承载装置及其载台平整度的调节方法.pdf

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1、(10)申请公布号 CN 104252051 A (43)申请公布日 2014.12.31 CN 104252051 A (21)申请号 201310254431.6 (22)申请日 2013.06.25 G02F 1/13(2006.01) (71)申请人 友达光电股份有限公司 地址 中国台湾新竹科学工业园区新竹市力 行二路 1 号 (72)发明人 江志民 (74)专利代理机构 上海波拓知识产权代理有限 公司 31264 代理人 杨波 (54) 发明名称 承载装置及其载台平整度的调节方法 (57) 摘要 本发明提供一种承载装置， 用于承载基板， 其 包括 ： 载台、 基座、 电磁铁模组、 感。

2、测模组和逻辑 控制部， 其中， 电磁铁模组包括相对设置的第一电 磁铁组和第二电磁铁组， 两电磁铁组通电会形成 互斥力 ； 感测模组用以侦测第二表面上与感测模 组对应的第一位置与第三表面的实际垂直间距 ； 而逻辑控制部则用以接收感测模组侦测到的实际 垂直间距， 并比较实际垂直间距与预设值的大小， 并根据比较结果控制对应电磁铁模组的互斥力以 调整实际垂直间距使其等于预设值。利用本发明 能够有效的改善载台在边缘或角落处的下垂变形 现象， 且更能精准的对载台上下垂变形位置进行 平整度校正， 避免了现有技术中检测设备的误检。 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 6 页 附图 7 页 (1。

3、9)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书1页 说明书6页 附图7页 (10)申请公布号 CN 104252051 A CN 104252051 A 1/1 页 2 1. 一种承载装置， 用于承载基板， 其特征在于该承载装置包括 ： 载台， 具有第一表面和第二表面， 该第一表面用于承载该基板 ； 基座， 该载台设置于该基座上， 该基座具有第三表面， 且该第二表面与该第三表面相对 设置 ； 至少一组电磁铁模组， 每一电磁铁模组包括相对设置的第一电磁铁组和第二电磁铁 组， 该第一电磁铁组与该第二电磁铁组通电会形成互斥力， 该第一电磁铁组设置于该第二 表面上， 该第二电磁铁组。

4、设置于该第三表面上 ； 至少一感测模组， 设置于该第二表面及该第三表面的其中之一上， 每一感测模组用以 侦测该第二表面上与该感测模组对应的第一位置与该第三表面的实际垂直间距 ； 以及 逻辑控制部， 与该至少一感测模组以及该至少一组电磁铁模组电性连接， 该逻辑控制 部接收该至少一感测模组侦测到的实际垂直间距， 并比较该实际垂直间距与预设值的大 小， 并根据比较结果控制对应电磁铁模组的该互斥力以调整该实际垂直间距使其等于该预 设值。 2. 如权利要求 1 所述的承载装置， 其特征在于该承载装置还包括驱动部， 固设于该基 座上， 且该驱动部连接该载台， 以提供一驱动力使得该载台可转动的设置于该基座上。

5、。 3. 如权利要求 1 所述的承载装置， 其特征在于该至少一感测模组设置于该第二表面的 边缘或角落。 4. 如权利要求 1 所述的承载装置， 其特征在于该第一电磁铁组的面积等于该第二电磁 铁组在该第二表面上的垂直投影面积。 5. 如权利要求 1 所述的承载装置， 其特征在于所有第二电磁铁组或所有第一电磁铁成 环状或圆形或矩形设置。 6. 如权利要求 1 所述的承载装置， 其特征在于该感测模组是光电传感器。 7. 如权利要求 1 所述的承载装置， 其特征在于该承载装置还包括模数转换器和数模转 换器， 该模数转换器电性耦接于该至少一感测模组与该逻辑控制部， 该数模转换器电性耦 接于该逻辑控制部与。

6、该至少一组电磁铁模组， 其中， 该模数转换器用以将该至少一感测模 组侦测到的该实际垂直间距转换成第一数字信号并传输给该逻辑控制部 ； 该数模转换器用 以将该逻辑控制部输出的第二数字信号转换成模拟信号以控制对应电磁铁模组的该互斥 力的大小。 8. 如权利要求 1 所述的承载装置， 其特征在于该载台的该第一表面上还具有氟素涂 层。 9. 如权利要求 1 所述的承载装置， 其特征在于该基板为液晶显示面板或者触控面板。 10. 一种载台平整度的调节方法， 其特征在于该调节方法包括 ： A. 提供如权利要求 1-9 中任意一项所述的承载装置 ； B. 侦测该第二表面上与该感测模组对应的该第一位置与该第三。

7、表面的该实际垂直间 距 ； C. 比较该实际垂直间距与预设值， 当该实际垂直间距小于该预设值时， 控制并增大对 应电磁模组的该互斥力以使该实际垂直间距等于该预设值。 权 利 要 求 书 CN 104252051 A 2 1/6 页 3 承载装置及其载台平整度的调节方法 技术领域 0001 本发明涉及一种承载装置， 尤其是一种能够实时自适应调整载台平整度的承载装 置及其调节方法。 背景技术 0002 目前， 在现有的液晶面板的生产工艺中， 特别是在前段基板的生产过程中， 经常需 要针对基板进行各种电性或者物理缺陷的检测， 所以在一般的检测机台中通常会设置一个 承载装置， 以承载基板供检测设备对其。

8、进行不良的检测， 如图 1A、 1B 所示， 分别为现有技术 中承载装置的俯视与侧视示意图。现有技术中的承载装置主要包括载台 10、 基座 20 与驱 动部 40， 载台 10 设置于基座 20 上， 用以承载基板 30， 且驱动部 40 固设于基座 20 上， 其还 连接该载台 10， 用以驱动载台 10 可自由的在平面内转动。不过， 在实际生产中， 由于载台 自重的关系， 所以其边缘或者角落的位置会出现下垂翘曲变形的现象， 因此， 这种现象的发 生就直接影响了载台 10 承载面 11 的平整度， 进而会间接的造成检测机台的误检。所以， 为 了改善上述情况， 如图1A、 1B所示的， 在基座。

9、20上会设置若干组出风单元， 本案例中以两组 为例， 在图 1A 中， 当载台 10 处于实线位置时， 对应载台 10 四个角落的位置， 在基座 20 上设 置有一组出风单元， 其包含四个出风口 21， 该四个出风口 21 用以对载台 10 的背面 12 吹气 以补正载台10在角落处的下垂变形量， 从而改善载台10的承载面11的平整度 ； 同样的， 当 载台 10 旋转至如图 1A 中虚线位置时， 同样对应载台 10 四个角落的位置， 在基座 20 上设置 有另一组出风单元， 其包含四个出风口 22， 同理， 该四个出风口 22 也是用以对载台 10 的背 面 12 吹气以补正此时载台 10 。

10、在角落处的下垂变形量， 从而改善载台 10 的承载面 11 的平 整度。 0003 如上述的改善方案， 虽然其在一定程度上改善了载台10的承载面11的平整度， 但 其也存在一定的缺陷 ： 首先， 上述结构很容易因为气压源的不稳定而导致出风单元的吹气 效果不均匀稳定， 从而造成补正误差 ； 其次， 载台 10 在旋转到非上述实线或虚线对应位置 时， 该出风单元无法实现对载台 10 的吹气补正 ； 此外， 由于上述方案利用的是吹气的方式 来改善载台 10 的平整度， 所以在一定程度， 无法对吹气效果进行细部的调节， 即调节误差 会比较大。因此， 基于现有技术中存在的缺陷， 在实际生产中， 很需要设。

11、计一款可以准确调 整载台平整度的承载装置。 发明内容 0004 为了克服现有技术中存在的缺陷， 故本发明提供了一种能够实时自适应调整载台 平整度的承载装置及其调节方法。 0005 本发明提供了一种承载装置， 用于承载基板， 其特征在于该承载装置包括 ： 载台， 具有第一表面和第二表面， 该第一表面用于承载该基板 ； 基座， 该载台设置于该基座上， 该 基座具有第三表面， 且该第二表面与该第三表面相对设置 ； 至少一组电磁铁模组， 每一电磁 铁模组包括相对设置的第一电磁铁组和第二电磁铁组， 该第一电磁铁组与该第二电磁铁组 说 明 书 CN 104252051 A 3 2/6 页 4 通电会形成互。

12、斥力， 该第一电磁铁组设置于该第二表面上， 该第二电磁铁组设置于该第三 表面上 ； 至少一感测模组， 设置于该第二表面及该第三表面的其中之一上， 每一感测模组用 以侦测该第二表面上与该感测模组对应的第一位置与该第三表面的实际垂直间距 ； 以及逻 辑控制部， 与该至少一感测模组以及该至少一组电磁铁模组电性连接， 该逻辑控制部接收 该至少一感测模组侦测到的实际垂直间距， 并比较该实际垂直间距与预设值的大小， 并根 据比较结果控制对应电磁铁模组的该互斥力以调整该实际垂直间距使其等于该预设值。 0006 作为可选的方案， 该承载装置还包括驱动部， 固设于该基座上， 且该驱动部连接该 载台， 以提供一驱。

13、动力使得该载台可转动的设置于该基座上。 0007 作为可选的方案， 该至少一感测模组设置于该第二表面的边缘或角落。 0008 作为可选的方案， 该第一电磁铁组的面积等于该第二电磁铁组在该第二表面上的 垂直投影面积。 0009 作为可选的方案， 所有第二电磁铁组或所有第一电磁铁成环状或圆形或矩形设 置。 0010 作为可选的方案， 该感测模组是光电传感器。 0011 作为可选的方案， 该承载装置还包括模数转换器和数模转换器， 该模数转换器电 性耦接于该至少一感测模组与该逻辑控制部， 该数模转换器电性耦接于该逻辑控制部与该 至少一组电磁铁模组， 其中， 该模数转换器用以将该至少一感测模组侦测到的该。

14、实际垂直 间距转换成第一数字信号并传输给该逻辑控制部 ； 该数模转换器用以将该逻辑控制部输出 的第二数字信号转换成模拟信号以控制对应电磁铁模组的该互斥力的大小。 0012 作为可选的方案， 该载台的该第一表面上还具有氟素涂层。 0013 作为可选的方案， 该基板为液晶显示面板或者触控面板。 0014 此外， 本发明还提供了一种载台平整度的调节方法， 其特征在于该调节方法包 括 ： 0015 A. 提供如上所述的承载装置 ； 0016 B. 侦测该第二表面上与该感测模组对应的该第一位置与该第三表面的该实际垂 直间距 ； 0017 C. 比较该实际垂直间距与预设值， 当该实际垂直间距小于该预设值时。

15、， 控制并增 大对应电磁模组的该互斥力以使该实际垂直间距等于该预设值。 0018 与现有技术相比， 利用本发明的承载装置及其载台平整度的调节方法， 能够有效 的改善载台在边缘或角落处的下垂变形现象， 且其更能精准的对载台上下垂变形位置进行 平整度校正， 避免了现有技术中检测设备的误检。 此外， 依靠其中感测模组与电磁铁模组的 设置， 本发明的承载装置更可以对旋转中的载台的平整度进行实时的调节， 这一功能也使 得本发明更具市场推广性。 附图说明 0019 图 1A 为现有技术中承载装置的俯视示意图 ； 0020 图 1B 为现有技术中承载装置的侧视示意图 ； 0021 图 2A 为本发明一实施例。

16、中承载装置于第一状态时的俯视示意图 ； 0022 图 2B 为本发明一实施例中承载装置于第一状态时的侧视示意图 ； 说 明 书 CN 104252051 A 4 3/6 页 5 0023 图 3 为本发明的载台从第一状态旋转 90至第二状态时的俯视示意图 ； 0024 图 4 为本发明的载台从第一状态旋转任意角度 至第三状态时的俯视示意图 ； 0025 图 5 为本发明另一实施例中承载装置于第一状态时的俯视示意图 ； 0026 图 6 为本发明又一实施例中承载装置于第一状态时的俯视示意图 ； 0027 图 7 为本发明的承载装置实现自适应调整载台平整度的系统架构图 ； 0028 图 8 为本发。

17、明的承载装置实现自适应调整载台平整度的方法流程图 ； 具体实施方式 0029 为使对本发明的目的、 构造、 特征、 及其功能有进一步的了解， 兹配合实施例详细 说明如下。 0030 请参照图 2A、 2B， 分别为本发明一实施例中承载装置于第一状态时的俯视及侧视 示意图。本发明的承载装置 1， 主要用于承载基板 300， 且该基板可以是液晶显示面板或者 触控面板， 但不以此为限， 其也可以是其他待检测板体。其中， 承载装置 1 包括载台 100、 基 座200、 驱动部400、 至少一组电磁铁模组500和至少一感测模组600。 其中， 在本实施例中， 以承载装置 1 具有一组电磁铁模组 500。

18、 以及四个感测模组 600 为例进行说明。载台 100 设置于基座 200 上， 载台 100 具有第一表面 110 和第二表面 120， 且第一表面用于承载基板 300， 在实际应用中， 在该第一表面110上还可以设置一层氟素涂层 （图中未示出） ， 以使得该 第一表面 110 具有更好的抗磨损性和防水性， 但不以此为限 ； 基座 200 具有第三表面 210， 且第二表面 120 与第三表面 210 相对设置 ； 驱动部 400 固设于基座 200 上， 且驱动部 400 还 连接载台 100， 以提供一驱动力使得载台 100 可转动的设置于基座 200 上。 0031 电磁铁模组 500。

19、 包括相对设置的第一电磁铁组 130 和第二电磁铁组 220， 第一电 磁铁组 130 与第二电磁铁组 220 通电会形成互斥力， 且第一电磁铁组 130 设置于第二表面 120 上， 第二电磁铁组 220 设置于第三表面 210 上， 特别注意的是， 在本实施例中， 第二电磁 铁组 220 成圆环状设置， 而第一电磁铁组 130 包括了分别设置于载台 100 左侧与右侧的第 一电磁铁 131 和第二电磁铁 132， 且两者都成圆弧状设置， 更进一步的， 在如图 2A 所示的承 载装置 1 中， 第一电磁铁组 130 在第二表面 120 上的覆盖面积等于第二电磁铁组 220 在第 二表面 12。

20、0 上的垂直投影面积。 0032 四个感测模组 600， 设置于该第二表面 120 上， 并分别对应于载台 100 的四个边缘 位置， 但不以此为限， 感测模组也可以设置于第三表面210上， 一般情况下， 由于载台100的 边缘及角落比较容易出现下垂变形的现象， 所以感测模组 600 一般设置于第二表面 120 的 边缘或角落， 或者是设置于第三表面 210 对应第二表面 120 边缘或角落的位置上， 其中， 每 一感测模组 600 都是用以侦测第二表面 120 上与感测模组 600 对应的第一位置与第三表面 210 的实际垂直间距， 例如 ： 如图 2B 所示， 设置于载台 100 右侧的感。

21、测模组 600 即可以侦测 第二表面上对应于该感测模组 600 的位置与第三表面 210 的实际垂直间距 H。另外， 在一 些实施例中， 感测模组可以是光电传感器， 但不以此为限， 且对于感测模组数量的设置， 本 发明也不作限制， 其可以根据实际需要适量的设置感测模组的数量， 另一方面， 关于其位置 的设计也可根据实际情况做进一步的调整及改进， 其不局限于对应载台的边缘或者角落位 置。 0033 更进一步的， 本实施例的承载装置 1 还包括了逻辑控制部 800（请参见图 7） ， 其可 说 明 书 CN 104252051 A 5 4/6 页 6 以设置承载装置 1 中任意机械结构形成的容置空。

22、间中， 在此不对其设置位置作限定。需要 说明的是， 逻辑控制部 800 与上述四个感测模组 600 以及电磁铁模组 500 电性连接， 且逻辑 控制部 800 用以接收感测模组 600 侦测到的实际垂直间距 （例如如图 2B 所示的为 H） ， 并比 较该实际垂直间距 H 与预设值 h 的大小， 并根据比较结果控制对应电磁铁模组 500 的互斥 力来调整实际垂直间距 H 使其等于预设值 h。 0034 下面为了更好的说明本发明的承载装置 1 自适应调整载台平整度的工作原理， 请 结合图2A、 2B参照图7和图8， 其分别为本发明的承载装置实现自适应调整载台平整度的系 统架构图及方法流程图。在本。

23、实施例中， 承载装置 1 的自适应调整载台平整度功能是通过 如图 7 所示的闭环控制系统 2 来实现的， 更具体的， 承载装置 1 还包括了模数转换器 810 和 数模转换器 820， 且模数转换器 810 电性耦接于该至少一感测模组 600 与逻辑控制部 800， 数模转换器 820 电性耦接于逻辑控制部 800 与该至少一组电磁铁模组 500， 其中， 该模数转 换器 810 用以将感测模组 600 侦测到的实际垂直间距转换成第一数字信号 S1 并传输给逻 辑控制部 800 ； 数模转换器 820 则用以将逻辑控制部 800 输出的第二数字信号 S2 转换成模 拟信号以控制对应电磁铁模组 。

24、500 的互斥力的大小。 0035 故基于载台 100、 感测模组 600、 模数转换器 810、 逻辑控制部 800、 数模转换器 820 与电磁体模组 500 形成的闭环控制系统 2， 再次参照图 8， 本发明提出了一种载台平整度的 调节方法， 该调节方法包括 ： 0036 A. 提供如上所述的承载装置 1 ； 0037 B.侦测第二表面120上与感测模组600对应的第一位置与第三表面210的实际垂 直间距 ； 0038 C. 比较该实际垂直间距与预设值， 当实际垂直间距小于预设值时， 控制并增大对 应电磁模组的互斥力以使实际垂直间距等于预设值。 0039 基于步骤 A， 本发明的调节方法。

25、， 适用于如上所述的承载装置 1， 并且以如图 2B 所 示的设置于载台 100 右侧的感测模组 600 为例， 步骤 B 具体是指， 当载台 100 处于如图 2A 所示位置时， 感测模组 600 开始侦测第二表面 120 上与感测模组 600 对应位置与第三表面 210 的实际垂直间距 H， 并将该实际垂直间距 H 的数值转换成第一数字信号 S1 传输给逻辑 控制部 800， 此时逻辑控制部 800 即会比较该第一数字信号 S1 与预设值 h 对应的标准数字 信号 S0 比较， 接着， 如步骤 C 所示的， 当实际垂直间距 H 小于预设值 h 时， 即此时载台 100 右侧边缘对应感测模组。

26、 600 的位置出现了下垂变形现象， 故逻辑控制部 800 根据实际垂直 间距 H 与预设值 h 对应的第一数字信号 S1 与标准数字信号 S0 的比较结果， 会发出一个第 二数字信号 S2 给数模转换器 820， 而数模转换器 820 会将逻辑控制部 800 输出的第二数字 信号 S2 转换成模拟信号以提高对应电磁铁模组 500 的互斥力的大小 ； 同理， 理论上当实际 垂直间距 H 大于预设值 h 时， 故逻辑控制部 800 会减小对应电磁铁模组 500 的互斥力的大 小。 0040 更需要说明的是， 由第二数字信号 S2 转换成的模拟信号， 其可以直接控制流经电 磁铁模组 500 中各个。

27、电磁铁组的电流大小， 例如 ： 在本实施例中， 由于实际垂直间距 H 小于 预设值h， 所以此时逻辑控制部800即会提高第二电磁铁132与第二电磁铁组220之间的互 斥力 F， 该互斥力 F 即可对载台 100 的第二表面 120 施加一个大小等同于 F 的抵推力， 藉由 这个抵推力的提高， 就可以调整上述实际垂直间距H， 以使得实际垂直间距H等于预设值h， 说 明 书 CN 104252051 A 6 5/6 页 7 由于感测模组 600 可以实时侦测该实际垂直间距 H， 并上报逻辑控制部 800， 所以当实际垂 直间距 H 等于预设值 h 时， 逻辑控制部 800 即可维持此时第二电磁铁 。

28、132 与第二电磁铁组 220 之间的互斥力 F， 从而维持载台 100 右侧边缘对应感测模组 600 的位置的下垂变形程度 处于预设范围内， 同理可证， 载台 100 其他几个边缘的下垂变形现象也可通过上述方法来 得到进一步的改善。换言之， 通过改善载台 100 对应位置的下垂变形程度可有效的调整整 个载台 100 第一表面 110 的平整度， 进而为后续其他设备对基板 300 的检测建立一个物理 误差较小的检测环境。 0041 此外， 基于上述的调节方法， 本发明的承载装置 1 中电磁铁模组的形状设置也有 其特殊的意义。例如在图 2A、 2B 所示的实施例中， 第二电磁铁组 220 成圆环。

29、状设置， 而第一 电磁铁组130包括了分别设置于载台100左侧与右侧的第一电磁铁131和第二电磁铁132， 且两者都成圆弧状设置， 在这种结构设计下， 首先， 可以通过分别控制第一电磁铁组 130 中 第一电磁铁 131 和第二电磁铁 132 的磁力， 从而同时施加两个抵推力对载台 100 的左侧与 右侧进行平整度的校正， 且利用这两个抵推力在原理上也可以间接的对载台 100 上侧与下 侧位置进行平整度的校正 ； 其次， 请再进一步参照图 3， 为本发明的载台从第一状态 （如图 2A 所示） 旋转 90至第二状态时的俯视示意图， 由于在实际应用中， 载台 100 还需从图 2A 中的第一状态旋。

30、转90至图3中的第二状态， 此时， 基于成圆环状设置的第二电磁铁组220 及成圆弧状设置分段设置的第一电磁铁组 130， 其两者仍可以对载台 100 形成两个抵推力 以调节其平整度 ； 再者， 再参照图 4， 为本发明的载台从第一状态旋转任意角度 至第三状 态时的俯视示意图， 由于第一电磁铁组 130 与第二电磁铁组 220 对称性， 所以无论载台 100 转动的角度 是多少， 其两者始终都可以对载台 100 形成两个抵推力以调节其平整度， 换 言之， 感测模组 600 可以在载台 100 旋转过程中实时的对载台 100 的各个位置进行侦测， 并 通过电磁铁模组 500 对载台 100 进行实。

31、时的平整度校正， 但为了节省能源以及提高整个系 统工作的有效性， 感测模组 600 也可以在载台 100 停止旋转时再进行对载台 100 的各个位 置进行侦测， 并再通过电磁铁模组 500 对载台 100 进行平整度校正。 0042 请参照图 5， 为本发明另一实施例中承载装置于第一状态时的俯视示意图， 在此实 施例中， 第二电磁铁组 720 成矩形环状设置， 而第一电磁铁组 710 包括分别设置于载台 100 左侧与右侧的第一电磁铁 711 和第二电磁铁 712， 且两者都成直条状设置， 但关于电磁铁模 组的形状设置不以此为限， 在其他实施例中， 所有第一电磁铁或所有第二电磁铁组还可以 成环。

32、状或圆形或矩形或者是其他几何形状设置。 0043 再请参照图6， 为本发明又一实施例中承载装置于第一状态时的俯视示意图。 在此 实施例中， 承载装置包括了四组电磁铁模组 ： 910、 920、 930 和 940， 每一组电磁铁模组也都 会包含相对设置的第一电磁铁组和第二电磁铁组 （图中未示出） ， 且每一组电磁铁模组形成 互斥力的工作原理也与上述电磁铁模组 500 的工作原理一致， 故不在此赘述， 利用多组电 磁铁模组的设置， 可以使得载台在同一时间获得更多位置的抵推力， 以获得更高的载台平 整度调节精度， 优选的， 每一组电磁铁模组需与单独的一个感测模组配合使用， 以能够更准 确的调节载台。

33、的平整度。 0044 需要再次强调的是， 本发明提出的承载装置中电磁铁模组与感测模组的数量以及 位置的设计， 并不以上述实施例所述的为限， 其完全可以依据实际生产的需要而做进一步 的改进， 即当在生产要求较为严格的情况下， 可以多设置几组电磁铁模组与感测模组， 以提 说 明 书 CN 104252051 A 7 6/6 页 8 高调节精度。 此外， 关于单组电磁铁模组形成互斥力的形式也不以上述实施例所述的为限， 基于电磁铁模组形态的改变， 可以形成不同的施力配对形式， 例如 ： 如图 2A 所示的， 第一电 磁铁组 130 可以是多个电磁铁组成， 以形成与第二电磁铁组 220 形成多对一的施力。

34、配对形 式， 或者如图 6 所示的， 设置多组电磁铁模组以形成多个一对一的施力配对形式。故总之， 本发明的目的在于利用感测模组与电磁铁模组的设置， 以实现对载台特定位置的平整度能 够进行调节校正即可， 其关于相关组件的位置及数量设计都不以上述实施例为限。 0045 综上所述， 利用本发明的承载装置及其载台平整度的调节方法， 能够有效的改善 载台在边缘或角落处的下垂变形现象， 且其更能精准的对载台上下垂变形位置进行平整度 校正， 避免了现有技术中检测设备的误检。此外， 依靠其中感测模组与电磁铁模组的设置， 本发明的承载装置更可以对旋转中的载台的平整度进行实时的调节， 这一功能也使得本发 明更具市。

35、场推广性。 0046 本发明已由上述相关实施例加以描述， 然而上述实施例仅为实施本发明的范例。 必需指出的是， 已揭露的实施例并未限制本发明的范围。 相反地， 在不脱离本发明的精神和 范围内所作的更动与润饰， 均属本发明的专利保护范围。 说 明 书 CN 104252051 A 8 1/7 页 9 图 1A 图 1B 说 明 书 附 图 CN 104252051 A 9 2/7 页 10 图 2A 图 2B 说 明 书 附 图 CN 104252051 A 10 3/7 页 11 图 3 说 明 书 附 图 CN 104252051 A 11 4/7 页 12 图 4 说 明 书 附 图 CN 104252051 A 12 5/7 页 13 图 5 说 明 书 附 图 CN 104252051 A 13 6/7 页 14 图 6 图 7 说 明 书 附 图 CN 104252051 A 14 7/7 页 15 图 8 说 明 书 附 图 CN 104252051 A 15 。