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1、(10)申请公布号 CN 103956299 A (43)申请公布日 2014.07.30 CN 103956299 A (21)申请号 201410124757.1 (22)申请日 2014.03.31 H01H 59/00(2006.01) (71)申请人 苏州锟恩电子科技有限公司 地址 215153 江苏省苏州市高新区通安镇华 金路 255-7 号 (72)发明人 杨俊民 (74)专利代理机构 南京纵横知识产权代理有限 公司 32224 代理人 董建林 (54) 发明名称 一种微机械 RF 开关 (57) 摘要 一种微机械 RF 开关， 其特征在于 ： 包括电容、 弹簧、 绝缘块、 触头。
2、、 RF 信号线， 其中电容由活动 极板和固定极板构成 ； 所述弹簧一端与固定点连 接， 一端与活动极板连接， 所述触头位于活动极板 下方， 触头与活动极板之间通过绝缘块隔离， 所述 固定极板位于活动极板与触头之间， 所述触头下 方设有RF信号线。 本设计采用静电驱动的开关结 构， 利用电容的静电吸引力和金属弹簧的弹性力， 实现开关的通断。具有快速、 低功耗的优点， 进一 步提高开关速率。 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 2 页 附图 1 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书1页 说明书2页 附图1页 (10)申请公布号 CN 1039。
3、56299 A CN 103956299 A 1/1 页 2 1. 一种微机械 RF 开关， 其特征在于 ： 包括电容、 弹簧、 绝缘块、 触头、 RF 信号线， 其中电 容由活动极板和固定极板构成 ； 所述弹簧一端与固定点连接， 一端与活动极板连接， 所述触 头位于活动极板下方， 触头与活动极板之间通过绝缘块隔离， 所述固定极板位于活动极板 与触头之间， 所述触头下方设有 RF 信号线。 2. 如权利要求 1 所述的一种微机械 RF 开关， 其特征在于 ： 在开所述弹簧在所述电容的 静电力作用下， 可产生拉长， 使所述触头发生平动， 触头与RF信号线接触， 实现RF信号线的 连通。 3. 如。
4、权利要求 1 所述的一种微机械 RF 开关， 其特征在于 ： 所述弹簧可在弹簧恢复力的 作用下， 可产生收缩， 使触头与 RF 信号线分离。 4. 如权利要求 1 所述的一种微机械 RF 开关， 其特征在于 ： 所述电容、 弹簧、 触头、 RF 信 号线金属部分为 Au， 所述绝缘块采用用 SU8 光刻胶。 权 利 要 求 书 CN 103956299 A 2 1/2 页 3 一种微机械 RF 开关 技术领域 0001 本设计涉及一种微机械 RF 开关， 属于射频电子技术领域。 背景技术 0002 微机械 RF 开关通常的驱动方法有静电驱动、 压电驱动、 电磁驱动及热驱动等。静 电驱动利用带电。
5、体之间的静电力实现， 是 MEMS 开关中最简单和最常 用的驱动方式， 具有极低的功耗。静电驱动的接触式 MEMS 开关主要包括纵向和横向两 种结构。纵向接触是指开关动作方向垂直于衬底平面， 而横向接触是指开关动作方向平行 于衬底平面。横向结构在于电容极板面积小， 虽然阻尼减小， 但不易获得大的驱动力， 开关 速度不高， 需要进行设计优化。 发明内容 0003 针对现有技术的不足， 本设计的目的是提供一种微机械 RF 开关， 本文采用静电驱 动的横向开关结构， 利用平板电容的静电吸引力和金属弹簧的弹性力， 实现开关的通断。 0004 为实现上述目的， 本设计是通过以下技术手段来实现的 ： 一种。
6、微机械 RF 开关， 其特征在于 ： 包括电容、 弹簧、 绝缘块、 触头、 RF 信号线， 其中电容 由活动极板和固定极板构成 ； 所述弹簧一端与固定点连接， 一端与活动极板连接， 所述触头 位于活动极板下方， 触头与活动极板之间通过绝缘块隔离， 所述固定极板位于活动极板与 触头之间， 所述触头下方设有 RF 信号线。 0005 优选的， 所述的一种微机械 RF 开关， 其特征在于 ： 在开所述弹簧在所述电容的静 电力作用下， 可产生拉长， 使所述触头发生平动， 触头与RF信号线接触， 实现RF信号线的连 通。 0006 优选的， 所述的一种微机械 RF 开关， 其特征在于 ： 所述弹簧可在弹。
7、簧恢复力的作 用下， 可产生收缩， 使触头与 RF 信号线分离。 0007 优选的， 所述的一种微机械 RF 开关， 其特征在于 ： 所述电容、 弹簧、 触头、 RF 信号线 金属部分为 Au， 所述绝缘块采用用 SU8 光刻胶。 0008 本发明的有益效果是 ： 本设计采用静电驱动的开关结构， 利用电容的静电吸引力 和金属弹簧的弹性力， 实现开关的通断。具有快速、 低功耗的优点， 进一步提高开关速率 。 附图说明 0009 图 1 为本设计组成结构示意图。 0010 附图标号的含义如下 ： 1 固定点， 2 弹簧， 3 绝缘块， 4 触头， 5RF 信号线， 6-1 固定极 板， 6-2 活。
8、动极板。 具体实施方式 0011 下面将结合说明书附图， 对设计作进一步的说明。 说 明 书 CN 103956299 A 3 2/2 页 4 0012 如图 1 所示， 一种微机械 RF 开关， 其特征在于 ： 包括电容 6、 弹簧 2、 绝缘块 3、 触头 4、 RF 信号线 5， 其中电容由活动极板 6-2 和固定极板 6-1 构成 ； 所述弹簧 2 一端与固定点 1 连接， 一端与活动极板6-2连接， 所述触头4位于活动极板6-2下方， 触头4与活动极板6-2 之间通过绝缘块 3 隔离， 所述固定极板 6-1 位于活动极板 6-2 与触头 4 之间， 所述触头 4 下 方设有 RF 信。
9、号线 5。 0013 在开关闭合时， 在平板电容 6 的静电力作用下， 可动结构发生横向平 动， 触头 4 与 RF 信号线 5 接触， 实现了 RF 信号线 5 的连通 ； 当开关断开时， 在弹簧 2 恢 复力的作用下， 触头 4 与 RF 信号线 5 分离， 实现了电流的关断。 0014 优选的， 所述的一种微机械RF开关， 其特征在于 ： 在开所述弹簧2在所述电容6的 静电力作用下， 可产生拉长， 使所述触头 4 发生平动， 触头 4 与 RF 信号线 5 接触， 实现 RF 信 号线 5 的连通。 0015 优选的， 所述的一种微机械RF开关， 其特征在于 ： 所述弹簧2可在弹簧恢复力。
10、的作 用下， 可产生收缩， 使触头 4 与 RF 信号线 5 分离。 0016 优选的， 所述的一种微机械RF开关， 其特征在于 ： 所述电容6、 弹簧2、 触头4、 RF信 号线 5 金属部分为 Au， 所述绝缘块 3 采用用 SU8 光刻胶。 0017 SU8 光刻胶具有良好的机械强度和绝缘特性。 0018 以上显示和描述了本设计的基本原理、 主要特征及优点。本行业的技术人员应该 了解， 本设计不受上述实施例的限制， 上述实施例和说明书中描述的只是说明本设计的原 理， 在不脱离本设计精神和范围的前提下， 本设计还会有各种变化和改进， 这些变化和改进 都落入要求保护的本设计范围内。 本设计要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界 定。 说 明 书 CN 103956299 A 4 1/1 页 5 图 1 说 明 书 附 图 CN 103956299 A 5 。