用于识别电子电路中的缺陷的装置及方法.pdf

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1、(10)申请公布号 CN 104050907 A (43)申请公布日 2014.09.17 CN 104050907 A (21)申请号 201410095444.8 (22)申请日 2014.03.14 61/801,787 2013.03.15 US G09G 3/00(2006.01) G01R 31/28(2006.01) (71)申请人 烽腾科技有限公司 地址 美国加利福尼亚州 (72)发明人 V米那耶夫 RA马丁 TE威沙德 MS卡萨迪 李钟浩 TH贝利 S克里希纳斯瓦米 (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公 司 31100 代理人 骆希聪 (54) 发明名称 用于识别电。

2、子电路中的缺陷的装置及方法 (57) 摘要 本发明公开用于在防止大规模面板损坏的同 时保持用于面板检测 （即， 像素及线缺陷探测） 的 可靠和可再现状态的技术。一种实施形式涉及到 一种用于识别电子电路中的缺陷的装置， 所述装 置包含 ： 电路驱动模块， 用以对所述电子电路施 加电性测试信号 ； 缺陷探测模块， 用以至少根据 所施加的所述电性测试信号来识别所述电子电路 中的所述缺陷 ； 信号监测模块， 用以在所述电子 电路处测量所述电性测试信号 ； 以及控制模块， 可操作地耦合至所述信号监测模块及所述电路驱 动模块， 并用以根据在所述电子电路处测量的所 述电性测试信号来控制至少所述电路驱动模块。。

3、 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 权利要求书 2 页 说明书 7 页 附图 4 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书2页 说明书7页 附图4页 (10)申请公布号 CN 104050907 A CN 104050907 A 1/2 页 2 1. 一种用于识别电子电路中的缺陷的装置， 所述装置包括 ： a. 电路驱动模块， 用以对所述电子电路施加电性测试信号 ； b. 缺陷探测模块， 用以至少根据所施加的所述电性测试信号来识别所述电子电路中的 所述缺陷 ； c. 信号监测模块， 用以在所述电子电路处测量所述电性测试信号 ； 以及 d. 控制模块，。

4、 可操作地耦合至所述信号监测模块及所述电路驱动模块， 并用以根据在 所述电子电路处测量的所述电性测试信号来控制至少所述电路驱动模块。 2. 如权利要求 1 所述的装置， 其特征在于， 所述电性测试信号通过力线被施加至所述 电子电路， 且其中所述信号监测模块在所述力线处测量所述电性测试信号。 3. 如权利要求 1 所述的装置， 其特征在于， 所述信号监测模块在电性连接至所述电子 电路的返回线处测量所述电性测试信号。 4. 如权利要求 1 所述的装置， 其特征在于， 所述信号监测模块测量所述电性测试信号 的电压。 5. 如权利要求 4 所述的装置， 其特征在于， 所述控制模块根据由所述信号监测模块。

5、测 量的所述电性测试信号的所述电压来控制所述电路驱动模块的输出电压。 6. 如权利要求 1 所述的装置， 其特征在于， 所述信号监测模块测量所述电性测试信号 的电流。 7. 如权利要求 6 所述的装置， 其特征在于， 所述控制模块根据由所述信号监测模块测 量的所述电性测试信号的电流来控制所述电路驱动模块的输出电流。 8. 如权利要求 1 所述的装置， 其特征在于， 所述控制模块还根据所述缺陷探测模块的 输出来控制所述电路驱动模块。 9. 如权利要求 1 所述的装置， 其特征在于， 所述控制模块在预定参数范围内控制所述 电路驱动模块的至少一个参数。 10. 如权利要求 1 所述的装置， 其特征在。

6、于， 所述控制模块控制所述电路驱动模块的 至少一个参数， 以补偿由所述电路驱动模块对所述电子电路施加的所述电性测试信号的漂 移。 11. 如权利要求 1 所述的装置， 其特征在于， 所述控制模块控制所述电路驱动模块的至 少一个参数， 以补偿所述电子电路的至少一种状态的变化。 12. 如权利要求 1 所述的装置， 其特征在于， 所述控制模块根据在所述电子电路处测量 的所述电性测试信号， 还控制所述缺陷探测模块。 13. 如权利要求 1 所述的装置， 其特征在于， 所述信号监测模块用以在所述电子电路处 连续地测量所述电性测试信号。 14. 一种用于识别电子电路中的缺陷的装置， 所述装置包括 ： a。

7、. 电路驱动模块， 用以对所述电子电路施加电性测试信号 ； b. 缺陷探测模块， 用以至少根据所施加的所述电性测试信号来识别所述电子电路中的 所述缺陷 ； c. 信号监测模块， 用以在所述电子电路处测量所述电性测试信号 ； 以及 d. 信号分析模块， 可操作地耦合至所述信号监测模块， 并用以分析所测量的所述电性 测试信号并且判断是否已发生对所述电子电路的损坏。 权 利 要 求 书 CN 104050907 A 2 2/2 页 3 15. 如权利要求 14 所述的装置， 其特征在于， 所述电性测试信号通过力线施加至所述 电子电路， 且其中所述信号监测模块在所述力线处测量所述电性测试信号。 16.。

8、 如权利要求 14 所述的装置， 其特征在于， 所述信号监测模块在电性连接至所述电 子电路的返回线处测量所述电性测试信号。 17. 如权利要求 14 所述的装置， 其特征在于， 所述信号监测模块测量所述电性测试信 号的电压。 18. 如权利要求 14 所述的装置， 其特征在于， 所述信号监测模块测量所述电性测试信 号的电流。 19. 一种用于识别电子电路中的缺陷的方法， 所述方法包括 ： a. 对所述电子电路施加电性测试信号 ； b. 至少根据所施加的所述电性测试信号来识别所述电子电路中的所述缺陷 ； c. 在所述电子电路处测量所述电性测试信号 ； 以及 d. 根据在所述电子电路处测量的所述电。

9、性测试信号， 控制被施加至所述电子电路的所 述电性测试信号。 20. 如权利要求 19 所述的方法， 其特征在于， 所述电性测试信号通过力线被施加至所 述电子电路， 且其中所述电性测试信号在所述力线处被测量。 21. 如权利要求 19 所述的方法， 其特征在于， 所述电性测试信号在电性连接至所述电 子电路的返回线处被测量。 22. 如权利要求 19 所述的方法， 其特征在于， 测量所述电性测试信号包括 ： 测量所述电 性测试信号的电压。 23. 如权利要求 19 所述的方法， 其特征在于， 测量所述电性测试信号包括测量所述电 性测试信号的电流。 权 利 要 求 书 CN 104050907 A。

10、 3 1/7 页 4 用于识别电子电路中的缺陷的装置及方法 技术领域 0001 本发明大体而言涉及对电子器件的电性检测领域， 且具体而言， 涉及对刚性及挠 性液晶 （Liquid Crystal ； LC） 显示器和有机发光二极管 （Organic Light Emitting Diode ； OLED） 显示器的检测以及用于检测和缺陷探测的系统。 背景技术 0002 液晶显示器 （Liquid Crystal Display ； LCD） 面板包含具有电场相依光调制特性 （electric-field dependent light modulating property） 的液晶。 液晶显。

11、示器面板最常 用于在从传真机、 手机、 平板计算机及膝上型计算机屏幕到大屏幕高清晰度电视在内的各 种器件中显示图像及其他信息。有源矩阵 LCD 面板是由几个功能层组成的复杂分层结构 ： 一个或多个偏光膜层 ； TFT 玻璃基板， 包含有薄膜晶体管、 存储电容器、 像素电极及互连件， 所述互连件配接彩色滤光片玻璃基板与透明共用电极， 所述彩色滤光片玻璃基板包含有黑 色矩阵及彩色滤光片阵列 ； 取向膜， 由聚酰亚胺制成 ； 以及实际液晶材料， 包含有塑料 / 玻 璃间隔件以保持适当的 LCD 单元厚度。 0003 LCD面板是在洁净室环境中在高度受控状态下制造以使良率最大化。 尽管如此， 某 些 。

12、LCD 可能因组装产品中的制造瑕疵而不得不被丢弃。 0004 为提高 LCD 面板生产良率， 在 LCD 面板的整个制造过程期间实施多个检测与修复 步骤。在这些步骤当中， 最关键的检测步骤之一是阵列测试 （在 TFT 阵列制作过程结束时执 行的电性检测步骤） 。 0005 LCD 制造商当前可在市场上获得几种常规阵列测试技术， 其中最流行的当数 如例如以引用方式全文并入本文中的美国专利 4,983,911 中所述使用电光换能器 （调 制器）的电性 LCD 检测。一个此种类型的实例性 LCD 检测器件是可自位于美国加利福 尼亚州圣何塞市的光子动力 （Photon Dynamics）公司 （一家奥。

13、宝公司）购得的阵列检 查器 （Array Checker） 。具体而言， 上述阵列检查器检测系统采用一种叫做 “电压成像 ” 的方法， 所述方法利用基于反射型液晶的调制器来测量 个别 TFT 阵列像素上的电压。在通过阵列检查器来对 TFT 阵列进行检测时， 通过测试图案 （test pattern） 产生器子系统来对受测试TFT面板施加驱动电压图案 （voltage pattern） ， 并通过使上述电光调制器的位置紧密靠近受测试 TFT 阵列 （通常相距大约 50 微米） 并使其 经受高压方波电压图案来测量所得面板像素电压。例如， 被施加至调制器的电压方波图案 的振幅可为 300V、 频率 。

14、60Hz。由于电光调制器靠近被施加有驱动电压的受测试 TFT 阵列的 像素， 在检测系统的电光调制器两端会形成电位， 所述电位迫使调制器中的液晶改变其电 场相依空间取向， 从而局部地改变其透过调制器的光透射率。换句话说， 调制器的光透射 率可表示与其靠近的阵列像素上的电压。为捕获发生改变的调制器透射率， 使用光脉冲来 照射调制器并使由承受面板电压的调制器反射的光成像至电压成像光学子系统 （voltage imaging optical subsystem ； VIOS） 照相机上， 所述照相机获取所得图像并使其数字化。 上 述光脉冲的持续时间可为例如 1 毫秒。一种用于将原始电压图像转换成 L。

15、CD 像素图 （map） 说 明 书 CN 104050907 A 4 2/7 页 5 并使用所述图来探测缺陷的实例性系统及方法阐述于以引用方式全文并入本文中的第 7,212,024 号美国专利中。 0006 然而， 由于根据常规检测技术， 在检测期间被施加至受测试 TFT 面板的驱动电压 不被连续监测或控制， 因而任何测试图案产生器子系统漂移或系统或面板状态的变化均可 导致各顺次的 TFT 面板在不同状态下受到检测或在检测过程期间不知不觉地被损坏。在没 有实时监测的情况下， 缺陷探测精度及可重复性的变化将无人知晓， 直到面板到达制造工 厂中的组立工艺 （cell process） 为止。到问。

16、题在组立工艺中被发现的时候， 成千上万的面 板可能已被损坏或在次于最佳状态下被检测， 从而给制造商带来经济损失。 发明内容 0007 本发明涉及用于实质上消除一个或多个与用于检测电子电路的常规技术相关联 的上述及其他问题的方法及系统。 0008 根据本文所述实施例的一个方面， 提供一种用于识别电子电路中的缺陷的装置， 所述装置包含 ： 电路驱动模块， 用以对所述电子电路施加电性测试信号 ； 缺陷探测模块， 用 以至少根据所施加的所述电性测试信号来识别所述电子电路中的所述缺陷 ； 信号监测模 块， 用以在所述电子电路处测量所述电性测试信号 ； 以及控制模块， 可操作地耦合至所述信 号监测模块及所。

17、述电路驱动模块， 并用以根据在所述电子电路处测量的所述电性测试信号 来控制至少所述电路驱动模块。 0009 在一个或多个实施例中， 所述电性测试信号通过力线被施加至所述电子电路， 且 其中所述信号监测模块在所述力线处测量所述电性测试信号。 0010 在一个或多个实施例中， 所述监测模块在电性连接至所述电子电路的返回线处测 量所述电性测试信号。 0011 在一个或多个实施例中， 所述信号监测模块测量所述电性测试信号的电压。 0012 在一个或多个实施例中， 所述控制模块根据由所述信号监测模块测量的所述电性 测试信号的所述电压来控制所述电路驱动模块的输出电压。 0013 在一个或多个实施例中， 所。

18、述信号监测模块测量所述电性测试信号的电流。 0014 在一个或多个实施例中， 所述控制模块根据由所述信号监测模块测量的所述电性 测试信号的所述电流来控制所述电路驱动模块的输出电流。 0015 在一个或多个实施例中， 所述控制模块还根据所述缺陷探测模块的输出来控制所 述电路驱动模块。 0016 在一个或多个实施例中， 所述控制模块在预定参数范围内控制所述电路驱动模块 的至少一个参数。 0017 在一个或多个实施例中， 所述控制模块控制所述电路驱动模块的至少一个参数以 补偿由所述电路驱动模块对所述电子电路施加的所述电性测试信号的漂移。 0018 在一个或多个实施例中， 所述控制模块控制所述电路驱动。

19、模块的至少一个参数以 补偿所述电子电路的至少一种状态的变化。 0019 在一个或多个实施例中， 所述控制模块还根据在所述电子电路处测量的所述电性 测试信号来控制所述缺陷探测模块。 0020 在一个或多个实施例中， 所述信号监测模块用以在所述电子电路处连续测量所述 说 明 书 CN 104050907 A 5 3/7 页 6 电性测试信号。 0021 根据本文所述实施例的另一方面， 提供一种用于识别电子电路中的缺陷的装置， 所述装置包括 ： 电路驱动模块， 用以对所述电子电路施加电性测试信号 ； 缺陷探测模块， 用 以至少根据所施加的所述电性测试信号来识别所述电子电路中的所述缺陷 ； 信号监测模。

20、 块， 用以在所述电子电路处测量所述电性测试信号 ； 以及信号分析模块， 可操作地耦合至所 述信号监测模块， 并用以分析所测量的所述电性测试信号并且判定是否已发生对所述电子 电路的损坏。 0022 在一个或多个实施例中， 所述电性测试信号通过力线被施加至所述电子电路， 且 其中所述信号监测模块在所述力线处测量所述电性测试信号。 0023 在一个或多个实施例中， 所述信号监测模块在电性连接至所述电子电路的返回线 处测量所述电性测试信号。 0024 在一个或多个实施例中， 所述信号监测模块测量所述电性测试信号的电压。 0025 在一个或多个实施例中， 所述信号监测模块测量所述电性测试信号的电流。 。

21、0026 根据本文所述实施例的另一方面， 提供一种用于识别电子电路中的缺陷的方法， 所述方法涉及到 ： 对所述电子电路施加电性测试信号 ； 至少根据所施加的所述电性测试信 号来识别所述电子电路中的所述缺陷 ； 在所述电子电路处测量所述电性测试信号 ； 以及根 据在所述电子电路处测量的所述电性测试信号来控制被施加至所述电子电路的所述电性 测试信号。 0027 在一个或多个实施例中， 所述电性测试信号通过力线被施加至所述电子电路， 且 其中所述电性测试信号在所述力线处被测量。 0028 在一个或多个实施例中， 所述电性测试信号在电性连接至所述电子电路的返回线 处被测量。 0029 在一个或多个实施。

22、例中， 所述电性测试信号包括测量所述电性测试信号的电压。 0030 在一个或多个实施例中， 测量所述电性测试信号包括测量所述电性测试信号的电 流。 0031 与本发明相关的其他方面将部分地阐述于接下来的说明中， 且部分地将根据本说 明显而易见， 或者可通过实践本发明而获悉。本发明的各个方面可通过以下详细说明及随 附权利要求书中具体指出的元件及各种元件与方面的组合来实现及获得。 0032 应理解， 以上及以下说明仅为实例性及说明性的， 而非旨在以任何方式限制所主 张的发明或发明申请。 附图说明 0033 并入本发明书中且构成本说明书的一部分的随附图式例示本发明的实施例， 且与 本说明一起， 用来。

23、解释并举例说明本发明技术的原理。具体为 ： 0034 图 1 例示一种用于根据对检测系统与受测试显示面板之间力线或感测线上的信 号进行监测来进行测试图案产生器漂移补偿的系统的实例性实施例 ； 0035 图 2 例示一种用于根据对检测系统与受测试显示面板之间力线或感测线上的信 号进行监测来进行测试图案产生器漂移补偿的系统的另一实例性实施例以及闭环控制机 制 ； 说 明 书 CN 104050907 A 6 4/7 页 7 0036 图 3 例示被施加至受测试面板的典型电压方波形、 在力线上测量的电流以及被损 坏的显示面板迹线处的电流图案 （current pattern） 的实例 ； 以及 00。

24、37 图 4 例示控制环的实例性实施例的简化方块图。 0038 主要元件标记说明 0039 101 ： 可编程器件 0040 102 ： 数字 - 模拟转换器 0041 103 ： 放大器电路 0042 104 ： 力线 0043 105 ： 电压测量电路 0044 106 ： 电流测量电路 0045 107 ： 多路复用器 0046 108 ： 数字 - 模拟转换器 0047 109 ： 查找表 0048 210 ： 面板检测结果 0049 301 ： 方波 0050 302 ： 可预测的和可重复的形状 0051 303 ： 被损坏的面板电流轨迹 0052 401 ： 检测头 0053 40。

25、2 ： 受测试器件 0054 403 ： 数据处理单元 0055 404 ： 可编程器件 0056 405 ： 子系统供应单元 1 0057 406 ： 子系统供应单元 2 具体实施方式 0058 在以下详细说明中， 将参考附图， 在各附图中， 以相同的编号表示相同的功能元 件。 上述附图以举例说明方式而非以限制方式显示与本发明原理相一致的特定实施例及实 施形式。 这些实施形式被充分地详细说明， 以使所属领域的技术人员能够实践本发明， 且应 理解， 可利用其他实施形式且可在不背离本发明的范围及精神的情况下对各种元件作出结 构改变及 / 或替换。因此， 以下详细说明不应被解释为具有限制意义。另外。

26、， 所述本发明各 实施例可以在通用计算机上运行的软件形式、 以专用硬件形式或以软件与硬件的任一组合 形式来实施。 0059 本发明各个方面提供用于在防止大规模面板损坏的同时保持用于面板检测 （即， 像素及线缺陷探测） 的可靠及可再现状态的技术。在没有此类控制及监测的情况下， 各个顺 次的面板可能会在不同状态下受到检测或者在检测过程期间不知不觉地被损坏。 在没有实 时监测的情况下， 缺陷探测精度及可重复性的变化将无人知晓， 直到所述面板到达制造工 厂中的组立工艺为止。到问题在组立工艺中被发现时， 成千上万面板可能已被损坏或在次 于最佳的状态下被检测， 从而给制造商带来经济损失。 0060 所述本。

27、发明各实施例提供一种用于检测系统的闭环控制机制及一种用于实时监 说 明 书 CN 104050907 A 7 5/7 页 8 测受测试显示器的方法。本文所述发明概念适用于检测包含 LCD 及 OLED （均既可为刚性也 可为挠性） 显示器在内的所有类型的显示器。本发明实施例也不依赖背板 （backplane） 技 术， 例如， 在显示器中所使用的 a-Si、 LTPS、 IGZO。 0061 在一个或多个实施例中， 对受测试显示器的监测可使用本文所述 “力线” 监测或 “感测线” 监测两种方式来执行。闭环控制也可使用来自系统的各种测量值 （例如， 检测部位 电压、 缺陷对比度等） 作为控制环的。

28、输入数据来设置， 以动态调整面板测试状态。 0062 在力线监测技术的一个或多个实施例中， 在传送至受测试面板的模拟驱动信号的 输出处执行测量。这些信号通过通常被称作 “力线” 的信号路径被供应至面板。通过在测 试期间连续监测力线， 可实时调整模拟驱动通道输出， 以补偿任何测试图案产生器子系统 漂移或面板状态变化。由此得到对于每一受测试面板而言均更加稳定的面板驱动状态。 0063 如所属领域的技术人员将了解， 在没有上述控制及监测的情况下， 如果在测试图 案产生器子系统中存在任何漂移， 则各顺次的面板可能会在略微不同的驱动状态下接受测 试。 相反， 通过实施下面详细阐述的闭环控制， 对所有面板。

29、的检测均将在尽可能几乎相同的 驱动状态下进行。 0064 另一方面， 在感测线监测技术的实施例中， 在连接至受测试面板的返回线处执行 测量。此返回线通常被称作 “感测线” 。可对此感测线进行监测， 以探测受测试显示面板的 特性的任何变化。受测试显示面板的变化可因面板内的故障 （例如， 接触焊垫烧坏） 或测试 图案产生器子系统内的漂移而引起。 0065 下面更详细地阐述上述力线监测技术。在一个或多个实施例中， 可使用感测线来 实施同一类型的监测， 但这需要具有用于将检测系统连接至受测试面板的附加信号路径。 另一方面， 力线监测将提供与感测线监测相同的有益效果， 而无需添加上述额外信号通路。 如前。

30、所述， 在没有力线或感测线监测的情况下， 如果在测试图案产生器子系统中存在正在 损坏受测试面板的未探测到的故障， 则已被检测的所有面板均将被损坏。在发生测试图案 产生器子系统故障的情况下， 所述实施例可使损坏仅限于单个面板， 进而为制造商省却大 量损失。 0066 在一个或多个实施例中， 本文所述实时监测及闭环控制技术适用于 ： 灾难性面板 损坏探测、 自适应性面板驱动、 重复性系统调谐、 系统漂移补偿及自动化配方调整。 0067 在一个或多个实施例中， 通过监测检测系统与受测试面板之间力线或感测线上的 信号来实现系统漂移补偿， 如图1中所例示。 在图1中， 可在检测面板的同时监测力线104。。

31、 可编程器件 101 将根据由系统用户提供的配方输入将数字 - 模拟转换器 （DAC） 102 及放大 器电路 （AMP） 103 的输出设定至所期望的水平。在面板驱动期间， 分别使用电压测量电路 105 及电流测量电路 106 来监测力线 104 上有无适当电压传送及电流流动。这两个电路通 过多路复用器 （MUX） 107 及模拟 - 数字转换器 （ADC） 108 连接至可编程器件 101。数字 - 模 拟转换器 108 将所测量的模拟信号重新转换成数字域， 而多路复用器 107 允许可编程器件 101 监测多条力线 104。如果在力线 104 上测量的电压或电流开始偏离用户指定值， 则可。

32、编 程器件 101 用以使用一个或多个查找表 （LUT） 109（例如， 通过自动增大或减小电流值和电 压值直到其中一者或两者重新回到用户指定水平） 来控制驱动信号。 0068 在一个或多个实施例中， 允许用户设定预定控制限值， 以使得电压及电流只可在 预定调整范围内由可编程器件 101 自动调整。如果在力线 104 上测量的电压或电流超出由 说 明 书 CN 104050907 A 8 6/7 页 9 用户指定的最小值或最大值， 则这可能预示着灾难性面板损坏。此类灾难性损坏可包含因 检测系统内的不佳配方设置或硬件故障而引起的受测试面板内的接触焊垫烧坏或短路形 成。在这两种情况下， 此类面板损。

33、坏均将使大量电流自测试图案产生器子系统流入面板。 当电流测量电路 106 探测到力线 104 上的此种大电流流动时， 系统发出警报并关闭检测过 程。 这将使损坏仅限于单个面板并提醒操作者注意检测系统内的可能的不佳配方设置或硬 件故障。 0069 在一个或多个实施例中， 提供一种在系统的测试图案产生器子系统与检测头之间 所建立的闭环控制机制 （参见图 2） 。闭环控制机制可根据在面板处实施的实际检测测量来 提供反馈。此类测量值的实例包含 （但不限于） 检测部位处的平均电压或在检测图像中探测 到的某些缺陷类型的对比度。所接收到的测量结果用于调整被施加至面板的测试图案 （此 被称作 “自适应性面板驱。

34、动” ） 并且用于根据面板测试结果来自动调整检测配方。 0070 上述闭环机制的实例性实施例例示于图 2 中。所述闭环控制机制的所示实例性实 施例通过收集面板检测结果 210 并将这些结果馈送回至可编程器件 101 中来进行工作。可 编程器件 101 可使用数字 - 模拟转换器 102 来以递增量修改放大器电路 103 的输出， 进而 修改面板检测结果210。 在一个或多个实施例中， 可重复此过程直到针对一个或多个面板达 到所期望的面板检测结果 210。 0071 实时力线监测 0072 所述技术的一个或多个实施例提供探测可在面板检测过程期间形成的显示面板 短路的能力。 一种用于探测此类损坏的。

35、实例性技术涉及到在测试显示面板的同时监测力线 电流测量电路。具体而言， 图 3 显示被施加至有代表性的电容性负载或受测试面板的典型 电压方波形 301 的实例。方波可在两个或更多个额定正电压或负电压之间切换。在此实例 中， 方波 301 正在 0v 与额定最大正电压 X v 之间切换。在正常面板驱动期间， 在力线上测 量的电流应具有可预测的及可重复的形状302。 当电压被切换为正时， 电流将快速升至操作 者所定义的限流设定值 Y mA。一旦电压稳定下来， 电流便会逐渐降至接近 0mA 而电压保持 处于X v。 此行为针对图案中的每一电压脉冲进行重复。 当发生面板损坏时， 此电流轨迹看 起来会有。

36、明显的不同。被损坏的面板电流轨迹 303 显示来自驱动至面板短路中的力线的预 期电流测量。并非在施加初始电压脉冲之后逐渐朝 0mA 返回， 通道将在电压脉冲持续期间 以操作者定义的电流限值继续输出电压。电流只有在脉冲被切断时才会回到 0mA。在这种 情况下， 可编程器件 101 将通过电流测量电路探测到通道正以电流限值工作达延长的时间 周期。可编程器件将关闭驱动通道并向系统发出警报。警报可提醒操作者注意被损坏的面 板并建议检查系统有无硬件故障或提醒对图案调谐作出改变。应注意， 所有监测均在逐一 通道基础上进行且典型系统将具有许多独立通道。 系统中的每一通道均受到独立监测及控 制， 如上所述。 。

37、0073 闭环控制 0074 所述技术的一个或多个实施例提供在闭环控制模式下操作检测系统的能力。 在这 种操作模式下， 系统可使用检测结果作为控制环的输入。如果系统开始感测到测量值的漂 移， 则控制环可修改一个或多个检测参数以补偿漂移并使系统重新回到提供可重复及可再 现检测状态的状态。图 4 例示控制环的实例性实施例的简化方块图。在所示实例中， 检测 头 401 对受测试器件 402 执行主动检测。检测头 401 连接至数据处理单元 403， 所述数据处 说 明 书 CN 104050907 A 9 7/7 页 10 理单元负责收集并解译所收集到的数据。数据处理单元 403 为操作者提供实时结。

38、果并且保 存随着时间而用于监测系统漂移的代表性数据。 数据处理单元403连接至可编程器件404。 所述可编程器件可解译随着时间由数据处理单元 403 收集的数据并判定系统是否正在漂 移。如果探测到系统漂移， 则可编程器件 404 可对任意数量的子系统供应单元 405、 406 的 输出作出改变， 以抵消系统漂移并使系统回到稳定工作模式。图 4 显示可调整面板驱动状 态 （例如， 驱动电压、 电流、 脉冲宽度等） 的子系统供应单元 1（405） 及可调整传感器状态 （例 如， 传感器偏压电压、 照明强度等） 的子系统供应单元 2（406） 。尽管图中未显示， 但控制环 可被设置成连接可编程器件 。

39、404 以调整附加子系统， 所述附加子系统的实例可为其中可根 据检测结果来调整 X、 Y 及 Z 运动轴以补偿运动系统漂移的平台运动 （stage motion） 子系 统。在一个或多个实施例中， 所述系统含有多组独立通道及子系统供应单元。闭环控制功 能可根据个别或共同反馈来对所有这些群组施加校正。 0075 应注意， 本文所述发明性技术不仅限于检测显示面板。本发明实施例也可用于检 测其他电子器件， 包含 （但不限于） 印刷电路板 （PCB） 、 半导体电路 （例如， 在芯片上） 以及其 他此类器件。 0076 最后， 应理解， 本文所述过程及技术并非固有地与任一特定装置相关， 而是可由任 一。

40、合适的组件组合来实施。此外， 可根据本文所述教示内容使用各种类型的通用器件。构 造专用装置来执行本文所述方法步骤也可证明是有利的。 已就在所有方面均旨在为例示性 而非限制性的特定实例阐述了本发明。 但所属领域的技术人员应了解， 硬件、 软件与固件的 许多不同组合将适用于实践本发明。 0077 此外， 所属领域的技术人员通过考虑本文所揭示发明的说明书及实践， 将易知本 发明的其他实施形式。所述实施例的各个方面及 / 或各种组件可单独地或以任一组合形式 用于检测系统中。旨在使本说明书及各实例应仅被视为实例性的， 本发明的真实范围及精 神由随附权利要求书指示。 说 明 书 CN 104050907 A 10 1/4 页 11 图 1 说 明 书 附 图 CN 104050907 A 11 2/4 页 12 图 2 说 明 书 附 图 CN 104050907 A 12 3/4 页 13 图 3 说 明 书 附 图 CN 104050907 A 13 4/4 页 14 图 4 说 明 书 附 图 CN 104050907 A 14 。