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1、(10)申请公布号 CN 102612858 A (43)申请公布日 2012.07.25 C N 1 0 2 6 1 2 8 5 8 A *CN102612858A* (21)申请号 200980162466.9 (22)申请日 2009.12.11 H05B 33/22(2006.01) H01L 51/50(2006.01) H05B 33/10(2006.01) H05B 33/12(2006.01) (71)申请人日本先锋公司 地址日本神奈川县 申请人日本东北先锋公司 (72)发明人尾越国三 竹田一弘 渡边辉一 赤木正宣 佐藤竜一 (74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限 公司 。
2、11127 代理人李辉 黄纶伟 (54) 发明名称 有机EL面板及其制造方法 (57) 摘要 本发明提供一种有机EL面板及其制造方法， 其使被形成于电极上的涂布材料层的表面平坦化 的同时进行适当的图案形成，并谋求被形成于其 上的膜的均匀化。本发明的有机EL面板（100），在 基板（10）上形成第1电极（11），在基板（10）上以 包围第1电极（11）上的被涂布面的方式形成绝缘 壁（20）的图案（20A），在绝缘壁（20）的图案（20A） 内的被涂布面上涂布涂布材料来形成涂布材料层 （14），在涂布材料层（14）上层叠包含发光层的有 机层（13），在有机层（13）上形成第2电极（12）。 绝缘壁。
3、（20）在图案（20A）的内面具有抑制涂布材 料层（14）的扩散的悬突部（20B），在形成涂布材 料层（14）之后，通过加热熔融绝缘壁（20）使绝缘 壁（20）中的涂布材料层（14）的上方部分变形，从 而形成确保第2电极（12）的连续性的倾斜面（22） 或曲面（22A）。 (85)PCT申请进入国家阶段日 2012.05.16 (86)PCT申请的申请数据 PCT/JP2009/070774 2009.12.11 (87)PCT申请的公布数据 WO2011/070681 JA 2011.06.16 (51)Int.Cl. 权利要求书1页 说明书5页 附图9页 (19)中华人民共和国国家知识产权。
4、局 (12)发明专利申请 权利要求书 1 页 说明书 5 页 附图 9 页 1/1页 2 1.一种有机EL面板，其特征在于，具备： 基板； 第1电极，直接或通过其他层被形成于该基板上； 涂布材料层，被涂布形成于所述第1电极上； 绝缘壁，图案形成所述涂布材料层； 有机层，被层叠于所述涂布材料层上且包含发光层；及 第2电极，被形成于该有机层上， 所述绝缘壁具有与所述涂布材料层接触的侧面抑制该涂布材料层的扩散的悬突部，并 且在所述涂布材料层的上方具有确保所述第2电极的连续性的倾斜面或曲面。 2.如权利要求1所述的有机EL面板，其特征在于， 所述悬突部为向所述涂布材料层侧倾斜的倾斜面。 3.如权利要求。
5、1或2所述的有机EL面板，其特征在于， 所述绝缘壁覆盖所述涂布材料层的侧面和上面的一部分。 4.如权利要求1至3中任一项所述的有机EL面板，其特征在于， 所述绝缘壁沿着面板的发光区域的外边而被形成。 5.如权利要求1至3中任一项所述的有机EL面板，其特征在于， 所述绝缘壁沿着面板像素的外边而被形成。 6.如权利要求5所述的有机EL面板，其特征在于， 在所述绝缘壁的上部形成具有分离所述第2电极的功能的电极分离隔壁。 7.一种有机EL面板的制造方法，其特征在于，具有： 直接或通过其他层在基板上形成第1电极的工序； 在所述基板上以包围所述第1电极上的被涂布面的方式形成绝缘壁的图案的工序； 在所述绝缘。
6、壁的图案内的所述被涂布面上涂布涂布材料来形成涂布材料层的工序； 在所述涂布材料层上层叠包含发光层的有机层的工序； 在所述有机层上形成第2电极的工序， 所述绝缘壁在所述图案的内面具有抑制所述涂布材料层的扩散的悬突部，在形成所 述涂布材料层之后，通过加热熔融该绝缘壁使该绝缘壁中的所述涂布材料层的上方部分变 形，从而形成确保所述第2电极的连续性的倾斜面或曲面。 8.如权利要求7所述的有机EL面板的制造方法，其特征在于， 所述绝缘壁在变形前的截面形状为大致倒梯形形状或大致T字形状。 权 利 要 求 书CN 102612858 A 1/5页 3 有机 EL 面板及其制造方法 技术领域 0001 本发明涉。
7、及一种有机EL面板及其制造方法。 背景技术 0002 有机EL元件具有在1对电极之间层叠包含发光层的有机层的结构，在基板上配置 有单个或多个该有机EL元件的有机EL面板具备结构上或电性划分有机EL元件的绝缘结 构物。作为绝缘结构物，有按每一像素划分被形成于基板上的电极的绝缘膜或用于分离被 成膜于有机层上的电极的隔壁等。 0003 在这种有机EL元件中，有机层中成为被成膜面的电极的表面状态对发光特性的 好坏带来很大影响。若电极表面有凹凸，则被蒸镀于其上的有机层的膜厚变得不均匀，有机 EL元件中易产生泄漏等发光不良。为了消除该现象已开发有在电极上涂布湿式有机层（导 电性聚合物等）并在被平坦化的有机。
8、层上成膜发光层等的技术。 0004 例如，下述专利文献1中记载有具备如图1所示的绝缘壁的有机EL面板。该以往 技术中，在基板J1的绝缘表面上设置与多个像素对应的第1电极J2，并以包围第1电极J2 的方式设置绝缘壁J3，在绝缘壁J3及第1电极J2上形成导电性聚合物层J4，在该导电性 聚合物层J4上形成包含发光层的有机层J5，在该有机层J5上形成第2电极J6。 0005 专利文献1：日本专利公开2004-145244号公报 发明内容 0006 发明所要解决的问题 0007 根据这种以往技术，如导电性聚合物层的涂布材料层充填电极表面的凹凸来使自 身的表面平坦化，因此可实现被层叠于其上的膜的均匀化，并。
9、可实现提高抗泄漏性等提高 发光性能或耐久性能。另外，被成膜于电极上的湿式成膜中添加接受体（掺杂剂），由此提高 电荷注入效率，从而可实现低电压化。 0008 然而，如图1所示，若在被绝缘壁包围的区域形成涂布材料层，则被形成于电极上 的涂布材料层的表面由于附着在绝缘壁J3侧面的涂布材料的表面张力而变得不平坦，导 致被形成于其上的膜（蒸镀膜等）的膜厚在中心部和周边部有所不同，产生无法在被绝缘壁 包围的整个像素区域得到均匀的发光的问题。 0009 另外，若绝缘壁J3中的侧面的内侧倾斜角如图1所示那样较小（小于直角），则 导致仅形成于第1电极J2上即可的涂布材料层被形成至无需涂布材料层的部位，产生无法 。
10、适当地进行涂布材料层的图案形成的问题。 0010 本发明以解决这种问题作为课题的一例。即，本发明的目的在于，使被形成于电极 上的涂布材料层的表面平坦化的同时进行适当的图案形成来谋求被形成于其上的膜的均 匀化，由此改善有机EL元件的发光特性等。 0011 解决问题的手段 0012 为了实现这种目的，基于本发明的有机EL面板及其制造方法至少具备以下结构。 说 明 书CN 102612858 A 2/5页 4 0013 一种有机EL面板，其特征在于，具备：基板；第1电极，直接或通过其他层被形成 于该基板上；涂布材料层，被涂布形成于所述第1电极上；绝缘壁，图案形成所述涂布材料 层；有机层，被层叠于所述。
11、涂布材料层上且包含发光层；及第2电极，被形成于该有机层上， 所述绝缘壁具有与所述涂布材料层接触的侧面抑制该涂布材料层的扩散的悬突部，并且在 所述涂布材料层的上方具有确保所述第2电极的连续性的倾斜面或曲面。 0014 一种有机EL面板的制造方法，其特征在于，具有：直接或通过其他层在基板上形 成第1电极的工序；在所述基板上以包围所述第1电极上的被涂布面的方式形成绝缘壁的 图案的工序；在所述绝缘壁的图案内的所述被涂布面上涂布涂布材料来形成涂布材料层的 工序；在所述涂布材料层上层叠包含发光层的有机层的工序；及在所述有机层上形成第2 电极的工序，所述绝缘壁在所述图案的内面具有抑制所述涂布材料层的扩散的悬。
12、突部，在 形成所述涂布材料层之后，通过加热熔融该绝缘壁使该绝缘壁中的所述涂布材料层的上方 部分变形，从而形成确保所述第2电极的连续性的倾斜面或曲面。 附图说明 0015 图1是以往技术的说明图。 0016 图2是说明本发明的一实施方式所涉及的有机EL面板的结构的说明图（该图（a） 为该图（b）中的X-X截面图，该图（b）为俯视图）。 0017 图3是说明本发明的实施方式所涉及的有机EL面板的制造方法的说明图。 0018 图4是表示绝缘壁的各种形态例的说明图。 0019 图5是表示绝缘壁的各种形态例的说明图。 0020 图6是表示本发明的实施方式所涉及的有机EL面板的形成例的说明图。 0021 。
13、图7是表示本发明的实施方式所涉及的有机EL面板的形成例的说明图。 0022 图8是表示本发明的实施方式所涉及的有机EL面板的形成例的说明图。 0023 图9是表示本发明的实施方式所涉及的有机EL面板的形成例的说明图。 具体实施方式 0024 以下，参考附图对本发明的实施方式进行说明。本发明的实施方式包括图示的内 容，但不限定于此。图2是说明本发明的一实施方式所涉及的有机EL面板的结构的说明图 （该图（a）为该图（b）中的X-X截面图，该图（b）为俯视图）。本发明的实施方式所涉及的有 机EL面板100为在基板10上形成在第1电极11与第2电极12之间层叠有包含发光层的 有机层13的有机EL元件1。
14、的有机EL面板，其具备基板10、直接或通过其他层被形成于基 板10上的第1电极11、被涂布形成于第1电极11上的涂布材料层14、图案形成涂布材料 层14的绝缘壁20、被层叠于涂布材料层14上且包含发光层的有机层13及被形成于有机层 13上的第2电极12。在图示的例子中，绝缘壁20沿着第1电极11的侧部而被形成，且在 第1电极11上形成开口图案20A。绝缘壁20的图案不限于该开口图案20A，能够形成为各 种形态，能够根据该图案的形态将涂布材料层14图案形成为自由形状。 0025 绝缘壁20具有与涂布材料层14接触的侧面21抑制涂布材料层14的扩散的悬突 部20B，并且在涂布材料层14的上方具有确。
15、保第2电极12的连续性的倾斜面22或曲面。 即，绝缘壁20中，与涂布材料层14接触的侧面21和涂布材料层14的上方部分具有不同的 说 明 书CN 102612858 A 3/5页 5 形状，在图示的例子中，侧面21具有向涂布材料层14侧倾斜的倾斜面，倾斜面22向侧面21 的相反侧倾斜。 0026 具有这种结构的有机EL面板100能够使被形成于第1电极11上的涂布材料层14 的表面平坦化的同时进行适当的图案形成并谋求被形成于其上的有机层13的均匀化，由 此能够使有机EL元件1的发光特性在整个开口图案20A中均匀化。 0027 图3是说明本发明的实施方式所涉及的有机EL面板的制造方法的说明图。有机。
16、 EL面板100的制造方法具有：工序1，直接或通过其他层在基板10上形成第1电极11（参 考图3（a）；工序2，在基板10上以包围第1电极11上的被涂布面的方式形成绝缘壁20 的图案（参考图3（b）；工序3，在绝缘壁20的图案内的第1电极11上的被涂布面涂布涂 布材料来形成涂布材料层14（参考图3（c）；工序4，对绝缘壁20进行加热熔融处理（熟化 处理）（参考图3（d）；工序5，在涂布材料层14上层叠包含发光层的有机层13（参考图3 （e）；及工序6，在有机层13上形成第2电极12（参考图3（f）。图示的例子中，在基板 10上沿着第1电极11的侧部形成绝缘壁20并在第1电极11上形成开口图案2。
17、0A，将该开 口图案20A内设为涂布材料的被涂布面。 0028 在前述工序1中，例如通过蒸镀、溅射等在利用玻璃、塑料、表面形成有绝缘膜的 金属等的基板10上形成导电膜，并通过光刻工序等图案形成工序形成第1电极11的图案。 0029 在前述工序2中，不仅形成绝缘壁20的开口图案20A，还在绝缘壁20形成悬突部。 绝缘壁20中，例如旋涂有意降低UV光透射性的剥离用负型光致抗蚀剂，并进行预烘干。并 且，通过具备透光狭缝的硬铬掩模照射UV光并进行曝光。此时，由于所述的光致抗蚀剂的 UV光透射率较低，因此在深度方向产生相对显像液的溶解性之差。因此，通过对基板10喷 淋显像液并根据显像性之差，形成具有如图。
18、3（b）所示的悬突部20B的绝缘壁20。图示的 例子中，绝缘壁20中的纵截面形状呈大致倒等腰梯形形状。 0030 前述工序3中利用涂布装置14A涂布涂布材料。在此所说的涂布包括喷涂、分涂、 喷墨、印刷等。高分子材料、高分子材料中包含低分子材料的材料等适合作为涂布材料，能 够利用聚烷基噻吩衍生物、聚苯胺衍生物、三苯胺、无机化合物的溶胶凝胶膜、包含路易斯 酸的有机化合物膜、导电性高分子等。该工序3中，在绝缘壁20被形成有悬突部20B，由此 抑制涂布材料层14的扩散，涂布材料层14大致平坦地在第1电极11上形成层。 0031 前述工序4中，在形成涂布材料层14之后，将被形成有第1电极11、绝缘壁20。
19、、涂 布材料层14的基板10放入加热槽M内，施以加热熔融处理。由此，绝缘壁20的上部（涂 布材料层14的上方部分）变形，形成图2所示的倾斜面22或如图3（b）所示的曲面22A。 由此，绝缘壁20具有与涂布材料层14接触的侧面21抑制涂布材料层14的扩散的悬突部 20B，并且在涂布材料层14的上方具有确保第2电极12的连续性的倾斜面22或曲面22B。 0032 前述工序5中，包含发光层的有机层13通过真空蒸镀等而被形成。对形成于涂布 材料层14上的有机层13的形成例进行说明。例如，首先成膜NPB（N,N-di(naphtalence)- N,N-dipheneyl-benzidene）作为空穴传。
20、输层。该空穴传输层具有将从下部电极线2被注入 的空穴传输至发光层的功能。该空穴传输层可以是仅层叠1层的传输层，也可以是层叠2 层以上的传输层。另外，空穴传输层可以由多个材料形成1个层而不是基于单一材料的成 膜，也可以在电荷传输能力较高的主体材料中掺杂电荷供给（容纳）性较高的客体材料。 0033 接着，在空穴传输层上成膜发光层。作为一例，通过电阻加热蒸镀法并利用分涂用 说 明 书CN 102612858 A 4/5页 6 掩模，将红色（R）、绿色（G）、蓝色（B）发光层成膜于各个成膜区域。作为红色（R），采用DCM1 （4-（二氰基亚甲基）-2-甲基-6-（4 -二甲基氨基苯乙烯基）-4H-吡喃。
21、）等苯乙烯色素等 发出红色光的有机材料。作为绿色（G），利用喹啉铝配合物（Alq 3 ）等发出绿色光的有机材 料。作为蓝色（B），利用二苯乙烯衍生物、三唑衍生物等发出蓝色光的有机材料。当然，可以 利用其他材料，可以是主体-客体类的层结构，发光形态也可以是利用荧光发光材料的发 光形态，也可以是利用磷光发光材料的发光形态。 0034 关于被成膜于发光层上的电子传输层，通过电阻加热蒸镀法等各种成膜方法，利 用例如喹啉铝配合物（Alq 3 ）等各种材料进行成膜。电子传输层具有将从上部电极线3被注 入的电子传输至发光层的功能。该电子传输层可以具有仅层叠1层的结构，也可以具有层 叠2层以上的多层结构。另外。
22、，电子传输层可以由多个材料形成1个层而不是基于单一材 料的成膜，也可在电荷传输能力较高的主体材料中掺杂电荷供给（容纳）性较高的客体材料 来形成。 0035 前述工序6中，第2电极12通过真空蒸镀等而被形成。第1电极11及第2电极 12的其中一方作为阳极发挥作用而另一方作为阴极发挥作用。当设为从基板侧取出光的 顶部发光方式时，第1电极11采用ITO等透明导电膜。阴极能够采用功函数低于阳极的材 料，当作为阳极利用ITO时，作为阴极能够利用铝（Al）或Mg-Al等镁合金。 0036 图4及图5是表示绝缘壁20的各种形态例的说明图。被形成于绝缘壁20的悬突 部20B是指覆盖涂布材料层14的端部上的形状。
23、，并不限定于图2所示的侧面21的形状，可 包含各种形态。 0037 图4（a）所示的例子中，在绝缘壁20的侧面21上被形成向涂布材料层14侧突出 的突出部21a，加热成型前的绝缘壁20的截面形状呈大致T字形状。绝缘壁从（a1）的加热 熔融前的状态变化为加热后（a2）的状态。（a2）的状态中，绝缘壁20中覆盖涂布材料层14 的侧面和上面的一部分而被形成悬突部20B。并且，在涂布材料层14上被形成曲面22A。 0038 图4（b）所示的例子中，在绝缘壁20的侧面21被形成向涂布材料层14侧突出的 突出部21a1，该突出部21a1具有角部。绝缘壁从（b1）的加热熔融前的状态变化为加热后 （b2）的状。
24、态。（b2）的状态中，绝缘壁20中覆盖涂布材料层14的侧面和上面的一部分而被 形成悬突部20B。并且，在涂布材料层14上被形成曲面22A。 0039 绝缘壁20的截面形状无需左右对称，悬突部20B可仅形成于一侧。图4（c）中侧 面21仅在一侧具有倾斜面21a2。绝缘壁从（c1）的加热熔融前的状态变化为加热后（c2） 的状态。（c2）的状态中，绝缘壁20中覆盖涂布材料层14的侧面和上面的一部分而被形成 悬突部20B。并且，在涂布材料层14上被形成曲面22A。 0040 图5中示出加热熔融前的绝缘壁20的各种截面形状。该图（a）的例子中，从侧面 21被形成有多个突出部21b1、21b2。该图（b）。
25、所示的例子中，一侧的突出部21c1和相反侧 的突出部21c2的突出宽度是不同的。该图（c）所示的例子中，在其中一方的侧面21被形成 有不同角度的倾斜面21d1、21d2，在另一方的侧面21也被形成有不同角度的倾斜面21d3、 21d4。该图（d）所示的例子中，仅在其中一方的侧面21被形成有突出部21e。该图（e）所 示的例子中，仅在其中一方的侧面21上被形成突出部21d，突出部21d具有角部。 0041 图6图9是表示本发明的实施方式所涉及的有机EL面板的形成例的说明图。对 与前述说明共同的部分附加相同符号并省略部分重复说明。 说 明 书CN 102612858 A 5/5页 7 0042 图。
26、6（该图（a）表示单体面板的除去第2电极的俯视图，该图（b）表示被形成为大 型基板的分割前的多个面板的俯视图。）所示的例子是沿着有机EL面板100中的基板10上 的发光区域10E的外边形成绝缘壁20的图案的例子。涂布材料层14通过该绝缘壁20被 图案形成。在基板10中的发光区域10E的外侧被形成有配线区域10F，在该配线区域10F 上被形成有连接于第1电极11或第2电极12的配线30。有机EL面板100中，如图6（b） 所示，能够通过在大型基板上同时形成多个面板并沿着分割线C1C4切割来用一连串的 工序形成多个面板。 0043 图7（该图（a）为除去第2电极的俯视图，该图（b）为包含第2电极的。
27、该图（a）的 X-X截面图）所示的例子是沿着有机EL面板100中的基板10上的像素1G的外边形成绝缘 壁20的例子。由前述有机EL元件1被形成像素1G，沿着该像素1G的外边被形成有绝缘壁 20。第2电极12遍及多个像素1G而被形成，端部通过接点部12S连接于配线30。 0044 图8（该图（a）是除去第2电极的俯视图，该图（b）是包含第2电极的该图（a）的 X-X截面图）所示的例子是沿着有机EL面板100中的基板10上的像素1G的外边形成绝缘 壁20，并在绝缘壁20的上部形成具有分离第2电极12的功能的电极分离隔壁30的例子。 0045 图9表示绝缘壁20的其他形态例。绝缘壁20的开口图案20。
28、A可采取各种形态例。 绝缘壁20能够图案形成为多种多样的形状，因此能够设为示于图9的数字片段或图标等形 态。 0046 这种本发明的实施方式所涉及的有机EL面板中，通过在第1电极11上形成涂布 材料层14，由涂布材料层14充填电极表面的凹凸来使自身的表面平坦化，因此可实现被层 叠于其上的有机层13的均匀化，并可实现提高抗泄漏性等提高发光性能或耐久性能。另 外，在被涂布于电极上的涂布材料中添加接受体（掺杂剂），由此提高电荷注入效率，从而可 实现低电压化。 0047 另外，在包围涂布材料层14周围的绝缘壁20的内侧面形成悬突部20B，因此能够 在使被形成于第1电极11上的涂布材料层14的表面平坦化。
29、的同时进行适当的图案形成， 且能够通过使被形成于其上的有机层13进一步均匀化来改善有机EL元件的发光特性。尤 其，能够在开口图案20A内的整个区域得到均匀的发光特性，并能够提高有机EL面板100 的质量。 0048 而且，绝缘壁20中，涂布材料层14的上方部分成为确保第2电极12的连续性的倾 斜面22或曲面22A，因此在涂布材料层14上层叠有机层13并在其上成膜第2电极12时， 能够形成无断线的第2电极12，并能够得到可靠性较高的有机EL面板100。 0049 以上，参考附图对本发明的实施方式进行了详细叙述，但具体结构不限于这些实 施方式，即便有不脱离本发明宗旨的范围的设计变更等，也被包含于本。
30、发明中。并且，上述 各实施方式只要其目的及结构等没有特别的矛盾或问题，就能够流用彼此的技术来进行组 合。 说 明 书CN 102612858 A 1/9页 8 图1 说 明 书 附 图CN 102612858 A 2/9页 9 图2 说 明 书 附 图CN 102612858 A 3/9页 10 图3 说 明 书 附 图CN 102612858 A 10 4/9页 11 图4 说 明 书 附 图CN 102612858 A 11 5/9页 12 图5 说 明 书 附 图CN 102612858 A 12 6/9页 13 图6 说 明 书 附 图CN 102612858 A 13 7/9页 14 图7 说 明 书 附 图CN 102612858 A 14 8/9页 15 图8 说 明 书 附 图CN 102612858 A 15 9/9页 16 图9 说 明 书 附 图CN 102612858 A 16 。