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一种去除高纯水中痕量氨的方法,涉及一种去除高纯水除氨工艺。先将氨浓度为20250mg/L的水,按流量为1.02.0L/min泵入EDI。控制EDI电流1.03.0A,进水(淡室、浓室、极室)流量分别为0.91.8L/min、0.10.2L/min和0.05L/min。EDI浓室加盐浓度满足电导率为1000S/cm,浓室进水的电导率为61266S/cm等。随即监测淡室出水中总氨的浓度,能快速达到水中。