧观察各喷出头FH1、FH2的俯视图，图9(b)是从承载器39侧观察取向膜形成面25a的俯视图。另外，图9(c)表示沿图9(b)的A-A的概略要部剖面图。
着落在取向膜形成面25a上的来自第二头列LH2的微小液滴Fb，进行流动使得与取向膜形成面25a及大气的边界区域的表面能量最小。还有，如图9(a)及图9(b)所示，在与第二头列LH2的喷嘴列相对的位置，沿X箭头方向形成所述微小液滴Fb聚集的、沿X箭头方向延伸的带状的第二液滴FD2(图9(b)中虚线)。第二液滴FD2的该X箭头方向的宽度形成为比所述喷嘴列宽度Wn稍大的宽度。
还有，第二液滴FD2的X箭头方向的两端部与在先形成的所述下层液状膜26L1的端部重叠，如图9(c)所示，形成在叠层喷嘴NE1、NE2的正下方具有头顶部而在Z箭头方向上隆起的隆起部FDT(作为边界区域的叠层区域)。另外，在各隆起部FDT的第一液滴FD1侧，形成第二液滴FD2不重叠的第一液滴FD1的端部(作为非叠层区域的凹部FDB)。
此时，所述隆起部FDT及所述凹部FDB的凹凸差小至数μm左右，从而通过将隆起部FDT及凹部FDB平坦化而得到的第二液滴FD2(第一液滴FD1)的表面能量的变化小。
其结果，以通过隆起部FDT及凹部FDB的平坦化而得到的能量，不能使第一液滴FD1及第二液滴FD2流动，若不从外部对第二液滴FD2(第一液滴FD1)施加能量，则维持隆起部FDT和凹部FDB的凹凸差。
还有，若沿Y箭头方向输送衬底21(取向膜形成面25a)，反复从第一喷出头FH1及第二喷出头FH2喷出微小液滴Fb，则如图9(b)所示，第二液滴FD2沿Y箭头方向只延伸取向膜形成面25a被输送的量而连结，从而形成由连结的第二液滴FD2构成的上层液状膜26L2。与此同时，第二液滴FD2沿Y箭头方向与取向膜形成面25a被输送的量对应而形成所述隆起部FDT及凹部FDB。
即，在取向膜形成面25a上，通过从第一头列LH1及第二头列LH2喷出微小液滴Fb，形成由下层液状膜26L1及上层液状膜26L2构成的液状膜26L，在下层液状膜26L1和上层液状膜26L2的边界，在其Y箭头方向的整个宽度上形成所述隆起部FDT及所述凹部FDB。
如图5所示，在承载器39的头配置面39a的所述各叠层喷嘴NE1、NE2的Y箭头方向侧形成有照射口45。照射口45是沿Y箭头方向延伸而贯通形成至承载器39的内部的贯通孔，其Y箭头方向的宽度形成为束长Wb。
如图10所示，在承载器39的内部具备对应于所述照射口45而构成能量束照射机构(即能量束照射部)的半导体激光器LD。半导体激光器LD接受用于驱动控制该半导体激光器LD的信号(激光器驱动信号COM2：参照图12)，输出作为能量束的激光束B。本实施方式的激光束B是能够使所述下层液状膜26L1及上层液状膜26L2的分散剂蒸发的波长区域、或其光能量能够转换为构成所述下层液状膜26L1及上层液状膜26L2的分子的平移运动的波长区域的光。
在承载器39的内部的、所述各半导体激光器LD的照射口45侧，从半导体激光器LD侧依次具备准直仪46、圆柱透镜47、构成扫描装置9(即扫描机构)的多面反射镜48及扫描透镜49。各准直仪46使半导体激光器LD所射出的激光束B成为平行光束，并将其引导至对应的圆柱透镜47。各圆柱透镜47是只在Z箭头方向上具有曲率的透镜，其修正多面反射镜48的面歪斜，将沿Y箭头方向(图10中的与纸面垂直的方向)延伸的带状的激光束B引导至多面反射镜48。
各多面反射镜48配置在与所述照射口45相对的位置，具有在构成正三十六边形的位置配置的三十六片反射面M，且Y箭头方向(图10中的与纸面垂直的方向)的宽度与所述照射口45相同形成为所述束长Wb。各多面反射镜48通过多面体电动机(polygon motor)(参照图12)旋转驱动，使各反射面M对应于所述叠层喷嘴NE1及所述叠层喷嘴NE2分别沿箭头R1方向及箭头R2方向旋转。还有，各多面反射镜48通过对应的反射面M偏向反射从圆柱透镜47导入的带状的激光束B，并将偏向反射的激光束B引导至对应的扫描透镜49。还有，各多面反射镜48的旋转角θp每沿箭头R1方向(箭头R2方向)旋转10°，将导入激光束B的反射面M切换为后续的反射面M。还有，本实施方式的各多面反射镜48的旋转速度以比所述输送速度Vy充分快的速度旋转。
各扫描透镜49是所谓的fθ透镜，将由对应的多面反射镜48偏向反射的激光束B引导至所述取向膜形成面25a上，并将在该取向膜形成面25a上的扫描速度控制为恒定。扫描透镜49的光轴49A从Y箭头方向观察，配置在与对应的叠层喷嘴NE1、NE2的中心轴相对的位置。
在本实施方式中，如图10所示，将激光束B导入多面反射镜48的反射面M的箭头R1方向侧端部(箭头R2方向侧端部)的状态称为多面反射镜48的旋转角θp为0°。具体来说，在本实施方式中，将多面反射镜48所反射偏向的激光束B的偏向角在以扫描透镜49的光轴49A为基准而只偏向偏向角θ1时，称为多面反射镜48的旋转角θp为0°。还有，本实施方式的偏向角θ1在与叠层喷嘴NE1相对的一侧约为5°，在与叠层喷嘴NE2相对的一侧约为-5°。
还有，在各多面反射镜48的旋转角θp为0°时，若将激光束B导入圆柱透镜47，则圆柱透镜47调节激光束B相对与纸面垂直的方向的光轴，将激光束B向多面反射镜48引导。导入了激光束B的多面反射镜48通过反射面M(反射面Ma)，向相对光轴49A的偏向角θ1的方向反射偏向激光束B，并经由扫描透镜49向取向膜形成面25a引导。引导到取向膜形成面25a上的激光束B将其Y箭头方向的宽度为所述束长Wb的带状的激光束剖面(束光点(beam spot)Bs：参照图11(b)的虚线及实线)成形在取向膜形成面25a上。
在本实施方式中，将在所述旋转角θp为0°时，成形所述束光点Bs的位置称为扫描开始位置Pe1。如图10所示，该扫描开始位置Pe1从Y箭头方向侧观察，位于从各叠层喷嘴NE1、NE2的中心轴上(所述扫描透镜49的光轴49A)、即所述隆起部FDT的头顶部只偏向所述偏向角θ1的量的上层液状膜26L2侧。
接着，沿箭头R1方向(箭头R2方向)旋转各多面反射镜48，使其旋转角θp大致成为10°。这样一来，各多面反射镜48通过其反射面Ma的箭头R1相反方向侧(箭头R2相反侧)的端部，如图10的虚线所示，向相对光轴49A的偏向角θ2的方向反射偏向激光束B，并经由扫描透镜49，将其向取向膜形成面25a上引导。引导到取向膜形成面25a上的激光束B，将其Y箭头方向的宽度为所述束长Wb的带状的束光点Bs(参照图11(b)的实线)成形在取向膜形成面25a上。还有，本实施方式的偏向角θ2在与叠层喷嘴NE1相对的一侧约为-5°，在与叠层喷嘴NE2相对的一侧约为5°。
在本实施方式中，将在旋转角θp约为10°时，成形所述束光点Bs的取向膜形成面25a上的位置称为扫描结束位置Pe2，并将该扫描结束位置Pe2和所述扫描开始位置Pe1之间的区域称为扫描区域Ls。如图10所示，扫描结束位置Pe2从Y箭头方向侧观察，位于从各叠层喷嘴NE1、NE2的中心轴上(所述扫描透镜49的光轴49A)、即所述隆起部FDT的头顶部偏向所述偏向角θ2的量的下层液状膜26L1侧(凹部FDB侧)。
即，束光点Bs通过多面反射镜48的偏向反射，从所述隆起部FDT的上层液状膜26L2侧经由所述隆起部FDT朝向所述凹部FDB侧扫描。
还有，在将具有所述隆起部FDT及凹部FDB的液状膜26L输送到所述扫描区域Ls内时，旋转驱动所述多面体电动机MP，从半导体激光器LD射出激光束B。这样一来，从各隆起部FDT的上层液状膜26L2侧朝向对应的凹部FDB，反复扫描激光束B的束光点Bs。
图11(a)～图11(c)是用于说明已用激光束B扫描的下层液状膜26L1及上层液状膜26L2的说明图，图11(a)是从承载器39侧观察照射口45的俯视图，图11(b)是从承载器39侧观察液状膜26L(下层液状膜26L1及上层液状膜26L2)的俯视图。另外，图11(c)是沿图11(b)的A-A的概略要部剖面图。
具有所述隆起部FDT及所述凹部FDB的液状膜26L侵入所述扫描区域Ls。这样一来，沿Y箭头方向延伸的带状的束光点Bs(图11(b)中的虚线)相对所述液状膜26L沿将所述多面反射镜48的扫描方向(X箭头方向或X箭头相反方向)和所述衬底台33的输送方向(Y箭头方向)合成而得到的方向(图11(b)的箭头方向)相对地进行扫描。即，扫描开始位置Pe1的束光点Bs相对所述液状膜26L沿将从各隆起部FDT朝向对应的凹部FDB的方向、和各隆起部FDT(各凹部FDB)所延伸的方向合成而得到的方向相对移动，扫描至所述扫描结束位置Pe2。
此时，来自激光束B的光能量只在液状膜26L的局部作为分子的激励能量进行转换，转换为所述分散剂等的振动能量、或沿激光束B(光子)的入射方向的所述分散剂等的平移运动能量。换言之，来自激光束B的光能量使束光点Bs附近的分散剂局部地蒸发、或对束光点Bs附近的分散剂赋予沿其入射方向的平移运动能量。
其结果，扫描区域Ls内的液状膜26L受到来自蒸发的分散剂的反作用或沿激光束B的入射方向的应力，从而沿激光束B(束光点Bs)的扫描方向流动。即，扫描区域Ls的液状膜26L沿从上层液状膜26L2(隆起部FDT)侧朝向下层液状膜26L1(凹部FDB)侧的方向、和所述隆起部FDT(凹部FDB)所延伸的方向流动，使所述隆起部FDT的区域的取向膜形成液F流动到所述凹部FDB。
还有，若沿Y箭头方向输送衬底21(取向膜形成面25a)，并反复进行来自照射口45的激光束B的扫描，则如图11(b)及(c)所示，在液状膜26L中，所述隆起部FDT及所述凹部FDB只消失取向膜形成面25a被输送的量，从而下层液状膜26L1和上层液状膜26L2的边界被平坦化、即液状膜26L的膜厚变得均匀。
其次，根据图10，对如上所述构成的液滴喷出装置30的电结构进行说明。
在图12中，控制装置50具备：由CPU等构成的控制部51、由DRAM及SRAM构成且存储各种数据的RAM52、存储各种控制程序的ROM53。另外，控制装置50具备：生成所述压电元件驱动信号COM1的驱动信号生成电路54、生成所述激光器驱动信号COM2的电源电路55、生成用于使各种信号同步的时钟信号的振荡电路56等。还有，控制装置50经由未图示的总线与这些控制部51、RAM52、ROM53、驱动信号生成电路54、电源电路55及振荡电路56连接。
控制装置50与输入装置61连接。输入装置61具有起动开关、停止开关等操作开关，并将基于各开关的操作的操作信号输出到控制装置50(控制部51)。另外，输入装置61将在滤色器衬底10形成的取向膜26(液状膜26L)的描绘信息作为描绘数据Ia输出到控制装置50。控制装置50按照来自输入装置61的描绘数据Ia、和存储在ROM53等中的控制程序(例如，取向膜制造程序)，使衬底台33移动，进行衬底21(取向膜形成面25a)的输送处理动作，并驱动喷出头FH的各压电元件PZ，进行液滴喷出处理动作。另外，控制装置50按照取向膜制造程序，驱动半导体激光器LD，进行使液状膜26L平坦化的平坦化处理动作。
具体来说，控制部51对来自输入装置61的描绘数据Ia实施规定的展开处理，生成表示是否在二维描绘平面(取向膜形成面25a)上的位置喷出微小液滴Fb的位图数据BMD，并将生成的位图数据BMD存储在RAM中。该位图数据BMD是根据各比特值(0或1)而规定所述压电元件PZ的接通或关断(是否喷出微小液滴Fb)的数据。还有，控制部51使所述位图数据BMD与振荡电路56生成的时钟信号同步，将各扫描(衬底台23的一次去往运动或返回运动量)的数据作为喷出控制数据SI逐次传送到后述的喷出头驱动电路67。
另外，控制部51对来自输入装置61的描绘数据Ia实施与所述位图数据BMD的展开处理不同的展开处理，生成与扫描条件对应的压电元件驱动信号COM1的波形数据，并将其输出到驱动信号生成电路54中。驱动信号生成电路54将来自控制部51的波形数据存储在未图示的波形存储器中。还有，驱动信号生成电路54对存储的波形数据进行数据/模拟转换，并放大模拟信号的波形信号，由此生成对应的压电元件驱动信号COM1。还有，控制部51使所述压电元件驱动信号COM1与振荡电路56生成的时钟信号同步，并将其输出到后述的喷出头驱动电路67中。
如图12所示，控制装置50与X轴电动机驱动电路62连接，将X轴电动机驱动控制信号输出到X轴电动机驱动电路62。X轴电动机驱动电路62应答来自控制装置50的X轴电动机驱动控制信号，将使所述承载器39往复移动的X轴电动机MX正转或反转。还有，例如，若X轴电动机MX正转，则承载器39沿X箭头方向移动，若反转，则承载器39沿X箭头相反方向移动。
控制装置50与Y轴电动机驱动电路63连接，将Y轴电动机驱动控制信号输出到Y轴电动机驱动电路63。Y轴电动机驱动电路63应答来自控制装置50的Y轴电动机驱动控制信号，将使所述衬底台33往复移动的Y轴电动机MY正转或反转。例如，若Y轴电动机MY正转，则衬底台33沿Y箭头方向移动，若反转，则衬底台33沿Y箭头相反方向移动。
控制装置50与衬底检测装置64连接。衬底检测装置64在检测滤色器衬底10的端缘，计算通过控制装置50的控制而通过承载器39的正下方的滤色器衬底10(取向膜形成面25a)的位置时利用。
控制装置50与X轴电动机旋转检测器65连接，输入来自X轴电动机旋转检测器65的检测信号。控制装置50根据来自X轴电动机旋转检测器65的检测信号，检测X轴电动机MX的旋转方向及旋转量，运算承载器39的X箭头方向的移动量和移动方向。
控制装置50与Y轴电动机旋转检测器66连接，输入来自Y轴电动机旋转检测器66的检测信号。控制装置50根据来自Y轴电动机旋转检测器66的检测信号，检测Y轴电动机MY的旋转方向及旋转量，运算衬底台33的Y箭头方向的移动方向及移动量。
控制装置50与喷出头驱动电路67连接，将所述喷出控制数据SI和所述压电元件驱动信号COM1输出到该喷出头驱动电路67。喷出头驱动电路67应答来自控制装置50的喷出控制数据SI，控制是否将所述压电元件驱动信号COM1供给到对应的压电元件PZ。
控制装置50与激光器驱动电路68连接，将所述电源电路55生成的激光器驱动信号COM2输出到该激光器驱动电路68。激光器驱动电路68应答来自控制装置50的激光器驱动信号COM2，驱动控制各半导体激光器LD，使其射出激光束B。
控制装置50与多面体电动机驱动电路69，根据来自衬底检测装置64的检测信号，将用于开始多面体电动机MP的旋转驱动的多面体电动机驱动开始信号SSP输出到多面体电动机驱动电路69。具体来说，控制装置50在取向膜形成面25a的Y箭头方向侧的端部侵入所述扫描区域Ls内时，以使多面反射镜48的旋转角θp为0°的规定的定时，将所述多面体电动机驱动开始信号SSP输出到多面体电动机驱动电路69。多面体电动机驱动电路69应答来自控制装置50的多面体电动机驱动开始信号SSP，将多面体电动机驱动信号SPM输出到各多面体电动机MP。还有，若控制装置50将多面体电动机驱动开始信号SSP输出到多面体电动机驱动电路69，则多面体电动机驱动电路69旋转驱动各多面体电动机MP，沿对应的方向(箭头R1方向或箭头R2方向)旋转驱动各多面反射镜48。
其次，对使用液滴喷出装置30来制造滤色器衬底10(取向膜26)的方法进行说明。
首先，如图4所示，在位于去往运动位置的衬底台33上，配置固定衬底21。此时，衬底21(滤色器形成面21a)的Y箭头方向侧的边配置在导向构件36的X箭头相反方向侧。
从该状态，将描绘数据Ia输入到输入装置61，输入用于开始取向膜制造程序的操作信号。这样一来，控制装置50驱动控制X轴电动机MX使承载器从去往运动位置进行去往运动，在衬底21沿Y箭头方向移动时，将各喷嘴N的正下方设置在取向膜形成面25a所通过的位置。另外，控制装置50驱动控制Y轴电动机MY，以输送速度Vy沿Y箭头方向输送衬底台33(取向膜形成面25a)。
不久，若衬底检测装置64检测到衬底21(滤色器形成面21a)的Y箭头方向侧的端缘，则控制装置50根据来自Y轴电动机旋转检测器66的检测信号，计算取向膜形成面25a的Y箭头方向侧端部是否被输送到第一头列LH1的正下方。
其间，控制装置50根据来自Y轴电动机旋转检测器66的检测信号，以所述规定的定时，将所述多面体电动机驱动开始信号SSP输出到多面体电动机驱动电路69，旋转驱动各多面体电动机MP。由此，在取向膜形成面25a的Y箭头方向侧的端部侵入所述扫描区域Ls内时，多面反射镜48的旋转角θp成为0°。另外，控制装置50按照取向膜制造程序，将由驱动信号生成电路54生成的压电元件驱动信号COM1输出到喷出头驱动电路67。还有，控制装置50具有：将基于存储在RAM52中的位图数据BMD的喷出控制数据SI输出到喷出头驱动电路67的定时、和将由电源电路55生成的激光器驱动信号COM2输出到激光器驱动电路68的定时。
还有，若将取向膜形成面25a的Y箭头方向侧端部输送到第一头列LH1的喷嘴N的正下方，则控制装置50根据来自Y轴电动机旋转检测器66的检测信号，将喷出控制数据SI输出到喷出头驱动电路67。喷出头驱动电路67若接受来自控制装置50的喷出控制数据SI，则根据喷出控制数据SI将所述压电元件驱动信号COM1供给到第一头列LH1的各压电元件PZ，从各第一喷出头FH1的所有喷嘴N一齐喷出微小液滴Fb。喷出的微小液滴Fb一齐着落在取向膜形成面25a上，形成第一液滴FD1。还有，控制装置50沿Y箭头方向输送衬底台33(取向膜形成面25a)，同时反复进行基于所述喷出控制数据SI的微小液滴Fb的喷出。由此，形成第一液滴FD1所连结的下层液状膜26L1。
接着，将取向膜形成面25a的Y箭头方向侧端部从第一头列LH1的喷嘴N的正下方只输送所述头宽度Wh，输送到第二头列LH2的喷嘴N的正下方。这样一来，喷出头驱动电路67根据所述喷出控制数据SI，将所述压电元件驱动信号COM1供给到第二头列LH2的压电元件PZ，从各第二头列LH2的所有喷嘴N一齐喷出微小液滴Fb。喷出的微小液滴Fb一齐着落在取向膜形成面25a上，形成第二液滴FD2。还有，控制装置50将衬底台33(取向膜形成面25a)沿Y箭头方向输送，同时反复进行基于所述喷出控制数据SI的微小液滴Fb的喷出。由此，形成第二液滴FD2所连结的上层液状膜26L2，从而形成具有沿Y箭头方向延伸的隆起部FDT及凹部FDB的液状膜26L。
还有，若取向膜形成面25a的Y箭头方向侧端部侵入各扫描区域Ls内，则控制装置50根据来自Y轴电动机旋转检测器66的检测信号，将所述激光器驱动信号COM2输出到激光器驱动电路68。激光器驱动电路68若接受来自控制装置50的激光器驱动信号COM2，则将所述激光器驱动信号COM2供给到各半导体激光器LD，使各半导体激光器LD射出激光束B。从各半导体激光器LD射出的激光束B被旋转角θp为0°的各多面反射镜48偏向反射，在液状膜26L上的各扫描开始位置Pe1上成形沿Y箭头方向延伸的束光点Bs。在各扫描开始位置Pe1形成的束光点Bs通过取向膜形成面25a的沿Y箭头方向的输送、和多面反射镜48的箭头R1方向(箭头R2方向)的旋转驱动，如下所述进行扫描。
即，束光点Bs相对所述液状膜26L，沿将从各隆起部FDT的上层液状膜26L2朝向对应的凹部FDB的方向、和各隆起部FDT(各凹部FDB)所延伸的方向合成而得到的方向相对移动，扫描至各扫描结束位置Pe2。由此，各扫描区域Ls内的液状膜26L(隆起部FDT及凹部FDB)被平坦化，其膜厚变得均匀。
以后，同样，控制装置50将衬底台33(取向膜形成面25a)沿Y箭头方向输送，同时反复从第一及第二喷出头FH1、FH2喷出微小液滴Fb，并将侵入扫描区域Ls内的液状膜26L平坦化。由此，在取向膜形成面25a的整个面上，形成膜厚均匀的液状膜26L。
还有，控制装置50若在所有取向膜形成面25a上形成平坦的液状膜26L，则控制Y轴电动机MY，将衬底台33(衬底21)配置在去往运动位置。还有，输出在去往运动位置配置的衬底21，对所述液状膜26L实施规定的干燥处理工序(例如，减压干燥工序、热干燥工序、激光照射干燥工序等)和规定的取向处理工序，由此在取向膜形成面25a上形成实施了均匀的取向处理的取向膜26。
其次，将所述构成的本实施方式的效果记载如下。
(1)根据所述实施方式可知，在在先形成的下层液状膜26L1的端部，叠层后续的上层液状膜26L2的端部，对这些下层液状膜26L1及上层液状膜26L2重叠的叠层区域，照射能够使其取向膜形成液F流动的激光束B。其结果，能够使隆起部FDT的取向膜形成液F流动到凹部FDB，从而能够提高液状膜26L的平坦性、进而取向膜26的形状控制性。
(2)根据所述实施方式可知，通过多面反射镜48的旋转驱动，将束光点Bs从隆起部FDT侧(上层液状膜26L2侧)扫描到对应的凹部FDB侧(下层液状膜26L1侧)。其结果，能够使隆起部FDT的取向膜形成液F更有效地流动到凹部FDB，能够进一步提高液状膜26L的平坦性。
(3)根据所述实施方式可知，将衬底台33沿Y箭头方向输送，相对束光点Bs沿Y箭头相反方向相对地扫描取向膜形成面25a。其结果，能够使在液状膜26L的Y箭头方向的整个宽度上形成的隆起部FDT及凹部FDB可靠地平坦化。
(4)根据所述实施方式可知，在刚刚形成了下层液状膜26L1及上层液状膜26L2后，照射激光束B。其结果，能够使液状膜26L的取向膜形成液F在下层液状膜26L1及上层液状膜26L2干燥前流动。从而，能够可靠地提高液状膜26L的平坦性。
(5)根据所述实施方式可知，在各叠层喷嘴NE1及NE2的Y箭头方向上设置照射激光束B的照射口45，对各隆起部FDT及各凹部FDB分别扫描对应的束光点Bs。其结果，通过多个第一及第二喷出头FH1、FH2，能够在大范围内形成平坦化的液状膜26L。
其次，按照图13，对具体化了本发明的第二实施方式进行说明。还有，第二实施方式是将第一实施方式的激光束B的光学系统进行了变更的结构。因而，以下，对光学系统的变更点进行详细的说明。
在图13中，在各半导体激光器LD的照射口45侧配置有第一实施方式所示的准直仪46和衍射元件70。半导体激光器LD发出能够使下层液状膜26L1及上层液状膜26L2的分散剂蒸发的波长区域、或能够将其光能量转换为构成所述下层液状膜26L1及上层液状膜26L2的分子的平移运动的波长区域的光，发出相干光。
衍射元件70，其X箭头方向的中心位置配置在能够与所述隆起部FDT的头顶部相对的位置，且机械或电驱动，接受来自第一实施方式所示的控制装置50的衍射元件驱动控制信号，对经由了准直仪46的来自半导体激光器LD的激光束B实施预先设定的规定的相位调制。还有，若对半导体激光器LD及衍射元件70分别供给激光器驱动信号COM2及所述衍射元件驱动控制信号，则对来自半导体激光器LD的激光束B实施基于衍射元件70的规定的相位调制，在所述隆起部FDT上形成由规定的强度分布形成的束光点Bs。
具体来说，束光点Bs由从隆起部FDT的头顶部成形到所述上层液状膜26L2侧的第一束光点Bs1、和从隆起部FDT的头顶部成形到所述下层液状膜26L1侧的第二束光点构成。这些第一束光点Bs1及第二束光点Bs2分别通过照射的与液状膜26L的膜厚对应的强度分布成形。
即，第一束光点Bs1及第二束光点Bs2成形为，分别在隆起部FDT的头顶部具有最强的照射强度，随着朝向下层液状膜26L1及上层液状膜26L2侧，其照射强度渐渐变弱。还有，第一束光点Bs1的平均照射强度成形为比第二束光点Bs2的平均照射强度强。
还有，若具有隆起部FDT及凹部FDB的取向膜形成面25a(液状膜26L)侵入所述束光点Bs内，则对隆起部FDT的头顶部附近照射最强的照射强度的激光束B，对该头顶部的上层液状膜26L2侧照射比对置的下层液状膜26L1侧强的强度的激光束B。这样一来，被照射激光束B的所述头顶部附近的取向膜形成液F受到来自蒸发的分散剂的反作用或沿激光束B的入射方向的应力，流动到照射强度弱的下层液状膜26L1侧、即凹部FDB侧。由此，侵入了束光点Bs内的液状膜26L(隆起部FDT及凹部FDB)被平坦化，在取向膜形成面25a的整个面上，形成膜厚均匀的液状膜26L。
其次，将所述构成的第二实施方式的效果记载如下。
(1)根据所述实施方式可知，对来自半导体激光器LD的激光束B实施基于衍射元件70的相位调制，形成与隆起部FDT附近的膜厚对应的照射强度的束光点Bs。还有，对隆起部FDT的头顶部照射最强的照射强度的激光束B，对头顶部的上层液状膜26L2侧照射比对置的下层液状膜26L1强的强度的激光束B。
其结果，相对取向膜形成面25a，只沿Y箭头方向相对扫描束光点Bs，就能够形成膜厚均匀的液状膜26L。从而，能够通过更简便的结构，提高液状膜26L的平坦性、进而取向膜26的形状控制性。
(2)根据所述实施方式可知，由相干光构成来自半导体激光器LD的激光束B。其结果，能够以更高的精度成形第一束光点Bs1及第二束光点Bs2的强度分布，从而能够可靠地提高液状膜26L的平坦性、进而取向膜26的形状控制性。
还有，所述实施方式也可如下变更。
在所述实施方式中，在液状膜26L上直接照射激光束B。不限于此，例如，如图14所示，也可以在液状膜26L上配置抑制激光束B透射使取向膜形成液F蒸发的罩71，经由该罩71扫描束光点Bs。据此可知，能够以抑制取向膜形成液F的蒸发的量，保持取向膜形成液F的流动性。其结果，能够促进液状膜26L的平坦化，能够提高图案(取向膜26)的形状控制性(均匀性)。
在所述实施方式中，通过喷出第一液滴FD1和第二液滴FD2，在下层液状膜26L1和上层液状膜26L2的边界区域形成隆起部FDT。不限于此，例如，也可以通过喷出第一液滴FD1和第二液滴FD2，在下层液状膜26L1和上层液状膜26L2的边界区域只形成液状膜的膜厚变薄的凹部，或者也可以形成未形成有液状膜的空间。此时，通过将激光束B从膜厚厚的液状膜26L的区域向膜厚薄的液状膜26L的区域照射或扫描，能够将液状膜26L平坦化。
在所述实施方式中，扫描束光点Bs而将液状膜26L平坦化。不限于此，例如，也可以通过激光束B的扫描，使扫描区域Ls(隆起部FDT)的液滴流动，在液状膜26L的扫描区域Ls上形成膜厚薄的凹部。
在所述实施方式中，将能量束具体化为激光束B，将该激光束B的波长区域构成为能够使取向膜形成液F蒸发、或能够将其光能量转换为取向膜形成液F的构成分子的平移运动的区域。不限于此，只要为能够使着落在被喷出面上的液滴(下层液状膜26L1及上层液状膜26L2的取向膜形成液F)流动的能量束(例如，非相干光、电子束、离子束、进而等离子体光等)即可。
在所述实施方式中，通过照射激光束B，将液状膜26L平坦化。不限于此，也可以在将液状膜26L平坦化后，照射照射强度强的激光束B，干燥液状膜26L。
在所述实施方式中，将沿激光束B(束光点Bs)的X箭头方向的扫描机构具体化为多面反射镜48。不限于此，例如，也可以通过由液晶等空间光调制器或衍射元件等构成的光学系统构成扫描机构，只要为能够将激光束B从叠层区域扫描到非叠层区域的扫描机构即可。
进而，如图15所示，也可以不设置所述扫描机构，而从各隆起部FDT(叠层区域)侧照射具有从各隆起部FDT(叠层区域)朝向对应的凹部FDB(非叠层区域)的方向的成分的激光束B。
或者，如图16所示，也可以不设置所述扫描机构，而成形从隆起部FDT沿对应的上层液状膜26L2的Y箭头相反方向侧延伸的带状的束光点Bs，通过取向膜形成面25a(衬底台33)的Y箭头方向的输送、即所述带状束光点Bs的相对扫描，将液状膜26L平坦化。
根据这些结构可知，能够通过更简便的结构，提高液状膜26L的平坦性、进而取向膜26的形状控制性。
在所述实施方式中，通过衬底台33，构成沿激光束B的Y箭头方向的扫描机构，相对液状膜26L，沿隆起部FDT相对地扫描激光束B。不限于此，例如，也可以不设置所述扫描机构，而成形在取向膜形成面25a的Y箭头方向的整个宽度上的带状的束光点Bs，对液状膜26L的Y箭头方向的整个宽度照射激光束B一次。
在所述实施方式中，将图案具体化为取向膜26(液状膜26L)。不限于此，也可以将取向膜形成液F变更为由各种膜形成材料构成的膜形成液，具体化为对置电极25等金属膜、或着色层24、罩面层、保护层等绝缘膜，进而也可以具体化为各种抗蚀剂膜。
在所述实施方式中，将束光点Bs成形为沿Y箭头方向延伸的带状，不过不限于此，例如，也可以是圆形或矩形的束光点。
在所述实施方式中，在液滴喷出装置30的承载器39上设置半导体激光器LD及照射口45。不限于此，半导体激光器LD或照射口45只要配置在液状膜26L的隆起部FDT附近的能够照射激光束B的位置即可，例如，也可以除了液滴喷出装置30之外，另行设置具备半导体激光器LD等的激光照射装置，并将由液滴喷出装置30形成的液状膜26L输送到所述激光照射装置进行平坦化。
在所述实施方式中，将能量束照射机构具体化为半导体激光器LD，不过不限于此，例如，也可以是二氧化碳激光器或YAG激光器，只要为输出能够使微小液滴Fb流动及干燥的波长区域的激光束的激光器即可。
在所述实施方式中，将电光装置具体化为液晶显示装置，将图案具体化为取向膜26。不限于此，例如，也可以将电光装置具体化为电致发光显示装置，将含有发光元件形成材料的微小液滴Fb喷出在发光元件形成区域，形成作为图案的发光元件。在该结构中，也能够提高发光元件的形状控制性，从而能够提高电致发光显示装置的生产率。
在所述实施方式中，将电光装置具体化为液晶显示装置，将图案具体化为取向膜。不限于此，也可以具体化为具备场效应型装置(FED或SED等)的显示装置的绝缘膜或金属配线的图案，所述场效应型装置具备平面状的电子释放元件，且利用从该元件释放的电子所产生的荧光物质的发光。