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1、(10)申请公布号 CN 104121899 A (43)申请公布日 2014.10.29 CN 104121899 A (21)申请号 201410171539.3 (22)申请日 2014.04.25 61/816,419 2013.04.26 US 13/925,741 2013.06.24 US G01C 19/5776(2012.01) (71)申请人 马克西姆综合产品公司 地址 美国加利福尼亚州 (72)发明人 M福利蒂 C罗萨迪尼 (74)专利代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 陈松涛 王英 (54) 发明名称 陀螺仪震动和扰动检测电路 (57) 摘要 本发明。
2、公开了一种陀螺仪震动和扰动检测电 路。本发明涉及集成电路, 更具体地, 涉及集成陀 螺仪感测电路的系统、 器件和方法, 所述陀螺仪感 测电路具有陀螺仪, 用以检测震动或扰动, 并准确 区分基于旋转的感测信号与由震动或扰动引起的 噪声。陀螺仪感测电路可以以差分或非差分解调 方案来实现, 且包括至少一个解调单元和峰值检 测器。至少一个解调单元以参考信号解调由陀螺 仪提供的陀螺仪输出信号。在经解调的陀螺仪输 出信号中, 震动信号或陀螺仪扰动信号基本上与 用以感测旋转速率的感兴趣的陀螺仪感测信号分 离。 峰值检测器采样经调制的陀螺仪输出信号, 确 定信号是否超过阈值电平 VTH, 并输出震动标记, 其。
3、指示相应的确定结果。 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 权利要求书 3 页 说明书 11 页 附图 10 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书3页 说明书11页 附图10页 (10)申请公布号 CN 104121899 A CN 104121899 A 1/3 页 2 1. 一种基于差分解调方案的陀螺仪感测电路, 包括 : 第一解调单元, 其被耦合以从陀螺仪接收陀螺仪输出信号, 所述第一解调单元使用第 一参考信号将所述陀螺仪输出信号解调为第一经解调的陀螺仪输出, 所述陀螺仪输出信号 包括震动信号和与感兴趣的旋转速率有关的多个陀螺仪感测信号 ; 第。
4、二解调单元, 其被耦合以接收所述陀螺仪输出信号, 所述第二解调单元使用第二参 考信号将所述陀螺仪输出信号解调为第二经解调的陀螺仪输出, 所述第一参考信号和所述 第二参考信号相对于陀螺仪的特征频率对称 ; 减法器, 其被耦合到所述第一解调单元和所述第二解调单元, 所述减法器对所述第一 经解调的陀螺仪输出和所述第二经解调的陀螺仪输出进行差分组合, 以分离所述震动信 号, 其中所述震动信号相对于所述特征频率不对称 ; 以及 峰值检测器, 其被耦合到所述减法器, 所述峰值检测器确定组合的陀螺仪输出是否超 过阈值电平, 并产生震动标记, 以警告主机异常震动或者扰动情形是否出现。 2. 根据权利要求 1 。
5、所述的陀螺仪感测电路, 其中, 所述多个陀螺仪感测信号相对于所 述特征频率对称, 并且受到所述减法器中的所述差分组合处理的抑制。 3. 根据权利要求 1 所述的陀螺仪感测电路, 其中, 所述陀螺仪输出信号进一步包括多 个陀螺仪扰动信号, 所述多个陀螺仪扰动信号与对所述陀螺仪的机械性能的扰动有关, 并 且因而相对于所述特征频率对称, 所述多个陀螺仪扰动信号也受到所述减法器中的所述差 分组合处理的抑制。 4. 根据权利要求 3 所述的陀螺仪感测电路, 其中, 所述震动信号在频谱中实质上接近 于所述多个陀螺仪扰动信号和所述多个陀螺仪感测信号中的至少一个信号。 5. 根据权利要求 3 所述的陀螺仪感测。
6、电路, 其中, 所述震动信号、 所述多个陀螺仪感测 信号和所述多个陀螺仪扰动信号中的至少一个信号与频带宽度相关联。 6. 根据权利要求 1 所述的陀螺仪感测电路, 其中, 所述第一参考信号和所述第二参考 信号分别与第一相位和第二相位相关联, 并且将所述第一相位和所述第二相位配置为中和 所述陀螺仪所具有的对相对于所述特征频率对称的信号的不同的滤波效果。 7. 根据权利要求 1 所述的陀螺仪感测电路, 其中, 将所述第一参考信号和所述第二参 考信号的至少其中之一的频率选择为 : 相比于与所述多个陀螺仪感测信号中的每一个陀螺 仪感测信号所具有的相应频率的接近程度而言, 更接近于所述震动信号的频率。 。
7、8. 根据权利要求 1 所述的陀螺仪感测电路, 其中, 所述第一解调单元进一步包括 : 第一电子混频器, 其组合所述第一参考信号与所述陀螺仪输出信号, 并相对于所述参 考信号的第一参考频率改变所述陀螺仪输出信号的频谱内容 ; 以及 第一低通滤波器, 其耦合到所述第一电子混频器, 所述第一低通滤波器采用第一滤波 器增益和第一截止频率, 所述第一滤波器增益和所述第一截止频率被配置为允许所述第一 低通滤波器以不同的方式处理所述多个陀螺仪感测信号和所述震动信号。 9. 根据权利要求 8 所述的陀螺仪感测电路, 其中, 所述第二解调单元进一步包括 : 第二电子混频器, 其组合所述第二参考信号与所述陀螺仪。
8、输出信号, 并相对于所述参 考信号的第二参考频率改变所述陀螺仪输出信号的频谱内容 ; 以及 第二低通滤波器, 其耦合到所述第二电子混频器, 所述第二低通滤波器采用第二滤波 器增益和第二截止频率, 所述第二滤波器增益和所述第二截止频率被配置为允许所述第二 权 利 要 求 书 CN 104121899 A 2 2/3 页 3 低通滤波器以不同的方式处理所述多个陀螺仪感测信号和所述震动信号。 10. 根据权利要求 9 所述的陀螺仪感测电路, 其中, 所述第一增益和所述第二增益被配 置为中和陀螺仪所具有的对相对于所述特征频率对称的信号的不同滤波效果。 11. 一种标记陀螺仪的输出中的震动的方法, 包括。
9、以下步骤 : 从所述陀螺仪接收陀螺仪输出信号, 所述陀螺仪输出信号包括震动信号和与感兴趣的 旋转速率有关的多个陀螺仪感测信号 ; 使用第一参考信号将所述陀螺仪输出信号解调为第一经解调的陀螺仪输出 ; 使用第二参考信号将所述陀螺仪输出信号解调为第二经解调的陀螺仪输出, 所述第一 参考信号和所述第二参考信号相对于陀螺仪的特征频率对称 ; 差分组合所述第一经解调的陀螺仪输出和所述第二经解调的陀螺仪输出, 以分离所述 震动信号, 其中所述震动信号相对于所述特征频率不对称 ; 以及 确定组合的陀螺仪输出是否超过阈值电平。 12. 根据权利要求 11 所述的方法, 其中, 所述陀螺仪输出信号进一步包括多个。
10、陀螺仪 扰动信号, 所述多个陀螺仪扰动信号与对所述陀螺仪的机械性能的扰动有关, 并且因而相 对于所述特征频率对称, 所述多个陀螺仪扰动信号也受到所述减法器中的所述差分组合处 理的抑制。 13. 根据权利要求 12 所述的方法, 其中, 所述震动信号在频谱中实质上接近于所述多 个陀螺仪扰动信号和所述多个陀螺仪感测信号中的至少一个信号。 14. 根据权利要求 11 所述的方法, 其中, 所述第一参考信号和所述第二参考信号分别 与第一相位和第二相位相关联, 并且将所述第一相位和所述第二相位配置为中和所述陀螺 仪所具有的对相对于所述特征频率对称的信号的不同的滤波效果。 15. 根据权利要求 11 所述。
11、的方法, 其中, 将所述第一参考信号和所述第二参考信号的 至少其中之一的频率选择为 : 相比于与所述多个陀螺仪感测信号中的每一个陀螺仪感测信 号所具有的相应频率的接近程度而言, 更接近于所述震动信号的频率。 16. 根据权利要求 11 所述的方法, 其中, 两个解调步骤中的任何一个都包括 : 将所述陀 螺仪输出信号与相应的参考信号混频的第一子步骤 ; 以及以相应的滤波器增益对经混频的 陀螺仪输出信号进行加权滤波的第二子步骤。 17. 一种陀螺仪感测电路, 包括 : 解调单元, 其被耦合以从陀螺仪接收陀螺仪输出信号, 所述陀螺仪输出信号包括陀螺 仪感测信号以及震动信号和多个陀螺仪扰动信号的至少其。
12、中之一, 所述解调单元使用参考 信号将所述陀螺仪输出信号解调为经解调的陀螺仪输出, 以便保持所述震动信号和所述多 个陀螺仪扰动信号的至少其中之一, 同时抑制与感兴趣的旋转速率有关的所述陀螺仪感测 信号 ; 以及 峰值检测器, 其耦合到所述解调单元, 所述峰值检测器确定所述经解调的陀螺仪输出 是否超过阈值电平, 并产生震动标记, 以警告主机异常震动或者扰动情形是否出现。 18. 根据权利要求 17 所述的陀螺仪感测电路, 其中, 所述解调单元进一步包括 : 电子混频器, 其组合所述参考信号与所述陀螺仪输出信号, 并相对于所述参考信号的 参考频率改变所述陀螺仪输出信号的频谱内容 ; 以及 低通滤波。
13、器, 其耦合到所述电子混频器, 所述低通滤波器采用滤波器增益和截止频率, 权 利 要 求 书 CN 104121899 A 3 3/3 页 4 所述滤波器增益和所述截止频率被配置为允许所述低通滤波器以不同的方式处理所述陀 螺仪感测信号以及所述震动信号和所述多个陀螺仪扰动信号的至少其中之一。 19. 根据权利要求 17 所述的陀螺仪感测电路, 其中, 所述陀螺仪感测信号的频率与所 述陀螺仪的特征频率以及使用陀螺仪检测的旋转速率的频率相关联。 20. 根据权利要求 17 所述的陀螺仪感测电路, 其中, 将所述参考信号的频率选择为 : 相 比于所述陀螺仪感测信号的第二频率, 更接近于所述震动信号和所。
14、述多个陀螺仪扰动信号 的至少其中之一的第一频率, 并且此外, 所述参考信号的频率需要足够远离所述陀螺仪的 峰值频率。 权 利 要 求 书 CN 104121899 A 4 1/11 页 5 陀螺仪震动和扰动检测电路 0001 相关申请的交叉参考 0002 本 申 请 根 据 35U.S.C.119(e) 要 求 享 有 于 2013 年 4 月 26 日 提 交 的 题 为 “Gyroscope Shock and Disturbance Detection Circuit” 、 序列号为No.61/816,419的临 时申请的权益, 其主题通过参考整体上并入本文中。 技术领域 0003 本发。
15、明涉及集成电路, 更具体地, 涉及检测陀螺仪受到的震动 (shock) 或扰动 (disturbance), 以及区分基于旋转的感测信号与由震动或扰动引起的噪声的系统、 器件和 方法。 背景技术 0004 微机电结构 (MEMS) 广泛地用作传感器来测量加速度、 旋转、 压力和许多其他物理 参数。通常使用显微机械加工工艺在硅衬底上形成 MEMS 器件, 其采用几微米的特征尺寸, 将机械移动转换为可以指示感兴趣参数的水平的电信号。具体地, 基于 MEMS 的陀螺仪器件 已经被开发出来并应用于监控器件相对于特定轴的旋转速率, 大量的消费性应用和汽车应 用已经成功采用了这种基于 MEMS 的陀螺仪器。
16、件。例如, 许多汽车集成了陀螺仪器件, 用于 车辆稳定性控制、 导航辅助、 负载均衡 / 悬架控制、 避免碰撞和倾翻检测。 0005 传统的基于 MEMS 的陀螺仪器件使用振动机械元件 ( 检测质量块 (proof mass) 来感测旋转速率。图 1A 示出了布置在旋转坐标系中的机械元件 100。驱动机械元件 100 在 第一正交轴 (x 轴 ) 上振荡, 随着坐标系相对于第二正交轴 (y 轴 ) 旋转, 由于科里奥利加速 度而引起了沿第三正交轴 (z 轴 ) 的振动。相应的惯性科里奥利力 FC可以表示为 : 0006 FC -2mv (1) 0007 其中, 是旋转速率, m 是机械元件 1。
17、00 的质量, v 是沿第一正交轴的振动速度。 0008 图 1B 示出了示例性振动陀螺仪器件 150, 其依靠静电驱动和电容感测来检测科里 奥利力。由布置在两个相反侧的梳状驱动器 154 驱动检测质量块 152 沿 x 轴振动。在衬底 与检测质量块 152 之间形成电容器。响应于相对于 y 轴的旋转, 检测质量块 152 朝向和远 离设置陀螺仪器件 150 的衬底振动, 因此, 电容器的间隙距离改变, 导致与科里奥利力相关 的电容变化。接口读出电路通常与陀螺仪器件 150 集成在一起, 以将这个电容变化转换为 陀螺仪感测信号, 其与科里奥利力的大小有关, 因此与相应的旋转速率有关。 0009。
18、 尽管陀螺仪感测信号包括与旋转速率有关的感兴趣的信息, 但同样由多个震动和 扰动源引起了噪声, 噪声可以显著损害旋转感测的精度。 特别是在汽车应用中, 震动鲁棒性 至关重要, 并且构成了关键特性, 因为必须强制实行严格的安全性限制, 以确保故障安全且 鲁棒的系统。 在这个环境下, 当震动或扰动的程度超过相应旋转感测系统容许的阈值时, 需 要标记震动或扰动的出现, 并将其用于指示输出了不可靠的和不可预测的速率信号。市场 上的许多现有陀螺仪器件采用了传感器或封装解决方案来改进器件自身的震动鲁棒性。 但 它们没有一个标记相对于特定容限的震动或扰动的出现并警告主机采取适合的对策。 说 明 书 CN 1。
19、04121899 A 5 2/11 页 6 发明内容 0010 本发明的多个实施例涉及集成电路, 更具体地, 涉及集成陀螺仪感测电路的系统、 器件和方法, 所述陀螺仪感测电路具有陀螺仪, 用以检测陀螺仪器件受到的震动或扰动, 并 准确区分基于旋转的陀螺仪感测信号与由震动或扰动引起的噪声。 陀螺仪感测电路特别利 用了这些信号相对于陀螺仪的特征频率的对称性。 0011 根据本发明的一个实施例, 基于差分解调方案来实现陀螺仪感测电路。两个解调 单元用于解调陀螺仪输出信号, 其包括震动信号和多个陀螺仪感测信号。相对于特征频率 对称的两个参考信号用于解调, 所得到的经解调的陀螺仪输出差分组合到减法器中,。
20、 以分 离相对于特征频率不对称的震动信号。 峰值检测器进一步确定组合陀螺仪输出是否超过阈 值电平, 并产生震动标记, 以警告主机异常震动或者扰动情形是否出现。 0012 根据本发明的另一个实施例, 基于非差分解调方案实现陀螺仪感测电路。陀螺仪 感测电路包括解调单元和峰值检测器。首先耦合解调单元以接收陀螺仪输出信号, 其包括 来自陀螺仪的多个陀螺仪扰动信号和震动信号的至少其中之一以及陀螺仪感测信号。 使用 参考信号来解调这个陀螺仪输出信号, 以便保持所述多个陀螺仪扰动信号和震动信号的至 少其中之一, 同时抑制与感兴趣的旋转速率有关的陀螺仪感测信号。峰值检测器确定经解 调的陀螺仪输出是否超过阈值电。
21、平, 并产生震动标记, 以警告主机异常震动或者扰动情形 是否出现。 0013 在此大致说明了本发明的某些特征和优点 ; 但对于参考了其附图、 说明书及权利 要求书的本领域普通技术人员而言, 本文提出的另外的特征、 优点和实施例将是显而易见 的。因此, 应理解, 本发明的范围不受在本发明内容部分中公开的具体实施例的限制。 附图说明 0014 将参考本发明的实施例, 其实例在附图中示出。这些附图旨在是说明性的而非限 制性的。尽管总体上在这些实施例的语境下说明了本发明, 但应理解其并非旨在将本发明 的范围局限于这些具体实施例。 0015 图 1A 示出了布置在旋转坐标系中的机械元件。 0016 图 。
22、1B 示出了示例性的振动陀螺仪器件, 其依靠静电驱动和电容感测来检测科里 奥利力。 0017 图 2 示出了根据本发明中多个实施例的示例性的旋转感测系统。 0018 图 3 示出了根据本发明中多个实施例的基于非差分解调方案的陀螺仪感测电路 的示例性方框图。 0019 图 4A 示出了根据本发明中多个实施例的耦合到旋转感测系统中的输入的第一示 例性频谱图。 0020 图 4B 示出了根据本发明中多个实施例的用于陀螺仪感测电路中的陀螺仪输出信 号和参考信号中的信号分量的第一示例性频谱图。 0021 图 4C 示出了根据本发明中多个实施例的示例性频谱图, 其表明用以将陀螺仪输 出信号中的震动信号与两。
23、个陀螺仪感测信号分离的机制。 0022 图 5A 示出了根据本发明中多个实施例的耦合到旋转感测系统中的输入的第二示 说 明 书 CN 104121899 A 6 3/11 页 7 例性频谱图。 0023 图 5B 示出了根据本发明中多个实施例的用于陀螺仪感测电路中的陀螺仪输出信 号和参考信号中的信号分量的第二示例性频谱图。 0024 图 5C 示出了根据本发明中多个实施例的示例性频谱图, 其表明用以将陀螺仪输 出信号中的两个陀螺仪扰动信号之一与两个陀螺仪感测信号分离的机制。 0025 图 6 示出了根据本发明中多个实施例的基于差分解调方案的陀螺仪感测电路的 示例性方框图。 0026 图 7A 。
24、示出了根据本发明中多个实施例的耦合到旋转感测系统中的输入的第三示 例性频谱图。 0027 图 7B 示出了根据本发明中多个实施例的用于陀螺仪感测电路中的陀螺仪输出信 号和两个参考信号中的信号分量的示例性频谱图。 0028 图 7C 示出了根据本发明中多个实施例的示例性频谱图, 其表明用以将陀螺仪输 出信号中的震动信号与陀螺仪感测和扰动信号分离的差分解调机制。 0029 图 8 示出了根据本发明中多个实施例的基于差分解调方案的陀螺仪感测电路的 另一个示例性方框图。 0030 图 9A 示出了根据本发明中多个实施例的用于标记旋转感测系统受到的扰动或震 动的方法的示例性流程图。 0031 图 9B 。
25、示出了根据本发明中多个实施例的用于标记旋转感测系统受到的震动的方 法的另一个示例性流程图。 具体实施方式 0032 在以下说明中, 处于解释的目的, 阐述了特定细节以提供对本发明的理解。 但对于 本领域技术人员来说, 显然, 可以无需这些细节来实践本发明。本领域技术人员会认识到, 可以以各种方式并使用各种手段来执行下述的本发明实施例。本领域技术人员还会认识 到, 另外的修改、 应用和实施例也在其范围内, 如同本发明可以应用于其中的另外的领域一 样。因此, 下述实施例用于例示本发明的特定实施例, 并且有意避免使得本发明难以理解。 0033 说明书中对 “一个实施例” 或 “实施例” 的提及表示结。
26、合所述实施例说明的特定特 征、 结构、 特性或功能包括在本发明的至少一个实施例中。 短语 “在一个实施例中” 、“在实施 例中” 等在说明书中多个位置的出现不一定全都指代相同的实施例。 0034 此外, 附图中部件之间或方法步骤之间的连接不局限于直接实现的连接。作为替 代, 图中所示的部件或方法步骤之间的连接可以通过为其增加中间部件或方法步骤来修改 或改变, 而不会脱离本发明的教导。 0035 本发明的多个实施例涉及集成电路, 更具体地, 涉及集成陀螺仪感测电路的系统、 器件和方法, 所述陀螺仪感测电路具有陀螺仪, 用以检测陀螺仪器件受到的震动或扰动, 并 准确区分基于旋转的陀螺仪感测信号与由。
27、震动或扰动引起的噪声。 除了基于旋转的陀螺仪 感测信号以外, 陀螺仪扰动信号或震动信号也可以包含在由陀螺仪器件提供给陀螺仪感测 电路的陀螺仪输出信号中, 但这些信号具有不同的频率量值和特性。当震动信号超过阈值 电平时, 陀螺仪输出信号被破坏, 从陀螺仪输出信号得到的旋转速率不再可靠。有时, 当一 个陀螺仪扰动信号超过阈值电平时, 也认为陀螺仪输出信号受到破坏。 说 明 书 CN 104121899 A 7 4/11 页 8 0036 根据本发明, 按照差分或非差分解调方案来配置陀螺仪感测电路, 且陀螺仪感测 电路施加至少一个参考信号以解调陀螺仪输出信号。 根据震动信号或陀螺仪扰动信号的频 率来。
28、选择至少一个参考信号的参考频率, 以便可以将震动或扰动信号与基于旋转的陀螺仪 感测信号分离。不间断地监控震动或扰动信号, 向依靠陀螺仪进行旋转感测的主机标记出 任何异常情形。 基于这种情形的检测, 主机可以采取适合的对策, 例如忽略受损陀螺仪输出 信号, 以确保旋转感测的准确性。 0037 图 2 示出了根据本发明中多个实施例的示例性旋转感测系统 200。旋转感测系统 200 包括陀螺仪器件 202 和陀螺仪接口电路 204, 其进一步包括驱动器电路 206 和陀螺仪感 测电路 208。根据本发明的多个实施例, 陀螺仪器件 202 是由微型制造工艺制造的 MEMS 器 件。驱动器电路 206 。
29、提供驱动信号, 以静电驱动包括在陀螺仪器件 202 中的检测质量块, 从 而驱动检测质量块沿旋转坐标系中的第一正交方向振荡。 驱动信号优选地具有与陀螺仪器 件 202 的特征频率 f0相一致的驱动频率。响应于相对于第二正交方向的旋转, 检测质量块 检查沿第三正交方向的物理位移及相应的电容变化。耦合陀螺仪感测电路 208 以感测电容 变化, 其与沿第三正交方向的相应科里奥利力相关联。 0038 陀螺仪 202 向陀螺仪感测电路 204 提供陀螺仪输出信号, 这个陀螺仪输出信号包 含从感兴趣的陀螺仪 202 的旋转速率得到的陀螺仪感测信号。在优选实施例中, 陀螺仪输 出信号仅与由科里奥利力所导致的。
30、电容变化相关联, 仅包含陀螺仪感测信号。但在许多情 况下, 可以包含震动或扰动, 并且不可避免地影响陀螺仪输出信号。因此, 陀螺仪输出信号 时常包括分别由震动或扰动引起的震动信号或陀螺仪扰动信号。 0039 根据本发明, 当包含在陀螺仪输出信号中的特定震动或扰动信号超过阈值电平 时, 陀螺仪感测电路 208 除了旋转感测以外, 还检测并标记不希望有的震动或扰动。在这种 环境下, 与陀螺仪输出信号相关的涉及旋转速率的有用信息受到过度震动或扰动信号的损 害, 并致使其不准确。因此, 采用旋转感测系统 200 的应用主机可以依靠由陀螺仪感测电路 208 产生的震动标记来确定陀螺仪输出信号是否需要被忽。
31、略并与感兴趣的旋转速率分离。 0040 陀螺仪器件 202 的机械结构理论上可以抽象地表示为混频器 202A 与低通滤波器 202B 的组合。混频器 202A 将驱动信号与旋转速率混频, 并产生中间陀螺仪输出信号, 其与 相应的科里奥利力相关联。进一步对中间陀螺仪输出信号进行滤波以产生陀螺仪输出信 号。低通滤波器 202B 与转移函数 Hp(s) 相关联, 其在峰值频率 f1具有谐振峰值。低通滤波 器 202B 的截止频率与峰值频率 f1基本上一致。陀螺仪器件 202 的特征频率 f0小于峰值频 率 f1, 从而陀螺仪输出信号可以准确地保留与旋转速率有关的感兴趣信息。在一个特定实 施例中, 特。
32、征频率 f0和峰值频率 f1分别为 20kHz 和 21kHz。 0041 可以进一步将模拟滤波器 210 布置在陀螺仪感测电路 208 的输入端处。模拟滤波 器 210 是低通滤波器, 用于在任何进一步的处理之前对陀螺仪输出信号进行滤波、 缩放或 放大。模拟滤波器 210 起到防混叠作用, 不影响陀螺仪输出信号的与旋转有关的频谱内容。 因此, 将模拟滤波器 210 的截止频率选择为大于特征频率 f0和峰值频率 f1。例如, 当陀螺 仪 202 的特征频率 f0和峰值频率 f1分别为 20kHz 和 21kHz 时, 可以将模拟滤波器 210 的截 止频率设定为 100kHz。 0042 在一。
33、些实施例中, 由陀螺仪 202 提供的陀螺仪输出信号是模拟信号。在模拟滤波 器210内的滤波和缩放/放大后, 陀螺仪输出信号转换为数字信号, 可以进一步在数字域中 说 明 书 CN 104121899 A 8 5/11 页 9 处理所述数字信号以获得旋转速率并产生标记输出。 0043 在某些实施例中, 陀螺仪器件 202 和陀螺仪接口电路 204 被制造在两个分离的衬 底上并被组装以形成混合形式的旋转感测系统 200。在一些其他实施例中, 使用包括多层 材料的微型制造工艺在单一衬底上制造陀螺仪器件 202 与陀螺仪接口电路 204。即使它们 可以占用衬底上物理分离的不同芯片区域, 也可以将陀螺。
34、仪器件 202 集成在陀螺仪接口电 路 204 的上面以节省芯片区域。对于这个垂直集成, 必须适当地设置陀螺仪器件 202 与接 口电路 204 的制造工艺、 材料层和结构。 0044 图 3 示出了根据本发明中多个实施例的基于非差分解调方案的陀螺仪感测电路 的示例性方框图300。 陀螺仪感测电路300产生震动标记, 其指示震动或扰动信号是否超过 阈值电平 VTH, 并且因此, 应用主机可以依靠震动标记来确定陀螺仪输出信号是否受损及需 要被忽略。 0045 陀螺仪感测电路 300 包括解调单元 302 和峰值检测器 304。解调单元 302 使用参 考信号来解调陀螺仪输出信号, 以便在经解调的。
35、陀螺仪输出信号内保持震动或扰动信号, 同时抑制陀螺仪感测信号。借助这个方法, 有效地从陀螺仪感测信号分离出震动或扰动信 号。峰值检测器 304 进一步检测经解调的陀螺仪输出信号的量值是否超过阈值电平 VTH, 并 产生相应的震动标记, 以警告主机异常震动或者扰动情形是否出现。 0046 解调单元 302 进一步包括电子混频器 306 和低通滤波器 308。电子混频器 306 将 参考信号与陀螺仪输出信号组合, 并相对于参考信号的参考频率 fR改变陀螺仪输出信号的 频谱内容。低通滤波器 308 采用增益 GLP和截止频率 fLP, 将它们设计为有区别地处理陀螺 仪输出信号中的震动或扰动信号和陀螺。
36、仪感测信号, 具体地, 以便保持或放大震动或扰动 信号的电平, 同时抑制陀螺仪感测信号的电平。 应用选择方法以确定参考频率fR、 截止频率 fLP和增益 GLP, 以下在图 4A-4C 和图 5A-5C 中详述了这个选择方法的相应的基本原理。 0047 峰值检测器 304 包括采样电路 310 和比较器 312。采样电路 310 采样从解调单元 302 接收的经解调的陀螺仪输出信号。比较器 312 将采样信号与阈值电平 VTH相比较, 并根 据比较结果产生震动标记。 0048 图 4A 示出了根据本发明中多个实施例的耦合到旋转感测系统中的输入的第一示 例性频谱图420。 借助与科里奥利力相关联。
37、的电容变化而并入了陀螺仪器件202的旋转, 其 通常具有相对低的旋转频率。 当主机是车辆时, 这个旋转与车辆运动直接相关联, 并且表 示提供者或主机用户感兴趣的有用信号。旋转速率通常位于频谱的较低端。在一些实施例 中, 可以将旋转频率 限制为 300Hz 以下。 0049 机械震动通常由主机受到的加速度激励或一般性振动引入到旋转感测系统 200。 震动无需陀螺仪器件 202 的机械调制而直接包含在陀螺仪输出信号中。因此, 与震动相关 联的震动频率fSK不受低通滤波器202B的限制, 在某些实施例中, 可以高于陀螺仪202的特 征频率 f0或峰值频率 f1。在一个实施例中, 当陀螺仪 202 的。
38、特征频率 f0和峰值频率 f1分 别为 20kHz 和 21kHz 时, 震动频率 fSK大致延伸达到 30kHz。 0050 图 4B 示出了根据本发明中多个实施例的用于陀螺仪感测电路中的陀螺仪输出信 号和参考信号中的信号分量的第一示例性频谱图 440。基于等式 (1), 将陀螺仪 202 的旋转 调制为两个陀螺仪感测信号, 它们围绕特征频率 f0对称。这两个陀螺仪感测信号的两个感 测频率分别为 f0 和 f0+, 在某些实施例中, 感测频率的范围可以从 DC 到 15kHz。另 说 明 书 CN 104121899 A 9 6/11 页 10 一方面, 震动信号不受陀螺仪 202 调制, 。
39、直接包含在陀螺仪输出信号中。第一陀螺仪感测 信号、 第二陀螺仪感测信号和震动信号构成从陀螺仪 202 接收的陀螺仪输出信号的信号分 量。 0051 鉴于所述信号分量, 特别将参考信号的参考频率 fR选择为相比于与两个陀螺仪感 测频率 f0 和 f0+ 中的任意一个的接近程度而言, 更接近于震动频率 fSK。另一方面, 参考频率 fR也需要足够远离陀螺仪 202 的峰值频率 f1。这尤其是由于如下事实 : 峰值频率 f1与陀螺仪 202 的本征振动模式相关联并且在这个峰值频率 f1周围会产生不希望有的杂 散放大响应。另一方面, 参考频率 fR距离震动频率不会远到以至于来自震动信号的响应也 会受影。
40、响。 0052 在某些实施例中, 震动信号不限于单一频率, 震动频率 fSK与带宽 BWSK相关联。仍 如上来类似地确定参考频率 fR, 但特别选择为接近于震动频率 fSK或在震动频率 fSK的频带 宽度内。 0053 图 4C 示出了根据本发明中多个实施例的示例性频谱图 460, 其表明用以将震动信 号与两个陀螺仪感测信号分离的机制。 震动信号和两个陀螺仪感测信号被相对于参考信号 进行转换, 并且在电子混频器 306 中改变为与其原始频率不同的频率。将特征频率 f0转换 为经解调的特征频率 |fR-f0|。类似地, 震动信号和两个陀螺仪感测信号的经调制的频率分 别为 |fR-fSK|、 |f。
41、R-(f0-)| 和 |fR-(f0+)|。使用绝对值, 因为在一些实施例中, 参考频率 fR小于震动频率 fSK或陀螺仪感测频率 f0。 0054 在这个实施例中, 参考频率 fR大于震动频率 fSK以及陀螺仪感测频率 f0 和 f0+。可以将震动信号和两个陀螺仪感测信号的经调制的频率分别简单地表示为 fR-fSK、 fR-(f0) 和 fR-(f0+)。 0055 将低通滤波器 308 的截止频率 fLP控制在经调制的震动频率 |fR-fSK| 与经调制的 陀螺仪感测频率即 |fR-(f0-)| 和 |fR-(f0+)| 之间。保持或以增益 GLP放大震动信号的 电平。相反, 抑制第一和第。
42、二陀螺仪感测信号。在基于混频和低通滤波的这种调制后, 分离 了陀螺仪输出信号中的震动信号, 峰值检测器 304 可以进一步确定震动信号是否超过阈值 电平 VTH。 0056 本领域技术人员知道, 当震动信号不由陀螺仪器件 202 调制并且在频谱上相对远 离陀螺仪感测信号时, 优选地应用陀螺仪感测电路 300。在震动频率 fSK与感测频率 f0 之间的差需要足够大, 以便可以将截止频率 fLP控制在它们之间的量值。 0057 在图 4C 中, 当震动频率 fSK实质上接近于感测频率 f0 和 f0+ 中的任意一个 时, 基于一个调制单元 302 的调制方法是不适用的。基于是否可以设计低通滤波器 。
43、308 的 截止频率fLP以区分相应的经调制的频率, 来确定震动频率与另一个频率的足够接近。 具体 地, 在与图 4C 相关的一个实施例中, 当经调制的震动频率 fR-fSK与经调制的陀螺仪感测频 率fR-f0-非常接近, 以至于不易于设计低通滤波器308来区分它们时, 对于基于单一调制 单元 302 的陀螺仪感测电路 300 而言就会出现难题。 0058 然而, 在一些实施例中, 除了感兴趣的主机的旋转以外, 陀螺仪 202 还会进一步耦 合旋转扰动。当主机是车辆时, 这种旋转扰动可以由内部车辆振动或陀螺仪封装的寄生振 动引起。具体地, 旋转扰动受陀螺仪 202 调制, 以产生陀螺仪扰动信号。
44、, 其具有相对于特征 频率 f0的对称扰动频率。 说 明 书 CN 104121899 A 10 7/11 页 11 0059 图 5A 示出了根据本发明中多个实施例的耦合到旋转感测系统中的输入的第二示 例性频谱图520。 除了感兴趣的旋转以外, 经由与科里奥利力相关联的电容变化还并入了对 于陀螺仪器件 202 的旋转扰动。这个旋转扰动具有扰动频率 fRD, 其通常位于中间频率范围 ( 例如 1-5kHz) 内。在许多实施例中, 扰动频率 fRD小于陀螺仪 202 的特征频率 f0。 0060 图 5B 示出了根据本发明中多个实施例的用于陀螺仪感测电路中的陀螺仪输出信 号和参考信号中的信号分量。
45、的第二示例性频谱图 540。类似地, 将陀螺仪 202 的旋转扰动 调制为两个陀螺仪扰动信号, 它们相对于特征频率 f0对称。这两个陀螺仪扰动信号的两个 陀螺仪扰动频率分别为 f0-fDR和 f0+fDR。这两个陀螺仪扰动信号和两个陀螺仪感测信号构 成了从陀螺仪 202 接收的陀螺仪输出信号中的信号分量。陀螺仪扰动信号相比于陀螺仪感 测信号距离特征频率 f0更远, 因为旋转扰动通常具有比感兴趣的旋转自身的频率更高的频 率。 0061 鉴于这些信号分量, 特别将参考信号的参考频率 fR选择为相比于与两个陀螺仪感 测频率 f0 和 f0+ 的接近程度而言, 更接近于两个陀螺仪扰动频率 f0-fDR。
46、和 f0+fDR中 的任意一个。具体地, 可以将参考频率 fR选择为小于特征频率 f0, 因此相比于与陀螺仪感 测频率f0的接近程度而言, 更接近于陀螺仪扰动频率f0-fDR。 要不然, 参考频率fR可以 选择为大于特征频率 f0, 因此相比于与陀螺仪感测频率 f0+ 的接近程度而言, 更接近于陀 螺仪扰动频率 f0+fDR。 0062 然而, 参考频率 fR需要足够远离陀螺仪 202 的峰值频率 f1, 以避免在这个峰值频 率处的与陀螺仪的本征振动模式相关联的不希望有的放大。另一方面, 这个参考频率 fR距 离陀螺仪扰动频率之一不会远到以至于来自扰动信号的响应会受影响。 0063 图 5C 。
47、示出了根据本发明中多个实施例的示例性频谱图 560, 其表明用以将两个 陀螺仪扰动信号之一与两个陀螺仪感测信号分离的机制。两个陀螺仪扰动信号和两个 陀螺仪感测信号被相对于参考信号 fR转换, 并且在电子混频器 306 中改变为与它们的 原始频率不同的频率。结果, 两个陀螺仪扰动信号的经调制的频率分别为 |fR-(f0-fRD)| 和 |fR-(f0+fRD)|, 而 两 个 陀 螺 仪 感 测 信 号 的 经 调 制 的 频 率 分 别 为 |fR-(f0-)| 和 |fR-(f0+)|。使用绝对值, 因为在一些实施例中, 参考频率 fR小于陀螺仪扰动频率 f0fRD 中的任一者或陀螺仪感测频。
48、率 f0 中的任一者。 0064 在这个实施例中, 参考频率 fR大于陀螺仪扰动频率 f0fRD与陀螺仪感测频率 f0。可以将陀螺仪扰动信号和两个陀螺仪感测信号的经调制的频率分别简单地表示为 fR-(f0-fRD) 和 fR-(f0+fRD)、 fR-(f0) 和 fR-(f0+)。 0065 将低通滤波器 308 的截止频率 fLP控制在经调制的陀螺仪扰动频率 ( 即 |fR-(f0-fRD)|和|fR-(f0+fRD)|)中的较小频率与经调制的陀螺仪感测频率(即|fR-(f0-)| 和 |fR-(f0+)|) 中的较小频率之间。保持或以增益 GLP放大一个陀螺仪扰动信号的电平, 相反, 抑。
49、制另一陀螺仪扰动信号和两个陀螺仪感测信号。在基于混频和低通滤波的这种调 制后, 分离出陀螺仪输出信号中的一个陀螺仪扰动信号, 峰值检测器 304 可以进一步确定 这个分离出的陀螺仪扰动信号是否超过阈值电平 VTH。 0066 本领域技术人员知道, 当陀螺仪扰动信号在频谱上相对远离陀螺仪感测信号时, 优选地应用陀螺仪感测电路300。 在扰动频率fRD与旋转频率之间的差需要足够大, 以便 可以将截止频率 fLP控制成它们之间的量值。因此, 在图 5C 中, 当扰动频率 fRD实质上接近 说 明 书 CN 104121899 A 11 8/11 页 12 于感测频率 时, 基于一个调制单元 302 的调制方法是不适用的。基于是否可以设计低通 滤波器308的截止频率fLP以区分相应的经调制的频率, 来确定震动频率与另一个频率的实 质接近程度。 具体地, 在与图5C相关的一个实施例中, 当经调制的陀螺仪扰动频率fR-f。