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基板检查装置.pdf

  • 上传人：1**
  • 文档编号：4727585
  • 上传时间：2018-11-02
  • 格式：PDF
  • 页数：15
  • 大小：2.55MB
    • 摘要
    申请专利号：

    CN201210439881.8

    		 申请日：

    2012.11.06
    公开号：

    CN103084341A

    		 公开日：

    2013.05.08
    当前法律状态：

    撤回

    		 有效性：

    无权
    法律详情：

    发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):B07C 5/344申请公布日:20130508|||实质审查的生效IPC(主分类):B07C 5/344申请日:20121106|||公开
    IPC分类号：

    B07C5/344; B07C5/02; B07C5/36; G01R31/02

    		 主分类号：

    B07C5/344
    申请人：

    日本电产理德株式会社
    发明人：

    岸田阳一
    地址：

    日本京都府
    优先权：

    2011.11.08 JP 2011-244200
    专利代理机构：

    北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363

    		 代理人：

    郭放;许伟群
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    内容摘要

    本发明提供一种由一台检查装置就能够应对各种检查要求的基板检查装置。基板检查装置的检查主体部具备：将被检查基板从搬入侧输送至搬出侧的输送区域；以及配置有用于对被检查基板进行规定检查的检查夹具的检查区域，进而还具备：第一输送装置，其配置于输送区域，并将被检查基板从搬入侧输送至搬出侧；以及第二输送装置，其以沿着与所述第一输送装置的输送方向垂直的方向输送被检查基板的方式被配置，并用于在第一输送装置的规定位置与检查区域内的配置有检查夹具的位置之间输送被检查基板，其中，所述第二输送装置具备保持被检查基板的把持装置。

    权利要求书

    权利要求书一种基板检查装置的检查主体部，具备：
    输送区域，其将被检查基板从搬入侧输送至搬出侧；以及
    检查区域，其配置有用于对所述被检查基板进行规定检查的检查夹具，
    所述检查主体部具备：
    第一输送装置，其配置于所述输送区域，并将所述被检查基板从所述搬入侧输送至所述搬出侧；以及
    第二输送装置，其以沿着与所述第一输送装置的输送方向垂直的方向输送所述被检查基板的方式被配置，并用于在所述第一输送装置的规定位置与所述检查区域内的配置有所述检查夹具的位置之间输送所述被检查基板，
    其中，所述第二输送装置具备保持所述被检查基板的把持装置。
    根据权利要求1所述的基板检查装置的检查主体部，其中，所述检查夹具包括：具有探头的夹具头部和针对探头进行信号切换的扫描块。
    根据权利要求1或2所述的基板检查装置的检查主体部，其中，所述第二输送装置的所述把持装置具备上侧的固定部和下侧的按压部，并通过所述下侧的按压部的转动来保持所述被检查基板或释放所述被检查基板。
    根据权利要求1至3中任一项所述的基板检查装置的检查主体部，其中，所述检查主体部的所述检查夹具具备CCD照相机，利用CCD照相机检测出所述被检查基板上的规定标记，而能够修正所述检查夹具在水平方向和垂直方向上的位置偏差和倾角偏差。
    一种基板检查装置，具备：
    搬入部，其具备用于逐个地搬入被检查基板的输送装置；
    根据权利要求1至4中任一项所述的检查主体部；以及
    分选存放部，其根据检查结果对在所述检查主体部中检查过的所述被检查基板进行分选并存放，
    其中，将所述被检查基板从所述搬入部提供至所述检查主体部的所述搬入侧，进而从所述搬出侧输送至所述分选存放部。
    根据权利要求5所述的基板检查装置，其中，
    所述检查主体部形成为长方体形状的框体，进而
    在所述框体的一方的所述搬入侧形成有与所述搬入部连通连接的入口部，
    在所述框体的另一方的搬出侧形成有与所述分选存放部连通连接的出口部，
    所述第一输送装置被配置成将所述被检查基板从所述入口部向所述出口部直线地输送，
    所述第二输送装置从所述第一输送装置的所述规定位置呈直角地配置，并使所述被检查基板在从所述第一输送装置的规定位置至所述检查区域内的配置有所述检查夹具的位置之间往复移动。
    根据权利要求5或6所述的基板检查装置，其中，所述搬入部具备用于吸住并抬起所述被检查基板并将其放置于所述输送装置上的吸引装置。
    根据权利要求5至7中任一项所述的基板检查装置，其中，所述分选存放部根据检查结果，将所述被检查基板分选为有可能断线、有可能短路或没有这些问题的基板来进行存放。
    一种检查基板并根据检查结果进行分选存放的方法，其包括：
    搬入工序，对被检查基板进行叠置并将其逐个地搬入至检查主体部；
    第一输送工序，将从所述搬入工序搬入的所述被检查基板直线状地输送至搬出工序；
    第二输送工序，在所述第一输送工序中的输送路径的规定位置，沿着与所述输送方向垂直的方向，将所述被检查基板输送至检查区域；
    对齐工序，在所述检查区域中，进行位于所述检查区域内的检查夹具与所述被检查基板之间的位置的对齐；
    检查和分选工序，在所述检查区域中，检查所述被检查基板的电气特性，并分选为有可能断线、有可能短路或没有这些问题的被检查基板；
    第三输送工序，将所述被检查基板从所述检查区域输送至所述第一输送工序的所述输送路径的规定位置；
    搬出工序，将所述被检查基板从所述检查区域搬出；以及
    存放工序，根据所述检查和分选工序中的结果，将经所述搬出工序搬出的所述被检查基板存放在各个分选的位置。

    说明书

    说明书基板检查装置
    技术领域
    本发明涉及对预先设定在检查对象物上的检查点之间的电气特性进行检测，来进行检查点之间的导通检查、漏电检查等的基板检查装置。
    背景技术
    基板检查装置具备夹具和检查装置，所述夹具上安装有多个接触件、探头、探针、接触销等。检查装置通过使夹具接近检查对象物而使接触件等的前端与检查点接触，并经由接触件等从检查装置向检查点供给电流或电信号，另一方面，从该检查点检测出电信号，由此检测出检查点之间的电气特性，来进行检查点之间的是否导通、是否漏电等的检查。
    作为对象物，可以例举出例如印刷布线基板、挠性基板、陶瓷多层布线基板、液晶显示器或等离子体显示器用的电极板、或半导体封装用的封装基板或膜载体（film carrier）等各种基板、半导体晶片或半导体芯片或CSP（chip size package：芯片尺寸封装）等的半导体装置（LSI（Large Scale Integration：大规模集成电路）等）。
    例如，在受检物是基板且搭载在其上的物品是IC等半导体电路或电阻等电子/电气部件的情况下，形成在基板上的布线、电极等成为检查的对象物。在此情况下，为了保证作为检查对象物的布线能够正确地将电信号传递给它们，测量设置在基板上的检查点之间的电阻值和漏电流等电气特性，来判断所述布线是否良好，所述基板是安装电子/电气部件之前的印刷布线基板、在液晶面板或等离子体显示面板上形成有布线的电路基板。
    在对象物是LSI的情况下，形成在LSI上的电子电路成为对象部，该电子电路的表面焊盘分别成为对象点。在此情况下，为了保证形成在LSI上的电子电路具有希望的电气特性，测量检查点之间的电气特性，判断该电子电路是否良好。
    在基板检查装置中，使用输送装置将基板从搬入装置输送至检查装置，并在检查装置中进行上述检查，然后利用输送装置将检查完的基板从检查装置输送至分选存放部。在分选存放部中，根据检查结果将基板分类至规定位置并收容。在检查装置中，当基板输送过来时，通过夹具移动装置使基板连接夹具的检查用连接端子（接触件、探头、探针、接触销等）移动至被检查基板的对象点并与对象点抵接来进行对象物的规定检查，当检查结束时，通过夹具移动装置使该夹具从对象点移动至待机位置。在规定的对象点的检查结束之前反复进行上述动作。
    ［专利文献］
    专利文献1：日本特开2010‑54228号公报  专利文献1中公开了一种电路基板检查装置，其具备一对保持基板的保持部、基板的输送机构和对接触位置的偏差进行修正的检查部。
    专利文献1的电路基板检查装置通过具备对接触位置的偏差进行修正的单元而提高了检查精度。近年来，为了反映经济状况的低迷而降低检查后的最终产品的价格，所以降低制造阶段中的费用的要求正在提高。
    发明内容
    本发明为了响应这种要求，其目的在于提供一种由一台检查装置就能够应对各种检查要求的基板检查装置。
    本发明的目的在于提供一种基板检查装置，其通过高速地进行基板检查而能够降低基板检查装置的运行成本。
    本发明的目的在于提供一种基板检查装置，其通过容易地进行夹具的组装和维修而能够降低基板检查装置的运行成本。
    此外，本发明的目的在于提供一种基板检查装置，其通过有效地控制检查时的夹具的动作而能够降低基板检查装置的运行成本。
    因此，本发明涉及的基板检查装置的检查主体部具备：输送区域，其将被检查基板从搬入侧输送至搬出侧；以及检查区域，其配置有用于对所述被检查基板进行规定检查的检查夹具，进而包括：第一输送装置，其配置于所述输送区域，并将所述被检查基板从所述搬入侧输送至所述搬出侧；以及第二输送装置，其被配置为沿着与所述第一输送装置的输送方向垂直的方向输送所述被检查基板的方式，并用于在所述第一输送装置的规定位置与所述检查区域内的配置有所述检查夹具的位置之间输送所述被检查基板，其中，所述第二输送装置具备保持所述被检查基板的把持装置。
    在上述的基板检查装置的检查主体部中，所述检查夹具可以具备：具有探头的夹具头部、以及针对探头进行信号切换的扫描块。
    在上述的基板检查装置的检查主体部中，所述第二输送装置的所述把持装置包括上侧的固定部和下侧的按压部，通过所述下侧的按压部的转动，能够保持所述被检查基板或释放所述被检查基板。
    在上述的任一个的基板检查装置的检查主体部中，所述检查主体部的所述检查夹具具备CCD照相机，通过CCD照相机检测出所述被检查基板上的规定标记，而能够修正所述检查夹具在水平方向和垂直方向上的位置偏差和倾角偏差。
    另外，本发明涉及的基板检查装置具备：搬入部，其具备用于逐个地搬入被检查基板的输送装置；如权利要求1至4中任一项所述的检查主体部；以及分选存放部，其根据检查结果对在所述检查主体部中检查过的所述被检查基板进行分选并存放，其中，将所述被检查基板从所述搬入部供给至所述检查主体部的所述搬入侧，进而从所述搬出侧输送至所述分选存放部。
    在上述的基板检查装置中，所述检查主体部形成为长方体形状的框体，进而，在所述框体的一方的所述搬入侧形成有与所述搬入部连通连接的入口部，在所述框体的另一方的搬出侧形成有与所述分选存放部连通连接的出口部，所述第一输送装置被配置成将所述被检查基板从所述入口部直线地输送至所述出口部，所述第二输送装置从所述第一输送装置的所述规定位置垂直地配置，并使所述被检查基板在从所述第一输送装置的规定位置到所述检查区域内的配置有所述检查夹具的位置之间往复移动。
    在上述的基板检查装置中，所述搬入部具备用于吸住并抬起所述被检查基板并放置于所述输送装置上的吸引装置。
    在上述的任一个基板检查装置中，分选存放部根据检查结果，将被检查基板分选为有可能断线、有可能短路或没有这些问题的基板来进行存放。
    另外，本发明涉及的检查基板并根据检查结果来分选存放的方法的特征在于包括：搬入工序，将被检查基板叠置并逐个地搬入至检查主体部；第一输送工序，将从所述搬入工序搬入的所述被检查基板直线状地输送至搬出工序；第二输送工序，在所述第一输送工序中的输送路径的规定位置上，沿着与所述输送方向垂直的方向，将所述被检查基板输送至检查区域；对齐工序，在所述检查区域中，进行位于所述检查区域内的检查夹具与所述被检查基板之间的位置的对齐；检查和分选工序，在所述检查区域中，检查所述被检查基板的电气特性，并分选为有可能断线、有可能短路或没有这些问题的被检查基板；第三输送工序，将所述被检查基板从所述检查区域输送至所述第一输送工序的所述输送路径的规定位置；搬出工序，将所述被检查基板从所述检查区域搬出；以及存放工序，根据所述检查和分选工序的结果，将从所述搬出工序搬出的所述被检查基板存放在各个分选的位置。
    根据本发明，能够提供一种由一台检查装置就能够应对各种检查要求的基板检查装置。
    根据本发明，能够提供一种基板检查装置，其通过以高速进行基板检查，能够降低基板检查装置的运行成本。
    根据本发明，能够提供一种基板检查装置，其通过容易地进行夹具的组装和维修，能够降低基板检查装置的运行成本。
    根据本发明，能够提供一种基板检查装置，其通过有效地控制检查时的夹具的动作，能够降低基板检查装置的运行成本。
    附图说明
    图1是表示本发明的一个实施方式涉及的基板检查装置的概要构成的平面图。
    图2是表示工件支架的把持部的一个实施方式的局部的概要构成的放大主视图。
    图3是从图1的3A‑3A线沿箭头方向观察到的检查主体部的简化后的放大图。
    图4是图1所示的基板检查装置的检查区域中、为了说明基板检查方法而将检查位置内的装置的局部简化来表示的放大主视图。
    图5A是用于说明基板检查中的被检查基板的检查对象区域和检查夹具的动作之间的关系的简化后的立体图。
    图5B是用于说明在被检查基板的检查对象区域不同的情况下检查夹具的动作和检查速度之间的关系的简化后的平面图。
    （附图标记说明）
    1基板检查装置，10搬入部，12检查主体部，12d检查区域，14分选存放部，18‑1、18‑2、18‑3、18‑4、18‑5输送机，20、20‑1、20‑2、20‑3、20‑4被检查基板，20p检查位置，21CCD照相机，22工件支架，23粘性辊，26U、26D检查夹具，27‑1、27‑2扫描块，28基座，34头部，42把持装置，p探头。
    具体实施方式
    以下，根据附图对本发明涉及的基板检查装置进行说明。另外，在各个附图中，为了便于理解，将各个部件的厚度、长度、形状及部件彼此的间距等进行适合地放大、缩小、变形、简化等。在各个附图中，对相同部件标注相同的符号并省略说明。
    ［基板检查装置的概要］
    图1表示本发明的一个实施方式涉及的基板检查装置1的概要构成。基板检查装置1具备搬入部10、检查主体部12和分选存放部14。
    搬入部10由于是将多个被检查基板叠置并从最上方的被检查基板开始逐个地按顺序送入到检查主体部12内，因此具备用于将叠置的被检查基板的最上方的被检查基板吸住并抬起的吸引装置（未图示）、以及用于将被检查基板逐个地送入到检查主体部12内的一对输送机18‑1。
    图1中表示了被检查基板20‑1是最上方的被检查基板。吸引装置吸住被检查基板20‑1上的规定的多个位置并抬起，将该基板的两侧端面放置于一对输送机18‑1上。将放置于输送机18‑1上的被检查基板20‑1通过输送机18‑1输送到检查主体部12内。
    检查主体部12形成为长方体形状的框体，并在与搬入部10连通连接的搬入侧具备入口部（未图示），经由该入口部从搬入部10搬入被检查基板。此外，检查主体部12具备：用于将被检查基板从搬入部10侧直线状地输送到分选存放部14的一对输送机18‑2、18‑3、18‑4（第一输送装置）；和用于对被检查基板进行检查的检查区域12d。在图1中表示在某个时刻，在各个输送机18‑2、18‑3、18‑4上分别放置有一个被检查基板20‑2、20‑3、20‑4的状态，但并不局限于此，也可以根据需要各个输送机输送规定个数的被检查基板。另一方面，从说明输送被检查基板的概念的观点出发，也可以理解为图1表示按顺序将一个被检查基板从20‑1输送至20‑4的状态。
    此外，检查主体部12具备一对输送装置19（第二输送装置），所述一对输送装置19用于将由一对输送机18‑3输送的被检查基板20‑3往复输送至位于正交方向上的检查区域12d内的规定的检查位置20p。在一对输送装置19上，设置有由点划线表示的工件支架22，通过移动该工件支架22而将被检查基板20输送至检查位置20p。关于工件支架22，将在后面叙述。
    在检查区域12检查过的被检查基板，通过一对输送装置19从检查位置20p被返送到一对输送机18‑3上，随后被输送至一对输送机18‑4，进而被输送至分选存放部14。在检查主体部12上，在框体的搬出侧形成有与分选存放部14连通连接的出口部（未图示），被检查基板经由该出口部从检查主体部12而被输送到分选存放部14。
    分选存放部14被划分为开路（OPEN）存放区域14‑1、漏电（LEAK）存放区域14‑2和合格（PASS）存放区域14‑3，并具备横穿这些区域的一对输送机18‑5。
    开路存放区域14‑1是存放检查结果被判断为有可能存在断线的被检查基板的区域，漏电存放区域14‑2是存放被判断为有可能存在漏电流、短路等的被检查基板的区域，合格存放区域14‑3是存放被判断为没有上述问题的被检查基板的区域。在检查主体部12中检查过的基板在放置于输送机18‑5上后，根据检查结果而被存放在任一个区域中。
    另外，可以在检查主体部12的入口设置有沿上下方向配置的一对粘性辊23，通过使被检查基板经过所述粘性辊23之间来除去灰尘、污垢等。
    （工件支架）
    工件支架22具备与一对输送装置19的各个对置地安装的把持装置42。在各个输送装置19上安装有三个至四个把持装置42，来把持被一对输送机18‑3输送的被检查基板20‑3的在输送方向的前后端面，换言之，把持检查基板20‑3的朝向基板检查装置1的搬入部10和分选存放部14侧的端面（图2）。可以对应于被检查基板的大小来改变所使用的把持装置的数量。
    如图2所示，各把持装置42具备上侧的固定部42f和下侧的按压部42g。在未保持被检查基板时，如点划线所示，下侧的按压部42g向下侧转动，使上侧固定部42f和下侧按压部42g之间开放。当被检查基板20‑3被放置于输送机18‑3上并抵达点划线所示的位置时，利用未图示的装置，点划线所示的被检查基板20‑3向上方被抬起。当该被抬起的被检查基板与上侧的固定部42f的下侧的面接触时，此时下侧的按压部42g转动并按压住被检查基板20‑3的下侧的面，由此，在上侧的固定部42f和下侧的按压部42g之间保持被检查基板20‑3。在该状态下，一对输送装置19移动工件支架22，而将被检查基板输送至检查区域的检查位置20p（图1）。
    ﹙检查区域﹚
    在检查区域12d中配置有上下配置的一对检查夹具26U、26D（图3）。各个检查夹具都具备基座28，在基座28上安装有对准用CCD照相机21、头部34和扫描块27‑1、27‑2。
    头部34保持与被检查基板上的规定的检查点接触的探头（接触件）。探头经由扫描块27‑1、27‑2与未图示的基板检查装置的控制装置连接，并在控制装置和探头之间进行基板检查用的信号的收发。此外，控制装置根据从探头接收的信号，确定将已检查过的基板存放在分选存放部14的开路存放区域14‑1、漏电存放区域14‑2或合格存放区域14‑3中的任一个中。当做该确定时，根据测试内容选择并使用例如施加测试电压：1至250V、设定电阻值：1Ω至10MΩ、测试电流：0.5mA至20mA等。
    对准用CCD照相机21通过检测出被检查基板上的规定的标记，来检测出头部34相对于被检查基板在垂直方向和水平方向上的位置的偏差、倾角等的偏差。根据这种检测信号，使基座28沿直线方向移动或转动来修正位置、倾角等，实现被检查基板的检查点和头部34的探头的前端位置的对齐。各个检查夹具26U、26D的移动例如由直线电机机构实现。
    扫描块27‑1、27‑2是针对发挥功能的探头进行信号的切换的电路装置。例如，如果本实施方式的各个扫描块能够同时进行最多8000个探头的信号的切换，则在一次扫描中，能够使最多16000个探头发挥功能来进行基板检查。因此，当增加安装在基座28上的扫描块的数量时，在计算上，一次能够同时扫描的探头的数量与所述扫描块的数量成比例。例如，如果再增设来两个具有相同性能的扫描块而总共具有四个扫描块，则在一次扫描中，能够同时扫描最多32000个检查点。但是，为了增设扫描块，有必要根据需要扩张基座，或考虑扫描块的重量来提高基座的刚性。但是，并非一定要在一次扫描中检查最大数量的检查点，而是也可以根据需要任意地选择一次扫描的检查点数量和反复扫描的次数。扫描块的功能和被检查基板上的检查点的数量之间的关系将根据图5A和图5B在后面叙述。
    图3是将从图1的3A‑3A线沿箭头方向观察到的、位于检查主体部12的检查区域12d中的装置的一部分简化表示的放大图。在图3中，检查区域12d位于箭头所示方向。在检查区域12d中，利用工件支架22将被检查基板20‑3输送到在上下位置上配置的检查夹具26U、26D之间。在各个检查夹具26U、26D上，由对准用CCD照相机21来检测出被检查基板上的规定的标记，并以此为基准，沿直线方向移动各个检查夹具26U、26D或转动检查夹具26U、26D，来进行位置、倾角等的修正，将检查夹具26U、26D配置在检查前的规定位置上。
    图4表示将检查夹具26U、26D配置在检查前的规定位置上的状态。如该图所示，被检查基板20‑3在由把持装置42保持两侧的侧面的状态下，被配置在检查夹具26U、26D的上下的头部34之间。探头p的前端部从各个头部34突出，当检查开始时，两个头部34同时接近被检查基板20‑3而使探头p的前端部与规定区块的检查点接触，并由基板检查装置的控制装置（未图示）进行信号的收发来进行基板的检查。根据需要，将头部34向相邻的区块移动并进行相同的检查。进而根据需要，如图3中的十字箭头所示，使检查夹具26U、26D移动，反复进行该步骤。
    （检查夹具）
    在各个检查夹具26U、26D上，扫描块27‑1、27‑2与头部34经由基座28和连接部32并通过电气布线相连接。在此情况下，在直接连接两者的情况下，能够将检查夹具作为8000个检查点用或16000个检查点用的专用机使用。代替此，如果使连接部32具有适配器功能并使头部34能够自由拆下，而且使探头能够再次使用，则能够廉价地应对针对所有被检查基板的检查。另外，代替此，当使连接部32具有转换功能时，无需改变布线，就能够应对针对所有被检查基板的检查。
    图5A是用于说明基板检查中的被检查基板的检查对象区域和检查夹具的动作之间的关系的简化的立体图。为了简化图面，仅表示了位于上方的检查夹具26U，而省略了下方的检查夹具26D，但对于下方的检查夹具26D来说，与上方的检查夹具26U相同的关系也成立。图5B是用于说明在被检查基板的检查对象区域不同的情况下，检查夹具的动作和检查速度之间的关系的简化的平面图。
    在图5A中，表示将被检查基板20的检查对象区域大致划分为三个区块20a、20b、20c来进行检查的情况。例如，在将各个扫描块用于3000个检查点的情况下，当检查对象区域的各个区块具有8000个检查点时，检查夹具的扫描块使用两个扫描块而对应于4000个检查点，并对每个区块扫描两次。具体而言，最初使头部34向检查对象区块20a的里侧一半部分移动并对该部分进行扫描，然后，使头部34向剩余一半的跟前侧部分移动并对该部分进行扫描。由此，完成检查对象区块20a的检查。接下来，使头部34向相邻的检查对象区块20b的里侧一半部分移动并对该部分进行扫描，然后，使头部34向剩余一半的跟前侧部分移动并对该部分进行扫描，而完成检查对象区块20b的检查。最后，再使头部34向相邻的检查对象区块20c的里侧一半部分移动并对该部分进行扫描，然后，使头部34向剩余一半的跟前侧部分移动并对该部分进行扫描，完成检查对象区块20c的检查。由此，完成被检查基板20的检查。
    在图5B（i）中，例如，在被检查基板上存在16000个检查点的情况下，如果检查夹具的扫描块的总数能够与其对应，就能够用一次扫描完成被检查基板的检查。
    在图5B（ii）中，例如，在被检查基板上存在16000个检查点的情况下，也可以将被检查基板分为两个区块来进行检查。在此情况下，当检查夹具的各个扫描块能够对应于8000个检查点时，使用一个扫描块就足够了。
    在图5B（iii）中，例如，在被检查基板上存在15000个检查点的情况下，也可以将被检查基板分为三个区块来进行检查。在此情况下，由于各个检查区块有5000个检查点，所以在检查夹具的扫描块能够应对8000个检查点时，使用一台扫描块的一部分，按顺序进行各个检查区块的扫描。
    在图5B（iv）中，例如，在被检查基板上存在16000个检查点的情况下，也可以将被检查基板分为四个区块来进行检查。在此情况下，由于各个检查区块有4000个检查点，所以在检查夹具的扫描块能够应对8000个检查点时，使用一台扫描块的一部分，进行各个检查区块的扫描。
    这样，利用一次扫描就能够扫描可与扫描块的检查点对应的最大数量的检查点。但是，即使是根据需要将检查对象区域划分为几个区块并采用几次的步骤进行检查，反复进行基于扫描夹具的扫描和移动的、从扫描开始至扫描结束时的时间也不会增加太多。例如，根据某个测试数据，在被检查基板上存在6000个检查点的情况下，对其扫描一次的时间约为9.9秒，而以每次扫描3000个检查点的方式分两次扫描该6000个扫描点的时间约为11.1秒，以每次扫描2000个检查点的方式分三次扫描该6000个扫描点的时间约为11.9秒，以每次扫描1500个检查点的方式分四次扫描该6000个扫描点的时间约为12.7秒，虽然当增加扫描次数时，到扫描完成时为止的时间变长，但不会与扫描次数成比例地增加延迟。
    ［基板检查方法的概要］
    说明使用基板检查装置1进行基板检查时的概要。
    首先，将被检查基板叠置在基板检查装置1的搬入部10上。在搬入部10，使用吸引装置吸住并抬起被叠置的被检查基板的在最上方的被检查基板20‑1，并将该基板的两侧端面放置于一对输送机18‑1上。被放置于输送机18‑1上的被检查基板20‑1从输送机18‑1经由检查主体部12的入口部输送到检查主体部12内（搬入工序）。
    作为第一输送工序，在检查主体部12内，将先搬入并放置于输送机18‑2上的被检查基板20‑2输送到下一个输送机18‑3上，与此同步地，将从搬入部10搬入的被检查基板20‑1替代被检查基板20‑2而输送到输送机18‑2上。
    将输送到输送机18‑3上的被检查基板20‑3从下方抬起，并如图2所示，将其输送到与设置在一对输送装置19上的工件支架22相对置的保持装置42之间。当该抬起的被检查基板20‑3的前后的边缘部与各个把持装置42的上侧的固定部42f的下侧的面相接时，下侧的按压部42g转动并按压住被检查基板20‑3的下侧的面，由此，在上侧的固定部42f和下侧的按压部42g之间保持被检查基板20‑3。在该状态下，一对输送装置19移动工件支架22，将被检查基板输送至检查区域的检查位置20p（图1）（第二输送工序）。
    当将被检查基板配置在检查位置20p时，一对检查夹具26U、26D配置在该被检查基板的上下。通过各个检查夹具的对准用CCD照相机21检测出被检查基板上的规定标记，并修正各个检查夹具的位置和倾角，由此，实现各个检查夹具的头部34的探头的前端位置和被检查基板的检查点之间的对齐（对齐工序）。
    当开始检查基板时，两个头部34接近被检查基板20‑3并使探头p的前端部与规定的区块的检查点接触，利用基板检查装置的控制装置（未图示）进行信号的收发来进行基板的检查。根据需要，将头部34向相邻的检查对象区块移动并进行相同的检查，进而根据需要，反复进行该移动。
    基板检查装置的控制装置根据由所述检查所获得的数据，确定将被检查基板存放在分选存放部14的开路存放区域14‑1、漏电存放区域14‑2或合格存放区域14‑3中的任一个。在该检查中，检查的结果，判断为被检查基板20‑3没有断线的可能性，也没有漏电、短路等的可能性，没有问题。根据该结果，基板检查装置的控制装置确定将被检查基板20‑3存放在合格存放区域14‑3内（检查和分选工序）。
    当基板检查结束时，检查夹具26U、26D离开被检查基板20‑3，输送装置19移动工件支架22，并将被检查基板20‑3返送到输送机18‑3上（第3输送工序）。当被检查基板20‑3抵达输送机18‑3上时，把持装置42的下侧的按压部42g向下侧转动并打开，释放被检查基板20‑3，并且下侧的保持装置（未图示）边保持被检查基板20‑3边将其载置在输送机18‑3上。
    当被检查基板20‑3载置在输送机18‑3上时，输送机18‑3经由检查主体部20的出口部输送该基板以便将其放置于下一个输送机18‑4上（搬出工序）。输送机18‑4进一步将该基板放置于分选存放部14的输送机18‑5上。输送机18‑5根据表示来自基板检查装置的控制装置的检查结果的信号，将被检查基板20‑3经过开路存放区域14‑1和漏电存放区域14‑2，而输送并存放在合格存放区域14‑3（存放工序）。
    以上，针对本发明涉及的基板检查装置的一个实施方式进行了说明，但本发明并不限定于该实施方式，本领域技术人员能够容易做到的追加、删除、改变等也包含在本发明中，此外，本发明的技术范围是由所附的权利要求书记载来规定的。

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