《用于固体结构内的参数监控设备的由建筑材料制成的封装体以及相关设备.pdf》由会员分享,可在线阅读,更多相关《用于固体结构内的参数监控设备的由建筑材料制成的封装体以及相关设备.pdf(32页完整版)》请在专利查询网上搜索。
1、(10)申请公布号 CN 104285131 A (43)申请公布日 2015.01.14 CN 104285131 A (21)申请号 201380024932.3 (22)申请日 2013.05.23 MI2012A000912 2012.05.25 IT G01D 11/24(2006.01) G01M 5/00(2006.01) (71)申请人 意法半导体股份有限公司 地址 意大利阿格拉布里安扎 (72)发明人 A帕加尼 B穆拉里 FG齐格利奥利 M龙奇 G里科蒂 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 代理人 王茂华 (54) 发明名称 用于固体结构内的参数监控设备的。
2、由建筑材 料制成的封装体以及相关设备 (57) 摘要 本发明描述了一种用于设备 (100) 的封装体 (15), 该设备可插入在固体结构 (300) 中以用于 检测和监控一个或多个局部参数。封装体 (15) 由建筑材料制成, 该建筑材料由微米或亚微米尺 寸的颗粒形成。进一步描述了一种用于检测和 监控固体结构内的一个或多个局部参数的设备 (100)。设备 (100) 包括具有至少一个集成传感 器 (10) 的集成检测模块 (1), 以及具有如上所述 特性的封装体 (15), 该封装体设置以便于覆盖设 备(100)的包括集成检测模块(1)的至少一部分。 也描述了一种用于制造设备 (100) 的方法。
3、, 以及 用于监控包括该设备 (100) 的固体结构 (300) 中 参数的系统 (200)。 (30)优先权数据 (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2014.11.11 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2013/060669 2013.05.23 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2013/174946 EN 2013.11.28 (51)Int.Cl. 权利要求书 4 页 说明书 15 页 附图 12 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书4页 说明书15页 附图12页 (10)申请公布号 CN 104285131 A CN 104。
4、285131 A 1/4 页 2 1.一种用于设备(100)的封装体(15), 所述设备适于被并入在固体结构中以用于检测 和监控一个或多个局部参数, 其特征在于, 所述封装体 (15) 由建筑材料制成, 所述建筑材 料由微米或亚微米尺寸的颗粒 (155) 形成。 2. 根据权利要求 1 所述的封装体 (15), 其中, 所述封装体 (15) 在毫米量级上基本上是 各向同性和均匀的。 3. 根据权利要求 1 或 2 之一所述的封装体 (15), 其中, 所述微米或亚微米尺寸的颗粒 (155) 包括微硅石或者硅石灰颗粒。 4. 根据前述权利要求中任一项所述的封装体 (15), 其中, 所述颗粒 (。
5、155) 进一步包括 磁性颗粒。 5. 根据前述权利要求中任一项所述的封装体 (15), 其中, 所述颗粒 (155) 包括水泥颗 粒以及微硅石或硅石灰颗粒。 6. 根据前述权利要求中任一项所述的封装体 (15), 包括 : - 外壳部分 (151), 具有用于被包括在所述设备 (100) 中的集成检测模块 (1) 的外壳 (150) ; - 填充部分 (152), 被成形为完全覆盖所述集成检测模块 (1)。 7. 根据权利要求 6 所述的封装体, 其中, 所述外壳 (150) 相对于所述封装体 (15) 的轴 线系统旋转已知的角度, 以确定所述集成检测模块 (1) 的预定位置, 以便于沿着对。
6、应的预 定方向检测与所述预定位置有关的所述一个或多个局部参数中的至少一个局部参数。 8. 一种用于检测和监控固体结构 (300) 内的一个或多个局部参数的设备 (100), 包 括 : - 集成检测模块 (1), 具有至少一个集成传感器 (10) ; -封装体(15), 被布置为覆盖所述设备(100)的至少一部分, 所述部分包括所述集成检 测模块 (1), 以及其中所述封装体 (15) 是根据权利要求 1 至 7 中任一项所述的封装体。 9. 根据权利要求 8 所述的设备 (100), 其中, 所述封装体 (15) 被布置为使得其内表面 (158) 与所述至少一个集成传感器 (10) 接触, 。
7、以及使得其外表面 (157) 与所述固体结构 (300)的一部分接触, 以便于将所述至少一个集成传感器(10)与所述固体结构(300)分隔, 并且允许将至少一个可检测量传输至所述至少一个集成传感器 (10), 所述至少一个可检测 量与在所述固体结构 (300) 的与所述封装体 (15) 接触的所述部分中测得的所述一个或多 个局部参数中的对应的参数有关。 10. 根据权利要求 8 或 9 之一所述的设备 (100), 其中, 所述至少一个集成传感器 (10) 能够检测选自以下组的一个或多个参数 : 压力, 温度, 机械应力。 11.根据权利要求9和10所述的设备, 其中, 所述集成传感器(10)。
8、是温度传感器, 所述 温度传感器能够通过利用硅的迁移率依赖于温度而变化的现象测量其经受的温度 ; 以及其 中所述可检测量基本上对应于由与所述封装体 (15) 接触的固体结构部分的不同点处的温 度所假定的数值的平均组合。 12. 根据权利要求 9 和 10 所述的设备, 其中, 所述集成传感器 (10) 是压力或机械应力 传感器, 包括具有一个或多个预定晶轴的晶体材料, 所述压力或机械应力传感器能够通过 利用硅中压阻现象而沿着至少一个所述晶轴测量其经受的压力或机械应力, 以及其中所述 权 利 要 求 书 CN 104285131 A 2 2/4 页 3 可检测量基本上对应于在与所述封装体 (15。
9、) 接触的固体结构部分的不同点处沿着所述至 少一个晶轴由所述压力或机械应力假定的数值的平均组合。 13. 根据权利要求 8 至 12 中任一项所述的设备 (100), 其中, - 所述集成检测模块 (1) 进一步包括集成天线 (11) ; - 所述集成检测模块 (1) 形成在单个芯片上 ; - 所述封装体 (15) 完全覆盖所述单个芯片 ; 以及 所述集成检测模块 (1) 完全气密地被密封并且与周围环境电流绝缘。 14. 根据权利要求 8 至 13 中任一项所述的设备 (100), 进一步包括 : -电磁装置(2), 用于在远程天线(221)与所述集成检测模块(1)的所述集成天线(11) 之间。
10、发送 / 接收信号 ; 所述集成天线 (11)、 所述电磁装置 (2) 和所述远程天线 (221) 能够 以无线模式经由磁性或电磁耦合而通信并且传输能量 ; - 支撑装置 (3), 被配置为向所述集成检测模块 (1) 和所述电磁装置 (2) 提供支撑, 因 此使得它们相互成为一体, 并且进一步被配置为将所述设备 (100) 固定至穿过所述固体结 构 (300) 内待监控的点的支撑结构 (211) ; 所述设备 (100) 特征在于, 所述封装体 (15) 进一步覆盖所述支撑装置 (3) 的至少一部 分。 15. 根据权利要求 14 所述的设备 (100), 其中, 所述电磁装置 (2) 包括 。
11、: - 第一天线 (21), 被配置为经由用于近场电磁通信的磁性耦合而与所述集成天线 (11) 通信 ; - 第二天线 (22), 被配置为经由远场电磁通信而与所述远程天线 (221) 通信 ; - 连接装置 (23), 被配置为连接所述第一天线 (21) 和所述第二天线 (22) ; 所述设备 (100) 特征在于, 所述封装体 (15) 覆盖所述支撑装置 (3) 的包含所述第一天 线 (21) 的部分。 16. 根据权利要求 15 所述的设备 (100), 其中, 所述第一天线 (21) 和所述第二天线 (22) 以在 0和 180之间的任意角度彼此斜交, 以在任何对应的方向上扩展或集中电。
12、磁 能量。 17. 根据权利要求 15 所述的设备 (100), 其中, 所述连接装置 (23) 进一步包括经由第 一传输线 (231) 连接至所述第一天线 (21) 的第三天线 (251), 以及经由第二传输线 (232) 连接至所述第二天线 (22) 的第四天线 (252), 以便于形成电磁扩展和集中单元 (25), 所述第三天线(251)和第四天线(252)被配置为经由用于近场电磁通信的磁性耦合而 相互通信, 所述第一天线 (21) 和第三天线 (251) 以在 0和 180之间的任意角度彼此斜交, 并 且所述第二天线 (22) 和第四天线 (252) 以在 0和 180之间任何角度彼此。
13、斜交, 以在任 何对应的方向上扩展或集中电磁能量, 所述设备 (100) 特征在于, 所述封装体 (15) 覆盖所述支撑装置 (3) 的包含所述至少一 个电磁扩展和集中单元 (25) 的部分。 18. 根据权利要求 17 所述的设备 (100), 其中, 所述连接装置 (23) 包括插入在所述第 三天线 (251) 和所述第四天线 (252) 之间的至少一个其他电磁扩展和集中单元, 所述至少 一个其他电磁扩展和集中单元包括互连的第五天线和第六天线, 所述第五天线和第六天线 权 利 要 求 书 CN 104285131 A 3 3/4 页 4 被配置为经由用于近场电磁通信的磁性耦合而分别与在所述。
14、至少一个其他电磁扩展和集 中单元的上游级联设置的电磁扩展和集中单元的天线、 以及与在所述至少一个其他电磁扩 展和集中单元的下游级联设置的电磁扩展和集中单元的天线通信, 所述第五天线和第六天线以在 0和 180之间的任意角度彼此斜交, 依赖于经由无 线耦合而连接的对应天线的倾斜, 以在任何对应的方向上扩展或集中电磁能量, 所述设备 (100) 特征在于, 所述封装体 (15) 覆盖所述支撑装置 (3) 的也包含所述至少 一个其他电磁扩展和集中单元的部分。 19. 根据权利要求 14 所述的设备 (100 ), 进一步包括位于所述支撑装置 (3 ) 中的至 少一个其他集成检测模块 (1” ), 以。
15、及其中所述电磁装置 (2) 包括 : - 第一天线 (21 ), 包括被配置为经由用于近场电磁通信的磁性耦合而与所述集成检 测模块 (1 ) 的集成天线通信的线圈 (21 ) ; - 至少一个对应的其他第一天线 (21” ), 包括被配置为经由用于近场电磁通信的磁性 耦合而与所述其他集成检测模块 (1” ) 通信的其他线圈 (21” ) ; 所述第一天线的线圈 (21 ) 与所述其他第一天线的其他线圈 (21” ) 相互可操作地级 联或并联或串联连接 ; 所述设备 (100) 特征在于, 所述封装体 (15) 覆盖所述支撑装置 (3) 的完全包含所述其 他集成检测模块 (1” ) 和所述电磁装。
16、置 (2) 的部分。 20. 根据权利要求 14 至 19 中任一项所述的设备 (100), 其中, 所述封装体 (15) 完全覆 盖所述设备 (100)。 21. 根据权利要求 20 所述的设备 (100), 其中, 所述封装体 (15) 适应于可插入到待监 控的所述固体结构 (300) 内的对应凹陷中。 22. 根据权利要求 20 所述的设备 (100), 其中, 所述封装体 (15) 适应于可插入在钉子 或膨胀螺钉中, 所述钉子和所述膨胀螺钉适于固定至待监控的所述固体结构 (300) 中。 23. 一种用于监控固体结构 (300) 内多个点处的一个或多个参数的系统 (200), 包括 :。
17、 - 内部监控子系统 (210), 设置在所述固体结构 (300) 内 ; - 外部控制和数据收集子系统 (22), 设置在所述固体结构 (300) 外部并且远离所述固 体结构 ; 其特征在于 : - 所述内部监控子系统 (210) 包括穿过所述固体结构 (300) 内待监控的点的支撑结构 (211), 并且进一步包括根据权利要求 8 至 22 中任一项所述的多个监控设备 (100), 所述多 个监控设备 (100) 中的每个监控设备在已知和预定位置处固定至所述支撑结构 (211)。 24.一种用于制造设备(100)的方法, 所述设备用于检测和监控固体结构(300)内的一 个或多个局部参数, 。
18、包括步骤 : -通过使用微米或亚微米尺寸的颗粒(155)制成的建筑材料形成外壳部分(151), 其中 外壳 (150) 设置在所述外壳部分 (151) 中 ; - 将所述设备 (100) 的集成检测模块 (1) 插入所述外壳 (150) 中 ; -通过使用微米或亚微米尺寸的颗粒(155)制成的建筑材料形成填充部分(152), 以使 得封装体 (15) 被设置为完全覆盖所述集成检测模块 (1) ; - 将所述封装体 (15) 固定至所述设备 (100) 的支撑装置 (3), 所述支撑装置被配置为 权 利 要 求 书 CN 104285131 A 4 4/4 页 5 进一步支撑所述设备(100)的。
19、电磁装置(2), 并且进一步配置以便于将所述设备(100)固定 至穿过所述固体结构 (300) 内待监控的点的支撑结构 (211)。 25. 根据权利要求 24 所述的方法, 进一步包括步骤 : - 通过将微米或亚微米尺寸的颗粒 (155) 制成的建筑材料注入模具 (40) 中, 相对于所 述集成检测模块 (1) 在所述设备 (100) 的其他部分周围形成其他封装体部分。 权 利 要 求 书 CN 104285131 A 5 1/15 页 6 用于固体结构内的参数监控设备的由建筑材料制成的封装 体以及相关设备 技术领域 0001 本发明涉及用于监控固体结构内的参数的集成电子设备, 并且特别地涉。
20、及用于这 种设备的封装体, 这种设备具有专用于这种类型的应用的特性。 0002 在本发明中, 也包括了一种在固体结构内采用上述设备的参数监控系统, 以及相 同设备的制造方法。 背景技术 0003 在固体结构中, 特别是在例如桥梁、 建筑物、 隧道、 铁道、 保护壳壁、 挡坝、 堤防、 建 筑物的板层和梁柱、 城市地铁的管线和地下结构等等的载重结构中, 非常重要的是在许多 点处监控重要的参数, 诸如例如压力、 温度和机械应力。 0004 这种周期性或连续执行的监控在初始步骤中以及在结构的使用寿命期间均是有 用的。 0005 为了达到该目的, 已知使用基于电子传感器的监控电子设备, 其能够以低成本。
21、提 供相对良好的性能。 通常, 这些设备应用于待监控的结构的表面上, 或者在已经设置在结构 中并且可以从外部访问的凹陷内。 0006 然而, 这种设备通常并不能穷尽地检测待监控的结构内的参数, 这对于知晓以便 于评估结构的质量、 其安全性、 其老化、 对可变大气条件的反应等等是非常有用的。 0007 此外, 这种设备仅可以在已经构建了结构之后应用, 而不能在正在构建时应用。 因 此, 这些设备不能评估可能的初始缺陷。 0008 作为对于这些需求的部分响应, 在美国专利 6,950,767 中示出的解决方案提供了 一种完全包含 ( 也即 “埋设” ) 在构成待监控的结构的材料 ( 例如钢筋混凝土。
22、 ) 内的电子监 控设备。 这种设备是封装在单个容器内的整个系统, 由组装在衬底上的数个部件构成, 诸如 集成电路、 传感器、 天线、 电容器、 电池、 存储器、 控制单元, 以及形成在借由金属连接所组成 的电连接而相互连接的不同 “芯片” 中的另外其他衬底。 0009 因此, 大体上, US6,950,767 公开了一种使用 “封装体内系统” (SiP) 的方案, 其中 SiP 被覆盖在诸如环氧树脂之类的模具材料的管壳中。管壳是本身已知的传统的封装体。 这种系统借由包括在其中的、 具有尺寸适于与远程系统通信的天线的无线电通信子系统而 与外部通信。 0010 应该注意的是意在操作于固体结构内的。
23、设备或监控系统必需满足特定操作条件。 对于本说明书, 考虑固体结构, 诸如由例如水泥、 混凝土、 灰泥的建筑材料制成的结构。 0011 意在初始地 “埋设” 在建筑材料 ( 例如未固化的混凝土, 其随后将固化并且凝固 ) 中并且随后保持 “埋设” 在固体结构中的监控设备或系统经受非常严厉的操作条件。 0012 因此, 由于固有特性或非理想性, 从数个观点看, 其与具有不规则性的材料接触。 0013 所有这些引起了至少两种类型的缺点, 分别与可靠性问题以及可能的测量不精确 性相关联, 以下将研究这一点。 说 明 书 CN 104285131 A 6 2/15 页 7 0014 关于可靠性问题, 。
24、引起磨损的相当大起因例如是非常高的压力, 也在几百大气压, 以及与漏水相关的起因, 这些起因随着时间变化可以损害系统。 0015 诸如 US6,950,767 的已知系统的缺点来自于它们是相对复杂的系统的事实, 并且 由于它们必须操作于其中的操作条件而可以损伤。特别地, US6,950,767 中 SiP 的各个部 件之间的电互连可能是脆弱的, 这是由于插入在结构中的 SiP 所经受的机械应力。 0016 此外, 必需保留在封装体中以允许传感器检测对应参数的 “窗口” 由于可能的湿气 渗漏而可能是弱点。 0017 另外, 覆盖材料的裂缝或不完整可以使得水穿透至 SiP 内, 从而引起短路。除了。
25、水 之外, 诸如潜在地腐蚀性酸之类的其他物质也可以穿透。 0018 通常, 尽管它们设计用于所述用途, 但是诸如 US6,950,767 的系统的可靠性在这 种系统的结构的复杂性方面具有限制, 尽管已经减小了, 并且由于极端条件 ( 诸如在本文 中所考虑的应用中所预期的那些 ) 而在通常使用的已知类型封装体的不合适性方面具有 限制。 0019 关于不正确或不精确测量的问题, 可以考虑的是待监控的固体结构由绝非完美均 匀的建筑材料构成。 0020 例如, 混凝土是由具有不同尺寸的也称作惰性体 (inerts) 的石块聚集体形成的 人造石块材料, 其与水泥接合作为由与水化学反应所激活的水性粘合剂。。
26、 因此, 在混凝土中 其能够标识水泥颗粒 ( 具有从 1 至 50m 范围的尺寸 ) 以及大量各种惰性聚集体的颗粒, 其数量可以占据高达 80重量。混凝土惰性聚集体通常基于其颗粒的直径而分类, 诸如非 常精细, 或填充物 ( 直径 0.063mm) ; 精细, 或沙粒 / 粗砂 (0.063-4mm) ; 粗粒 ( 精细砂砾 / 精细碾碎石块, 4-15mm) ; 砂砾 / 碾碎石块 (15-40mm)。 0021 如在建筑构造领域中已知的, 可以采用由以各种百分比的不同尺寸的惰性聚集体 构成的混合物而获得不同类型混凝土。 这些不同类型的混凝土在诸如机械抗性、 多孔性、 紧 密性、 和亮度之类。
27、的性质方面具有不同的特性。 在任何情形下, 为了获得满足对于如上所述 特性的每一个所需的最小需求的混凝土 ( 以使得混凝土可以用作用于在此考虑的固体结 构的建筑材料 ), 总是需要使用具有不同粒性的惰性聚集体的混合物。 0022 特别是关于非常精细的惰性体, 有时使用微硅石或硅石灰, 其由具有直径在 0.01 至 1m 之间范围的颗粒构成。微硅石表现为非常精细的填充物, 适于填充水泥颗粒之间的 自由空间, 因此增大了水泥的紧密性。另一方面, 由于微硅石颗粒的高度特殊表面, 它们无 法在10之上的百分比中使用, 这将引起需要过度增大泥浆水量。 在其他类型混凝土中, 精 细和非常精细聚集体以最小百。
28、分比存在。 0023 因此, 应该注意的是, 在毫米或亚毫米量级下, 由于其特性, 混凝土固有地具有不 规则性, 其随机分布在其所形成的固体结构的体积内。此外, 可能存在局部不完整性。 0024 在这些条件下, 监控设备可以考虑例如设置在混凝土结构的特殊位置处, 适于检 测由固体结构在宏观层次上在特定位置处并且沿着某些方向 ( 例如垂直方向 ) 施加的力 ( 例如对应于机械应力 )。设备局部地检测在包括在其中的、 其中具有传感器的集成电路的 表面的点处的力。 0025 该传感器通常对于压阻效应敏感, 并且能够测量沿确定方向的力, 其在初始定位 步骤中使得与感兴趣的方向 ( 例如如所述的垂直方向。
29、 ) 匹配。如果力当保持强度恒定时被 说 明 书 CN 104285131 A 7 3/15 页 8 施加至不同方向, 根据压阻效应的法则, 传感器灵敏度降低, 并且发现真实检测的力较低, 有时严重较低。 0026 另一方面, 由于混凝土的如上所述特性, 埋设在固体结构中的传感器可以与具有 局部非常不同和不均匀特性 ( 存在或缺失微空腔, 存在或缺失粗颗粒, 或者共同存在具有 不同尺寸的颗粒等等 ) 的一部分结构接触。这些颗粒在微观层次上施加了点状作用, 其可 以不同于应该正确检测的宏观作用。 0027 特别地, 有可能的是混凝土在与将要检测的力的宏观方向不同的方向上通过具有 可变颗粒性的颗粒。
30、在传感器上局部施加力。 因此, 由于如上所述的其特性, 传感器检测了低 于真实值的力强度。 0028 所描述的示例示出了通过使用已知的设备可能如何引起特别严重的测量误差, 甚 至是系统性误差。 0029 简言之, 如果通常已知的监控设备埋设固体结构内, 其中集成电路没有封装体, 则 在测量期间可以引起不精确问题 ( 或甚至系统性误差 )。 0030 如果通常已知的监控设备埋设在具有通用类型的封装体的固体结构内, 则可以引 起数个可靠性问题, 也即随着时间变化的损伤的高度可能性。 此外在该情形下, 可能引起其 他测量误差 ; 例如, 传统的封装体可以经受在例如可以改变压力测量的除气现象之后的体 。
31、积减小。此外, 封装体材料与固体结构材料之间的界面可能不允许这种粘附以正确地传送 待测参数。 0031 本发明的目的在于构思并且提供一种用于集成电子设备的封装体, 该集成电子设 备将用于监控固体结构内的参数, 以及其监控设备自身, 改进了它们以便于至少部分地消 除参照现有技术在上文中所述的缺点。 0032 特别地, 提出了一种封装体以及相关的设备, 其是简单的、 具有增强的健壮性和抗 磨损性, 而同时与已知封装体和设备所允许的测量相比允许了更精确的测量。 发明内容 0033 通过根据权利要求 1 的封装体实现该目的。 0034 封装体的其他实施例限定在从属权利要求 2-7 中。 0035 包括。
32、所述封装体的监控设备限定在权利要求 8 中。 0036 该设备的其他实施例限定在从属权利要求 9 至 22 中。 0037 包括根据本发明的设备的监控系统限定在权利要求 23 中。 0038 封装体和设备的制造方法限定在权利要求 24 中。该方法的另一实施例限定在从 属权利要求 25 中。 0039 特别地, 限定了用于设备的封装体, 该设备适于被并入在固体结构中以用于检测 和监控一个或多个局部参数, 其中该封装体由建筑材料制成, 该建筑材料由微米或亚微米 尺寸的颗粒形成。 0040 此外, 限定了用于检测和监控固体结构内的一个或多个局部参数的设备, 该设备 包括 : 具有至少一个集成传感器的。
33、集成检测模块, 以及如此设置以便于覆盖设备的包括集 成检测模块的至少一部分的封装体 ; 其中封装体建筑材料制成, 该建筑材料由微米或亚微 米尺寸的颗粒形成。 说 明 书 CN 104285131 A 8 4/15 页 9 附图说明 0041 参照附图, 借由指示性、 非限定性示例而从以下优选实施方式示例列出的说明书 使得根据本发明的封装体和设备的其他特征和优点变得明确, 其中 : 0042 - 图 1 是根据本发明实施例的由建筑材料制成的封装体以及电子监控设备的一部 分的截面图 ; 0043 - 图 2A、 图 2B 和图 2C 是根据本发明的示出了由建筑材料制成的封装体的一些其 他实施例的示。
34、意图 ; 0044 - 图 3 是根据本发明实施例的电子监控设备的操作框图 ; 0045 - 图 4 是根据本发明另一实施例的电子监控设备的截面图 ; 0046 - 图 5A 是图 4 的电子监控设备的详细示意图 ; 0047 - 图 5B 是包括在监控设备内的传感器的应力灵敏度的角度图 ; 0048 - 图 6 是根据本发明另一实施例的封装体以及包括在监控设备中的集成检测模块 的截面图 ; 0049 - 图 7 是根据本发明另一实施例的电子监控设备的功能框图 ; 0050 - 图 8、 图 9、 图 10 是根据本发明的监控设备的相应的其他实施例的截面图 ; 0051 - 图 11、 图 1。
35、2、 图 13、 图 14A、 图 15A、 图 15B 是根据本发明相应实施例的监控设备 的示意图 ; 0052 - 图 16 是根据本发明实施例的用于监控固体结构内的局部参数的系统的示意图 ; 0053 - 图 17 和图 18 示出了根据本发明的封装体和监控设备制造方法的示例。 具体实施方式 0054 参照图 1, 现在描述用于设备的封装体 15, 该设备适于被并入在用于检测和监控 一个或多个局部参数的固体结构中。在下文中将详细描述的设备除了封装体 15 之外还包 括具有集成传感器 10 的至少一个集成检测模块 1。优选地, 集成检测模块 1 形成在单个半 导体芯片 ( 在下文中简称为芯。
36、片 ) 上, 该半导体芯片通常是基于硅的。 0055 采用由微米或者亚微米尺寸的颗粒所形成的建筑材料制造封装体15。 这种颗粒在 图 1 的放大截面图中采用附图标记 155 表示。 0056 根据通用语言, 术语 “微米尺寸的颗粒” 在本文中限定了具有在 1m(m 微米 ) 与几十m之间的范围内直径的颗粒 ; 并且术语 “亚微米颗粒” 限定了具有等于或小于1m 的直径的颗粒。 0057 优选地, 封装体 15 由具有小于 10m 的直径的颗粒形成。 0058 更优选地, 封装体 15 由具有小于 1m 的直径的颗粒形成。 0059 根据优选实施例, 封装体 15 在毫米量级上是基本上各向同性并。
37、且均匀的, 也即从 几百 m 至一毫米或更多的量级。 0060 在这种情形下, 封装体15排他地由这种微米或者亚微米尺寸的颗粒形成(在可以 获得的纯度限制内 )。此外, 这些颗粒以基本上均匀的方式分布, 以便于至少在大于微米量 级的量级上 ( 例如在毫米量级上 ) 获得如上所述的各向同性特性。 0061 根据典型的实施例, 形成封装体 15 的微米或亚微米尺寸的颗粒包括微硅石或硅 说 明 书 CN 104285131 A 9 5/15 页 10 石灰颗粒, 具有例如在 0.01 和 1m 之间的范围内的尺寸。 0062 特别地, 根据实施例, 封装体 15 由微米或亚微米尺寸的颗粒 155 所。
38、形成的建筑材 料制成, 其中这些微米或亚微米尺寸的颗粒 155 包括微硅石或硅石灰颗粒, 以使得所述封 装体 15 在毫米量级上是各向同性和均匀的。 0063 根据特定实施例, 封装体 15 由从水泥颗粒以及微硅石或硅石灰颗粒所形成的建 筑材料制成。 0064 有利地, 由于以下所述的原因, 微米或亚微米尺寸的颗粒也可以可选地包括磁性 颗粒。 0065 图 2A 中所示的封装体 15 的实施例包括具有用于集成检测模块 1 的外壳 150 的外 壳部分 151, 以及被成形为完全覆盖集成检测模块 1 的填充部分 152。外壳 150 限定了例如 平行六面体形状的凹陷。 0066 在如图 2B 所。
39、示其他实施方式示例中, 外壳 150 具有凹陷, 该凹陷具有适于引导并 且促进集成检测模块 1 合适地定位在相同凹陷内的形状, 例如截棱锥的形状。 0067 根据如图 2C 所示其他实施方式示例, 外壳 150 相对于封装体 15 的轴线系统旋转 已知角度, 以如此方式确定集成检测模块 1 的预定位置, 以便于沿着对应的预定方向检测 与所述的预定位置有关的至少一个局部参数(例如压力)。 在该情形下, 标记159有利地例 如设置在封装体的后部上, 以指示该角度, 由此允许了集成检测模块 1 在建筑结构内的合 适定位。 0068 现在描述根据本发明示例的用于检测和监控固体结构内的一个或多个局部参数。
40、 的电子设备 100( 下文也称作 “监控设备” )。对于该描述, 将参考与分别设备 100 的功能性 和结构性方面有关的图 3 和图 4。 0069 监控设备 100 包括具有至少一个集成传感器 10 的集成检测模块 1, 以及设置为覆 盖设备 100 的包括集成检测模块的至少一部分的封装体 15。 0070 如前所述, 集成检测模块 1 优选地制作在单个硅芯片上。因此, 封装体 15 完全覆 盖了集成检测模块 1 由其形成的芯片 ( 图 4 示出了该完全覆盖的截面图 )。 0071 封装体 15 是具有任何一个已经如上所述特征的组合的封装体。 0072 特别地, 采用由微米或亚微米尺寸的颗。
41、粒所形成的建筑材料制造该封装体 15。 0073 此外, 封装体 15 优选地在毫米量级上基本上各向同性和均匀。 0074 监控设备100进一步包括用于在检测模块1与外部数据收集和控制系统之间发送 / 接收电磁信号和能量的电磁装置 2( 本身已知, 未示出在图 3 和图 4 中 )。 0075 监控设备 100 进一步包括支撑装置 3, 支撑装置 3 被配置为向集成检测模块 1 和 电磁装置2(或电磁电路2)提供支撑, 使得它们相互成为一体, 并且进一步被配置为将设备 100 固定至穿过在固体结构内的待监控的点的支撑结构 211( 其将在图 16 中示出 )。因此, 支撑装置 3 允许将监控设。
42、备 100 维持在待监控的结构内的预定位置处。 0076 支撑装置3由有利的柔性支撑3形成, 例如由聚合物材料制成, 包含集成检测模块 1( 例如通过胶合层 39) 的封装体 15 和电磁装置 2 均位于其上。 0077 再次参照图3, 应该注意的是检测模块1包括特别是如前所述的集成传感器10, 集 成传感器 10 能够检测和监控待控制的、 作为待监控的结构的特性的一个或多个参数。 0078 通常, 这种参数是压力和 / 或温度和 / 或机械应力。此外, 应该注意的是可检测参 说 明 书 CN 104285131 A 10 6/15 页 11 数可以不同于那些如上所述的参数, 假设它们对于集成。
43、在构成了集成检测模块 1 的单个芯 片中的半导体或结构具有可检测的效应。 0079 根据各个实施例, 集成在集成检测模块 1 中的传感器可以多于一个, 并且它们的 每一个可以检测一个或多个参数。 0080 集成传感器 10 能够通过采用由这些参数感应的已知的变量而将温度或压力数值 转换为电变量, 例如对于半导体中电子 / 电子空穴的迁移率。 0081 在这点上, 根据操纵了压阻现象的法则, 已知的是迁移率以独立于半导体材料的 晶向的方式取决于温度, 并且以依赖于半导体材料的晶向的方式取决于压力 ( 或所施加的 力)。 特别地, 参照米勒指数, 通过使用限定了平面的通用符号以及特征化了晶体的轴线。
44、, 考 虑例如平面 (001) 中的 N 型晶体。在该示例中, 如果相对于与晶向相关联的参照系而沿着 轴线 100 和 010 施加这种应力, 则对于机械应力的灵敏度 ( 也即对于压力 ) 的灵敏度 最大, 而沿着轴线 110 最小。 0082 因此, 借由集成在集成检测模块 1 的芯片上的部件的合适的配置, 能够通过补偿 对于温度的依赖性而构建压力传感器, 或者反之亦然, 通过补偿对于压力的依赖性而构建 温度传感器。 0083 对其他与老化和磨损的依赖性与上述依赖性不同, 并且考虑到它们在相当长时间 周期 ( 例如年 ) 之上出现而补偿。 0084 根据实施方式示例, 传感器 10 是采用以。
45、惠斯通电桥配置而集成的四个电阻器形 成的压力传感器, 其中两个压敏电阻器沿着相对于晶向的轴线 100 和 010 而定向, 而 另外两个沿着轴线 110 晶向, 该晶向与压阻效应的最小灵敏度的轴线的角度相匹配。如 此方式, 对于 “温度” 参数的测量依赖性是可忽略的, 并且在这点上, 能够说以基本上独立于 “温度” 参数的方式而测量 “压力” 参数。 0085 根据其他实施方式示例, 传感器 10 是由第一和第二环形振荡器构成的压力和温 度传感器, 每一个包括级联的多个集成部件(例如三个或奇数个反相器)。 第一振荡器的集 成部件由具有与第二振荡器的材料的晶向不同的晶向的半导体材料构成 : 例如。
46、, 分别具有 沿着轴线 110 和 100 或 010 的晶向。 0086 如此方式, 其中压阻效应最小的、 具有 110 晶向的第一振荡器的振荡频率基本 上仅取决于温度, 压力效应是可忽略的 ; 因此, 这种频率可以视作是温度传感器的输出。 0087 如果减去了已知作为依赖于第一振荡器的输出的效应的温度效应, 具有 100 或 010 晶向的第二振荡器的振荡频率基本上仅取决于压力 ; 因此, 这种频率可以视作压力 传感器的输出。 0088 在如上所描述的示例中, 除了集成检测模块 1 之外的隔膜或部件的存在对于传感 器 10 的操作而言并非是必需的。 0089 现在参照图 5A, 应该注意的。
47、是在设备 100 中, 封装体 15 设置为使得其内表面 158 与集成传感器 10 接触, 并且其外表面 157 与固体结构 300( 在所示示例中, 混凝土包括粒状 颗粒310)的一部分接触。 如此方式, 封装体15将集成传感器10与固体结构300分隔, 并且 同时允许转换至与对应的局部参数相关联的、 并且在与封装体 15 接触的固体结构部分 300 中测量的一个或多个可检测量的该集成传感器 10。 0090 因此, 一方面, 封装体 15 经受围绕其的固体结构 ( 例如其之上的一部分结构 ) 的 说 明 书 CN 104285131 A 11 7/15 页 12 作用 ; 另一方面, 其。
48、能够通过接触将该作用传递至集成传感器 10。 0091 例如可以考虑的情形是, 在混凝土结构内, 必需测量正比于沿法线方向施加力强 度的压力, 法线方向例如是相对于集成检测模块的垂直方向 ( 力和方向由图 5A 中箭头 F 示出 )。 0092 考虑到待监控的结构 ( 例如混凝土 ) 的不规则性和 / 或非均匀性, 可能的是由结 构在宏观量级上沿如上所述法线方向施加的力替代地在微观量级上沿不同方向而局部施 加。 换言之, 可以以如此方式组合由不同无穷小混凝土区域在检查的位置处所产生的、 在各 个点处具有不同一致性和方向 ( 取决于局部存在或多或少的粗颗粒 310、 或填充物或微空 腔等 ) 的。
49、无穷小的力分量, 以确定沿着不同于法线方向而局部作用的力。 0093 如果集成传感器 10 直接与混凝土接触 ( 例如通过传统封装体中的窗口 ), 或者仅 由薄钝化层 ( 例如硅 ) 与其分隔, 则集成传感器 10 将直接检测在微观量级上局部施加的 力。万一如上所述的力将沿着不同于法线方向的方向作用, 也即不同于传感器的灵敏度的 晶轴, 则传感器灵敏度将降低 ( 如在传感器的角灵敏度的示意图中图 5B 所示, 其中图表的 轴线参照图 5A 的传感器 10 的定向 )。因此, 这将导致低估了力的强度, 因此在压力的测量 中确定了误差, 甚至是显著的误差。 0094 与此相反, 由建筑材料制成的封装体 15 所执行的调解使得由封装体表面各个点 处混凝土以随机和不均匀方式传送的各个无穷小的力分量基本上达。