《一种实验用校测装置.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《一种实验用校测装置.pdf（5页完整版）》请在专利查询网上搜索。
1、(10)申请公布号 CN 102607768 A (43)申请公布日 2012.07.25 CN 102607768 A *CN102607768A* (21)申请号 201210094170.1 (22)申请日 2012.04.01 G01L 27/00(2006.01) (71)申请人 常熟市虞华真空设备科技有限公司 地址 215500 江苏省苏州市常熟市虞山高新 技术产业园深圳路 70 号 (72)发明人 戴建新 (74)专利代理机构 南京苏高专利商标事务所 ( 普通合伙 ) 32204 代理人 柏尚春 (54) 发明名称 一种实验用校测装置 (57) 摘要 本发明公开了一种实验用校测装。
2、置， 包括高 真空室、 低真空室、 分子泵、 储气罐和机械泵， 所述 高真空室与低真空室通过三通球形膨胀阀和小 体积微调放气阀相连接， 所述机械泵前端设有一 个挡油阱。储气罐通过电磁阀与挡油阱相连接， 所述机械泵前端设有一个电磁放气阀。高真空 室和低真空室用不锈钢制造， 球体状， 球体内径为 350mm， 壁厚为 3mm， 内外表面作电解抛光处理。本 装置由高真空室和低真空室两个不锈钢球形机构 组成， 与单球结构相比， 其优点是既可单独进行高 真空计或低真空计的校准， 又可同时进行高低真 空计的校准， 提高了工作效率， 并且减少因低真空 校准对以后进行高真空校准的影响 ； 利用双球结 构， 增。
3、加了膨胀法的校准。 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 2 页 附图 1 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 1 页 说明书 2 页 附图 1 页 1/1 页 2 1. 一种实验用校测装置， 包括高真空室 (1)、 低真空室 (2)、 分子泵 (10)、 储气罐 (9) 和 机械泵(7)， 其主要特征在于 ： 所述高真空室(1)与低真空室(2)通过三通球形膨胀阀(17) 和小体积微调放气阀 (16) 相连接， 所述机械泵 (7) 前端设有一个挡油阱 (8)。 2. 根据权利要求 1 所述的一种实验用校测装置， 其特征在于 ： 所述高真空室。
4、 (1) 后侧 赤道左夹角 90处设有一只标准电离真空计 (5)， 后侧赤道右夹角 90处设有一只备用法 兰 (6)， 所述高真空室 (1) 上端设有三个管接头 (3)。 3. 根据权利要求 1 所述的一种实验用校测装置， 其特征在于 ： 所述低真空室 (2) 后侧 赤道左夹角 60处设有一只电容薄膜计 (14)， 后侧赤道中央设有标准薄膜规 (15)， 后侧赤 道右夹角60处设有一只标准压阻真空计(13)， 所述低真空室(2)上端设有一只高真空挡 板阀与三个管接头 (4) 相连接。 4. 根据权利要求 1 所述的一种实验用校测装置， 其特征在于 ： 所述储气罐 (9) 通过电 磁阀 (12)。
5、 与挡油阱 (8) 相连接， 所述机械泵 (7) 前端设有一个电磁放气阀 (11)。 5. 根据权利要求 1 所述的一种实验用校测装置， 其特征在于 ： 所述高真空室 (1) 和低 真空室 (2) 用不锈钢制造， 球体状， 球体内径为 350mm， 壁厚为 3mm， 内外表面作电解抛光处 理。 权 利 要 求 书 CN 102607768 A 2 1/2 页 3 一种实验用校测装置 技术领域 0001 本发明涉及一种高、 低真空检测装置， 尤其是一种实验用高、 低真空的校测的装 置。 背景技术 0002 目前的真空校测装置大都是单球体， 能够实现单独的高真空校测或者低真空校 测， 但是难以实现。
6、两者的有机结合。 目前的很多真空实验都对不同环境下的高、 低真空校测 提出了比较高的要求。 除了大部分的高、 低真空校测， 也要求在一定条件下进行膨胀法校准 功能。当同一个校准对象更换校准室的时候容易引起校测对象的部分变化， 可能导致实验 数据的不准。 0003 所以， 目前亟需一种能够选择性进行高真空校测、 低真空校测， 或者能够同时进行 的校测装置。 发明内容 0004 发明目的 ： 针对现有技术的不足， 我们经过长期的实践摸索， 创造了一种全新的实 验用校测装置。 0005 技术方案 ： 为了实现上述发明目的， 本发明所采用的技术方案为 ： 一种实验用校 测装置， 包括高真空室、 低真空。
7、室、 分子泵、 储气罐和机械泵， 所述高真空室与低真空室通过 三通球形膨胀阀和小体积微调放气阀相连接， 所述机械泵前端设有一个挡油阱。 0006 所述高真空室后侧赤道左夹角 90处设有一只标准电离真空计， 后侧赤道右夹 角 90处设有一只备用法兰， 所述高真空室上端设有三个管接头。所述低真空室后侧赤道 左夹角 60处设有一只电容薄膜计， 后侧赤道中央设有标准薄膜规， 后侧赤道右夹角 60 处设有一只标准压阻真空计， 所述低真空室上端设有一只高真空挡板阀与三个管接头相连 接。所述储气罐通过电磁阀与挡油阱相连接， 所述机械泵前端设有一个电磁放气阀。 0007 所述高真空室和低真空室用不锈钢制造， 。
8、球体状， 球体内径为 350mm， 壁厚为 3mm， 内外表面作电解抛光处理。 0008 有益效果 ： 本发明与现有技术相比， 其有益效果是 ： 1、 本装置由高真空室和低真 空室两个不锈钢球形机构组成， 与单球结构相比， 其优点是既可单独进行高真空计或低真 空计的校准， 又可同时进行高低真空计的校准， 提高了工作效率， 并且减少因低真空校准对 以后进行高真空校准的影响 ； 2、 利用双球结构， 增加了膨胀法的校准， 可在(400110-2) Pa 范围内对装置上的高、 低标准真空计进行校准。 附图说明 0009 附图为本发明一种实验用校测装置的结构示意图。 具体实施方式 说 明 书 CN 1。
9、02607768 A 3 2/2 页 4 0010 下面结合附图， 通过一个最佳实施例， 对本技术方案进行详细说明， 但是发明的保 护范围不局限于所述实施例。为了表达得准确和叙述的简练， 说明中省去了部分手动隔断 阀， 但是不影响本发明的完整性。 0011 如图所示， 一种实验用校测装置， 包括高真空室1、 低真空室2、 分子泵10、 储气罐9 和机械泵 7， 所述高真空室 1 与低真空室 2 通过三通球形膨胀阀 17 和小体积微调放气阀 16 相连接， 所述机械泵 7 前端设有一个挡油阱 8。 0012 所述高真空室 1 后侧赤道左夹角 90处设有一只标准电离真空计 5， 后侧赤道右 夹角 。
10、90处设有一只备用法兰 6， 所述高真空室 1 上端设有三个管接头 3。低真空室 2 后侧 赤道左夹角 60处设有一只电容薄膜计 14， 后侧赤道中央设有标准薄膜规 15， 后侧赤道右 夹角60处设有一只标准压阻真空计13， 所述低真空室2上端设有一只高真空挡板阀与三 个管接头 4 相连接。 0013 所述储气罐 9 通过电磁阀 12 与挡油阱 8 相连接， 所述机械泵 7 前端设有一个电磁 放气阀 11。 0014 高真空室 1 和低真空室 2 用不锈钢制造， 球体状， 球体内径为 350mm， 壁厚为 3mm， 内外表面作电解抛光处理。 说 明 书 CN 102607768 A 4 1/1 页 5 说 明 书 附 图 CN 102607768 A 5 。