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本发明描述了在氧化物层上形成钝化表面的中间体和方法及由其产生的产品。使氧化物表面上的羟基或氢氧化物基团与式Y(L-Pol)m的金属试剂反应,其中Y是过渡金属、镁或铝,L是氧、硫、硒或胺,并且“Pol”表示诸如聚乙二醇、烃或碳氟化合物的钝化剂。还能够使所得的改性表面与具有磷酸酯官能团的钝化剂或包含钝化部分和与Y反应或形成配合物的多个官能团的多价试剂反应。所述钝化剂还能够包括诸如生物素的官能团以便提供。