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1、(10)申请公布号 CN 102680018 A (43)申请公布日 2012.09.19 C N 1 0 2 6 8 0 0 1 8 A *CN102680018A* (21)申请号 201110055495.4 (22)申请日 2011.03.09 G01D 21/02(2006.01) (71)申请人刘胜 地址 430074 湖北省武汉市珞喻路1037号 喻园小区3栋5单元604室 (72)发明人刘胜 张宗阳 陈君杰 (74)专利代理机构上海市华诚律师事务所 31210 代理人李平 (54) 发明名称 多功能组合传感器 (57) 摘要 一种多功能组合传感器，包括：压力传感器、 流量传感器。
2、、湿度传感器、温度传感器、基板，其特 征在于基板上设有ASIC芯片，温度传感器集成在 ASIC芯片上，压力传感器、流量传感器、湿度传感 器分别被设置在基板上，基板上设有带插针引脚， 测量的输出信号经插针引脚引出。本发明的优点 是单个传感器测量单元具有互换性，可以同时实 现压力、流量、湿度与温度的实时测量。 (51)Int.Cl. 权利要求书1页 说明书1页 附图1页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 1 页 说明书 1 页 附图 1 页 1/1页 2 1.一种多功能组合传感器，包括：压力传感器、流量传感器、湿度传感器、温度传感器、 基板，其特征在于基板上设。
3、有专用集成电路(ASIC)芯片，温度传感器集成在ASIC芯片上， 压力传感器、流量传感器、湿度传感器分别被设置在基板上，基板上设有带插针引脚，测量 的输出信号经插针引脚引出。 2.根据权利要求1所述的多功能组合传感器，其特征在于所述基板为陶瓷基板或塑料 基板或为聚合物(BT)基板。 权 利 要 求 书CN 102680018 A 1/1页 3 多功能组合传感器 技术领域 0001 本发明涉及一种传感器，特别是一种多功能组合传感器。 背景技术 0002 多功能组合传感器在医疗、工业控制等领域的应用较为广泛，特别是在医疗领域， 应用市场正在快速增长。例如呼吸机与睡眠仪在国内外的销量是非常可观的，而。
4、多功能组 合传感器就是呼吸机与睡眠仪的不可缺少的部分。 0003 目前国内在多功能传感器方面的报道较少，申请号为200510038840.8的专利公 开了温度、风速、风向与气压集成传感器。申请号为200610134820.5的专利公开了差压/ 绝压/温度集成传感器芯片的制作工艺。申请号为200510042729.6的专利也公开了多功 能集成传感器芯片的制作工艺。这些传感器虽然也称作多功能集成传感器，但是这些传感 器是芯片级的集成，即在同一芯片上集成多种敏感元件。 发明内容 0004 本发明的目的是针对已有技术中存在的缺陷，提供了一种多功能组合传感器，该 传感器可以同时实现压力、流量、湿度与温度。
5、的实时测量的。本发明包括：压力传感器、流量 传感器、湿度传感器、温度传感器、传感器基板，其特征在于传感器基板上设有专用集成电 路(ASIC)芯片，温度传感器集成在ASIC芯片上，压力传感器、流量传感器、湿度传感器分别 被设置传感器基板的不同的部位，基板上设有带插针引脚，测量的信号经插针引脚引出。所 述基板为陶瓷基板或塑料基板或为聚合物(BT)基板。 0005 本发明的优点是单个传感器测量单元具有互换性，多功能组合传感器采用 COB(Chip on Board，板上芯片)封装工艺封装。 附图说明 0006 图1本发明的平面结构示意图； 0007 图2本发明的剖视结构示意图。 0008 图中：1.压力传感器、2.插针引脚、3.ASIC芯片、4.湿度传感器、5.流量传感器、 6.基板 具体实施方式 0009 下面结合附图进一步说明本发明的实施例。 0010 参见图1、图2，基板6上设有ASIC芯片3，温度传感器集成在ASIC芯片3上，压力 传感器1、流量传感器5、湿度传感器4分别被设置在基板6上的相应位置，基板6上设有带 插针引脚2，测量的输出信号经插针引脚2引出。基板6为陶瓷基板或塑料基板或为BT(聚 合物)基板。多功能传感器采用COB-封装工艺封装。 说 明 书CN 102680018 A 1/1页 4 图1 图2 说 明 书 附 图CN 102680018 A 。