氦气检漏装置 本发明与检测工件漏率的装置有关，尤其与用氦质谱仪检漏仪检测生产流水线上的工件的装置有关。
由于氦气在空气中含量极少，氦质的讯号尽量放大而不怕受其它元件的影响，因此可以测出极为弱小的讯号，从而检测出极小的漏孔。由于氦气是惰性气体，具有分子小质量轻，扩散状，穿透性强，响应较快且稳定，加之不起化学作用，不污染被检件，操作安全等特点，使氦质谱检漏技术受到重视并被广泛推广动用。但是现有氦气检漏装置氦气消耗量大，生产效率不高，检漏成本较高，不能在工业生产流水线广泛应用。
本发明的目的是提供一种结构简单，生产成本低，大量使用通用件，制造和维护容易，氦气消耗量小，生产效率高，检漏成本低，适合在工业生产流水线上广泛使用的氦气检漏装置。
本发明由真空箱检漏装置，充氦回收装置，氦质谱检漏仪组成。真空箱检漏装置由抽空装置7和真空箱2组成，充氦回收装置由抽空装置3，充氦装置4，回收装置5，贮存装置6组成。
被检件1位于真空箱2内，与被检件抽空装置3连接，存贮装置6一路通过充氦装置4与被检件1连接，另一路通过回收装置5与被检件1连接。真空箱2与抽空装置8连接。氦质谱检漏仪9位于机箱内。真空箱2为两个，通过管道网络与上述装置连接。
真空箱7与真空箱抽空装置7连接，并与氦质谱检漏仪9连接。
本发明为柜式结构，左右两边各有一个真空箱AO1，BOA1。机箱内放置有氦质谱检漏仪9，被检件抽空装置3由真空泵MU1，电磁阀MV1，BV1，AV1，手动阀AF1，BE1，压力计AP1，BP1组成，各零件由管道连接，氦质谱检漏仪9一路通过电磁阀AV4与真空箱2连接，另一路通过电磁阀AV5，吸枪11与被检件1连接。
充氦装置4由贮气箱MO1，手动阀MF1，电磁阀AV2，BV2，压力计AP1，BP1组成，各零件由管道连接。壳体壁有氦气入口与氦气贮罐MO1连接。
回收装置5由电磁阀AV3，BV3，手动阀MF2，单向阀MF3，压力表MP2，气体压编机MU2组成，各零件由管道连接。
存贮装置6由手动阀MF2，MF4，MF1，MF6，电磁阀MV3，压力表MP1，氦气贮罐MO1组成，各零件由管道连接。
真空箱抽空装置8由真空泵MU3，电磁阀MV2，AV6，BV6，AV8。BV8组成，各零件由管道连接。
本发明由单片机9接编定程序实施自动检漏运行控制，人工检漏运行控制。单片机由仪表，传感器输入AD模拟信号，由开关输入开关信号，经单片机9与一体化工控机9双向通讯处理数据，一体化工控机10对执行元件的运行状况，被检工件的质量状况，程序运行状况实施彩显，并将统计整理后的数据用打印机打印存档，单片机9输出控制信号到执行元件，电磁阀，泵、压缩机。
本发明的被检件抽空装置3首先抽除被检2件腔体内的空气，减少氦稀释，提高检漏灵敏度。该装置在本发明首次灌氦和换氦之前；在对每个被检件的系统充氦之前运行。
本发明的充氦装置4在被检件抽空后，按照高压力向被检件内充入氦气。充氦时，被检件的所有空间能迅速充满。
在每次充氦检漏后，回收装置5将充入被检件内部的氦气回收到贮罐MO1，减少氦气耗量，降低单件检漏成本。
本发明的真空箱抽空装置7使被检工件内部被抽空充氦回收时，而外部在真空环境中，在每次被检工件充氦而真空箱抽空以后，用氦质谱检漏仪检测被检工件的泄漏量。
本发明循环使用，两工位交替工作，能与国内外制造的自动化程度较高的氦质谱检漏仪配套。既可手动，也可与电器仪表控制系统配套使用，工作效率高，检漏成本低，特别适用于空调器，电冰箱整机及部件在流水线上进行快速泄漏检测。
本发明既能用充氦真空箱法检出被检工件的整体综合漏率，又可以用充氦吸枪法人工检出被检工件漏孔的具体位置和漏率。用该法检测时只需将氦质谱检漏仪9与真空箱2的连接阀门关闭，而充氦回收装置工作，检漏仪9及其吸枪11工作，用吸枪寻找被检件漏孔地具体位置和漏率。
本发明的主要技术指标如下：
示漏气体压力 0.8±0.1MPa
预抽真空度 -0.095MPa(表压)
氦气回收度 ＞98％
真空箱真空度 ≤50pa
被检工件：制冷压缩机、蒸发器、冷凝器。
被检工件数 1-2件
工件节拍≤80s/箱 两2位≤40s/件(装卸时间＜10S)；
图1是充氦回收装置工作原理图。
图2是本发明的真空箱检漏装置工作原理图。
图3是电器仪表控制系统原理图。
图4是本发明的流程图。
如下是本发明的实施例：
本发明为柜式结构，在正面的左右两多有一个真空检漏箱AO1，BO1，箱门的开关由气压传动。柜顶的托架上装有两个行程开关控制箱门的缓进和缓退。每个箱门设有两个按钮，只有两个按钮同时被按下，箱门才会闭，以确保装卸，操作人员的安全，在正面的显示面板上，有真空计，等离子光柱压力计，程序显示，漏率显示，工控机彩显屏，带锁的总开关。机箱内正面中间的门内安装有单片机，工控机，左、右两边的门和侧门内装有强电控制部分。各种电磁阀，手动阀，传感器均安装在机箱内的管线上。气压传动部分安装在真空箱上面。气体压缩机，真空泵，罗茨泵组和贮罐也都安装在机箱内。正面下部中间的门内放置HELIOT302B氦质谱检漏仪。机箱后面右侧顶部氦气入口与氦气瓶MO3相连接。
本发明的气体压缩机UU2为23PU型。真空泵MU1为2XZ-4型，真空电磁阀AV1，BV1为GDC-16型。大通径电磁阀AV3，BV3为ZDF-15型。充气电磁阀AV2，BV2，AV8，BV8为GDC-16型，充气电磁阀MV1，MV2为GQC-5型。大通经手动阀MF2为WJ21F-15P型。小通径手动阀MF1，MF4，MF8，MF6为WJ21F-06型，电接点真空压力表MP1为YXC-150型，数字压力计AP1，BP1为PM-10型。真空电磁阀AV8，BV8，AV7，BV7为GDC-25，50型。充气电磁阀MV2，AV8，BV8为GQC-5，GDC-16型，真空计AP2，BP2为GP-1SRY型，真空MU3为YM-100CS型。单片机为TP系列。
本发明对被检件进行预抽真空，充氦加压，真空箱检漏，氦气回收，压缩贮存，循环使用，两工位交替工作。