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1、(10)申请公布号 CN 104030682 A (43)申请公布日 2014.09.10 C N 1 0 4 0 3 0 6 8 2 A (21)申请号 201410247186.0 (22)申请日 2014.06.05 C04B 35/495(2006.01) C04B 35/64(2006.01) (71)申请人西安交通大学 地址 710049 陕西省西安市咸宁西路28号 (72)发明人汪宏 郭靖 张高群 周迪 (74)专利代理机构西安通大专利代理有限责任 公司 61200 代理人陆万寿 (54) 发明名称 一种无玻璃低温烧结温度稳定型微波介质陶 瓷材料及其制备方法 (57) 摘要 本发。
2、明公开了一种无玻璃低温烧结温度稳定 型微波介质陶瓷材料及其制备方法。该陶瓷材料 的化学式为A 1-3x Bi 2x MoO 4 ,其中A为Ca 2+ ,Sr 2+ ,Ba 2+ 或者Pb 2+ ;0.005x0.3。其制备方法的以具 有白钨矿结构的ABO 4 型钼基介质材料为基础,利 用价态补偿的方法,通过三价铋离子取代二价离 子的方式形成A位缺陷型固溶体,制备方法简单, 烧结温度低。该陶瓷材料是一种不需要添加玻璃 助烧剂就可以在低温下烧结的、温度稳定(谐振 频率温度系数小)的可应用于LTCC技术的高性能 微波介质陶瓷材料,其介电常数为845,最高品 质因子为Qf值103750GHz,最小|T。
3、CF|值可 以达到1.2ppm/。 (51)Int.Cl. 权利要求书1页 说明书7页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书1页 说明书7页 (10)申请公布号 CN 104030682 A CN 104030682 A 1/1页 2 1.一种无玻璃低温烧结温度稳定型微波介质陶瓷材料,其特征在于,其化学式为: A 1-3x Bi 2x MoO 4 ,其中A为Ca 2+ 、Sr 2+ 、Ba 2+ 或Pb 2+ ;0.005x0.3。 2.根据权利要求1所述的无玻璃低温烧结温度稳定型微波介质陶瓷材料,其特 征在于:其介电常数为845、Qf值为1880GHz103。
4、750GHz、谐振频率温度系数 为-91ppm/+25ppm/。 3.一种无玻璃低温烧结温度稳定型微波介质陶瓷材料的制备方法,其特征在于,包括 以下步骤: 1)按化学式A 1-3x Bi 2x MoO 4 中各元素的配比称取原料Bi 2 O 3 和MoO 3 以及CaCO 3 、 SrCO 3 、BaCO 3 、PbO中的一种,其中化学式A 1-3x Bi 2x MoO 4 中A为Ca 2+ 、Sr 2+ 、Ba 2+ 或Pb 2+ , 0.005x0.3; 2)将称取的原料混合后放入球磨罐中,加入球磨溶剂,湿法球磨至原料混合均匀,然后 将球磨后的原料取出烘干,压制成块体; 3)将压制的块体在。
5、450600预烧,并保温46小时,得到样品烧结块; 4)将样品烧结块粉碎后球磨均匀,然后烘干、造粒,得到瓷料粉末; 5)将瓷料粉末压制成型,在550900下烧结26小时成瓷,得到无玻璃低温烧结 温度稳定型微波介质陶瓷材料。 4.根据权利要求3所述的无玻璃低温烧结温度稳定型微波介质陶瓷材料的制备方法, 其特征在于:所述的步骤2)中的球磨罐为尼龙罐,球磨溶剂为无水乙醇。 5.根据权利要求3或4所述的无玻璃低温烧结温度稳定型微波介质陶瓷材料的制备方 法,其特征在于:所述的步骤2)中的球磨时间为312小时。 6.根据权利要求3或4所述的无玻璃低温烧结温度稳定型微波介质陶瓷材料的制备方 法,其特征在于:。
6、所述的步骤2)中的烘干温度为100120。 7.根据权利要求3所述的无玻璃低温烧结温度稳定型微波介质陶瓷材料的制备方法, 其特征在于:所述的步骤4)中采用湿法球磨,球磨罐为尼龙罐,球磨溶剂为无水乙醇。 8.根据权利要求3或7所述的无玻璃低温烧结温度稳定型微波介质陶瓷材料的制备方 法,其特征在于:所述的步骤4)中的球磨时间为412小时。 9.根据权利要求3或7所述的无玻璃低温烧结温度稳定型微波介质陶瓷材料的制备方 法,其特征在于:所述的步骤4)中的烘干温度为100120。 10.根据权利要求3所述的无玻璃低温烧结温度稳定型微波介质陶瓷材料的制备方 法,其特征在于:所述的步骤4)中造粒得到的粉体经。
7、60目和120目筛网双层过筛,两筛之 间的部分即为所需粒度的瓷料粉末。 权 利 要 求 书CN 104030682 A 1/7页 3 一种无玻璃低温烧结温度稳定型微波介质陶瓷材料及其制 备方法 技术领域 0001 本发明属于电子陶瓷技术领域,涉及一种微波介质陶瓷材料及其制备方法,尤其 是一种无玻璃低温烧结温度稳定型微波介质陶瓷材料及其制备方法。 背景技术 0002 近年来信息技术飞速发展,通讯类电子产品、军事电子整机等在小型化、轻型化、 高可靠性、高集成度及低成本方面的需求,对以微波介质陶瓷为基础的微波元器件提出了 更高的要求。以低温共烧陶瓷(low-temperature co-red ce。
8、ramic,LTCC)技术为基础的多 层结构设计可有效减小器件体积,是实现这些需求的重要技术手段。 0003 LTCC技术是一种令人瞩目的多学科交叉的整合组件技术,涉及电路设计、材料科 学、微波技术等广泛领域。它最初是20世纪80年代由休斯公司开发的新型材料技术,利用 低温烧结陶瓷材料,根据设计的图案结构,将基板、电子元件、电极材料等一次性烧成,大大 提高了生产效率。与其他组件整合技术相比,LTCC技术具有许多优点:LTCC技术的烧结温 度一般低于950,可以采用金、银、铜等高电导率金属作为导电介质,降低了工艺难度并提 高了信号传输速度;LTCC材料的介电常数可以在很大的范围内变动,使电路设计。
9、更加灵活 性;温度特性更加优秀,如具有较小的热膨胀系数、较小的谐振频率温度系数,可适应大电 流及耐高温特性要求;可靠性更高,可用于恶劣环境;可以得到更细的线宽和线间距,提高 了集成度。 0004 微波介质陶瓷材料作为LTCC技术的关键材料之一,应该具有低损耗(高Qf 值)、近零的谐振频率温度系数(温度稳定:TCF0)、低烧结温度(960)、能与Ag或Cu 电极匹配共烧的特性。但是,绝大部分的微波介质陶瓷材料不具有低烧结温度及近零的谐 振频率温度系数,不适合LTCC技术的要求,因此开发和研究低温烧结温度稳定型微波介质 陶瓷材料体系就变得非常的有意义了。 0005 综上所述,微波技术的飞速发展推动。
10、了微波元器件向小型化、集成化的发展。LTCC 技术以其优异的电学、热学、机械特性成为当前电子元件集成化、模块化的首选方式,广泛 用于宇航工业、军事、无线通信、全球定位系统、无线局域网、汽车等领域。因此,化学组成和 制备工艺简单、烧结温度低、具有温度稳定性、微波介电性能优异且能与铜或银电极共烧的 新型微波介质陶瓷材料具有广阔的应用前景。 发明内容 0006 本发明的目的在于克服上述现有技术的缺点,提供一种无玻璃低温烧结温度稳定 型微波介质陶瓷材料及其制备方法,该陶瓷材料是一种不需要添加玻璃助烧剂就可以在低 温下烧结的、谐振频率温度系数(TCF)接近于零的、可应用于LTCC技术的高性能微波介质 陶。
11、瓷材料。 0007 本发明的目的是通过以下技术方案来解决的: 说 明 书CN 104030682 A 2/7页 4 0008 一种无玻璃低温烧结温度稳定型微波介质陶瓷材料,其化学式为:A 1-3x Bi 2x MoO 4 ,其 中A为Ca 2+ 、Sr 2+ 、Ba 2+ 或Pb 2+ ;0.005x0.3。 0009 其介电常数为845、Qf值为1880GHz103750GHz、谐振频率温度系数 为-91ppm/+25ppm/。 0010 该无玻璃低温烧结温度稳定型微波介质陶瓷材料是基于白钨矿的A位缺陷型固 溶体。 0011 一种无玻璃低温烧结温度稳定型微波介质陶瓷材料的制备方法,包括以下步。
12、骤: 0012 1)按化学式A 1-3x Bi 2x MoO 4 中各元素的配比称取原料Bi 2 O 3 和MoO 3 以及CaCO 3 、 SrCO 3 、BaCO 3 、PbO中的一种,其中化学式A 1-3x Bi 2x MoO 4 中A为Ca 2+ 、Sr 2+ 、Ba 2+ 或Pb 2+ , 0.005x0.3; 0013 2)将称取的原料混合后放入球磨罐中,加入球磨溶剂,湿法球磨至原料混合均匀, 然后将球磨后的原料取出烘干,压制成块体; 0014 3)将压制的块体在450600预烧,并保温46小时,得到样品烧结块; 0015 4)将样品烧结块粉碎后球磨均匀,然后烘干、造粒,得到瓷料粉。
13、末; 0016 5)将瓷料粉末压制成型,在550900下烧结26小时成瓷,得到无玻璃低温 烧结温度稳定型微波介质陶瓷材料。 0017 所述的步骤2)中的球磨罐为尼龙罐,球磨溶剂为无水乙醇。 0018 所述的步骤2)中的球磨时间为312小时。 0019 所述的步骤2)中的烘干温度为100120。 0020 所述的步骤4)中采用湿法球磨,球磨罐为尼龙罐,球磨溶剂为无水乙醇。 0021 所述的步骤4)中的球磨时间为412小时。 0022 所述的步骤4)中的烘干温度为100120。 0023 所述的步骤4)中造粒得到的粉体经60目和120目筛网双层过筛,两筛之间的部 分即为所需粒度的瓷料粉末。 002。
14、4 相对于现有技术,本发明具有以下有益效果: 0025 本发明提供的无玻璃低温烧结温度稳定型微波介质陶瓷材料,其化学式为: A 1-3x Bi 2x MoO 4 ,其中A为Ca 2+ 、Sr 2+ 、Ba 2+ 或Pb 2+ ;0.005x0.3。该陶瓷材料是一种不需要 添加玻璃助烧剂就可以在低温下烧结的、谐振频率温度系数(TCF)接近于零的、可应用于 LTCC技术的高性能微波介质陶瓷材料,该陶瓷材料能够适用于LTCC技术的需要,扩大其应 用范围。 0026 本发明提供的无玻璃低温烧结温度稳定型微波介质陶瓷材料的制备方法,采用了 最简单有效的固相反应烧结的方法来制备目标产物。首先是选取合适比例。
15、的配方,选取合 适的初始氧化物,通过一次球磨使得氧化物混合均匀,通过预烧结过程使得氧化物进行初 步的反应,再通过二次球磨细化反应物的颗粒尺寸,最后通过烧结得到所需要的陶瓷样品。 该方法原料易得、步骤简单、操作方便、烧结温度低。 0027 本发明制得的无玻璃低温烧结温度稳定型微波介质陶瓷材料的介电常数随 成分变化在845之间,Qf值分布在1880GHz103750GHz,谐振频率温度系数 在-91ppm/+25ppm/可调,最小|TCF|值可以达到1.2ppm/。 说 明 书CN 104030682 A 3/7页 5 具体实施方式 0028 下面对本发明的内容作进一步详细说明。 0029 本发明。
16、的无玻璃低温烧结温度稳定型微波介质陶瓷材料以具有白钨矿结构的 ABO 4 型钼基介质材料为基础,利用价态补偿的方法,通过三价铋离子取代二价离子的方式 形成A位缺陷型固溶体,其配方表达式为:A 1-3x Bi 2x MoO 4 ,其中A为Ca 2+ ,Sr 2+ ,Ba 2+ 或者Pb 2+ ; 0.005x0.3。 0030 本发明的无玻璃低温烧结温度稳定型微波介质陶瓷材料具体制备步骤如下: 0031 按配方通式A 1-3x Bi 2x MoO 4 配制原料CaCO 3 、SrCO 3 、BaCO 3 、PbO、Bi 2 O 3 、MoO 3 ,其中A为 Ca 2+ ,Sr 2+ ,Ba 2+。
17、 ,Pb 2+ 离子中的一种,0.005x0.3; 0032 将配制的原料混合后球磨312个小时,磨细后烘干、压块,然后经450600 预烧,并保温46小时,将预烧后的块体进行二次球磨,磨细烘干后造粒,经60目与120 目筛网双层过筛,即可得到所需瓷料。将瓷料按需要压制成型,然后在550900下烧结 26小时成瓷,即可得到无玻璃低温烧结温度稳定型微波介质陶瓷材料。 0033 本发明从晶体化学原理和电介质物理的有关理论出发,通过离子取代和价态补 偿形成A位缺陷型固溶体。可以在没有任何烧结助剂的前提下,实现低温烧结(550 900),并且得到谐振频率温度系数近零、微波介电性能优异的新型功能陶瓷。这。
18、类陶瓷可 以作为低温共烧陶瓷系统(LTCC)、射频多层陶瓷电容器、谐振器、滤波器、陶瓷天线、介质波 导回路、多芯片组件(MCM)、蓝牙模块等介质材料使用。以下给出本发明的几个实施例: 0034 实施例1 0035 1)将分析纯的原料CaCO 3 、Bi 2 O 3 、MoO 3 按配方通式A 1-3x Bi 2x MoO 4 配制,其中A为Ca 2+ , x0.005; 0036 2)将配制后的化学原料混合,放入尼龙罐中,加入无水乙醇,采用湿法球磨4小 时,充分混合均匀,取出后在100下快速烘干,压制成块状; 0037 3)压制的块体经600预烧,并保温4小时,得到样品烧结块; 0038 4)。
19、将样品烧结块粉碎,放入尼龙罐中,加入无水乙醇,经过4小时的二次湿法球 磨,充分混合磨细后,在100下烘干后造粒,造粒后的粉体经60目和120目筛网双层过筛, 两筛之间的部分即为所需粒度的瓷料粉末; 0039 5)将瓷料粉末按需要压制成型(片状或柱状),在900下烧结2小时成瓷,即可 得到无玻璃低温烧结温度稳定型微波介质陶瓷材料。 0040 该陶瓷材料的性能达到如下指标: 0041 在900空气中烧结成瓷,微波下的介电性能 r 9.3,Qf值99410GHz,微 波下的谐振频率温度系数TCF-52.8ppm/(2585)。 0042 实施例2 0043 1)将分析纯的原料CaCO 3 、Bi 2。
20、 O 3 、MoO 3 按配方通式A 1-3x Bi 2x MoO 4 配制,其中A为Ca 2+ , x0.015; 0044 2)将配制后的化学原料混合,放入尼龙罐中,加入无水乙醇,采用湿法球磨4小 时,充分混合均匀,取出后在100下快速烘干,压制成块状; 0045 3)压制的块体经600预烧,并保温4小时,得到样品烧结块; 0046 4)将样品烧结块粉碎,放入尼龙罐中,加入无水乙醇,经过4小时的二次湿法球 说 明 书CN 104030682 A 4/7页 6 磨,充分混合磨细后,在100下烘干后造粒,造粒后的粉体经60目和120目筛网双层过筛, 两筛之间的部分即为所需粒度的瓷料粉末; 00。
21、47 5)将瓷料粉末按需要压制成型(片状或柱状),在825下烧结2小时成瓷,即可 得到无玻璃低温烧结温度稳定型微波介质陶瓷材料。 0048 该陶瓷材料的性能达到如下指标: 0049 在825空气中烧结成瓷,微波下的介电性能 r 10.5,Qf值103750GHz, 微波下的谐振频率温度系数TCF-51.8ppm/(2585)。 0050 实施例3: 0051 1)将分析纯的原料CaCO 3 、Bi 2 O 3 、MoO 3 按配方通式A 1-3x Bi 2x MoO 4 配制,其中A为Ca 2+ , x0.15; 0052 2)将配制后的化学原料混合,放入尼龙罐中,加入无水乙醇,采用湿法球磨4。
22、小 时,充分混合均匀,取出后在100下快速烘干,压制成块状; 0053 3)压制的块体经600预烧,并保温4小时,得到样品烧结块; 0054 4)将样品烧结块粉碎,放入尼龙罐中,加入无水乙醇,经过4小时的二次湿法球 磨,充分混合磨细后,在100下烘干后造粒,造粒后的粉体经60目和120目筛网双层过筛, 两筛之间的部分即为所需粒度的瓷料粉末; 0055 5)将瓷料粉末按需要压制成型(片状或柱状),在700下烧结2小时成瓷,即可 得到无玻璃低温烧结温度稳定型微波介质陶瓷材料。 0056 该陶瓷材料的性能达到如下指标: 0057 在700空气中烧结成瓷,微波下的介电性能 r 21.2,Qf值2929。
23、0GHz,微 波下的谐振频率温度系数TCF-1.2ppm/(2585)。 0058 实施例4: 0059 1)将分析纯的原料SrCO 3 、Bi 2 O 3 、MoO 3 按配方通式A 1-3x Bi 2x MoO 4 配制,其中A为Sr 2+ , x0.15; 0060 2)将配制后的化学原料混合,放入尼龙罐中,加入无水乙醇,采用湿法球磨4小 时,充分混合均匀,取出后在100下快速烘干,压制成块状; 0061 3)压制的块体经550预烧,并保温4小时,得到样品烧结块; 0062 4)将样品烧结块粉碎,放入尼龙罐中,加入无水乙醇,经过4小时的二次湿法球 磨,充分混合磨细后,在100下烘干后造粒。
24、,造粒后的粉体经60目和120目筛网双层过筛, 两筛之间的部分即为所需粒度的瓷料粉末; 0063 5)将瓷料粉末按需要压制成型(片状或柱状),在700下烧结2小时成瓷,即可 得到无玻璃低温烧结温度稳定型微波介质陶瓷材料。 0064 该陶瓷材料的性能达到如下指标: 0065 在700空气中烧结成瓷,微波下的介电性能 r 22,Qf值15000GHz,微波 下的谐振频率温度系数TCF-5ppm/(2585)。 0066 实施例5: 0067 1)将分析纯的原料BaCO 3 、Bi 2 O 3 、MoO 3 按配方通式A 1-3x Bi 2x MoO 4 配制,其中A为Ba 2+ , x0.025;。
25、 0068 2)将配制后的化学原料混合,放入尼龙罐中,加入无水乙醇,采用湿法球磨4小 说 明 书CN 104030682 A 5/7页 7 时,充分混合均匀,取出后在100下快速烘干,压制成块状; 0069 3)压制的块体经500预烧,并保温4小时,得到样品烧结块; 0070 4)将样品烧结块粉碎,放入尼龙罐中,加入无水乙醇,经过4小时的二次湿法球 磨,充分混合磨细后,在100下烘干后造粒,造粒后的粉体经60目和120目筛网双层过筛, 两筛之间的部分即为所需粒度的瓷料粉末; 0071 5)将瓷料粉末按需要压制成型(片状或柱状),在650下烧结2小时成瓷,即可 得到无玻璃低温烧结温度稳定型微波介。
26、质陶瓷材料。 0072 该陶瓷材料的性能达到如下指标: 0073 在650空气中烧结成瓷,微波下的介电性能 r 10.2,Qf值55620GHz,微 波下的谐振频率温度系数TCF-32.5ppm/(2585)。 0074 实施例6: 0075 1)将分析纯的原料BaCO 3 、Bi 2 O 3 、MoO 3 按配方通式A 1-3x Bi 2x MoO 4 配制,其中A为Ba 2+ , x0.2; 0076 2)将配制后的化学原料混合,放入尼龙罐中,加入无水乙醇,采用湿法球磨4小 时,充分混合均匀,取出后在100下快速烘干,压制成块状; 0077 3)压制的块体经500预烧,并保温4小时,得到样。
27、品烧结块; 0078 4)将样品烧结块粉碎,放入尼龙罐中,加入无水乙醇,经过4小时的二次湿法球 磨,充分混合磨细后,在100下烘干后造粒,造粒后的粉体经60目和120目筛网双层过筛, 两筛之间的部分即为所需粒度的瓷料粉末; 0079 5)将瓷料粉末按需要压制成型(片状或柱状),在625下烧结2小时成瓷,即可 得到无玻璃低温烧结温度稳定型微波介质陶瓷材料。 0080 该陶瓷材料的性能达到如下指标: 0081 在625空气中烧结成瓷,微波下的介电性能 r 23,Qf值7070GHz,微波 下的谐振频率温度系数TCF+9.8ppm/(2585)。 0082 实施例7: 0083 1)将分析纯的原料B。
28、aCO 3 、Bi 2 O 3 、MoO 3 按配方通式A 1-3x Bi 2x MoO 4 配制,其中A为Ba 2+ , x0.3; 0084 2)将配制后的化学原料混合,放入尼龙罐中,加入无水乙醇,采用湿法球磨4小 时,充分混合均匀,取出后在100下快速烘干,压制成块状; 0085 3)压制的块体经500预烧,并保温4小时,得到样品烧结块; 0086 4)将样品烧结块粉碎,放入尼龙罐中,加入无水乙醇,经过4小时的二次湿法球 磨,充分混合磨细后,在100下烘干后造粒,造粒后的粉体经60目和120目筛网双层过筛, 两筛之间的部分即为所需粒度的瓷料粉末; 0087 5)将瓷料粉末按需要压制成型(。
29、片状或柱状),在625下烧结2小时成瓷,即可 得到无玻璃低温烧结温度稳定型微波介质陶瓷材料。 0088 该陶瓷材料的性能达到如下指标: 0089 在625空气中烧结成瓷,微波下的介电性能 r 26.4,Qf值1880GHz,微 波下的谐振频率温度系数TCF-90.9ppm/(2585)。 0090 实施例8: 说 明 书CN 104030682 A 6/7页 8 0091 1)将分析纯的原料PbO、Bi 2 O 3 、MoO 3 按配方通式A 1-3x Bi 2x MoO 4 配制,其中A为Pb 2+ , x0.1; 0092 2)将配制后的化学原料混合,放入尼龙罐中,加入无水乙醇,采用湿法球。
30、磨3小 时,充分混合均匀,取出后在100下快速烘干,压制成块状; 0093 3)压制的块体经500预烧,并保温4小时,得到样品烧结块; 0094 4)将样品烧结块粉碎,放入尼龙罐中,加入无水乙醇,经过4小时的二次湿法球 磨,充分混合磨细后,在100下烘干后造粒,造粒后的粉体经60目和120目筛网双层过筛, 两筛之间的部分即为所需粒度的瓷料粉末; 0095 5)将瓷料粉末按需要压制成型(片状或柱状),在600下烧结2小时成瓷,即可 得到无玻璃低温烧结温度稳定型微波介质陶瓷材料。 0096 该陶瓷材料的性能达到如下指标: 0097 在600空气中烧结成瓷,微波下的介电性能 r 40,Qf值2000。
31、0GHz,微波 下的谐振频率温度系数TCF-8ppm/(2585)。 0098 实施例9: 0099 1)将分析纯的原料PbO、Bi 2 O 3 、MoO 3 按配方通式A 1-3x Bi 2x MoO 4 配制,其中A为Pb 2+ , x0.25; 0100 2)将配制后的化学原料混合,放入尼龙罐中,加入无水乙醇,采用湿法球磨8小 时,充分混合均匀,取出后在120下快速烘干,压制成块状; 0101 3)压制的块体经450预烧,并保温6小时,得到样品烧结块; 0102 4)将样品烧结块粉碎,放入尼龙罐中,加入无水乙醇,经过12小时的二次湿法球 磨,充分混合磨细后,在120下烘干后造粒,造粒后的。
32、粉体经60目和120目筛网双层过筛, 两筛之间的部分即为所需粒度的瓷料粉末; 0103 5)将瓷料粉末按需要压制成型(片状或柱状),在550下烧结6小时成瓷,即可 得到无玻璃低温烧结温度稳定型微波介质陶瓷材料。 0104 实施例10 0105 1)将分析纯的原料SrCO 3 、Bi 2 O 3 、MoO 3 按配方通式A 1-3x Bi 2x MoO 4 配制,其中A为Sr 2+ , x0.05; 0106 2)将配制后的化学原料混合,放入尼龙罐中,加入酒精,采用湿法球磨12小时,充 分混合均匀,取出后在110下快速烘干,压制成块状; 0107 3)压制的块体经520预烧,并保温5小时,得到样。
33、品烧结块; 0108 4)将样品烧结块粉碎,放入尼龙罐中,加入酒精,经过8小时的二次湿法球磨,充 分混合磨细后,在110下烘干后造粒,造粒后的粉体经60目和120目筛网双层过筛,两筛 之间的部分即为所需粒度的瓷料粉末; 0109 5)将瓷料粉末按需要压制成型(片状或柱状),在750下烧结4小时成瓷,即可 得到无玻璃低温烧结温度稳定型微波介质陶瓷材料。 0110 本发明制得的无玻璃低温烧结温度稳定型微波介质陶瓷材料的介电常数随 成分变化在845之间,Qf值分布在1880GHz103750GHz,谐振频率温度系数 在-91ppm/+25ppm/可调,最小|TCF|值可以达到1.2ppm/。 0111 需要指出的是,按照本发明的技术方案,上述实例还可以举出许多,根据申请人大 说 明 书CN 104030682 A 7/7页 9 量的实验结果证明,在本发明的权利要求书所提出的范围,均可以达到本发明的目的。 说 明 书CN 104030682 A 。