紫外线发光模块以及紫外线照射装置.pdf

本发明提供一种使用紫外线LED等紫外线发光元件且具有紧凑结构的紫外线照射装置，该紫外线照射装置能够照射高强度的紫外线。紫外线照射装置具有：光源，其射出紫外线；聚光装置，其对由该光源所射出的紫外线进行聚集，在紫外线照射装置中，使用模块化的棒状光源(110)作为所述光源，该模块化的棒状光源(110)构成为，在圆筒状或多边形柱状的基体的侧表面上配置多个紫外线发光元件，各紫外线发光元件的光轴穿过所述圆筒状或多边形柱状的基体的中心轴，紫外线以该中心轴为中心呈放射状被射出，将该棒状光源配置在扁平椭圆状反射镜(120)的焦点轴(121)上，使由该棒状光源呈放射状射出的紫外线聚集，并且照射所聚集的紫外线。

权利要求书
1.  一种紫外线发光模块，其特征在于，
在球状或多面体状的基体的表面上，或者在圆筒状或多边形柱状 的基体的侧表面上，配置多个紫外线发光元件，各紫外线发光元件的 光轴穿过所述球状或多面体状的基体的中心，或者各紫外线发光元件 的光轴穿过所述圆筒状或多边形柱状的基体的中心轴，紫外线以所述 中心或者中心轴为中心呈放射状被射出。

2.  一种紫外线照射装置，具有：
光源，其射出紫外线；
聚光装置，其对由该光源射出的紫外线进行聚集，其特征在于，
所述光源由球状光源或者棒状光源构成，
在所述球状光源中，在球状或者多面体状的基体的表面上配置多 个紫外线发光元件，各紫外线发光元件的光轴穿过所述球状或多面体 的基体的中心，紫外线以该中心为中心呈放射状被射出；
在所述棒状光源中，在圆筒状或多边形柱状的基体的侧表面上配 置多个紫外线发光元件，各紫外线发光元件的光轴穿过所述圆筒状或 多边形柱状的基体的中心轴，紫外线以该中心轴为中心呈放射状被射 出。

3.  根据权利要求2所述的紫外线照射装置，其特征在于，
在所述光源的所述球状或多面体状的基体的内部，或者在圆筒状 或多边形柱状的基体的内部，形成冷却用介质用流路。

4.  根据权利要求2或3所述的紫外线照射装置，其特征在于，
所述聚光装置具有由椭球体状反射镜或扁平椭圆状反射镜构成 的射出侧反射镜，当该射出侧反射镜为椭球体状反射镜时，在该椭球 体状反射镜的焦点上配置所述球状光源，当该射出侧反射镜为扁平椭 圆状反射镜时，在该扁平椭圆状反射镜的焦点轴上配置所述棒状光 源，在该射出侧反射镜的聚光点附近或者聚光轴附近设置紫外线射出 用开口部。

5.  根据权利要求4所述的紫外线照射装置，其特征在于，
所述聚光装置还具有聚光侧反射镜，
所述聚光侧反射镜由形状与所述射出侧反射镜相同的椭球体状 反射镜或扁平椭圆状反射镜构成，在该椭球体状反射镜或扁平椭圆状 反射镜的焦点或焦点轴附近设有紫外线射出用开口部，
所述聚光装置具有如下结构：
所述射出侧反射镜和该聚光侧反射镜以相对配置的方式连接，并 且，所述射出侧反射镜的聚光点或聚光轴与该聚光侧反射镜的焦点点 或焦点轴一致。

6.  根据权利要求4或5所述的紫外线照射装置，其特征在于，
在所述紫外线射出用开口部设置用于将所聚集的紫外线转换为 平行或者大致平行的光束的准直光学系统。

7.  根据权利要求6所述的紫外线照射装置，其特征在于，
具有多个准直光学系统，
所述多个准直光学系统用于将所聚集的紫外线转换成具有互不 相同的规定的光子通量密度的平行的光束，或者转换成具有互不相同 的规定的照射面积的平行的光束，将该多个准直光学系统中的一个以 可更换的方式设置在所述紫外线射出用开口部上，以能够对由该紫外 线照射装置射出的紫外线光束的光子通量密度或者照射面积进行调 整。

8.  根据权利要求4或5所述的紫外线照射装置，其特征在于，
还具有光传输系统，
所述光传输系统具有：
光入射部，由所述聚光装置聚集的紫外线射入所述光入射部；
传输部，其传输所射入的紫外线；
光射出部，其射出所传输的紫外线，
在所述紫外线射出用开口部配置该光传输系统的光入射部。

说明书紫外线发光模块以及紫外线照射装置
技术领域
本发明涉及一种新型的紫外线发光模块以及具有该紫外线发光 模块的新型的紫外线照射装置。
背景技术
在现有技术中，作为背光照明以及紫外线固化树脂的光固化、杀 菌、洗净、半导体的制造过程等中使用的紫外线照射装置的光源，主 要使用高压水银灯、金卤灯或者氙气灯等放电灯。在由这些放电灯构 成的光源射出的光中，不仅包括紫外线波长范围的光，还包括从深紫 外线到远红外线的较大范围的波长范围的光，因此，为了抑制照射区 域的温度上升或者有效利用所需的紫外线，需要使用红外滤光片(cold  filter；infrared filter)等。
对此，由于紫外线发光二极管(以下，称为紫外线LED)具有可 选择射出特定波长的紫外线的功能，因而可以省略使用红外滤光片。 但是，由于紫外线LED的射出强度(UV强度)较小，因而，在采用 紫外线LED作为用于树脂固化或者背光灯又或者其他用途的光源时， 必须使用多个紫外线LED。作为使用多个紫外线LED来提高UV强 度且能够尽可能使光源集中的紫外线发光装置，人们公知如下一种紫 外线发光装置。即，该紫外线发光装置具有多个发光二极管、准直光 学系统以及1个光源壳体，其中，多个发光二极管排列设置于1个平 面上，且以装置主光轴为中心在同心圆上相互隔开相等间隔配置，用 于射出紫外线；准直光学系统与各发光二极管相对应，配置在光的射 出侧，且配置数量与发光二极管的配置数量相同；1个光源壳体用于 保持多个发光二极管和多个准直光学系统，另外，在该紫外线发光装 置上，于这些准直光学系统的正后方配置有罩住这些准直光学系统的 1个物镜(参照专利文献1)。
【专利文献1】日本发明专利公开公报特开2005-203481号
采用上述专利文献1公开的紫外线发光装置，不仅能实现小型轻 量化，还能够使高强度的紫外线照射在狭窄的区域上。但是，在该紫 外线发光装置中，由于紫外线LED排列设置于1个平面上且以装置 主光轴为中心在同心圆上相互隔开相等间隔配置，因而，在想要进一 步提高紫外线强度时，必须将多个紫外线LED配置在同一平面上， 由此无法避免光源在平面上的大型化，伴随与此，必须增大使紫外线 聚集时所需的物镜的口径。
发明内容
本发明通过如下方式来解决上述问题，即，对紫外线LED进行模 块化配置，以能够更有效地利用光源内的空间，并且，在紫外线照射 装置中，将该模块化的光源和有效地使由该光源射出的紫外线聚集的 聚光装置组合起来使用。
即，本发明的第1技术方案为：一种紫外线发光模块，在球状或 多面体状的基体的表面上，或者在圆筒状或多边形柱状的基体的表面 上，配置多个紫外线发光元件，各紫外线发光元件的光轴穿过所述球 状或多面体的基体的中心，或者各紫外线发光元件的光轴穿过所述圆 筒状或多边形柱状的基体的中心轴，紫外线以所述中心或者中心轴为 中心呈射出状被射出。
另外，本发明的第2技术方案为：一种紫外线照射装置，具有： 光源，其射出紫外线；聚光装置，其对由该光源射出的紫外线进行聚 集，所述光源由球状光源或者棒状光源构成，在所述球状光源中， 在球状或者多面体状的基体的表面上配置多个紫外线发光元件，各紫 外线发光元件的光轴穿过所述球状或多面体的基体的中心，紫外线以 该中心为中心呈射出状被射出；在所述棒状光源中，在圆筒状或多边 形柱状的基体的侧表面上配置多个紫外线发光元件，各紫外线发光元 件的光轴穿过所述圆筒状或多边形柱状的基体的中心轴，紫外线以该 中心轴为中心呈射出状被射出。
优选在本发明的紫外线照射装置中，在所述光源的所述球状或多 面体状的基体的内部，或者在圆筒状或多边形柱状的基体的内部，形 成冷却用介质用流路。
作为本发明的紫外线照射装置，优选采用如下方式：所述聚光装 置具有由椭球体状反射镜或扁平椭圆状反射镜构成的射出侧反射镜， 当该射出侧反射镜为椭球体状反射镜时，在该椭球体状反射镜的焦点 上配置所述球状光源，当该射出侧反射镜为扁平椭圆状反射镜时，在 该扁平椭圆状反射镜的焦点轴上配置所述棒状光源，在该射出侧反射 镜的聚光点附近或者聚光轴附近设置紫外线射出用开口部。
基于即使在采用上述方式的本发明的紫外线发光装置中也能够 提高聚光效率的理由，更优选所述聚光装置还具有聚光侧反射镜，所 述聚光侧反射镜由形状与所述射出侧反射镜相同的椭球体状反射镜 或扁平椭圆状反射镜构成，在该椭圆面反射镜或扁平椭圆状反射镜的 焦点或焦点轴附近设有紫外线射出用开口部，所述聚光装置具有如下 结构：所述射出侧反射镜和该聚光侧反射镜以相对配置的方式连接， 并且，所述射出侧反射镜的聚光点或聚光轴与该聚光侧反射镜的聚光 点或聚光轴一致。
另外，优选在所述紫外线射出用开口部配置“准直光学系统”或 者“光传输系统的光入射部”，该准直光学系统用于将所聚集的紫外 线转换为平行或者大致平行的光束，该光传输系统具有可射入由所 述聚光装置所聚集的紫外线的光入射部、传输所射入的紫外线的传输 部以及射出所传输的紫外线的光射出部。
【发明效果】
在现有技术中的紫外线发光模块中，所有的紫外线发光元件配置 在同一平面上，且紫外线的光轴全部朝向相同的方向。因此，在增加 配置在模块内的紫外线发光元件的数量时，需要较大的配置面积。对 此，在本发明的紫外线发光模块中，为了提高发光强度，将多个紫外 线发光元件配置在该紫外线发光模块的内部，并且，本发明的紫外线 发光模块配置在球状或圆筒状的基体的曲面上，以呈射出状射出紫外 线。因此，能够有效地利用模块内的空间，实现模块的结构紧凑化。 另外，在本发明的紫外线发光模块中，由金属等导热系数较高的材料 构成基体，并且在该基体的内部形成冷却用介质用流路，通过使冷却 水等冷却介质在该流路内流动，从而能够对由紫外线发光元件散发出 的热量进行冷却。还有，在本发明的紫外线发光模块中，利用密封部 件，使由石英等紫外线透过性材料形成的罩部件以保持气密性或水密 性的方式安装在基体上，并且在该罩部件的内部封入氮气等惰性气 体，从而能够防止紫外线发光元件的劣化，进一步延长紫外线发光元 件的使用寿命。
利用本发明的紫外线发光装置原理上能够使由球状或棒状光源 呈射出状射出的所有紫外线聚集在聚光侧反射镜的焦点轴上，从而也 能够有效地利用不朝紫外线射出用开口部的方向(例如，反方向或者 横向)射出的紫外线。因此，对于光源而言，能够大幅度地增加在单 位空间内配置的紫外线发光元件的数量，并且，对于紫外线发光装置 而言，能够射出具有更高强度的紫外线。另外，不需要使用大口径的 物镜。还有，利用本发明的紫外线发光装置能够将强度均匀的紫外线 照射在照射区域上，该照射区域不是狭窄的点状区域，而是长边较长 的长方形区域，并且能够对照射区域的面积和紫外线的强度进行调 整。还有，由于能够将紫外线转换为平行的准直光束进行射出，因而， 即使紫外线发光装置到被照射体的距离较长，紫外线的强度也不容易 降低。
附图说明
图1是表示本发明的一个实施方式中使用的具有代表性的棒状光 源(棒状紫外线发光模块)的横剖面和纵剖面的图。
图2是本发明的一个实施方式所涉及的具有代表性的紫外线发光 装置的横剖视图。
图3是本发明的一个实施方式所涉及的具有代表性的紫外线发光 装置的侧视图。
具体实施方式
上述本发明的第2技术方案所述的紫外线照射装置具有：光源， 其射出紫外线；聚光装置，其对由该光源射出的紫外线进行聚集，该 紫外线照射装置的特征在于，所述光源由球状光源或者棒状光源构 成，在所述球状光源中，在球状或者多面体状的基体的表面上配置多 个紫外线发光元件，各紫外线发光元件的光轴穿过所述球状或多面体 的基体的中心，紫外线以该中心为中心呈射出状被射出；在所述棒状 光源中，在圆筒状或多边形柱状的基体的侧表面上配置多个紫外线发 光元件，各紫外线发光元件的光轴穿过所述圆筒状或多边形柱状的基 体的中心轴，紫外线以该中心轴为中心呈射出状被射出。
这里，上述本发明的第2技术方案中的球状光源相当于上述本发 明的第1技术方案的“使用球状或多面体状的基体作为基体的紫外线 发光模块”，上述本发明的第2技术方案中的棒状光源相当于“上述 本发明的第2技术方案中作为基体的棒状光源是，上述本发明的第1 技术方案中使用球状或者多面体状的基体作为基体的紫外线发光模 块”。因此，将这些紫外线发光模块作为本发明的紫外线照射装置的 光源进行说明。
下面，以使用棒状光源(棒状紫外线发光模块)110的照射装置 100为例，参照附图对本发明的一个实施方式所涉及的紫外线照射装 置进行说明。
图1表示棒状光源(棒状紫外线发光模块)110的(沿X-X′面剖 切时的)横剖视图和纵剖视图。如这些图所示，在棒状光源110中， 在圆筒状基体111的表面上排列配置有多个紫外线发光元件112，在 该圆筒状基体111的内部形成有冷却用介质用流路113。另外，安装 有紫外线发光元件112的圆筒状基体111被罩部件116罩住，该罩部 件116由石英等具有紫外线透过性的材料形成。利用密封剂或者垫圈、 O形环等密封部件117，使该罩部件116以保持气密性或水密性的方 式安装在圆筒状基体上，在该罩部件116的内部封入氮气等惰性气体 以及干燥空气等气体。另外，为了使该罩部件内部的水分量(湿度) 保持较低的状态，也可以在罩部件的内部放入干燥剂(未图示)。从 而能够提高紫外线发光元件的耐用性。在图中表示了使用石英管作为 罩部件，安装有紫外线发光元件的圆筒状基体插入该罩部件内部时的 状态。
优选使用紫外线LED作为紫外线发光元件112。而且，更优选使 用紫外线LED中的射出深紫外线的LED(深紫外线LED)，其理由 在于，使用紫外线LED很难提高发光效率，在本发明的紫外线发光 装置中适用深紫外线LED，非常有益于提高紫外线强度。优选紫外线 LED以元件安装在基座(submount)上的状态或者元件收装在封装件 (package)中的状态配置，并且向规定方向射出紫外线。另外，虽未 图示，然而在基座或者封装件上形成有配线或者电路等，该配线用于 从外部向上述紫外线发光元件供应电力，该电路是用于使紫外线发光 元件正常动作的电路，可以通过形成于圆筒状基体111的表面上或者 内部的配线向该配线或者该电路供应电力。
圆筒状基体111除具有用于固定和保持紫外线发光元件112的支 承体的功能外，还具有散热器的功能，通过使冷却水或者冷却用气体 等冷却介质118流经位于圆筒状基体111内部的冷却用介质用流路 113，来防止因紫外线发光元件的散热而导致的温度上升，以使元件 能够稳定地动作，或者能够延长元件的使用寿命。
在本发明中，如后所述，在圆筒状基体111的表面上稠密地安装 有多个紫外线发光元件，因而有效地除去紫外线发光元件产生的热量 变得尤为重要。因此，优选圆筒状基体111主要由铜和铝等导热系数 较高的金属或者陶瓷等构成，另外，优选对冷却用介质用流路的内壁 面进行开槽加工，以增大该内壁面与冷却介质之间的接触面积。还有， 当圆筒状基体111由金属材料构成时，优选形成绝缘层，该绝缘层用 于实现圆筒状基体111与从外部向紫外线发光元件供应电力的铜线或 者电路绝缘。
在圆筒状基体111的侧表面(外周面)上，多个紫外线发光元件 112沿着该基体的圆周方向以光射出面朝向外侧的方式配置，并且， 各紫外线发光元件112的光轴115的延长线穿过该基体111的中心轴 114。从而，由紫外线发光元件射出的紫外线呈以该中心轴114为中 心的射出状被射出。另外，紫外线发光元件112的光轴115意思是指， 由紫外线发光元件射出的光束的中心轴，其可以大致理解为该光束的 行进方向。另外，此处的“光轴115穿过该基体111的中心轴114而 配置”意思是指，尽可能地使光轴115穿过基体111的中心轴114， 即使稍微偏离一些也没有问题。
图1表示了沿基体的圆周方向配置4个紫外线发光元件的例子， 但是并不局限于此，也可以根据圆筒状基体111的外径适当地变更紫 外线发光元件的数量。沿圆周方向配置的紫外线发光元件的数量通常 为3～20个，优选4～12个，然而，由于沿圆周方向配置的紫外线发 光元件的数量越多，由本发明的紫外线照明装置射出的紫外线的强度 (光子通量密度)越高，因而，在需要更高强度的紫外光时，可以增 大圆筒状基体111的直径，沿圆周方向配置超过上述范围的更多的紫 外线发光元件。
优选紫外线发光元件112如图1的纵剖视图所示那样在圆筒状基 体111的长度方向上成列配置。该长度方向的排列长度越长，越可以 增加紫外线照射区域的长度。此时，优选紫外线发光元件的排列方式 为，稠密且有规则地排列配置紫外线发光元件，以使紫外线照射区域 的紫外线强度均匀。
图2和图3表示本发明的一个实施方式所涉及的利用上述棒状光 源110的紫外线发光装置100的横剖视图和侧视图。该紫外线发光装 置100具有主体150，该主体部150包括：射出侧壳体125，其内表 面成为由扁平椭圆状反射镜构成的射出侧反光镜120；聚光侧壳体 126，其内表面成为由扁平椭圆状反射镜构成的聚光侧反射镜123，并 且在该聚光侧壳体126上形成有紫外线射出用开口部130；准直光学 系统140，其配置在紫外线射出用开口部130上。在该主体150的内 部配置有上述棒状光源110。优选在该主体150上，射出侧壳体125 和聚光侧壳体126能够相互连接且能够相互分离、或者通过铰链等能 够开闭。另外，在图3所示的主体150的上下两端开口部上设置有用 于防止紫外线射到外部的罩部件(未图示)。
在图中所示的方式中，由于射出侧反射镜120和聚光侧反射镜123 是大致具有相同形状的扁平椭圆状反射镜，因而，在主体150上，射 出侧壳体125和聚光侧壳体126连接而形成的内部空间的形状为柱 形，该柱形体(由射出侧壳体125和聚光侧壳体126构成)具有椭圆 形的剖面(但是，缺少相当于开口部130的部分)，该椭圆形的剖面 内的焦点轴分别由射出侧反射镜的焦点轴121和射出侧反射镜的聚光 轴122这两个轴线构成。优选射出侧反射镜120和聚光侧反射镜123 的表面由对紫外线的反射率较大的材质，例如Ru、Rh、Pd、Os、Ir、 Pt等铂族金属、Al、Ag、Ti或者包含这些金属的至少一种的合金、 硫酸钡或者氧化镁构成。更优选射出侧反射镜120和聚光侧反射镜 123的表面由Al、铂族金属或者包含铂族金属的合金、硫酸钡或者氧 化镁形成，其理由在于这些材质对紫外线的反射率特别高。另外，该 表面由金属材料构成时，利用石英、紫外线透过性电介质等紫外线透 过性材料覆盖表面为好，其目的在于防止该表面被氧化或者受到损伤 而导致反射率降低。
在聚光侧反射镜123和聚光侧壳体126上设置有切口状的紫外线 射出用开口部130，在该开口部130上配置有准直光学系统140，该 准直光学系统140用于将聚集的紫外线转换为平行或者大致平行的光 束。优选准直光学系统140由合成或者天然石英、蓝宝石、紫外线透 过性树脂等紫外线透过性较高的材质构成。并且，优选该准直光学系 统140安装在紫外线射出用开口部130上且能够从该紫外线射出用开 口部130上拆下来。图中表示了使用1个圆筒形平面凸透镜作为准直 光学系统的情况，但是并不局限于此，也可以准备多个准直光学系统， 该多个准直光学系统用于将聚集的紫外线转换成具有互不相同的规 定的光子通量密度的平行的光束，或者转换成具有互不相同的规定的 照射面积的平行的光束，将该多个准直光学系统中的一个以可更换的 方式设置在上述紫外线射出用开口部上，以能够对由该紫外线照射装 置射出的紫外线光束的光子通量密度或者照射面积进行调整。例如， 可以在圆筒形平面凸透镜的前方(光的行进方向一侧)组合配置多个 透镜，构成光束扩展器。另外，通过对聚光侧反射镜123和聚光侧反 射镜126的一部分进行圆形切割，从而形成辅助部件，对应于宽度不 同的准直光学系统，而准备不同的该辅助部件，以使辅助部件的较大 的开口部与紫外线射出用开口部130相匹配(大小一致)，较小的开 口部与准直光学系统140相匹配，并且，对各辅助部件和准直光学系 统进行组合，形成多个组件，将该组件以可更换的方式安装在紫外线 射出用开口部130上，从而进行上述调整。
在紫外线发光装置100中，棒状光源110以其中心轴114与射出 侧反射镜的焦点轴121一致的方式配置。由于棒状光源110像这样配 置，因而由该棒状光源110呈射出状射出的紫外线被射出侧反光镜和 聚光侧反光镜反射，然后被集中在聚光侧反射镜的焦点轴上，从而进 行聚光，聚集的紫外线由紫外线射出用开口部130被射出到外部。
这样，利用紫外线发光装置100原理上能够使由棒状光源110呈 射出状射出的所有紫外线聚集在聚光侧反射镜的焦点轴上，并且也能 够有效地利用沿不朝向紫外线射出用开口部130的方向(例如，反方 向或者横向)被射出的紫外线。换言之，在光源中，不需要为了使光 轴朝向紫外线射出用开口部130而将所有光发光元件配置在同一平面 上，也可以朝横向或者反方向配置光发光元件。因此，利用棒状光源 110能够大幅度地增加单位空间内配置的紫外线发光元件的数量，并 且，利用紫外线发光装置100能够射出具有更高强度的紫外线。另外， 在紫外线发光装置100中，不需要使用大口径的物镜。还有，利用紫 外线发光装置100能够将强度均匀的紫外线照射在照射区域上，该照 射区域不是狭窄的点状区域，而是长边较长的长方形区域，并且，利 用紫外线发光装置100也能够对照射区域的面积和紫外线的强度进行 调整。还有，由于能够将紫外线转换为平行的准直光束进行射出，因 而，即使紫外线发光装置100到被照射体的距离较长，紫外线的强度 也不容易降低。
上面，以图中所示的紫外线发光装置100为例进行了说明，但是， 本发明的紫外线发光装置并不局限于此。例如，聚光侧反射镜的形状 也可以与作为射出侧反光镜使用的扁平椭圆状反射镜的形状不同，只 要能够使紫外线不被射出到外部而反射到射出侧反光镜上即可。另 外，代替准直光学系统，也可以使用“光传输系统”，该光传输系统 具有可射入聚光后的紫外线的光入射部、传输所射入的紫外线的传输 部以及射出所传输的紫外线的光射出部。
还有，代替棒状光源，可以使用球状光源，使射出侧反射镜和聚 光侧反射镜分别作为椭球体状反射镜，其中，在球状光源中，在球 状或者多面体状的基体的表面上配置多个紫外线发光元件，各紫外线 发光元件的光轴穿过上述球状或者多面体状的基体的中心，紫外线以 该中心为中心呈放射状被射出。但是，在这种情况下，主体内部的空 间的形状为椭圆球状，光源设置在成为射出侧反射镜的扁平椭圆状反 射镜的焦点位置上，紫外线被聚集在成为聚光侧反射镜的扁平椭圆状 反射镜的焦点上，从而进行聚光。因此，紫外线射出用开口部的形状 不是切口状，而是圆形，作为准直光学系统，优选使用平凸透镜。
【附图标记说明】
100：紫外线发光装置；110：棒状光源；111：圆筒状基体；112： 紫外线发光元件；113：冷却用介质用流路；114：圆筒状基体的中心 轴；115：紫外线发光元件的光轴；116：罩部件；117：密封部件； 118：冷却介质；120：由扁平椭圆状反射镜构成的射出侧反射镜；121： 射出侧反射镜的焦点轴；122：射出侧反射镜的聚光轴；123：由扁平 椭圆状反射镜构成的聚光侧反射镜；124：聚光侧反射镜的焦点轴； 125：射出侧壳体；126：聚光侧壳体；130：紫外线射出用开口部； 140：准直光学系统；150：主体。