《激光光束转换装置及方法.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《激光光束转换装置及方法.pdf（15页完整版）》请在专利查询网上搜索。
1、(10)申请公布号 CN 102789066 A (43)申请公布日 2012.11.21 CN 102789066 A *CN102789066A* (21)申请号 201210151301.5 (22)申请日 2012.05.16 100117495 2011.05.18 TW G02B 27/28(2006.01) (71)申请人 旭丞光电股份有限公司 地址 中国台湾新北市土城区永丰路 173-8 号 (72)发明人 徐玉麟 陈强智 杨闵杰 郭静男 吴秉翰 简志维 张光博 (74)专利代理机构 北京同立钧成知识产权代理 有限公司 11205 代理人 臧建明 (54) 发明名称 激光光束转。
2、换装置及方法 (57) 摘要 本发明提供一种激光光束转换装置及方法， 该装置包含一极化偏转元件、 一分光元件、 一第一 光学模块、 一第二光学模块以及一第三光学模块。 极化偏转元件在接收一主激光光束后， 会将其转 换为具有一第一偏振方向的一第一次激光光束和 具有一第二偏振方向的一第二次激光光束， 并将 其朝分光元件射入。具有第一偏振方向的第一次 激光光束穿透分光元件， 并通过第三光学模块聚 焦于一第一焦点。具有第二偏振方向的第二次激 光光束经分光元件反射后， 依序经过第一光学模 块及第二光学模块的转换及反射， 并通过第三光 学模块聚焦于与第一焦点相异的一第二焦点。 (30)优先权数据 (51)。
3、Int.Cl. 权利要求书 2 页 说明书 6 页 附图 6 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 2 页 说明书 6 页 附图 6 页 1/2 页 2 1. 一种激光光束转换装置， 其特征在于， 包含 ： 一极化偏转元件， 用以接收一主激光光束并将其转换为具有一第一偏振方向的一第一 次激光光束及具有一第二偏振方向的一第二次激光光束 ； 一分光元件， 用以接收来自该极化偏转元件的该第一次激光光束及该第二次激光光 束， 且允许具有该第一偏振方向的该第一次激光光束穿透， 并反射具有该第二偏振方向的 该第二次激光光束 ； 一第一光学模块， 邻设在该分光元件的一第。
4、一侧边， 以接收并反射该第二次激光光 束 ； 一第二光学模块， 邻设在该分光元件的一第二侧边， 以接收并反射该第一次激光光束 及该第二次激光光束其中之一 ； 以及 一第三光学模块， 邻设在该分光元件的一第三侧边 ； 其中， 具有该第一偏振方向的该第一次激光光束及具有该第二偏振方向的该第二次激 光光束经该分光元件、 该第一光学模块、 该第二光学模块及该第三光学模块的转换后， 分别 聚焦于相异的一第一焦点及一第二焦点。 2. 根据权利要求 1 所述的激光光束转换装置， 其特征在于， 该第一侧边与该第二侧边 是为相对设置。 3. 根据权利要求 2 所述的激光光束转换装置， 其特征在于， 具有该第一偏。
5、振方向的该 第一次激光光束在穿透该分光元件后， 入射该第三光学模块。 4. 根据权利要求 3 所述的激光光束转换装置， 其特征在于， 该第一光学模块在接收具 有该第二偏振方向的该第二次激光光束后， 将其转换为具有该第一偏振方向的该第二次激 光光束， 且穿透该分光元件后朝该第二光学模块射入。 5. 根据权利要求 4 所述的激光光束转换装置， 其特征在于， 该第二光学模块在接收具 有该第一偏振方向的该第二次激光光束后， 将其转换为具有该第二偏振方向的该第二次激 光光束， 并反射至该分光元件。 6. 根据权利要求 5 所述的激光光束转换装置， 其特征在于， 该分光元件在接收来自该 第二光学模块的具有。
6、该第二偏振方向的该第二次激光光束后， 将其反射并朝该第三光学模 块射入。 7. 根据权利要求 1 所述的激光光束转换装置， 其特征在于， 该第一侧边与该第二侧边 是为相邻设置。 8. 根据权利要求 7 所述的激光光束转换装置， 其特征在于， 具有该第一偏振方向的该 第一次激光光束在穿透该分光元件后， 入射该第二光学模块。 9. 根据权利要求 8 所述的激光光束转换装置， 其特征在于， 该第二光学模块在接收具 有该第一偏振方向的该第一次激光光束后， 将其转换为具有该第二偏振方向的该第一次激 光光束， 并反射至该分光元件。 10. 根据权利要求 9 所述的激光光束转换装置， 其特征在于， 该分光元。
7、件在接收来自该 第二光学模块的具有该第二偏振方向的该第一次激光光束后， 将其反射并朝该第三光学模 块射入。 11. 根据权利要求 10 所述的激光光束转换装置， 其特征在于， 该第一光学模块在接收 具有该第二偏振方向的该第二次激光光束后， 将其转换为具有该第一偏振方向的该第二次 权 利 要 求 书 CN 102789066 A 2 2/2 页 3 激光光束， 且穿透该分光元件后朝该第三光学模块射入。 12. 根据权利要求 1 所述的激光光束转换装置， 其特征在于， 该第一光学模块包含一第 一次极化偏转元件和一第一反射元件， 且该第二光学模块包含一透镜、 一第二次极化偏转 元件和一第二反射元件。。
8、 13. 根据权利要求 12 所述的激光光束转换装置， 其特征在于， 该第一次极化偏转元件 及该第二次极化偏转元件都为穿透式极化偏转元件， 且该第一反射元件及该第二反射元件 都为反射镜。 14. 根据权利要求 1 所述的激光光束转换装置， 其特征在于， 该第一光学模块包含一第 三次极化偏转元件， 且该第二光学模块包含一透镜及一第四次极化偏转元件。 15. 根据权利要求 14 所述的激光光束转换装置， 其特征在于， 该第三次极化偏转元件 及该第四次极化偏转元件都为反射式极化偏转元件。 16. 根据权利要求 1 所述的激光光束转换装置， 其特征在于， 该极化偏转元件为穿透式 极化偏转元件， 且该第。
9、三光学模块为一透镜。 17. 根据权利要求 1 所述的激光光束转换装置， 其特征在于， 该主激光光束为具有单一 偏振方向的激光脉冲光束， 该第一偏振方向及该第二次偏振方向分别为 P 偏振方向及 S 偏 振方向， 且该分光元件为极化分光镜。 18. 一种激光光束转换方法， 其特征在于， 包含下列步骤 ： (a) 将一主激光光束转换为具有一第一偏振方向的一第一次激光光束及具有一第二偏 振方向的一第二次激光光束 ； (b) 将具有该第一偏振方向的该第一次激光光束聚焦于一第一焦点 ； 以及 (c) 将具有该第二偏振方向的该第二次激光光束聚焦于与该第一焦点相异的一第二焦 点。 19. 根据权利要求 18。
10、 所述的激光光束转换方法， 其特征在于， 该 (b) 步骤还包括 ： 将具有该第一偏振方向的该第一次激光光束直接聚焦于该第一焦点。 20. 根据权利要求 19 所述的激光光束转换方法， 其特征在于， 该 (c) 步骤还包括 ： 将具有该第二偏振方向的该第二次激光光束， 经过两次转换步骤与四次反射步骤后， 聚焦于与该第二焦点。 21. 根据权利要求 18 所述的激光光束转换方法， 其特征在于， 该 (b) 步骤还包括 ： 将具有该第一偏振方向的该第一次激光光束， 经过一次转换步骤与两次反射步骤后， 聚焦于该第一焦点。 22. 根据权利要求 21 所述的激光光束转换方法， 其特征在于， 该 (c)。
11、 步骤还包括 ： 将具有该第二偏振方向的该第二次激光光束， 经过一次转换步骤与两次反射步骤后， 聚焦于该第二焦点。 权 利 要 求 书 CN 102789066 A 3 1/6 页 4 激光光束转换装置及方法 技术领域 0001 本发明涉及一种激光光束转换装置及方法， 尤其涉及一种将一主激光光束转换为 具有一第一偏振方向的一第一次激光光束及具有一第二偏振方向的一第二次激光光束， 并 分别将其聚焦于一第一焦点及一第二焦点的激光光束转换装置及方法。 背景技术 0002 伴随着科技的进步， 各式科技产品主流趋势已逐渐朝轻薄短小的方向发展， 现有 的传统加工技术， 诸如模具冲压、 钻孔以及切削等等的方。
12、式， 因其精密度受限于本身的特 质， 已无法满足一般业界的需求以及消费者的期待。相比之下， 激光因为具有单色性、 低发 散性、 高能量密度以及高度相干性等特点， 因而赋予了激光加工技术具备如 ： 加工密度高、 可提供较精细的作业以及可进行非接触性加工等优势。进而， 激光加工技术已被广泛地应 用于现在的诸多产业之中， 并且已渐渐地取代传统的加工方式。 0003 不过， 纵然现今使用在产业的激光加工技术已具有相当成熟性， 但仍存在有其局 限， 例如现有技术在材料上进行激光加工以及量测作业时， 常需依据不同的外观设计， 在 同一区域上设定相异的焦点位置， 或在不同厚度上重复至少二次或以上的激光加工扫。
13、描步 骤， 尤其， 当被加工物的厚度或表面具有较大的数值变化时， 更是会倍数增加重复进行激光 加工扫描的次数， 因此， 由于前述激光加工扫描步骤次数的增加， 也就连带地使加工时间更 长， 从而导致生产效率的降低， 并且还可能进一步延伸出重复扫描时的定位偏移的问题。 0004 因此， 如何提供一激光光束转换装置及方法， 使入射的单一激光光束可形成具有 相异二焦点的二个次激光光束， 从而提高生产效率与加工品质， 则为业界所亟需共同努力 的目标。 发明内容 0005 本发明的一目的在于提供一种激光光束转换装置， 使入射的一单一主激光光束可 形成具有相异二焦点的二个次激光光束， 从而减少激光加工时所需。
14、的扫描次数， 以进一步 提高生产效率。 0006 本发明的又一目的在于提供一种可分别调整二个次激光光束的能量大小以及焦 点位置的激光光束转换装置， 使其可因应不同的加工需求， 针对相同的材料或表面进行相 异二焦点的激光加工及量测作业。 0007 为达到上述目的， 本发明提供的激光光束转换装置包含一极化偏转元件、 一分光 元件、 一第一光学模块、 一第二光学模块以及一第三光学模块 ； 0008 一极化偏转元件， 用以接收一主激光光束， 并将其转换为具有一第一偏振方向之 一的一第一次激光光束和具有一第二偏振方向之一的一第二次激光光束后射入分光元 件 ； 0009 一分光元件， 用以接收来自该极化偏。
15、转元件的该第一次激光光束及该第二次激光 光束， 且允许具有该第一偏振方向的该第一次激光光束穿透， 并反射具有该第二偏振方向 说 明 书 CN 102789066 A 4 2/6 页 5 的该第二次激光光束 ； 0010 一第一光学模块， 邻设在该分光元件的一第一侧边， 以接收并反射该第二次激光 光束 ； 0011 一第二光学模块， 邻设在该分光元件的一第二侧边， 以接收并反射该第一次激光 光束及该第二次激光光束其中之一 ； 以及 0012 一第三光学模块， 邻设在该分光元件的一第三侧边 ； 0013 其中， 具有该第一偏振方向的该第一次激光光束及具有该第二偏振方向的该第二 次激光光束经该分光元。
16、件、 该第一光学模块、 该第二光学模块及该第三光学模块的转换后， 分别聚焦于相异的一第一焦点及一第二焦点。 0014 本发明还提供一种激光光束转换方法， 该方法包括以下步骤 ： 0015 (a) 将一主激光光束转换为具有一第一偏振方向的一第一次激光光束及具有一第 二偏振方向的一第二次激光光束 ； 0016 (b) 将具有该第一偏振方向的该第一次激光光束聚焦于一第一焦点 ； 以及 0017 (c) 将具有该第二偏振方向的该第二次激光光束聚焦于与该第一焦点相异的一第 二焦点。 0018 为让上述目的、 技术特征、 和优点能更明显易懂， 下文将以较佳实施例配合所示附 图进行详细说明。 附图说明 00。
17、19 图 1 为本发明激光光束转换装置的立体示意图 ； 0020 图 2 为本发明激光光束转换装置实施例一的示意图 ； 0021 图 3 为本发明激光光束转换装置实施例二的示意图 ； 0022 图 4 为本发明激光光束转换装置实施例三的示意图 ； 0023 图 5 为本发明激光光束转换装置实施例四的示意图 ； 0024 图 6 为本发明激光光束转换方法实施例一的步骤示意图 ； 0025 图 7 为本发明激光光束转换方法实施例二的步骤示意图。 0026 附图标记说明 ： 0027 1 ： 激光光束转换装置 ； 0028 2 ： 主激光光束 ； 0029 21 ： 具有第一偏振方向 P 的第一次激。
18、光光束 ； 0030 22 ： 具有第二偏振方向 S 的第二次激光光束 ； 0031 23 ： 具有第一偏振方向 P 的第二次激光光束 ； 0032 24 ： 具有第二偏振方向 S 的第一次激光光束 ； 0033 3 ： 极化偏转元件 ； 0034 4 ： 分光元件 ； 0035 5 ： 第一光学模块 ； 0036 51 ： 第一次极化偏转元件 ； 0037 52 ： 第一反射元件 ； 0038 53 ： 第三次极化偏转元件 ； 说 明 书 CN 102789066 A 5 3/6 页 6 0039 6 ： 第二光学模块 ； 0040 61 ： 第二次极化偏转元件 ； 0041 62 ： 第二。
19、反射元件 ； 0042 63 ： 第一透镜 ； 0043 64 ： 第四次极化偏转元件 ； 0044 7 ： 第三光学模块 ； 0045 71 ： 第二透镜 ； 0046 8 ： 工件 ； 0047 81 ： 第一焦点 ； 0048 82 ： 第二焦点。 具体实施方式 0049 图 1 为本发明激光光束转换装置的立体示意图。如图 1 所示， 当一主激光光束 2 入射于激光光束转换装置1后， 其将通过激光光束转换装置1内部元件的反射及转换， 而成 为具有第一偏振方向 P 的第一次激光光束 21 和具有第二偏振方向 S 的第二次激光光束 22 后射出， 并分别在一工件8上形成一第一焦点81及与第一。
20、焦点81相异的一第二焦点82， 以 针对工件 8 的表面进行相异二焦点的激光加工作业， 进而提高生产效率。 0050 图 2 为本发明激光光束转换装置实施例一的示意图。如图 2 所示， 本发明的激光 光束转换装置 1 包含一极化偏转元件 3、 一分光元件 4、 一第一光学模块 5、 一第二光学模块 6 以及一第三光学模块 7。在本实施例中， 第一光学模块 5 与第二光学模块 6 相对设置， 且 第三光学模块 7 与极化偏转元件 3 相对设置。此外， 本发明的分光元件 4 具有允许具有第 一偏振方向 P 的激光光束穿透， 且反射具有第二偏振方向 S 的激光光束的特性。 0051 详细而言， 在本。
21、实施例中， 第一光学模块 5 较佳可包含一第一次极化偏转元件 51 和一第一反射元件 52， 第二光学模块 6 较佳可包含一第二次极化偏转元件 61、 一第二反射 元件 62 和一第一透镜 63， 且第三光学模块 7 较佳为一第二透镜 71。其中， 第一次极化偏转 元件 51 具有使具有第二偏振方向 S 的激光光束转换为具有第一偏振方向 P 的激光光束， 且 允许具有第一偏振方向 P 的激光光束穿透的特性。相似地， 第二次极化偏转元件 61 具有使 具有第一偏振方向 P 的激光光束转换为具有第二偏振方向 S 的激光光束， 且允许具有第二 偏振方向 S 的激光光束穿透的特性。 0052 以下将分。
22、别针对具有第一偏振方向 P 的第一次激光光束 21、 以及具有第二偏振方 向 S 的第二次激光光束 22 的光束行进路线进行说明。 0053 请再次参照图2， 并请同时参照图1。 首先， 当具有第一偏振方向P的第一次激光光 束 21 入射于分光元件 4 后， 由于分光元件 4 允许具有第一偏振方向 P 的激光光束通过， 所 以， 具有第一偏振方向 P 的第一次激光光束 21 穿透分光元件 4， 并通过第三光学模块 7( 即 第二透镜 71) 的作用， 聚焦在工件 8 上的第一焦点 81。 0054 在此同时， 当具有第二偏振方向 S 的第二次激光光束 22 入射于分光元件 4 后， 由 于分光。
23、元件 4 会反射具有第二偏振方向 S 的激光光束， 因此， 具有第二偏振方向 S 的第二次 激光光束 22 被分光元件 4 所反射， 继而进入第一光学模块 5。其后， 具有第二偏振方向 S 的 第二次激光光束 22 将被第一光学模块 5 的第一次极化偏转元件 51 转换成具有第一偏振方 说 明 书 CN 102789066 A 6 4/6 页 7 向 P 的第二次激光光束 23， 并经第一光学模块 5 的第一反射元件 52 反射后， 依序入射与穿 透第一次极化偏转元件 51 与分光元件 4， 而抵达相对于第一光学模块 5 设置的第二光学模 块 6。紧接着， 具有第一偏振方向 P 的第二次激光光。
24、束 23 将先通过第二光学模块 6 的第一 透镜63， 且第二光学模块6的第二次极化偏转元件61再次将具有第一偏振方向P的第二次 激光光束23转换为具有第二偏振方向S的第二次激光光束22， 并利用第二光学模块6的第 二反射元件 62 将其反射， 而依序入射及穿透第二次极化偏转元件 61 与第一透镜 63 后， 到 达分光元件 4。最后， 分光元件 4 将再次地反射具有第二偏振方向 S 的第二次激光光束 22， 并通过第三光学模块 7( 即第二透镜 71) 将其聚焦于与第一焦点 81 相异的第二焦点 82， 从 而完成本发明的将单一主激光光束 2 转换为具有二相异焦点的二个次激光光束的目的。 0。
25、055 在本实施例中， 设置在第二光学模块6的第一透镜63用以改变入射的具有第一偏 振方向 P 的第二次激光光束 23 的扩散角。藉此， 二相异的激光光束将会因为通过的透镜数 的不同， 而具有相异的扩散角， 进一步得以在工件 8 上形成水平位置相异的二焦点。此外， 若将极化偏转元件 3 旋转， 亦可协助调整具有第一偏振方向 P 的第一次激光光束 21 与具有 第二偏振方向 S 的第二次激光光束 22 间的能量比例， 以控制激光加工的深度。 0056 图 3 为本发明激光光束转换装置实施例二的示意图。如图 3 所示， 其中， 实施例二 的各元件的配置方式， 基本上相似于实施例一， 都包含极化偏转。
26、元件 3、 分光元件 4、 第一光 学模块 5、 第二光学模块 6 以及第三光学模块 7 等元件。并且同样地， 第一光学模块 5 与第 二光学模块 6 相对设置， 且第三光学模块 7 与极化偏转元件 3 相对设置。实施例二与实施 例一的相异处在于， 原本设置在实施例一的第一光学模块 5 所包含的第一次极化偏转元件 51 和第一反射元件 52 被一第三次极化偏转元件 53 取代， 而原本设置在第二光学模块 6 的 第二次极化偏转元件 61 和第二反射元件 62 被一第四次极化偏转元件 64 取代。如此一来， 第三次极化偏转元件 53 将同样具备将具有第二偏振方向 S 的第二次激光光束 22 转换。
27、为具 有第一偏振方向 P 的第二次激光光束 23 后并反射的功用， 且第四次极化偏转元件 64 亦同 样具备将具有第一偏振方向 P 的第二次激光光束 23 转换为具有第二偏振方向 S 的第二次 激光光束 22 后并反射的作用。 0057 由于实施例二所公开的元件数量较实施例一为少， 故其将有助于缩小激光光束转 换装置 1 的体积， 以进行更为精确的激光定位作业。 0058 图 4 为本发明激光光束转换装置实施例三的示意图。同样相似于实施例一， 激光 光束转换装置 1 包含极化偏转元件 3、 分光元件 4、 第一光学模块 5、 第二光学模块 6 以及第 三光学模块 7 等元件。然而， 与实施例一。
28、不同之处在于， 实施例三所公开的第一光学模块 5 与第三光学模块 7 相对设置， 且第二光学模块 6 与极化偏转元件 3 相对设置。此外， 由于实 施例三的各元件的较佳实施态样都与实施例一相同， 故各元件的功用在此不多赘述。 0059 以下将针对具有第一偏振方向 P 的第一次激光光束 21、 以及具有第二偏振方向 S 的第二次激光光束 22 在实施例三中的光束行进路线进行说明。 0060 如图 4 所示， 并请同时参照图 1。首先， 当具有第一偏振方向 P 的第一次激光光束 21 入射于分光元件 4 后， 由于分光元件 4 允许具有第一偏振方向 P 的激光光束通过， 所以， 具有第一偏振方向 。
29、P 的第一次激光光束 21 穿透分光元件 4， 而抵达相对于极化偏转元件 3 设置的第二光学模块 6。接着， 具有第一偏振方向 P 的第一次激光光束 21 将先通过第二光 学模块6的第一透镜63， 且第二光学模块6的第二次极化偏转元件61将具有第一偏振方向 说 明 书 CN 102789066 A 7 5/6 页 8 P 的第一次激光光束 21 转换为具有第二偏振方向 S 的第一次激光光束 24， 并利用第二光学 模块6的第二反射元件62将其反射， 而入射及穿透第二次极化偏转元件61与第一透镜63， 到达分光元件 4。之后， 分光元件 4 将反射具有第二偏振方向 S 的第一次激光光束 24， 。
30、并通 过第三光学模块 7( 即第二透镜 71) 将其聚焦于工件 8 的第一焦点 81。 0061 在此同时， 当具有第二偏振方向 S 的第二次激光光束 22 入射于分光元件 4 后， 由 于分光元件 4 会反射具有第二偏振方向 S 的激光光束， 因此具有第二偏振方向 S 的第二次 激光光束 22 被分光元件 4 所反射， 继而进入第一光学模块 5。其后， 具有第二偏振方向 S 的 第二次激光光束 22 将被第一光学模块 5 的第一次极化偏转元件 51 转换成具有第一偏振方 向 P 的第二次激光光束 23， 并经第一光学模块 5 的第一反射元件 52 反射后， 依序入射与穿 透第一次极化偏转元件。
31、51与分光元件4， 并通过第三光学模块7(即第二透镜71)将其聚焦 于与第一焦点81相异的第二焦点82， 从而完成本发明的将单一主激光光束2转换为具有相 异二焦点的二个次激光光束的目的。 0062 并且， 为进一步缩小激光光束转换装置 1 的体积， 亦可利用第三次极化偏转元件 53 取代原本设置在第一光学模块 5 内的第一次极化偏转元件 51 和第一反射元件 52， 并且 以第四次极化偏转元件 64 取代原本设置在第二光学模块 6 内的第二次极化偏转元件 61 和 第二反射元件62， 使其成为如图5所示的实施例四的态样。 此外， 由于实施例四的光束行进 路线都相同于实施例三， 故在此不多赘述。。
32、 0063 在本发明中， 主激光光束2为具有单一偏振方向的激光光束， 极化偏转元件3为一 1/2波片或其他等效元件， 且第一次极化偏转元件51及第二次极化偏转元件61为穿透式极 化偏转元件， 如 1/4 玻片或其他等效元件。同时， 第三次极化偏转元件 53 和第四次极化偏 转元件 64 则为反射式极化偏转元件， 如极化旋转镜或其他等效元件。第一反射元件 52 及 该第二反射元件 62 为反射镜或其他等效元件， 且分光元件 4 为极化分光镜。 0064 图6为本发明激光光束转换方法实施例一的步骤示意图。 请同时参照图2与图3。 当第一光学模块 5 与第二光学模块 6 相对设置， 且第三光学模块 。
33、7 与极化偏转元件 3 相对 设置时， 本发明的激光光束转换方法具有下列步骤 ： 0065 如步骤901所示， 将主激光光束2通过极化偏转元件3转换为具有第一偏振方向P 的第一次激光光束 21 及具有第二偏振方向 S 的第二次激光光束 22。接着如步骤 902 所示， 使具有第一偏振方向 P 的第一次激光光束 21 穿透分光元件 4， 并通过第三光学模块 7 直接 聚焦于第一焦点 81。最后， 如步骤 903 所示， 使具有第二偏振方向 S 的第二次激光光束 22， 在激光光束转换装置 1 内部经过两次转换步骤与四次反射步骤后， 通过第三光学模块 7 聚 焦于与第一焦点 81 相异的第二焦点 。
34、82。 0066 图7为本发明激光光束转换方法实施例二的步骤示意图。 请同时参照图4与图5。 当第一光学模块 5 与第三光学模块 7 相对设置， 且第二光学模块 6 与极化偏转元件 3 相对 设置时， 本发明的激光光束转换方法具有下列步骤 ： 0067 如步骤 901 所示， 将主激光光束 2 通过极化偏转元件 3 转换为具有第一偏振方向 P 的第一次激光光束 21 及具有第二偏振方向 S 的第二次激光光束 22。接着如步骤 904 所 示， 使具有第一偏振方向P的第一次激光光束21， 在激光光束转换装置1内部经过一次转换 步骤与两次反射步骤后， 通过第三光学模块 7 聚焦于第一焦点 81。之。
35、后， 如步骤 905 所示， 使具有第二偏振方向 S 的第二次激光光束 22， 在激光光束转换装置 1 内部经过一次转换步 说 明 书 CN 102789066 A 8 6/6 页 9 骤与两次反射步骤后， 通过第三光学模块 7 聚焦于与第一焦点 81 相异的第二焦点 82。 0068 综上所述， 本发明的特色在于 ： 通过入射单一主激光光束于本发明的激光光束转 换装置， 便可获得具有相异二焦点的二个次激光光束， 以针对相同物件的不同厚度或表面 进行加工及量测作业。换言之， 当本发明的激光光束转换装置 1 具有如图 2 所示的实施例 一及图 3 所示的实施例二的态样时， 通过主激光光束 2 所。
36、形成的具有第一偏振方向 P 与第 二偏振方向 S 的二个次激光光束将于激光光束转换装置 1 内传输。此时， 具有第一偏振方 向 P 的第一次激光光束将直接穿透分光元件 4， 并入射第三光学模块 7 而聚焦于第一焦点 81。并且， 具有第二偏振方向 S 的第二次激光光束将于激光光束转换装置 1 内完成两次的 转换步骤及四次的反射步骤后， 入射第三光学模块 7 而聚焦于第二焦点 82。 0069 另一方面， 当本发明的激光光束转换装置 1 具有如图 4 所示的实施例三及图 5 所 示的实施例四时， 通过主激光光束 2 所形成的具有第一偏振方向 P 与第二偏振方向 S 的二 个次激光光束将于激光光束。
37、转换装置 1 内传输， 此时， 该二个次激光光束都会于激光光束 转换装置 1 内各进行一次的转换步骤与两次的反射步骤后， 入射第三光学模块 7 并分别聚 焦于第一焦点 81 及第二焦点 82， 从而达到本发明的减少激光加工时的扫描次数， 同时提高 生产效率的目的。 0070 此外， 本发明所述的第一偏振方向与第二偏振方向并非被限制需具有如前所述的 态样。换言之， 第一偏振方向与第二偏振方向除可分别为 P 偏振方向与 S 偏振方向外， 两者 亦可相互交换， 使其分别为S偏振方向与P偏振方向， 如此的置换并不会对本发明的结果产 生影响。 0071 最后应说明的是 ： 以上各实施例仅用以说明本发明的。
38、技术方案， 而非对其限制 ； 尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明， 本领域的普通技术人员应当理解 ： 其 依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改， 或者对其中部分或者全部技术特征 进行等同替换 ； 而这些修改或者替换， 并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技 术方案的范围。 说 明 书 CN 102789066 A 9 1/6 页 10 图 1 说 明 书 附 图 CN 102789066 A 10 2/6 页 11 图 2 说 明 书 附 图 CN 102789066 A 11 3/6 页 12 图 3 说 明 书 附 图 CN 102789066 A 12 4/6 页 13 图 4 说 明 书 附 图 CN 102789066 A 13 5/6 页 14 图 5 说 明 书 附 图 CN 102789066 A 14 6/6 页 15 图 6 图 7 说 明 书 附 图 CN 102789066 A 15 。