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半导体静电吸附装置.pdf

  • 上传人:62****3
  • 文档编号:441968
  • 上传时间:2018-02-16
  • 格式:PDF
  • 页数:6
  • 大小:765.40KB
  • 摘要
    申请专利号:

    CN201410317745.0

    申请日:

    2014.07.03

    公开号:

    CN104084309A

    公开日:

    2014.10.08

    当前法律状态:

    驳回

    有效性:

    无权

    法律详情:

    发明专利申请公布后的驳回IPC(主分类):B03C 3/04申请公布日:20141008|||实质审查的生效IPC(主分类):B03C 3/04申请日:20140703|||公开

    IPC分类号:

    B03C3/04; B03C3/45

    主分类号:

    B03C3/04

    申请人:

    王健

    发明人:

    王健

    地址:

    528300 广东省佛山市顺德区大良南国东路A7号桦业楼5楼B座

    优先权:

    专利代理机构:

    佛山市粤顺知识产权代理事务所 44264

    代理人:

    唐强熙

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    内容摘要

    一种半导体静电吸附装置,包括吸附模块,吸附模块接通正负电极,并形成有电场吸附区,吸附模块的进风侧设置有放电针,放电针接通正负电极,并形成电场极化区,空气中的吸附物经过放电针的电场极化区后带上电荷,并随着气流进入吸附模块的电场吸附区后吸附。本发明设置有包裹半导体石墨电极的绝缘塑料吸附片,通过吸附片的尖端靠拢,产生均匀的电磁场,电磁场吸附面积通过尖端微电流的作用,不但让电磁场产生更均匀,还增加了吸附面积,吸附模块输入的直流高压远远小过现有技术的高压,不但节能环保,在电场均匀度同等情况下还能增大吸附面积,另外本装置完全无臭氧产生,只是单纯的吸附颗粒物,而且可以多次循环使用,实用性强。

    权利要求书

    1.  一种半导体静电吸附装置,包括吸附模块(1),其特征在于:吸附模块(1)接通正负电极,并形成有电场吸附区(2),吸附模块(1)的进风侧设置有放电针(3),放电针(3)接通正负电极,并形成电场极化区(4),空气中的吸附物经过放电针(3)的电场极化区(4)后带上电荷,并随着气流进入吸附模块(1)的电场吸附区(2)后吸附。

    2.
      根据权利要求1所述的半导体静电吸附装置,其特征在于所述吸附模块(1)包括若干的直线排列的吸附片,相邻的两块吸附片分别接通正负电极,并形成电场吸附区(2)。

    3.
      根据权利要求2所述的半导体静电吸附装置,其特征在于所述吸附片为具有韧性的绝缘塑料制成,并在内部设置有半导体石墨电极(7);相邻的两块吸附片分别通过半导体石墨电极(7)接通正负电极,其中,接通正电极的吸附片(8)设置有凸部(8.1)、且通过凸部(8.1)与接通负电极的吸附片(9)接触。

    4.
      根据权利要求3所述的半导体静电吸附装置,其特征在于所述相邻的两块吸附片之间形成有空气通道(5),空气通道(5)上形成有尖端(6)。

    5.
      根据权利要求4所述的半导体静电吸附装置,其特征在于所述空气通道(5)的宽度d为1毫米以上。

    6.
      根据权利要求5所述的半导体静电吸附装置,其特征在于所述接通半导体石墨电极(7)的正负电极电压为DC5000V以上。

    说明书

    半导体静电吸附装置
    技术领域
    本发明涉及一种半导体静电吸附装置。
    背景技术
    在现有技术中,为了去除空气中的微小灰尘颗粒,技术人员往往使用静电除尘技术来实现,即使空气通过接通负高压的极板,使空气中携带的灰尘携带负电荷,然后经过接通正电压的极板,使灰尘被吸附在正极板上。但是,仍然存在正极板对微小灰尘颗粒吸附不彻底以及效率低的问题,同时正负极板间隙小,容易引起灰尘聚积引起正负极板间短路问题,而且结构复杂,生产成本高,制造难度大,安全系数小。因此,有必要进一步改进。
    发明内容
    本发明的目的旨在提供一种结构简单合理,性能可靠,制造成本低,易生产,易实现且吸附能强的半导体静电吸附装置,以克服现有技术中的不足之处。
    按此目的设计的一种半导体静电吸附装置,包括吸附模块,其特征在于:吸附模块接通正负电极,并形成有电场吸附区,吸附模块的进风侧设置有放电针,放电针接通正负电极,并形成电场极化区,空气中的吸附物经过放电针的电场极化区后带上电荷,并随着气流进入吸附模块的电场吸附区后吸附。
    所述吸附模块包括若干的直线排列的吸附片,相邻的两块吸附片分别接通正负电极,并形成电场吸附区。
    所述吸附片为具有韧性的绝缘塑料制成,并在内部设置有半导体石墨 电极;相邻的两块吸附片分别通过半导体石墨电极接通正负电极,其中,接通正电极的吸附片设置有凸部、且通过凸部与接通负电极的吸附片接触。
    所述相邻的两块吸附片之间形成有空气通道,空气通道上形成有尖端。
    所述空气通道的宽度d为1毫米以上。
    所述接通半导体石墨电极的正负电极电压为DC5000V以上。
    本发明通过上述结构的改良,在吸附模块的进风侧设置有放电针,放电针接通正负电极,并形成电场极化区,放电针对空气放电,使空气中的微小颗粒物通过电场极化区后瞬间带上电荷,再随着气流进入吸附模块的电场吸附区后吸附,大大地提高了吸附装置吸附效率的同时,设置有包裹半导体石墨电极的绝缘塑料吸附片,通过吸附片的尖端靠拢,产生均匀的电磁场,电磁场吸附面积通过尖端微电流的作用,不但让电磁场产生的更均匀,而且大大地增加了吸附面积,并且吸附模块输入的直流高压远远小过现有技术的高压,不但节能环保,在电场均匀度同等的情况下还能增大吸附面积,所以能够达到更好的吸附效果,另外本装置完全无臭氧产生,只是单纯的吸附颗粒物,而且可以多次循环使用。其具有结构简单合理,性能可靠,制造成本低,易生产,易实现且吸附能强等特点,实用性强。
    附图说明
    图1为本发明一实施例结构示意图。
    图2为本发明一实施例工作原理结构示意图。
    图3为本发明一实施例的应用例结构示意图。
    具体实施方式
    下面结合附图及实施例对本发明作进一步描述。
    参见图1-图3,本半导体静电吸附装置,包括吸附模块1,吸附模块1接通正负电极,并形成有电场吸附区2,吸附模块1的进风侧设置有放电针3,放电针3接通正负电极,并形成电场极化区4,空气中的吸附物经过放电针3的电场极化区4后带上电荷,并随着气流流动方向A进入吸附模块1的电场吸附区2后吸附。
    具体地讲,吸附模块1包括若干的直线排列的吸附片,相邻的两块吸 附片分别接通正负电极,并形成电场吸附区2。所述吸附片为具有韧性的绝缘塑料制成,并在内部设置有半导体石墨电极7,相邻的两块吸附片分别通过半导体石墨电极7接通正负电极,其中,接通正电极的吸附片8设置有凸部8.1、且通过凸部8.1与接通负电极的吸附片9接触而不直接连接在一起。
    相邻的两块吸附片之间形成有空气通道5,空气通道5上形成有尖端6。空气通道5的宽度d为1毫米以上。接通半导体石墨电极7的正负电极电压为DC5000V以上,本实施例优选10000伏左右。
    其工作原理是:
    空气经过放电针3,放电针3的针尖、针尾放电后形成电场极化区4,使空气中的飘尘、污染物、小分子颗粒物被迅速极化,极化后的飘尘、污染物、小分子颗粒物再随着气流流动方向A进入吸附模块1的电场吸附区2,正负高电压通过增加有半导添加剂的吸附片时,通过尖端6靠拢,会产生均匀的电磁场,将从空气通道5中通过的、且被极化的飘尘、污染物、小分子颗粒吸附在吸附片上,达到去除空气中颗粒的目的。除尘率在百分之九十以上,同时还可有效去除0.01微米以上的飘尘。本结构的静电吸附装置同时兼有去除异味的功能,空气中的异味主要是通过飘尘、气溶胶等空气中的介质传播的,不管是何种介质,只要进入电场极化区4,均被静电场极化、吸集,可有效清除空气中的异味。
    科学实验表明,细胞的胞囊是带负电荷,在进入电场极化区4时,首先被极化,再进入电场吸附区2被高压正电场吸集,细菌的胞囊即被中和分解,从而达到杀灭细菌的目的,因此在有效的空间能有最大的集尘面积,可广泛运用于无菌室、洁净室、层流室,而且成本低,可以对已建大楼中的中央空调安装净化灭菌装置,使整个大楼都能达到灭菌、净化、去异味,以解决大空间的空气质量,同时还使中央空调的管道中不积留灰尘。
    上述为本发明的优选方案,本领域普通技术人员对其简单的变型或改造,均落在本发明的保护范围之内。

    关 键  词:
    半导体 静电 吸附 装置
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