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1、10申请公布号CN104087912A43申请公布日20141008CN104087912A21申请号201410191366122申请日20140217102013101534420130215DEC23C16/45520060171申请人艾克斯特朗欧洲公司地址德国黑措根拉特72发明人T克鲁肯BP戈皮M道尔斯伯格74专利代理机构北京市柳沈律师事务所11105代理人侯宇54发明名称用于化学气相沉积反应器的气体分配器57摘要本发明涉及一种用于CVD反应器的气体分配器，所述气体分配器具有至少两个相互分隔的气体分配室10、20，能够分别通过进气孔2、3向所述气体分配室中输入处理气体，其中，被布置在上。
2、平面内的气体分配装置分别与被布置在下平面内的连接管路13、23流体连通地连接，其中，属于不同气体分配室10、20的连接管路13、23交替地相邻布置，并且具有用于输出处理气体的出气孔14、24。为了对气体分配装置进行改进，这里建议，数量至少为两个的气体分配装置中的每一个具有分配区段12、22，所述分配区段分别与多个二次分配区段11、21流体连通地连接，其中，所述连接管路13、23分别与多个二次分配区段11、21在互相不同的位置上流体连通地连接，其中，互相不同的气体分配室10、20的二次分配区段11、21交替地相邻布置，并通过分隔壁9互相分隔。30优先权数据51INTCL权利要求书2页说明书8页附。
3、图18页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书2页说明书8页附图18页10申请公布号CN104087912ACN104087912A1/2页21用于化学气相沉积反应器的气体分配器，所述气体分配器具有至少两个相互分隔的气体分配室10、20，能够分别通过进气孔2、3向所述气体分配室中输入处理气体，其中，被布置在上平面内的气体分配装置分别与被布置在下平面内的连接管路13、23流体连通地连接，其中，属于不同气体分配室10、20的连接管路13、23交替地相邻布置，并且具有用于输出处理气体的出气孔14、24，其特征在于，数量至少为两个的气体分配装置中的每一个具有分配区段12、22，所述。
4、分配区段分别与多个二次分配区段11、21流体连通地连接，其中，所述连接管路13、23分别与多个二次分配区段11、21在互相不同的位置上流体连通地连接，其中，互相不同的所述气体分配室10、20的二次分配区段11、21交替地相邻布置，并通过所述分隔壁9互相分隔。2根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，所述连接管路13、23由隧道部件15、25构成。3根据权利要求2所述的气体分配器，其特征在于，所述隧道部件15、25具有U形的截面，并将U形开口朝向出气板8，所述隧道部件15、25的U形臂与所述出气板相连接。4根据权利要求2或3所述的气体分配器，其特征在于，由隧道壁限定出的隧道间隙16、26分别。
5、在两个相邻布置的隧道部件15、25之间延伸，所述出气板8的属于另一气体分配空腔的出气孔14、24位于所述隧道间隙中。5根据权利要求2至4中任一项所述的气体分配器，其特征在于，在两个成行的隧道部件15、25的端孔之间布置属于同一个气体分配空腔的、具有出气孔14、24的隧道间隙16、26。6根据权利要求1至5中任一项所述的气体分配器，其特征在于，所述两个气体分配室10、20形成梳齿状的互相嵌入的室区段11、21。7根据权利要求1至6中任一项所述的气体分配器，其特征在于，所述室区段11、21通过折回状延伸的分隔壁9相互分隔。8根据权利要求1至7中任一项所述的气体分配器，其特征在于，所述分配区段12、。
6、22相互对置地布置在上平面内。9根据权利要求1至8中任一项所述的气体分配器，其特征在于，互相不同的所述气体分配室10、20的二次分配区段11、21通过共同的分隔壁9相互分隔。10根据权利要求2至9中任一项所述的气体分配器，其特征在于，所述分隔壁9邻接在所述隧道部件15，25的U形连接臂上，并且在所述隧道部件15，25的端孔的高度上延伸。11根据权利要求2至10中任一项所述的气体分配器，其特征在于，不同的所述气体分配空腔的隧道部件15、25呈直线形接触。12根据权利要求3至11中任一项所述的气体分配器，其特征在于，所述出气板8的出气面7具有出气孔14、24，所述出气孔成行由同一个气体分配容积进行。
7、供气，其中，由不同的气体容积供气的出气孔14、24成行地交替布置。13根据权利要求1至12中任一项所述的气体分配器，其特征在于，所述出气孔14、24成行交替地与互相不同的气体分配室10、20的连接管路13、23相连，其中，多个相邻布置的二次分配区段11，21具有比连接管路13，23的截面更大的截面。权利要求书CN104087912A2/2页314用于化学气相沉积反应器的气体分配器，所述气体分配器具有出气板8，所述出气板具有从连接管路13、23延伸出的出气孔14、24，所述出气孔与相互隔开的气体分配室10、20的室区段11、21流体流动地连接，其特征在于，所述连接管路13、23由基本上呈U形的隧。
8、道部件15、25构成，所述隧道部件的侧壁17、27与出气板8的内侧4相连，并且彼此间借助连接壁18、28相连。15根据权利要求14所述的气体分配器，其特征在于，所述隧道部件15、25由交叉的第一型材件和第二型材件31、32构成，所述型材件尤其被设计成U形型材件或者矩形型材件，其中，尤其规定，所述型材件31、32具有布置在交叉区域内的窗口33、34。16根据权利要求15所述的气体分配器，其特征在于，所述第一型材件31的侧壁31和/或第二型材件32的侧壁32使互相不同的气体容积10、20互相分隔。17根据权利要求16所述的气体分配器，其特征在于，在交叉布置的所述型材件31、32的侧壁31、32之间。
9、延伸的间隙被分配给一个共同的气体分配空腔10，而在所述型材件31、32外部延伸的空间被分配给另一个气体分配空腔20。权利要求书CN104087912A1/8页4用于化学气相沉积反应器的气体分配器技术领域0001本发明涉及一种用于化学气相沉积CVD反应器的气体分配器，该气体分配器具有至少两个相互分隔的气体分配室，可以分别通过进气孔将处理气体输入所述气体分配室中，其中，每个被布置在上平面内的气体分配装置分别与被布置在下平面内的连接管路流体连通，其中，属于不同气体分配室的连接管路交替地相邻布置并且具有用于输出处理气体的出气孔。背景技术0002这样一种气体分配器由文献US2003/0207032A1阐。
10、述。在该文中，相互不同的连接管路成排地平行相邻地延伸，所述连接管路使大量气体输出孔相互流体连通地连接。每个连接管路在交叉点上与供给管路流体连通地相连，所述连接管路构成气体分配装置。0003从文献US6,444,042B1中可以得知一种气体分配器，这里仅仅设计一个气体分配空腔或者说一个气体分配室。所述气体分配室具有大量相互平行延伸的连接管路，所述连接管路分别使大量气体输出孔互相流体连通地连接。每个连接管路具有大量进气点。这里涉及连接管路与大量相互平行延伸的气体管路的交叉位置。仅仅一个中间管路构成了与气体输入管路相连的进气管路。0004文献US2005/0109280A1阐述了一种具有三个相邻布置。
11、的气体输入区域的气体分配器，分别在多个互相不同的位置上为所述气体输入区供给气体。0005文献DE102009000903A1中阐述了一种具有梳齿状相互嵌入的供给管路的气体分配器。0006从文献DE102005004312A1中可知一种用于CVD反应器的进气机构。两个气体分配室位于一个共同的平面上，所述气体分配室借助互相不同的供给管路供给处理气体。所述气体分配室形成梳状相互嵌入的室区段。借助垂直向下延伸的流体连接装置，所述气体分配室与连接管路相连。数个所述连接管路同心地绕着进气机构的轴延伸，并且借助朝下指向的气体连接管路与出气孔相连。所述气体分配室互相不同的连接管路位于不同的平面上。已知的进气机。
12、构具有多个气体分配空腔“气体分配空腔”亦可称为“气体分配容积”，其中每个气体分配空腔分别具有气体分配室、与该气体分配室相连的连接管路以及与该连接管路相连的出气孔。0007文献DE102005043840A1阐述了一种用于CVD反应器的气体分配器。该文中被供给以不同处理气体的室区段互相交替。发明内容0008本发明所要解决的技术问题在于，在这种类型的气体分配器中对气体分配装置进行改进。0009该任务通过在权利要求中阐述的发明得到解决。0010首先并主要规定，数量至少为两个的气体分配装置中的每一个具有分配区段和多说明书CN104087912A2/8页5个二次分配区段，其中，每个二次分配区段与分配区段。
13、流体连通。所述连接管路由此与多个二次分配区段各自在不同的位置上、优选在交叉位置上流体连通地连接。因此在所述连接管路内部从两侧为出气孔供给气体。所述二次分配区段形成交替相邻延伸的管路，所述管路分别在交叉位置上为相邻布置的连接管路供给处理气体。所述二次分配区段由此形成垂直于连接管路延伸的供给管路，又由分配区段向所述供给管路供给处理气体。所述连接管路可以由具有大体呈U形截面的隧道部件形成。所述隧道部件可以直接与出气板连接，所述出气板在其整个平面上具有大量出气孔。所述隧道部件的隧道空腔分别构成连接管路，出气板的出气孔位于所述隧道空腔中。每个气体分配空腔“气体分配空腔”亦可称为“气体分配容积”因此具有气。
14、体分配室，所述气体分配室被分为多个二次分配区段，其中每个二次分配区段又与由隧道部件的空腔构成的连接管路互相连接。所述气体分配器的优选结构因此具有至少两个互相分隔的气体分配空腔。所述两个气体分配空腔中的每一个从外部通过进气孔与进气系统流体连通地相连，从而可以通过所述进气孔将处理气体、例如在载体气中运输的反应气体输入所述气体分配空腔中。在所述进气孔上沿流动方向上连接有分配区段，所述分配区段是气体分配空腔的分空腔UNTERVOLUMEN。在所述分配区段上沿流动方向上连接有上述的二次分配区段，所述二次分配区段又由分配区段进行供给。分空腔、即二次分配区段又与隧道部件的隧道空腔相连，其中，优选隧道部件仅分。
15、别构成连接管路的一个区段，所述区段分别仅使两个分配区段互相相连。所述连接管路、即隧道部件的空腔属于一个气体分配空腔，相较而言，隧道壁的外周属于另一个气体分配空腔。在隧道的外部、特别是在隧道壁的旁边同样存在出气孔。但是所述出气孔被分配给与位于布置在所述出气孔之间的隧道中的出气孔不同的气体分配空腔。因此形成出气区域的条状结构，互相不同的气体可以通过所述条状结构流入CVD反应器的被布置在出气板下方的处理室中。出气板的平面轮廓可以是矩形。所述出气机构以及气体分配器相应地具有矩形的平面形状。但是也可能的是，所述出气机构具有圆形的平面轮廓。所述隧道部件则可以在圆弧部段上延伸。但是所述隧道部件也可以沿径向方。
16、向延伸。以上设计同样也适用于垂直于隧道长度方向延伸的二次分配区段，所述二次分配区段可以互相平行地或者在圆弧线或者在径向线上延伸。优选地，分隔壁在位于隧道部件的平面上方的平面内延伸。所述隧道部件位于分隔壁所处平面下方的平面内。在该平面内优选仅仅布置隧道部件。该平面向下通过出气板进行限制。所述二次分配区段在位于隧道部件上方的平面内基本互相并排的延伸。所述隧道部件垂直于二次分配区段的长度方向延伸。两个隧道部件之间在二次分配区段的长度方向上的距离大致等于隧道部分的宽度。两个隧道部件垂直于二次分配区段的长度方向的距离大致等于气体分配室的宽度。就这点而言，用于互相不同的气体的出气区域在二次分配区段的长度方。
17、向上交替布置。相反，所述出气区域在隧道长度方向上则连续地延伸。其原因在于，属于同一个气体分配空腔的两个隧道部件的端面互相对齐，与之相对地，在属于同一个气体分配空腔的两个隧道部件的壁之间布置另一个气体分配空腔的区段。所述分隔壁可以由一个单独的分隔壁部件形成，所述分隔壁部件具有折回状的走向、即具有相互平行延伸的区段。因此形成每个气体分配室的梳状的结构，其中，每个相互平行延伸的二次分配区段由分配区段进行供气。所述分配区段互相间隔开。在矩形的气体分配器上，所述分配区段相互对置地布置。根据本发明的装置由此可以如下制得，即首先制造这回转的分隔壁部件并使所述分隔壁部件与大量U形的隧道部件相连，其中，隧道端面。
18、分别在隧道部件的说明书CN104087912A3/8页6端面开口的范围内与分隔壁焊接。此外将交替地朝左和朝右的隧道部件安装在分隔壁区段上，更确切的说如下实现，即紧邻隧道壁部分布置的隧道部件呈直线形地互相连接。之后将设计有大量孔的出气板与隧道部件的壁末端相连。这可以通过扩散焊接、粘接或者类似手段实现。但是也可能的是，单个的隧道部件首先与出气板相连，之后将分隔壁放置在与出气板相连的、棋盘状布置的隧道部件上。0011在本发明的一种改进方式中，所述气体分配器具有圆形的圆形外周。所述气体容积的分配区段可以沿周向包围出气板的出气面。可以设有两个圆形的重叠布置的分配区段，所述分配区段具有进气孔，通过所述进气。
19、孔为气体容积的单个或者多个二次分配区段进行供气。所述进气孔可以被布置在互相不同的平面内。在本发明的一种变造方式中规定，数量至少为两个的气体容积的其中至少一个分配区段被布置在二次分配区段的上方，在所述二次分配区段中进行气体的二次分配。所述二次分配区段构成室区段。在本发明的一种变造方式中规定，所述分配区段位于第三平面上并在一个圆周管路中形成一个分配区段。也可以将两个分配区段布置在第三平面内。所述分配区段可以由分隔壁互相分隔。所述分配区段具有通向二次分配区段的进气孔，在所述二次分配区段中进行向布置有隧道部件的平面的二次分配。0012此外，本发明所要解决的记述问题还在于，给出一种平整的气体分配器，所述。
20、气体分配器相对于已知的气体分配器更易于被制造。0013优选地，根据本发明的形式的气体分配器如下制得，即连接管路由基本上呈U形的隧道部件构成。所述隧道部件分别具有两个互相平行延伸的侧壁。该侧壁的棱边与出气板的内侧相连。由所述两个侧壁和一个使所述两个侧壁相互连接的连接壁构成U形截面。所述连接壁相对于出气板的内侧保持一定距离。在本发明的一种特别优选的结构上，所述隧道部件由交叉的型材件形成，这里优选的是U形型材件，所述U形型材件具有不间断的侧壁，但是该U形型材件的连接壁具有以均匀间距布置的窗口。所述侧壁由U形型材的U形臂构成，而所述连接壁由U形连接边构成。存在第一和第二型材件。所述第一型材件形成二次分。
21、配区段，在所述二次分配区段中进行气体的二次分配。所述第一型材件的型材开口相背于出气板。所述第一型材件的连接壁借助所述连接壁使两个侧壁相连具有窗口形的开口，所述开口被布置在第一和第二U形型材件的交叉位置上。所述第一U形型材件的窗口被布置在第二型材件的窗口的上方。所述第二型材件的型材开口朝向出气板，从而使交叉地相互重叠的U形型材件背靠背布置。第一和第二型材件的型材间隙通过互相重叠的窗口互相连接，从而第一和第二型材件的U形间隙被分配给同一个气体容积。另一个气体容积被分配给所述U形型材件之间的间隙。被布置在所述第一型材件的窗口之间的第一型材件的底板的区段构成用于隧道部件的连接壁。基于这种结构可以简易地。
22、制造根据本发明的气体分配器。在例如构成盆形壳体的底板的出气板上钻出成行的和成排列的孔，所述孔构成出气孔。然后制造第一和第二U形型材件，所述第一和第二U形型材件在其背部具有开槽或者凹空。所述第二U形型材件将U形型材开口朝向出气板地固定在出气板上，这可以通过焊接、粘接等等实现。所述第二U形型材件此外互相平行并且彼此间具有固定不变的距离，该距离基本等于U形型材件的两个侧壁的间距。在接下来的方法步骤中，在所述第二型材件的背面的上方的第二平面内布置第一型材件。所述第一型材件的型材开口相背于出气板。所述第一U形型材件垂直于第二U形型材件延伸，并同样具有固定不变的距离且说明书CN104087912A4/8页。
23、7互相平行地延伸，其中，每个的第一U形型材件的间距等于型材件的侧壁的间距。所述第一型材件的背面具有窗口，所述窗口位于第二型材件的窗口的上方。所述第一型材件的侧壁的朝上的棱边与封闭壳体的整个容积的盖板相连。0014上述的进气机构不仅可以被使用在MOCVD金属有机化合物化学气相沉积反应器中，由第三和第五主族元素构成的覆层在所述MOCVD反应器中沉积；还适合将气体分配器用于这种反应器中，在所述反应器中将有机材料、例如用于制造OLEDS有机发光二级管的有机材料沉积在基材上。此外，所述气体分配器也适合用于沉积聚合物。向气体分配空腔中输入气态的聚合物载体或者引发剂INITIALISATOR。所述两种气体经。
24、互相不同的出气孔进入处理室。所述气体分配室可以被加热或者被冷却。为此气体分配器具有冷却器或者加热器。所述出气孔可以被布置成棋盘形，可以被布置成直线形，可以被布置成网格状，然而也可以被布置成圆形。所述气体分配器可以具有两个气体容积，但是也可以具有三个或者四个互相分隔的气体容积，在所述气体容积中可以分别输入特定的处理气体或者载体气，所述处理气体或载体气可以通过输出孔向分配给各个气体容积的处理室排放。附图说明0015接下来将借助所附的图示阐述本发明的实施例。在附图中0016图1示出了呈用于CVD反应器的进气机构形式的、移除盖板的第一实施例的气体分配器，0017图2示出了所述气体分配器的底部立体视图，。
25、0018图3示出了在移除盖板的情况下所述气体分配器的俯视图，0019图4示出了根据图1的移除盖板并部分剖开的另一个立体图，0020图5示出了根据图4的、然而沿另一条剖切线所得的示图，0021图6示出了带有未示出的盖板的第二结构示例的气体分配器的立体图，0022图7示出了图6中所示的气体分配器的底部视图，0023图8示出了根据图6的气体分配器的内部俯视图，0024图9示出了图6中所示的具有缺口的气体分配器的立体图，0025图10示出了沿图8中的剖切线XX所得的截面，0026图11示出了沿图8中的剖切线XIXI所得的截面，0027图12示出了移除壳体的盖板的、本发明的第三实施例的立体图，0028图。
26、13示出了图12中所示的气体分配器的底部图，0029图14示出了图12中所示的、移除盖板的气体分配器的壳体内部的俯视图，0030图15示出了沿图14中的剖切线XVXV所得的截面，0031图16示出了沿图14中的剖切线XVIXVI所得的截面，0032图17示出了第四实施例的气体分配器的部分剖开的立体图，0033图18示出了图17中所示的实施例的底部视图，0034图19示出了图17中所示的实施例的壳体内部的俯视图，0035图20示出了沿图19中的剖切线XXXX所得的截面，0036图21示出了沿图19中的剖切线XXIXXI所得的截面和0037图22示出了U形型材件31、32的立体图，当交叉的第一型材。
27、件31和第二型材件说明书CN104087912A5/8页832背靠背互相重叠时，借助所述U形型材件可以形成隧道部件装置15、25。具体实施方式0038图示分别示出了气体分配器如何被应用在CVD反应器中。所述气体分配器具有矩形的壳体，所述壳体构成四个侧壁、一个未示出的盖板和一个底板。所述底板是具有出气面7的出气板8，大量出气孔14、24通向所述出气面。0039所述壳体1由金属、特别是由钢制成，并具有进气孔2、3，处理气体可以分别通过所述进气孔被输入互相分隔的气体分配空腔中。所述出气面7具有成行布置的出气孔14、24，所述出气孔分别按行属于不同的气体分配空腔。0040壳体1的内部被构造成两个互相重。
28、叠的平面。下平面与出气板8邻接。位于所述下平面上方的平面与未示出的盖板邻接。在图1至5所示的实施例中。所述进气孔2、3通向上平面，并被布置在壳体1的互相远离的宽侧上。0041借助具有折回状走向的分隔壁9，所述壳体1的上平面被分为两个气体分配室10、20。所述两个分配室10、20中的每一个被分配为两个气体分配空腔的其中一个。所述分隔壁9如此构造在上平面中，使得两个相互对置布置的分配区段12、22延伸出梳齿状的二次分配区段11、21，所述二次分配区段基本上在壳体1的整个长度上延伸。由于分隔壁9的折回状的走向，属于不同的气体分配空腔的二次分配区段11、21交替地相邻布置。互相不同的气体分配空腔的二次。
29、分配区段11、21因此垂直于所述二次分配区段的长度方向交替地相邻布置。所述二次分配区段11、21形成并排延伸的供给管路，所述供给管路分别独立地由分配区段12、22进行供气。0042在下平面上布置了大量隧道部件15、25。所述隧道部件15、25垂直于二次分配区段11、21的长度方向延伸。所述隧道部件15、25的空腔构成连接管路13、23，借助所述连接管路将属于同一个气体分配空腔的两个二次分配区段11互相相连。所述隧道部件15、25分别为每每相隔一个的气体分配空腔的二次分配区段11、21建立隧道。因此所述隧道部件15、25内部的空间属于与所述隧道部件15、25的外部的气体分配空腔不同的另一个气体分。
30、配空腔。所述隧道部件15、25之间的间隙位于由二次分配区段11、21形成的供给管路与垂直于所供给管路延伸的连接管路13、23的交叉位置上。从图3中可以得知，隧道部件15、25被布置成棋盘形。从下方连通同一个二次分配区段11、21的两个隧道部件15、25的壁之间的距离大致等于隧道部件15、25的宽度。两个排成一行的隧道部件15、25的端孔的间距等于分隔壁9的互相平行延伸的分隔壁区段的间距，所述分隔壁使两个相互相邻布置的二次分配区段11、21互相分隔。所述分隔壁9在隧道部件15、25的端孔的上方延伸。在该实施例中，所述隧道部件15、25具有矩形的截面。所述分隔壁9与隧道部件15、25的上壁气密封的。
31、连接。两个隧道部件15、25分别相对于互相不同的气体容积或者说与互相不同的气体分配空腔10、20流体连通地相连，所述隧道部件在其盖板的区域内相互连接。这里是大致呈直线形的连接。在下平面的内部因此由隧道壁以及隧道孔形成的隧道间隙16、26。0043所述出气孔14、24从隧道空腔中通入出气面7。所述出气孔14、24同样也从隧道间隙16、26通入出气面7。0044基于上述的隧道部件15、25的布置以及所述两个不同的气体分配室10、20的二次分配区段11、21而形成了两个独立的气体分配容积。参考图1在该处所示的图示，所述出说明书CN104087912A6/8页9气孔的最下方的行被分配给属于气体分配室1。
32、0的第一气体分配空腔。所述气体分配室10在上平面中形成延伸出二次分配区段11的分配区段12。参照该图，所述二次分配区段11利用隧道间隙使自下数第一行的出气孔14与每隔一行的出气孔14流体连通地连接。位于隧道间隙16之间和之中的出气孔14由隧道空腔13进行供气供给。此外，气体通过隧道部件15的两个端孔进入隧道空腔13。0045参照图3的示图，从上方对属于所述气体分配室20的第二气体分配空腔进行供气。参考示图，布置位于上方的分配区段22为二次分配区段21进行供气，所述二次分配区段位于二次分配区段11之间。参考示图，从出气孔24的最上一行开始数，每相隔一行的出气孔24属于第二气体分配空腔。这里属于二。
33、次分配区段21的隧道间隙26也直接由所属的二次分配区段21进行供气。为所述二次分配区段11建立隧道的隧道部件25利用其空腔为出气孔24进行供气。在该实施例中，同一行的所有出气孔14、24由同一个气体分配空腔供气，其中，由不同的气体分配空腔进行供气的出气孔按行交替布置。0046所述隧道部件15、25可以由单独一个部件形成。但是也可以规定为此使用U形型材件31、32，所述U形型材件在壳体1的整个宽度以及长度上延伸，并且侧壁17、27不仅由隧道部件15、也由隧道部件25构成。但是U形型材件31、32仅分别形成隧道部件15的连接壁18。在所述连接壁18，之间型材件具有窗口。在窗口的范围内两个互相相邻的。
34、型材件通过连接壁28互相连接。0047图6至11示出了本发明的第二实施例，其中，在第一平面内布置上述的隧道部件15、25，其中，所述隧道部件15、25是U形的结构，所述U形的结构分别具有侧壁17、27，该U形结构的棱边与出气板8的内侧4相连。所述侧壁17、27借助连接壁18、28连接成封闭的管路，但是该管路在其端面上是开放的。0048与第一实施例不同，该第二实施例的壳体1具有圆形的平面轮廓。处理气体向不同的二次分配区段11、21的供给是通过环形管路21、22实现的，在所述二次分配区段中进行二次分配。设有两个互相重叠布置的环形管路21、22，所述环形管路形成气体分配区段并属于互相不同的气体容积1。
35、0、20。利用基本上沿径向延伸的进气孔19、29，借助分配区段12、22为二次分配区段11、21进行供气。所述进气孔19、29位于互相不同的平面内。属于第一气体分配容积10的进气孔19直接通入二次分配区段11的区域内，所述二次分配区段11通过直线延伸的分隔壁9与第二气体分配容积20的二次分配区段21分隔。气体向第二室容积20的输入是通过进气孔29实现的，所述进气孔位于隧道部件15的平面内。在该实施例中，属于互相不同的气体容积10、20的出气孔14、24按行交替布置。0049从图10和11可以得知，所述出气板8具有内侧4，互相平行布置的隧道部件15、25被固定在所述内侧上。所述隧道部件15具有侧。
36、壁17的下棱边与出气板8的内侧4固定连接。侧壁17的另一端借助平行于出气板8延伸的连接壁18连接，从而形成端面侧开放的管路。所述隧道部件25具有相应的侧壁27和连接壁28。0050由互相平行延伸的分隔壁9分隔开的二次分配区段11、21位于所述隧道部件15、25上方的水平面上，所述二次分配区段由进气孔19、29进行供气，实现将处理气体二次分配至隧道部件15、25并直接为隧道间隙进行供气。0051图12至16中所示的第三实施例与第二实施例的区别基本上仅仅在于，所述分配区段12、22被不同地布置。所述第一气体空腔10分配有分配区段12，所述分配区段被布置说明书CN104087912A7/8页10在外。
37、壳体边缘上，并环形地包围出气面7。通过进气孔19为二次分配区段11供给处理气体。0052盖板5平行于出气板8延伸，所述盖板对二次分配区段11、21进行限制。所述盖板5与分隔壁9相连，从而使连接壁18、分隔壁9和盖板5形成封闭的管路，其中，连接管路18之间的管路的底部是打开的，从而使处理气体可以进入隧道部件15。0053在所述盖板5上方布置圆盘形的空腔，所述空腔形成分配区段22。所述分配区段22通过供给孔3供给处理气体，并具有进气孔29，处理气体可以通过所述进气孔从分配区段22流入位于盖板5下方的二次分配区段21中，从而可以实现向隧道部件15的二次分配。0054在图17至22中所示的第四实施例与。
38、第二和第三实施例的区别实际仅仅在于，在第四实施例中，两个分配区段12、22被布置在二次分配区段11、21上方的第三水平面上。这形成了两个半圆形的分配区段12、22，所述分配区段向上由底板6限制，而向下由盖板5限制。所述盖板5具有进气孔19、29，所述进气孔分别与二次分配区段11、21相连。在此，所述二次分配区段11、21也互相平行地延伸，并由分隔壁9互相分隔。0055在图22中规定了如何制造隧道部件15、25。可以由金属，特别是钢或者铝制成的第一型材件31具有基本上呈U形的截面，从而形成侧壁31。该侧壁31形成上述的分隔壁9。所述侧壁31的棱边31“与盖板5相连。U形型材件31的底面形成隧道部。
39、件25的连接壁28。所述型材件31的底面具有窗口34，从而使不同的连接壁28互相间隔。0056设有第二型材件32，所述第二型材件同样具有U形的截面，并且像第一型材件31一样也具有纵向延伸的结构。所述第一型材件31的型材开口相背于出气板8，而型材件32的型材开口朝向出气板8。所述型材件32具有侧壁32，所述侧壁互相平行地延伸，并具有开放的棱边32“，借助所述棱边将型材件32固定在出气板8的内侧4上。所述第二型材件32的背面形成隧道部件15的连接壁18。两个互相平行地延伸的侧壁32在连接壁18的区域内构成隧道部件15的侧壁17。0057所述型材件32的背面在各的连接壁18之间具有窗口33。第二型材。
40、件32的侧壁32在所述窗口33的范围内构成隧道部件25的侧壁27。0058当所述隧道部件15已经完全由型材件32制成时，才通过以下方法制造隧道部件25，即多个互相平行布置的型材件32和与所述型材件32垂直布置的第一型材件31相连，其中，所述第二型材件31的开口34形状配合地放置在第二型材件32的开口33上。相互重叠的窗口33、34的边缘互相连接。所述边缘尤其气密性地连接。这形成U形型材件31、32的类似栅格状的结构，所述U形型材件的相互对置的背面在交叉区域内形成形状配合地互相重叠的窗口33、34。0059所述型材件32也可以由封闭的型材、特别是矩形型材形成。由此则不必将板件或者型材连接在底板上。
41、。0060所有公开的特征本身都是具有发明意义的。为此也将所属/所附的优先文件提前申请的副本的完整公开内容一起包括在本发明申请的公开内容内，出于同样的目的，也将所述申请文件的特征一起包含在本申请的权利要求中。从属权利要求通过其可选的并列的描述表征了对现有技术实质性的且具有创造性的改进，特别可以这些权利要求为基础进行分案申请。0061附图标记清单说明书CN104087912A108/8页1100621壳体00632进气孔00643进气孔00657出气面00668出气板00679分隔壁006810气体分配空腔，气体分配室006911二次分配区段007012分配区段007113连接管路007214出气。
42、孔007315隧道部件007416隧道中间区域007517侧壁007620气体分配空腔，室007721二次分配区段，环形管路007822分配区段，环形管路007923连接管路008024出气孔008125隧道部件008226隧道间隙008327侧壁008428连接壁008529进气孔008630分隔壁008731U形型材件008831侧壁008931“棱边009032U形型材件009132侧壁009232“棱边009333窗口009434窗口说明书CN104087912A111/18页12图1图2说明书附图CN104087912A122/18页13图3说明书附图CN104087912A133/。
43、18页14图4说明书附图CN104087912A144/18页15图5说明书附图CN104087912A155/18页16图6图7说明书附图CN104087912A166/18页17图8说明书附图CN104087912A177/18页18图9说明书附图CN104087912A188/18页19图10图11说明书附图CN104087912A199/18页20图12图13说明书附图CN104087912A2010/18页21图14说明书附图CN104087912A2111/18页22图15说明书附图CN104087912A2212/18页23图16说明书附图CN104087912A2313/18页24图17说明书附图CN104087912A2414/18页25图18说明书附图CN104087912A2515/18页26图19说明书附图CN104087912A2616/18页27图20说明书附图CN104087912A2717/18页28图21说明书附图CN104087912A2818/18页29图22说明书附图CN104087912A29。