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1、10申请公布号CN104246980A43申请公布日20141224CN104246980A21申请号201380020953822申请日2013042461/638,89320120426US13/868,38520130423USH01L21/203200601H01L33/02200601H01L33/1220060171申请人应用材料公司地址美国加利福尼亚州72发明人朱鸣伟汪荣军纳格B帕蒂班德拉唐先明维韦卡阿格拉沃尔成雄马修蔡穆罕默德拉希德迪内希塞加尔普拉布兰姆加帕伊拉贾奥姆卡尔姆纳兰姆苏阿纳塔苏比玛尼74专利代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司11006代理人徐金国赵静54发明名。
2、称用于LED制造的PVD缓冲层57摘要描述利用物理气相沉积PVD形成的氮化铝缓冲层来制造氮化镓基发光装置。亦描述用于PVDALN缓冲层的工艺条件。亦描述用于PVD氮化铝缓冲层的基板预处理。在一实例中，制造缓冲层于基板上的方法包含预处理基板表面。所述方法亦包含随后利用氮基气体或等离子体从安置在物理气相沉积PVD腔室内的含铝靶材反应溅射氮化铝ALN层至基板表面上。30优先权数据85PCT国际申请进入国家阶段日2014102086PCT国际申请的申请数据PCT/US2013/0380342013042487PCT国际申请的公布数据WO2013/163323EN2013103151INTCL权利要求书。
3、1页说明书13页附图8页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书13页附图8页10申请公布号CN104246980ACN104246980A1/1页21一种制造缓冲层于基板上的方法，所述方法包含以下步骤预处理基板的表面；及随后，利用氮基气体或等离子体从安置在物理气相沉积PVD腔室内的含铝靶材反应溅射氮化铝ALN层于所述基板的所述表面上。2如权利要求1所述的方法，其中所述预处理的步骤在所述物理气相沉积腔室中执行。3如权利要求2所述的方法，其中所述预处理的步骤包含以下步骤将所述基板装载至所述物理气相沉积腔室的基座上，并施加偏压至所述基座以于所述基板的所述表面附近产生等离。
4、子体。4如权利要求3所述的方法，其中所述等离子体包含选自由氮自由基、氩自由基和氢自由基所组成的群组的自由基。5如权利要求3所述的方法，其中于所述基板的所述表面附近产生所述等离子体的步骤包含以下步骤从所述基板的所述表面移除表面污染或颗粒，并改变所述基板的所述表面的结构。6如权利要求3所述的方法，其中施加所述偏压至所述基座的步骤包含以下步骤施加约在5V至1000V的范围内的偏压达约在1秒至15分钟的范围内的持续时间。7如权利要求3所述的方法，其中执行所述预处理同时将所述基座的温度维持在约50至1000的范围内。8一种半导体设备，包含基板；及氮化铝ALN缓冲层，所述氮化铝缓冲层置于所述基板上，所述氮。
5、化铝缓冲层具有粗糙度小于约1纳米均方根的原子级平滑表面和在002方向的结晶定向，其中002峰的FWHM小于约200弧秒。9如权利要求8所述的半导体设备，其中所述氮化铝缓冲层具有小于约500纳米的厚度。10如权利要求8所述的半导体设备，其中所述氮化铝缓冲层在所述002方向的所述结晶定向具有小于约50弧秒的所述002峰的FWHM。11如权利要求8所述的半导体设备，进一步包含氮化镓GAN基装置，所述氮化镓基装置置于所述氮化铝缓冲层上。12如权利要求8所述的半导体设备，进一步包含预种晶层，所述预种晶层直接置于所述基板与所述氮化铝缓冲层之间。13一种制造缓冲层于基板上的方法，所述方法包含以下步骤形成预种。
6、晶层于基板的表面上；以及利用氮基气体或等离子体从安置在物理气相沉积PVD腔室内的含铝靶材反应溅射氮化铝ALN层于所述预种晶层上。14如权利要求13所述的方法，其中形成所述预种晶层的步骤包含以下步骤形成选自由AL、ALOX、SINX、ZNO、ZNS、ZRN和TIN所组成的群组的层。15如权利要求13所述的方法，其中形成所述预种晶层的步骤包含以下步骤无氮溅射毒化的含铝靶材。权利要求书CN104246980A1/13页3用于LED制造的PVD缓冲层0001相关申请案的交叉引用0002本申请案要求享有于2012年4月26日申请的美国临时专利申请案第61/638,893号的权益，将所述临时专利申请案的全。
7、部内容以引用方式并入本文中。技术领域0003本发明的实施例涉及III族氮化物材料，且尤其涉及利用物理气相沉积PVD形成的氮化铝缓冲层来制造氮化镓基发光二极管LED。背景技术0004IIIV族材料在半导体和相关产业，例如发光二极管LED中起越来越重要的作用。通常，难以在不形成缺陷或裂缝的情况下在异质基板FOREIGNSUBSTRATE上生长或沉积IIIV族材料称作异质外延。例如，在使用依次制造的材料层堆叠的许多应用中，对选定膜例如氮化镓膜的高质量表面保护不是简单的。在基板与装置层之间包含一或更多缓冲层是一种方式。然而IIIV族材料往往易受工艺条件影响，在制造工艺的特定时期必须小心避免此类条件。然。
8、而在许多应用中，避免敏感的IIIV族膜与潜在破坏条件相互作用也不是简单的。发明内容0005本发明的实施例涉及利用物理气相沉积PVD形成的氮化铝缓冲层来制造氮化镓基发光二极管LED。0006在一实施例中，制造缓冲层于基板上的方法包含预处理基板的表面。所述方法亦包含随后利用氮基气体或等离子体从安置在物理气相沉积PVD腔室内的含铝靶材反应溅射氮化铝ALN层于基板表面上。0007在一实施例中，半导体设备包括基板和置于基板上的氮化铝ALN缓冲层，ALN缓冲层具有粗糙度小于约1纳米均方根的原子级平滑表面和在002方向的结晶定向，其中002峰的FWHM小于约200弧秒。0008在一实施例中，制造缓冲层于基板。
9、上的方法包括形成预种晶层于基板表面上。所述方法亦包括利用氮基气体或等离子体从安置在物理气相沉积PVD腔室内的含铝靶材反应溅射氮化铝ALN层于所述预种晶层上。附图说明0009图1图示根据本发明一或更多实施例的基准BENCHMARK群集工具示意图、基准LED结构和基准时间对沉积图。0010图2A图示根据本发明一实施例的用于LED结构制造的群集工具示意图和对应的温度对时间图。0011图2B图示根据本发明一实施例的发光二极管LED结构和对应的时间对沉积图。说明书CN104246980A2/13页40012图3A至图3C图示根据本发明一实施例的用于PVD腔室的工艺配件截面图。0013图3D图示根据本发明。
10、一实施例的用于PVD腔室的功率输送源截面图。0014图4为根据本发明一实施例的适合用于制造III族氮化物材料的MOCVD腔室的示意截面图。0015图5为根据本发明一实施例的适合用于制造III族氮化物材料的HVPE腔室的示意截面图。具体实施方式0016描述利用物理气相沉积PVD形成的氮化铝缓冲层来制造氮化镓基发光二极管LED。以下说明阐述许多特定细节，比如工艺腔室配置和材料体系，以提供对本发明实施例彻底的理解。对本领域技术人员显而易见的是本发明的实施例可在没有这些特定细节的情况下被实施。在其他情况中，不详述诸如特定二极管配置之类的熟知的特征，以免让本发明的实施例变得晦涩难懂。另外，应理解各图所示。
11、各种实施例是示例性说明，而没有必要地按比例绘制。此外，本文实施例中可能未明确揭示其他布置和配置，但所述其他布置和配置仍被视为在本发明的精神和范围内。0017LED制造方法能包括在基板与未掺杂和/或掺杂氮化镓装置层之间形成氮化镓缓冲层。在本文所述的实施例中，氮化铝缓冲层用来取代基板与未掺杂和掺杂氮化镓装置层之间的此氮化镓缓冲层。氮化铝层可通过PVD工艺中的溅射沉积形成。这和通常在金属有机气相沉积MOCVD腔室或氢化物气相外延HVPE腔室中执行的制造III族氮化物缓冲层不相同。氮化铝层可通过从安置在PVD腔室内的氮化铝靶材非反应溅射形成，或者替代地，氮化铝层可通过从安置在PVD腔室内的铝靶材反应溅。
12、射及与氮基气体或等离子体反应来形成。0018根据一或更多实施例，本文描述用于GAN基装置的PVDALN缓冲层的工艺条件。根据一或更多相同或不同实施例，本文亦描述用于氮化镓基装置的PVD氮化铝缓冲层的基板预处理。0019本文所述一或更多实施例能让用于LED制造的多腔室制造工具有更高产量。另外，通过包括PVD形成的氮化铝层来取代氮化镓缓冲层，可使未掺杂和掺杂氮化镓装置层整体变薄。在特定实例中，未掺杂部分可变薄或完全消除。另外，可在与用于沉积氮化铝层的PVD沉积腔室相同的PVD沉积腔室中执行接收基板的初步溅射清洁，所述接收基板比如蓝宝石基板。此外，由于PVD氮化铝层可在低于300的温度下形成，故可减。
13、少LED制造的总体热预算。相比之下，典型氮化镓缓冲层在500至600之间形成。本文所述一或更多实施例能让诸如未掺杂和/或N型掺杂氮化镓之类的材料有更快的沉积速率，例如生长速率的两倍。在一些实施例中，因未掺杂和/或N型掺杂氮化镓层形成于氮化铝ALN缓冲层上，所述氮化铝ALN缓冲层可为在氮化铝ALN缓冲层上生长的未掺杂和/或N型掺杂氮化镓提供较佳的对准晶向和形貌关系，故可达成较快速率。由于许多所述操作在群集工具原位执行，因此本文所述一或更多实施例能免除氧化物移除操作。本文所述一或更多实施例可通过形成氮化镓于PVD形成的氮化铝缓冲层上而能够改善氮化镓结晶质量。0020本发明的实施例可提供在研究目前描。
14、述的系统和方法期间所研发的对基准系统或方法的改善。例如，图1图示根据本发明一或更多实施例的基准群集工具示意图、基准说明书CN104246980A3/13页5LED结构和基准时间对沉积图。0021参照图1，基准群集工具100包括未掺杂和/或N型氮化镓MOCVD反应腔室102MOCVD1UGAN/NGAN、多量子阱MQWMOCVD反应腔室104MOCVD2MQW和P型氮化镓MOCVD反应腔室106MOCVD3PGAN。基准群集工具100亦可包括负载锁定室108、承载盒110和选择性附加的未掺杂和/或N型氮化镓MOCVD反应腔室112以供大量应用，上述腔室皆绘于图1中。0022基准LED结构120包。
15、括各种材料层的堆叠，许多材料层包括IIIV族材料。例如，基准LED结构120包括硅或蓝宝石基板122基板蓝宝石、SI、20纳米厚的缓冲层124LT缓冲层和约4微米厚的未掺杂/N型氮化镓组合层126UGAN/NGAN。缓冲层124可以是以较低处理温度形成的氮化镓层。缓冲层124和未掺杂/N型氮化镓组合层126在基准群集工具100的未掺杂和/或N型氮化镓MOCVD反应腔室102中形成。基准LED结构120亦包括厚度在30纳米至500纳米的范围内的MQW结构128。MQW结构128在基准群集工具100的MQWMOCVD反应腔室104中形成。基准LED结构120亦包括约20纳米厚的P型氮化铝镓层130。
16、PALGAN和具有在50纳米至200纳米的范围内的厚度的P型氮化镓层132PGAN。P型氮化铝镓层130和P型氮化镓层132在基准群集工具100的P型氮化镓MOCVD反应腔室106中形成。0023基准时间对沉积图140表示基准群集工具100的腔室使用。在MQWMOCVD反应腔室104中形成MQW结构128的生长时间为约2小时。并且，在P型氮化镓MOCVD反应腔室106中形成P型氮化铝镓层130和P型氮化镓层132的生长时间为约1小时。同时，在未掺杂和/或N型氮化镓MOCVD反应腔室102中形成缓冲层124和未掺杂/N型氮化镓组合层126的生长时间为约35小时。可能需要额外的约1小时用于腔室10。
17、2的腔室清洁。故总体而言，在基准群集工具100中制造基准LED结构120的周期时间受制于未掺杂和/或N型氮化镓MOCVD反应腔室102的周期时间，未掺杂和/或N型氮化镓MOCVD反应腔室102的周期时间是大约45小时。应理解清洁时间可但未必包括关机时间、附加清洁时间、附加恢复时间。亦应理解以上可代表平均值，因为可能不会在每次腔室使用之间都进行清洁。0024以下提供如结合图1所述的用于LED材料沉积的基准时序，所述时序特定关于在未掺杂和/或N型氮化镓MOCVD反应腔室102中形成缓冲层124和未掺杂/N型氮化镓组合层126。例如，约35小时的生长时间被分成10分钟的高温处理蓝宝石基板、5分钟的低。
18、温形成缓冲层、10分钟的缓冲退火操作、30分钟的生长恢复操作、2小时的未掺杂/N型氮化镓组合层形成操作和30分钟的变温TEMPERATURERAMP与稳定化操作例如以2/秒至3/秒升温。0025参照结合图1所述的基准系统和方法，基准方式可导致关于LED的各功能层的不平衡的时间流TIMEFLOW。例如，在未掺杂和/或N型氮化镓MOCVD反应腔室102中形成缓冲层124和未掺杂/N型氮化镓组合层126是35小时，在MQWMOCVD反应腔室104中形成MQW结构128是2小时，在P型氮化镓MOCVD反应腔室106中形成P型氮化铝镓层130和P型氮化镓层132是1小时。另外，如以上所提到的，在未掺杂和。
19、/或N型氮化镓MOCVD反应腔室102中的每次运行RUN之间可能需要额外的约1小时的腔室清洁也许包括抽气时间。可能需要这样的额外腔室清洁以避免基板污染。如此，用三个MOCVD腔室渐次生说明书CN104246980A4/13页6长PROGRESSIVEGROWTH结构120导致MQWMOCVD反应腔室104和P型氮化镓MOCVD反应腔室106有大量闲置时间，以致降低系统100的整体产量。0026在本发明的一方面中，通过用PVD溅射沉积能力或操作替代上述MOCVD材料生长能力或操作之一或之一的一部分，可提高用于制造LED结构的群集系统的产量。例如，图2A图示根据本发明一实施例的用于LED结构制造的。
20、群集工具示意图和对应的温度对时间图。图2B图示根据本发明一实施例的LED结构和对应的时间对沉积图。0027参照图2A，群集工具200包括PVD氮化铝溅射腔室202PVDALN、未掺杂和/或N型氮化镓MOCVD反应腔室204MOCVD1UGAN/NGAN、多量子阱MQWMOCVD反应腔室206MOCVD2MQW和P型氮化镓MOCVD反应腔室208MOCVD3PGAN。群集工具200亦可包括负载锁定室210、承载盒212和移送腔室214，上述腔室皆绘于图2A中。0028故根据本发明一实施例，多腔室系统包括具有金属铝靶材或复合铝靶材的PVD腔室和适于沉积未掺杂和/或N型氮化镓或二者的腔室。在一个实施。
21、例中，PVD腔室的靶材由氮化铝组成。在此实施例中，不需使用反应溅射，因为靶材由和所欲沉积的材料一样的材料组成。然而在替代的实施例中，使用由铝组成的靶材，且利用氮源或在存在氮源的情况下从铝靶材反应溅射氮化铝。在一个实施例中，如图2A所示，适用于沉积未掺杂或N型氮化镓的腔室是MOCVD腔室。然而在替代的实施例中，适用于沉积未掺杂或N型氮化镓的腔室是氢化物气相外延HVPE腔室。在一个实施例中，如图2A所示，PVD腔室和适用于沉积未掺杂或N型氮化镓的腔室被包括在群集工具配置内。然而在替代的实施例中，PVD腔室和适用于沉积未掺杂或N型氮化镓的腔室被包括在在线INLINE工具配置内。如本文所述的基于PVD。
22、的沉积工艺可在接近标准室温的温度下执行，或可在更高温度下执行。0029参照图2B，LED结构220包括各种材料层的堆叠，许多材料层包括IIIV族材料。例如，LED结构220包括硅或蓝宝石基板222基板蓝宝石、SI和具有在大约10纳米至200纳米的范围内的厚度的氮化铝层224ALN。氮化铝层224在群集工具200的PVD氮化铝溅射腔室202中通过溅射沉积形成。LED结构220亦包括约4微米厚的未掺杂/N型氮化镓组合层或仅N型氮化镓层226NGAN。未掺杂/N型氮化镓组合层或仅N型氮化镓层226在群集工具200的未掺杂和/或N型氮化镓MOCVD反应腔室204中形成。LED结构220亦包括具有在30。
23、纳米至500纳米的范围内的厚度的MQW结构228。MQW结构228在群集工具200的MQWMOCVD反应腔室206中形成。在一个实施例中，MQW结构228由INGAN势阱/GAN势垒材料层的一或多个场对ELDPAIR组成。LED结构220亦包括约20纳米厚的P型氮化铝镓层230PALGAN和具有在50纳米至200纳米的范围内的厚度的P型氮化镓层232PGAN。P型氮化铝镓层230和P型氮化镓层232在群集工具200的P型氮化镓MOCVD反应腔室208中形成。应理解上述厚度或厚度范围是示例性实施例，其他适当厚度或厚度范围亦视为在本发明实施例的精神和范围内。0030时间对沉积图240表示群集工具2。
24、00的腔室使用。在MQWMOCVD反应腔室206中形成MQW结构228的生长时间为约2小时。在P型氮化镓MOCVD反应腔室208中形成P型氮化铝镓层230和P型氮化镓层232的生长时间为约1小时。并且根据本发明的一实施例，在未掺杂和/或N型氮化镓MOCVD反应腔室204中形成未掺杂/N型氮化镓组合层或仅N型氮化镓层226的生长时间仅为约2小时。可能需要额外的约1小时用于腔室204的腔室清洁。然而应理解清洁时间可包括关机时间、附加清洁时间、附加恢复时间。亦应理解以说明书CN104246980A5/13页7上可代表平均值，因为可能不会在每次腔室使用之间都进行清洁。0031故并不在用于形成氮化镓层1。
25、26的MOCVD腔室中形成缓冲层，比如图1的缓冲层124，而是包括氮化铝缓冲层224且氮化铝缓冲层224在另一腔室中形成，特别地在PVD氮化铝溅射腔室202中形成。虽然排除抽气时间从约400托耳至约108托耳，ALN生长可能历经约5分钟，但在不同于MOCVD腔室1的腔室中形成ALN增加群集工具200的产量。例如，总体而言，在群集工具200中用于制造LED结构220的周期时间再次受制于未掺杂和/或N型氮化镓MOCVD反应腔室204的周期时间，对应基准系统的45小时，未掺杂和/或N型氮化镓MOCVD反应腔室204的周期时间减为约3小时。如此，除三个MOCVD腔室外还用一个PVD腔室渐次生长结构22。
26、0使MQWMOCVD反应腔室206和P型氮化镓MOCVD反应腔室208的闲置时间少很多，从而提高系统200的整体产量。例如，在一个实施例中，工具产量从每天约53次运行增加至每天约8次运行，表明产量增加约50。0032再次参照图2A，提供用于在群集工具200中制造LED结构的代表性温度对时间图250。图250的区域252特定关于在未掺杂和/或N型氮化镓MOCVD反应腔室204中形成的未掺杂/N型氮化镓组合或仅N型氮化镓层226的形成。在此区域中只需变温一次从约1100降温至约400。此单一变温过程要求SINGLERAMPEVENTREQUIREMENT与上述用于在未掺杂和/或N型氮化镓MOCVD。
27、反应腔室102中形成缓冲层124和未掺杂/N型氮化镓组合层126的时序成了鲜明对比。在此情况下，腔室始于高温供基板处理、降温供缓冲层制造、回升温度供氮化镓沉积及最后再次降温以达稳定。然而应注意在两种情况下，图250的特定关于形成MQW与PGAN的区域254和256将近乎相同。在一实施例中，参照图250的区域258，用于PVD形成的氮化铝的温度对时间图可包括高温HT或低温LT工艺，约在20至1200的范围内。0033除提高群集工具200的产量外，一个PVD腔室加上三个MOCVD腔室的工具配置可有额外的优势。例如，由于可需较少的反应气体输送到第一MOCVD腔室，故可节省成本。相较于像基准群集工具1。
28、00的腔室102一样专用于缓冲层与装置层的MOCVD腔室的建构时间和复杂度，PVD腔室的加工与设计可较简单。在以上工艺能减少装置层226的未掺杂氮化镓部分的厚度的情况下，可执行更简单彻底的回蚀ETCHBACK工艺。此亦可节省材料与操作成本，同时缩短周期时间。另外，通过用氮化铝缓冲层取代氮化镓缓冲层，可减少装置比如LED装置的有源层中的缺陷率。0034故根据本发明一实施例，多腔室系统包括具有氮化铝靶材的PVD腔室和用于沉积未掺杂或N型氮化镓的第一MOCVD腔室。多腔室系统亦包括用于沉积多量子阱MQW结构的第二MOCVD腔室和用于沉积P型氮化铝镓或P型氮化镓或二者的第三MOCVD腔室。在一个实施例。
29、中，具有氮化铝靶材的PVD腔室用于氮化铝的非反应溅射。在特定的此种实施例中，PVD腔室用于以约在20至200的范围内的略微升高的温度或低温非反应溅射氮化铝。在另一特定的此种实施例中，PVD腔室用于以约在200至1200的范围内的高温非反应溅射氮化铝。0035无论沉积温度为何，适于包括在LED结构220内的PVD沉积的氮化铝层在某些时候可能需要暴露至约在400至1400的范围内的高温，例如约900，以获得必要材料性质例如适当的缺陷密度、晶粒尺寸、晶向等。根据本发明一实施例，在制造附加层于氮化铝层上之前，对PVD沉积的氮化铝层执行快速热处理RTP工艺。RTP腔室则可在某种说明书CN10424698。
30、0A6/13页8程度上与上述LED结构220的制造工艺有关。在一个实施例中，工具比如包括PVD和三个MOCVD腔室的群集工具或在线工具亦包括RTP腔室。然而在替代的实施例中，RTP工艺在PVD腔室中执行。在另一替代的实施例中，激光退火能力与上述LED结构220的制造工艺有关。0036在第一方面中，描述用于PVD氮化铝缓冲层的基板预处理。此缓冲层可包括在例如GAN基装置内。在一实施例中，描述改善ALN材料性质的基板预处理工艺和用于此种基板预处理的硬件的细节。0037PVDALN可用作GAN基LED与供电装置的缓冲层，所述GAN基LED与供电装置生长在异质基板上，比如蓝宝石、硅等。PVDALN缓冲。
31、层可用于改善生长于缓冲层顶部的GAN层的材料质量，故可被包括以改善装置性能和可靠度。在典型的GAN在蓝宝石上的MOCVD生长中，PVDALN工艺可用于免除诸如基板预烘烤、低温MOCVD缓冲形成和某些变温操作之类的操作，但不限于此。此外，处理时间可缩短约1030。对GAN在硅上的生长而言，可能需要ALN层来保护硅基板免于镓引起的损坏，从别的基于外延生长的工艺算起，特别地当将腔室清洁时间也计入时，PVDALN层可节省约3小时至6小时。这样的工艺时间缩短可大幅提高系统产量。应理解PVDALN的结晶质量会直接影响生长于PVDALN上的GAN层的材料质量。故在一实施例中，如以下更加详细描述的，PVDAL。
32、N层提供高结晶质量及提高的工艺可重复性。0038在一实施例中，执行异质基板例如蓝宝石的预处理，以从异质基板移除表面污染与颗粒，并为接收AL与N原子准备表面来形成高度组织化的结晶结构的ALN结晶层。在一个这样的实施例中，基板预处理使例如通过PVD的ALN沉积能够具有小于约1纳米的表面粗糙度均方根，基于AFM和002XRDFWHM50弧秒。此外，亦可获得批次间、晶片间的高工艺可重复性和晶片内的高均匀度。0039在一实施例中，在PVD沉积腔室内原位执行基板预处理。在一个这样的实施例中，把基板装载至腔室内，施加偏压电压至腔室的基座，以于基板表面附近产生等离子体。在特定实施例中，产生的等离子体含有氮、A。
33、R、氢中的一或更多种物质或其他气体自由基与离子，这些物质可用于移除基板表面污染与颗粒以及改变基板的表面结构而确保基板与沉积的外延膜之间的较佳晶体定向。在一实施例中，调整等离子体密度、偏压和处理时间以有效清洁基板表面又不损坏基板表面例如，施加的偏压范围约从5V至1000V，处理时间范围约从1秒至15分钟。在一实施例中，相应电源的频率约在100千赫KHZ至100兆赫MHZ的范围内。在一实施例中，处理期间的基座温度范围约从50至1000。在一实施例中，使用的硬件包括腔室主体、一或更多电源、一或更多靶材、磁控管、基座、高温加热器等，上述硬件的实例更加详细地描述于下文。0040在一个这样的实施例中，利用。
34、上述操作与基板预处理工艺的组合，于批次间、晶片间可重复地执行高质量ALN沉积且晶片内高均匀度。在特定实施例中，具有XRD002FWHM200弧秒和XRD102FWHM300弧秒的高质量GAN随后生长于PVDALN层的顶部。在另一特定实施例中，具有XRD002FWHM100弧秒和XRD102FWHM150弧秒的高质量GAN随后生长于PVDALN层的顶部。在一实施例中，利用上述基板预处理减少或消除用常规制备的基板时常见的ALN与GAN晶体质量的变化。0041在第二方面中，描述用于形成物理气相沉积PVD氮化铝ALN缓冲层的工艺条说明书CN104246980A7/13页9件。此缓冲层可被包括在例如GA。
35、N基装置内。在一实施例中，为沉积具有某些特性与性质的ALN提供参数工艺窗口。0042发光二极管LED制造通常包括通过金属有机化学气相沉积MOCVD形成低温缓冲层于基板上。通过MOCVD沉积缓冲层后通常是形成有源装置层，例如未掺杂、SI掺杂的N型、MQW以及MG掺杂的P型GAN层。基板预烘烤一般在高温下执行例如高于约1050。相比之下，缓冲层的沉积一般在低温下执行例如约在500至600的范围内。这些工艺能计入全部MOCVD工艺时间的约1030。可通过异位EXSITU沉积缓冲层来提高MOCVD产量。故在一实施例中，如以下更加详细描述的，描述通过PVD形成的异位沉积的ALN缓冲层。在一个实施例中，P。
36、VD工艺在不同腔室中执行。0043在一实施例中，为形成具有ALN缓冲模板的基板提供工艺条件，所述具有ALN缓冲的基板适合用于GAN装置制造。在一个这样的实施例中，ALN缓冲层被形成具有粗糙度小于约1纳米均方根；由原子力显微镜测量的原子级平滑表面且具有在002方向的良好结晶定向由XRD衍射证明002峰的FWHM小于200弧秒。在特定的这样的实施例中，ALN膜厚小于约500纳米。0044在一实施例中，ALN缓冲层通过从安置在PVD腔室内的含铝靶材来反应溅射并与氮基气体或等离子体反应而形成。在一个这样的实施例中，把即将外延的EPITAXYREADY基板装载至PVD腔室内，并使用含铝靶材和含氮工艺气体。
37、沉积连续ALN膜于所述基板上。然而在另一实施例中，在沉积ALN之前，先沉积预种晶PRESEEDING层来保护基板表面，以能够沉积较高质量的ALN和/或使PVDALN层有快的沉积速率，所述预种晶层可由AL、ALOX、SINX、ZNO、ZNS、ZRN、TIN等组成。在一个特定实施例中，通过在无含氮气体的情况下溅射毒化的含AL靶材以减小的功率、压强或气流等形成预种晶层。沉积预种晶层后，在一实施例中，使用含AL靶材和含氮工艺气体沉积连续ALN膜于预种晶层上。0045在一实施例中，基板的选择包括但不限于蓝宝石、SIC、SI、金刚石、LIALO2、ZNO、W、CU、GAN、ALGAN、ALN、碱石灰/高硅。
38、玻璃、具有匹配的晶格常数与热膨胀系数的基板、与生长于基板上的氮化物材料相容的基板或根据生长于基板上的氮化物材料而被处理ENGINEERED的基板、在要求的氮化物生长温度下呈热与化学稳定的基板以及未图案化或图案化的基板。在一实施例中，靶材的选择包括，但不限于，含AL金属、合金、化合物，比如AL、ALN、ALGA、AL2O3等，且靶材可以II/IV/VI族元素掺杂，以改善层相容性与装置性能。在一实施例中，溅射工艺气体可包括，但不限于，比如N2、NH3、NO2、NO等的含氮气体和比如AR、NE、KR等的惰性气体。0046根据本发明一实施例，在沉积ALN缓冲层之前，通过原位和/或异位方式热例如快速热处。
39、理RTP、高温烘烤等、化学H2O2、H2SO4、HCL、HNO3、HF、NH4F、原子H等和/或物理例如预溅射等预处理基板。0047在一实施例中，PVD腔室阴极的电源包括具有约在0KW至20KW的范围内的功率和约在0MHZ至60MHZ的范围内的频率的RF电源。也包括具有大约在0KW至50KW的范围内的功率的DC电源，具有大约在0KW至50KW的范围内的功率、在约1KHZ至100KHZ的范围内的频率以及约在1至99的范围内的工作周期的脉冲式DC电源。在一个这样的实施例中，工艺起始顺序包括先开启RF电源、先开启DC电源或同时开启RF与DC电源。应理解可在开启电源之前、之后或同时开始流入含氮气体。在。
40、进一步的实施例中，电容调谐器连接至说明书CN104246980A8/13页10基座，以调整基板浮置电位并改变腔室中反应物的离子化比率、能量和迁移率，控制沉积膜应力，改善表面形貌与晶体质量及提高沉积速率等。0048在一实施例中，静电夹具用于控制晶片表面温度和晶片的均匀度。在一实施例中，沉积温度范围大约从200至550、550至1000或1000至1400。在一实施例中，沉积工艺范围大约从01毫托耳至100毫托耳。0049根据本发明一实施例，对溅射功率、基板偏压、气流、压强、温度和气体组成中的III/V族比率进行调整以使反应气体富含金属或N并促进垂直或侧向生长。在一实施例中，ALN缓冲层的沉积速率。
41、达到大于约所述速率在整个工艺过程中是可变的。在一实施例中，沉积的ALN膜的形成厚度范围大约从1NM至1000NM。0050在一实施例中，工艺终止包括先关闭RF电源、先关闭脉冲式DC电源或同时关闭RF与DC电源，且在关闭电源之前、同时或之后执行关闭工艺气体以控制表面形貌、化学计量和极性。在一实施例中，采用后工艺处理，所述后工艺处理包含热处理例如RTP、激光退火、高温烘烤等或化学处理基于溶液、基于气体等、原位与异位处理等。在一实施例中，通过靶材并入和/或气体管线输送来添加掺杂剂，以调整PVDALN膜的电气、机械和光学性质，例如以使所述膜适于在所述膜上制造III族氮化物装置。0051在一实施例中，沉。
42、积的PVDALN膜为单层、多层或多对交替层形式，各层具有在上述工艺条件过程制造的不同组成或性质。总体而言，在一实施例中，缓冲层形成工艺包括应力设计以获得具有目标压应力或拉应力例如约在10GPA至10GPA的范围内的膜。另外或替代地，可调整工艺以沉积具有大约在70至100的范围内的密度DENSITY的ALN膜。0052在一个这样的实施例中，利用以上操作与工艺的组合沉积厚度约40纳米的PVDALN膜，所述PVDALN膜具有非常平滑的表面例如05纳米，RMS和高材料质量002峰的FWHM50弧秒。在特定实施例中，高质量GAN膜002的FWHM200弧秒，102的FWHM300弧秒形成于PVDALN层。
43、上。在另一实施例中，高质量GAN膜002的FWHM100弧秒，102的FWHM150弧秒形成于PVDALN层上。故在一实施例中，不需要低温MOCVDGAN/ALN缓冲层。在一实施例中，相较于相同结构但未使用PVDALN层的LED，沉积于此种模板上的全部LED堆叠显示约10至45的亮度改善。0053适合安置PVD腔室和三个MOCVD腔室的示例性工具平台实施例包括OPUSTMADVANTEDGETM系统或CENTURATM系统，二者都可从加州圣克拉拉市的应用材料公司购得。本发明的实施例进一步包括整合计量INTEGRATEDMETROLOGY；IM腔室做为多腔室处理平台的部件。IM腔室可提供控制信号。
44、以容许适当控制整合沉积工艺，比如如本文所述的外延生长工艺或多段溅射工艺。IM腔室可包括计量设备，所述计量设备适于测量各种膜性质，比如厚度、粗糙度、组成，且IM腔室能进一步在真空下以自动方式表征光栅GRATING参数，比如临界尺寸CD、侧壁角度SWA、特征高度HT。实例包括，但不限于，光学技术，例如反射测量法与散射测量法。在特别有利的实施例中，采用真空内光学CDOCD技术，其中随着溅射和/或外延生长进行，监测形成于起始材料中的光栅特性。在其他实施例中，在处理腔室中执行计量操作，例如在处理腔室中原位执行计量操作而不是在不同的IM腔室中执行。0054多腔室处理平台比如群集工具200可进一步包括选择性。
45、的基板对准器腔室和说明书CN104246980A109/13页11容纳盒的负载锁定室，二者耦接至包括机械手的移送腔室。在本发明的一个实施例中，通过控制器提供多腔室处理平台200的适当控制。控制器可以是任何形式的通用数据处理系统之一，控制器能用于工业设定来控制各种子处理器和子控制器。通常，控制器包括中央处理单元CPU，CPU与存储器和在其他共用元件当中的输入/输出I/O电路通信。作为一实例，控制器可执行或以其他方式初始化本文所述的任何方法/工艺的操作的一或更多个操作。执行和/或初始化这些操作的任何计算机程序代码可表现成电脑程序产品。本文所述的每个电脑程序产品可由计算机可读取媒介例如软盘、光盘、D。
46、VD、硬盘驱动器、随机存取存储器等运行。0055适合用于本文所含的工艺和工具配置的PVD腔室可包括可从加州圣克拉拉市的应用材料公司购得的ENDURAPVD系统。ENDURAPVD系统提供较佳的电迁移抗性与表面形貌和低所有权成本与高系统可靠度。可以需要的压强和适当的靶材至晶片距离在工艺腔体中产生沉积物种的定向通量而在系统中完成PVD工艺的执行。与在线系统相容的腔室比如ARISTO腔室亦可从加州圣克拉拉市的应用材料公司购得，所述腔室提供自动装载及卸载能力和磁性载具输送系统，容许大幅缩短周期时间。AKTPIVOT55KVPVD系统亦可从加州圣克拉拉市的应用材料公司购得，AKTPIVOT55KVPVD。
47、系统具有用于溅射沉积的垂直平台。AKTPIVOT系统的模块架构实现明显变快的周期时间且能够有多种配置而最大化生产效率。不像传统在线系统，AKTPIVOT的平行处理能力消除由各膜层有不同工艺时间所造成的瓶颈。系统的类群集配置亦容许在个别模块维修期间持续操作。所包括的旋转阴极技术能使靶材利用率与传统系统比高近3倍。PIVOT系统的沉积模块以预溅射单元为特征，所述预溅射单元使得能够只使用一个基板来调理靶材，而非其他系统要达到相同结果时需要多达50个基板。0056在本发明的一方面中，设计适当的工艺配件对PVD工艺腔室中的RF腔室功能性而言很重要。作为一实例，图3A至图3C图示根据本发明一实施例用于PV。
48、D腔室的工艺配件的截面图。图3D图示根据本发明一实施例的用于PVD腔室的功率输送源的截面图。0057参照图3A至图3C，用于PVD腔室的工艺配件300包括第一部分图3A，第一部分具有上适配器302、下适配器304、下屏蔽件306和DTESC308。用于PVD腔室的工艺配件300亦包括第二部分图3B，第二部分具有靶材310、暗空间屏蔽件312和AL间隔件314。用于PVD腔室的工艺配件300亦包括第三部分图3C，第三部分具有盖环316和沉积环318。0058参照图3D，用于PVD腔室的功率输送源350包括RF匹配件352和RF馈送件354。源分配板356例如铝源分配板及接地屏蔽件358例如铝金属。
49、片和金属外壳360与环状磁体362亦包括在内。功率输送源350亦包括DC过滤器箱364和DC馈送件366。顶板368与分配板370和延伸块372、轴374与靶材376亦包括在内。0059参照图4说明且描述适合用作以上描述的MOCVD腔室204、206或208中的一或更多腔室的MOCVD沉积腔室的一实例。图4为根据本发明一实施例的MOCVD腔室的示意截面图。0060图4所示设备4100包含腔室4102、气体输送系统4125、远程等离子体源4126和真空系统4112。腔室4102包括腔室主体4103，腔室主体4103围住处理容积4108。喷头组件4104设置在处理容积4108的一端，基板载具4114设置在处理容积4108的另一端。下拱形说明书CN104246980A1110/13页12结构4119设置在下容积4110的一端，基板载具4114设置在下容积4110的另一端。基板载具4114图示为在处理位置中，但基板载具4114可移动到更低位置，例如可装载或卸载基板4140的位置。排气环420可围绕基板载具4114周边设置，以有助于防止在下容积4110中发生沉积，并亦有助于将废气从腔室4102引导至排气口4109。下拱形结构4119可由透明材料制成，比如高纯度石英，以允许光穿过而用于辐射加热基板4140。可由。