涂敷装置以及使用涂敷装置的制造方法 【技术领域】
本发明涉及涂敷装置和使用该涂敷装置的涂敷层的制造方法。背景技术 有机电致发光 (electroluminescence) 元件 ( 有机 EL 元件 )，由通过施加电场而发 光的荧光性有机化合物形成，具备在各像素中具有使用该有机电致发光元件的有机发光 二极管 (Organic Light Emitting Diode ：以下记作 OLED) 元件的显示面板的显示装置作为 次世代显示设备而备受瞩目。
有机 EL 元件形成在阳极电极和阴极电极这一对电极之间，例如具备具有发光 层、空穴注入层等的有机 EL 层 ( 有机层 )。 有机 EL 元件利用在发光层由空穴和电子复 合产生的能量而发光。
这样的有机 EL 元件的发光层、空穴注入层等，是通过在被隔壁隔开的区域涂敷 包含发光层、空穴注入层形成用的材料的液体，并使液体中的溶剂干燥而形成的。 对于
液体的涂敷例如使用喷嘴印刷方式等的涂敷装置。
该涂敷装置具备喷嘴头部，在喷嘴头部的前端设置有用于喷出涂敷的液体的一 个喷嘴孔。 而且，通过加压使喷出的液体成为液柱而被涂敷。
例如，在日本国特开 2002-75640 中公开了有机 EL 显示装置的制造方法，该方法 的特征在于具备如下的过程 ：使用喷嘴印刷方式等的涂敷装置，预先在基板上形成与要 涂敷有机 EL 材料的预定的图案形状对应的槽，使基板和喷嘴头部相对地移动以使喷嘴孔 沿着该槽，从上述喷嘴孔向上述槽内流入包含有机 EL 材料的液体而进行涂敷。
然而，在有机 EL 元件中，如果有机 EL 层的膜厚不均匀，则发光变得不均匀。 因此，为了得到均匀的发光，需要良好地控制有机 EL 层的膜厚，作成具有良好的均匀性 的膜。
在上述喷嘴印刷方式的涂敷装置中，一个调整成能够从喷嘴头部的喷嘴孔对某 一大小的涂敷区域稳定地射出液柱的涂敷条件所能够良好地适用的涂敷区域的范围比较 窄，每当涂敷区域的大小改变时都需要对涂敷条件进行再调整。 即，对像素尺寸比较 小、像素精密度高的比较小的面板的狭窄的涂敷区域涂敷有机 EL 材料的情况、和对大 型 TV 等的像素尺寸比较大、像素精密度低的比较宽广的涂敷区域涂敷有机 EL 材料的情 况，涂敷条件发生较大改变。
例如，为了与 1 像素比较大的情况对应而增加涂敷量，可以想到提高液压进而 提高液柱的射出速度。 但是，形成或维持液柱的速度存在极限。 此外，即使能够提高射 出速度，也因向被涂敷部的液体的冲击速度变大，产生飞溅或露出。
此外，为了增加涂敷量，可以想到增大一个喷嘴孔的尺寸。 但是，由于喷出量 与喷嘴孔的面积成正比，喷嘴面积相对于加工喷嘴孔的直径成为平方的大小，在喷嘴孔 的加工上需要具有精度。 此外，需要相对于喷嘴孔的直径再次设定形成液柱的条件，能 够形成各个液柱的参数范围很小。此外，即使通过增大一个喷嘴孔的直径能够增加喷出量，也由于喷出的液体所 形成的液柱落在涂敷区域中的一点，所以难以对宽广的涂敷区域均匀地扩展涂敷，产生 涂敷不均。 发明内容 本发明具有如下优点 ：能够提供一种对于各种大小的涂敷区域无需再调整涂敷 条件就能够均匀地涂敷液体的涂敷装置以及使用该涂敷装置的涂敷层的制造方法。
为了得到上述优点，本发明的第一涂敷装置，具备 ：液体罐，贮存有液体 ；和 喷出部，从上述液体罐供给上述液体，以设定的涂敷宽度对对象物的涂敷区域喷出上述 液体 ；上述喷出部具备 ：一个头部缸体，填充有从上述液体罐供给的上述液体 ；和喷 嘴板，能够更换地设置在上述头部缸体的一端侧，并且设置有喷出上述液体的多个喷嘴 孔。
为了得到上述优点，本发明的第二涂敷装置，具备 ：液体罐，贮存有液体 ；喷 出部，从上述液体罐供给上述液体，对在基板上沿第一方向延伸设置的至少一个涂敷区 域喷出上述液体 ；和移动部，使上述喷出部和上述基板中的一方相对于另一方相对移 动，使上述喷出部相对于上述涂敷区域相对移动 ；上述移动部使上述喷出部沿着上述涂 敷区域在上述第一方向上相对移动，并且在上述喷出部移动至该涂敷区域的上述第一方 向的一端或另一端后，上述移动部使上述喷出部和上述基板中的一方相对于另一方在沿 着上述基板的上表面的面内与上述第一方向正交的第二方向上相对移动，上述喷出部具 备 ：一个头部缸体，填充有从上述液体罐供给的上述液体 ；和喷嘴板，能够更换地设 置在上述头部缸体的一端侧，沿着上述第二方向直线状排列有喷出上述液体的多个喷嘴 孔，由上述喷嘴板的上述多个喷嘴孔的中心点的间隔以及上述喷嘴孔的喷嘴直径设定的 涂敷宽度，设定为与上述对象物的上述涂敷区域在上述第二方向上的宽度对应的值。
为了得到上述优点，本发明的第三涂敷装置，具备 ：液体罐，贮存有液体 ；喷 出部，从上述液体罐供给上述液体，对在基板上沿第一方向延伸设置的至少一个涂敷区 域喷出上述液体 ；和移动部，使上述喷出部和上述基板中的一方相对于另一方相对移 动，使上述喷出部相对于上述涂敷区域相对移动 ；上述移动部，使上述喷出部沿着上述 涂敷区域在上述第一方向上相对移动，并且在上述喷出部移动至该涂敷区域的上述第一 方向的一端或另一端后，使上述喷出部在沿着上述基板的上表面的面内与上述第一方向 正交的第二方向上相对移动，上述喷出部具备 ：一个头部缸体，填充有从上述液体罐供 给的上述液体 ；喷嘴板，设置在上述头部缸体的一端侧，直线状排列有喷出上述液体的 多个喷嘴孔 ；和旋转机构部，能够改变上述喷嘴板上的上述多个喷嘴孔的排列方向相对 于沿着上述基板的上表面的面内的上述第一方向的旋转角度，上述旋转角度的值被设定 成，使得根据该旋转角度由上述喷嘴板的上述多个喷嘴孔在上述第二方向上的宽度设定 的涂敷宽度，成为与上述对象物的上述涂敷区域在上述第二方向上的宽度对应的值。
为了得到上述优点，本发明的第一制造方法，是在基板上沿第一方向延伸设置 的涂敷区域形成涂敷层的制造方法，包括 ：涂敷步骤，从喷出部以设定的涂敷宽度对上 述涂敷区域喷出液体，上述喷出部从贮存上述液体的液体罐被供给上述液体 ；移动步 骤，一边利用上述涂敷步骤从上述喷出部喷出上述液体，一边使上述基板和上述喷出部
中的任一方相对于另一方相对移动，使上述喷出部沿着上述涂敷区域在上述第一方向上 相对移动 ；和涂敷层形成步骤，使涂敷在上述涂敷区域的上述液体干燥，在上述涂敷区 域形成上述涂敷层，上述涂敷步骤包括 ：准备特定的喷出部作为上述喷出部的喷出部准 备步骤，其中，上述特定的喷出部具备头部缸体，该头部缸体供填充有从上述液体罐供 给的上述液体，并在一端侧能够更换地设置有喷嘴板，该喷嘴板上沿着与上述第一方向 正交的第二方向直线状排列有喷出上述液体的多个喷嘴孔 ；和准备特定的喷嘴板作为上 述喷嘴板，并将该特定的喷嘴板安装在上述特定的喷出部的喷嘴板安装步骤，其中，上 述特定的喷嘴板具有特定的多个喷嘴孔，该多个喷嘴孔使得由上述多个喷嘴孔的中心点 的间隔以及上述喷嘴孔的喷嘴直径设定的上述涂敷宽度，成为与上述涂敷区域在上述第 二方向上的宽度对应的值。
为了得到上述优点，本发明的第二制造方法，是在基板上沿第一方向延伸设置 的涂敷区域形成涂敷层的制造方法，包括 ：涂敷步骤，从喷出部以设定的涂敷宽度对上 述涂敷区域喷出液体，上述喷出部从贮存上述液体的液体罐被供给上述液体 ；移动步 骤，一边利用上述涂敷步骤从上述喷出部喷出上述液体，一边使上述基板和上述喷出部 中的任一方相对于另一方相对移动，使上述喷出部沿着上述涂敷区域在上述第一方向上 相对移动 ；和涂敷层形成步骤，使涂敷在上述涂敷区域的上述液体干燥，在上述涂敷区 域形成上述涂敷层，上述涂敷步骤包括 ：准备特定的喷出部作为上述喷出部的喷出部准 备步骤，其中，上述特定的喷出部具备 ：一个头部缸体，填充有从上述液体罐供给的上 述液体 ；喷嘴板，设置在上述头部缸体的一端侧，直线状排列有喷出上述液体的多个喷 嘴孔 ；和旋转机构部，能够改变上述喷嘴板上的上述多个喷嘴孔的排列方向相对于沿着 上述基板的上表面的面内的上述第一方向的旋转角度 ；和涂敷宽度设定步骤，设定上述 旋转角度，使得根据上述旋转角度由上述喷嘴板的上述多个喷嘴孔在上述第二方向上的 宽度设定的涂敷宽度，成为与上述涂敷区域在上述第二方向上的宽度对应的值。 附图说明
图 1A、 B 是表示组装有使用本发明涉及的涂敷装置制造成的发光装置的电子设 备 ( 数码摄像机 ) 的图。
图 2 是表示组装有使用本发明涉及的涂敷装置制造成的发光装置的电子设备 ( 计 算机 ) 的图。
图 3 是表示组装有使用本发明涉及的涂敷装置制造成的发光装置的电子设备 ( 便 携式电话 ) 的图。
图 4 是表示组装有使用本发明涉及的涂敷装置制造成的发光装置的电子设备 ( 大 画面电视 ) 的图。
图 5 是表示使用本发明涉及的涂敷装置制造成的发光装置的电气结构的一例的 图。
图 6 是表示图 5 所示的各像素电路的结构的电路图。
图 7 是表示使用本发明涉及的涂敷装置制造成的 TFT 面板的结构的一例的概要 的图。
图 8 是图 7 的 A-A 线截面图。图 9A、 B、 C 是表示发光装置的制造方法的图。
图 10A、B 是表示本发明的第一实施方式涉及的喷嘴印刷方式的涂敷装置所进行 的涂敷动作的概略的图。
图 11 是表示喷嘴印刷方式的涂敷装置的具体结构的整体的图。
图 12 是表示图 10 所示的喷嘴头部的结构的图。
图 13 是表示图 10 所示的喷嘴头部的截面图。
图 14A、B 是作为本发明的第一实施方式涉及的喷嘴印刷方式的涂敷装置的喷嘴 板，表示作成 2 连喷嘴板、3 连喷嘴板的图。
图 15A、B 是作为本发明的第二实施方式涉及的喷嘴印刷方式的涂敷装置的喷嘴 板，表示作成可旋转的 2 连喷嘴板、3 连喷嘴板的图。
图 16A、 B 是表示具备旋转机构部的喷嘴头部的结构例 (1) 的图。
图 17A、 B 是表示构成图 16 所示的旋转机构部的基座单元的图。
图 18 是表示在图 17A、 B 所示的基座单元中插入头部缸体的形态的图。
图 19 是表示在喷嘴盖上安装 3 连喷嘴板的样子的图。
图 20A、 B、 C 是表示具备旋转机构部的喷嘴头部的结构例 (2) 的图。
图 21A、 B 是作为应用例表示喷嘴径不同的 3 连喷嘴板的图。
图 22A、B 是作为应用例表示具有喷嘴孔的中心线相对于板面倾斜的喷嘴的多连 喷嘴板的图。 具体实施方式
以下参照附图对本发明的实施方式涉及的涂敷装置以及使用该涂敷装置的发光 装置的制造方法、组装该发光装置的电子设备进行说明。
在此，作为发光装置，以使用底部发光型的有机 EL 元件的有源驱动方式的发光 装置作为一例进行说明。 底部发光型的有机 EL 元件，具有将有机 EL 元件发出的光经由 形成有机 EL 元件的基板射出到外部的构造。 另外，本实施方式的发光装置，也可以使用 顶部发光型的有机 EL 元件。 顶部发光型的有机 EL 元件具有将有机 EL 发光元件发出的 光向与形成有机 EL 元件的基板相反一侧射出的构造。 此外，本实施方式的发光装置也可 以作为显示装置加以使用。
图 1 ～图 4 是表示组装有使用本发明涉及的涂敷装置制造成的发光装置 10 的各 种电子设备的图。
发光装置 10 例如被组装到图 1 所示的数码摄像机、图 2 所示的计算机、图 3 所 示的便携式电话、图 4 所示的大画面电视等的电子设备。
数码摄像机 200，如图 1A 和 B 所示，具备镜头部 201、操作部 202、显示部 203 和取景器 204。 该显示部 203 使用发光装置 10。
图 2 所示的计算机 210，具备显示部 211 和操作部 212，该显示部 211 中使用发 光装置 10。
图 3 所示的便携式电话 220，具备显示部 221、操作部 222、接听部 223 和通话部 224，该显示部 221 中使用发光装置 10。
图 4 所示的大画面电视 230，具备显示部 231，该显示部 231 中使用发光装置10。
接着，对使用本发明涉及的涂敷装置制造成的发光装置 10 的电气结构进行说明。 图 5 是表示使用本发明涉及的涂敷装置制造成的发光装置的电气结构的一例的 图，图 6 是表示图 5 所示的各像素电路的电路图。
这样的发光装置 10，例如图 5 所示，由发光面板 (TFT 面板 )11、显示信号生成 电路 12、系统控制器 13、选择驱动器 14、电源驱动器 15、和数据驱动器 16 构成。
发光面板 11 构成为具备多个像素电路 11(i， j)(i ＝ 1 ～ m， j ＝ 1 ～ n，其中， m、 n 为自然数 )。
各像素电路 11(i， j) 分别是与图像的 1 像素对应的显示像素，被矩阵配置。 各 像素电路 11(i，j) 例如图 6 所示，具备有机 EL 元件 OEL、晶体管 T1、T2 和电容器 Cs。 在此，晶体管 T1、 T2 和电容器 Cs 构成像素驱动电路 DC。
有机 EL 元件 OEL 是利用由注入有机化合物的电子和空穴的复合产生的激子而发 光的现象进行发光的电流控制型的发光元件 ( 显示元件 )，以与被供给的电流的电流值对 应的亮度进行发光。
像 素 驱 动 电 路 DC 中 的 晶 体 管 T1、 T2 例 如 是 由 n 沟 道 型 的 FET(FieldEffect Transistor ：场效应晶体管 ) 构成的 TFT(Thin Film Transistor ：薄膜晶体管 )。
晶体管 T1 是有机 EL 元件 OEL 的驱动用晶体管，其漏极与阳极线 La(j) 连接， 源极与有机 EL 元件 OEL 的阳极电极连接。
晶体管 T2 是作为选择有机 EL 元件 OEL 的开关发挥功能的晶体管，其漏极与数 据线 Ld(i) 连接，源极与晶体管 T1 的栅极连接，栅极与沿着行方向 (X 方向 ) 配设的选择 线 Ls(j) 连接。
电容器 Cs 用于保持晶体管 T1 的栅极 - 源极间电压，与晶体管 T1 的栅极 - 源极 间连接。
在各像素电路 11(i， j) 的有机 EL 元件 OEL 具有红 (R)、蓝 (B)、绿 (G) 的三 色的任一个发光色的情况下，具有相同色发光色的有机 EL 元件 OEL 的像素电路 11(i，j) (i ＝ 1 ～ n) 在沿着数据线 Ld(i) 的列方向 (Y 方向 ) 上配列。 此外，像素电路 11(i， j) 也可以具备三个以上的晶体管。
显示信号生成电路 12 从外部被供给例如合成影像信号、分离影像信号那样的影 像信号 Image，从被供给的影像信号 Image 取得亮度信号那样的显示数据 Pic、同步信号 Sync。 显示信号生成电路 12 将所取得的显示数据 Pic、同步信号 Sync 向系统控制器 13 供给。
系统控制器 13 基于从显示信号生成电路 12 供给的显示数据 Pic、同步信号 Sync，对显示数据 Pic 的校正处理、写入动作、发光动作进行控制。
显示数据 Pic 的校正处理是生成基于各像素电路 11(i，j) 的驱动晶体管 ( 晶体管 T1) 的阈值电压 Vth 或电流放大率 β 的值校正从显示信号生成电路 12 供给的显示数据 Pic 的灰度信号的处理。
写入动作是写入与各像素电路 11(i， j) 的电容器 Cs 所生成的灰度信号对应的电 压的动作。
发光动作是向有机 EL 元件 OEL 供给与被电容器 Cs 保持的电压对应的电流，使 有机 EL 元件 OEL 发光的动作。
系统控制器 13，为了进行这样的控制，生成各种控制信号并供给到选择驱动器 14、电源驱动器 15、数据驱动器 16，并且向数据驱动器 16 供给生成的灰度信号。
选择驱动器 14 是依次选择发光面板 11 的行的驱动器，例如由移位寄存器构成。 选择驱动器 14 分别经由选择线 Ls(j)(j ＝ 1 ～ n) 与各像素电路 11(i，j) 的晶体管 T1、T2 的栅极连接。
选择驱动器 14，基于从系统控制器 13 供给的控制信号依次向第一行的像素电路 11(1，1) ～ 11(m，1)、 ……、第 n 行的像素电路 11(1， n) ～ 11(m， n) 输出 Hi 电平 的选择信号 Vselect(j)，由此依次选择 TFT 面板 11 的行。
电源驱动器 15 是向阳极线 La(j)(j ＝ 1 ～ n) 分别输出电压 VL 或 VH 的信号 Vsource(1) ～ Vsource(n) 的驱动器。 电源驱动器 15 分别经由阳极线 La(j) 与各像素电路 11(i， j) 的晶体管 T1 的漏极连接。
数据驱动器 16 是基于从系统控制器 13 供给的灰度信号向各数据线 Ld(1) ～ Ld(m) 施加电压信号 Sv(1) ～ Sv(m) 的驱动器。
接着，对使用本发明涉及的涂敷装置制造成的发光面板 11 的物理结构进行说 图 7 是表示使用本发明涉及的涂敷装置制造成的发光面板的结构的一例的概要明。
的图。 发光面板 11 具备在一面上配设有多个像素电路 11(i， j) 的基板 31。 该基板 31 例如将形成有多个基板 31 的大的基板分割成各基板 31 而形成。
如图 7 所示，在基板 31 的一面上矩阵状配设有多个像素电路 11(i， j)(1 ＝ 1 ～ m， j ＝ 1 ～ n)，该多个像素电路 11(i， j) 具备红 (R)、绿 (G)、蓝 (B) 的任一个发光色 的有机 EL 元件 OEL。 对于各像素电路 11(i， j)，在列方向上配设有具备相同发光色的 有机 EL 元件 OEL 的多个像素电路 11(i， j)，且在行方向上依次配设有具备红 (R)、绿 (G)、蓝 (B) 的各个发光色的有机 EL 元件 OEL 的多个像素电路 11(i， j)。
如图 7 所示，在基板 31 的一面上形成有用于隔开各像素电路 11(i，j) 的有机 EL 元件 OEL 的形成区域的多个隔壁 48。 在各隔壁 48 之间形成有被隔开各像素电路 11(i， j) 的有机 EL 元件 OEL 的形成区域的隔壁 48 包围的多个开口部 48a。 该各开口部 48a 内 的区域成为各像素电路 11(i， j) 的有机 EL 元件 OEL 的形成区域。 各开口部 48a 例如在 列方向上条纹状设置，跨越在列方向上配设的多个像素电路 11(i，j) 的多个有机 EL 元件 OEL 的形成区域而设置。
另外，也可以构成为，隔壁 48 与各像素电路 11(i， j) 对应而格子状地设置，多 个开口部 48a 的每个分别与各像素电路 11(i， j) 的一个有机 EL 元件 OEL 的形成区域对 应。
如后所述，在基板 31 的一面上和隔壁 48 的下表面之间形成有各像素电路 11(i， j) 中的用于驱动发光元件的各种晶体管、各种电容器、各种配线等。
接着，图 8 是图 7 的 A-A 线截面图，表示被隔壁 48 隔开的有机 EL 元件 OEL 的 形成区域附近的截面形状。
如图 8 所示，发光面板 11 在有机 EL 元件 OEL 的形成区域具备像素电极 ( 阳极 电极 )42、发光层 45(45R)、和对置电极 ( 阴极电极 )46。
在此，45R 表示发光色为红色的发光层，45B、45G 分别是邻接配设的像素电路 11(i， j) 的发光色为蓝色、绿色的发光层的一部分。
另外，在本实施方式中，为了方便，作为引起发光的有机 EL 层 ( 有机层 ) 举出 仅具备发光层 45 的结构的例子，但并不限定于此，有机 EL 层也可以具备空穴注入层和发 光层，也可以具备空穴注入层和中间层和发光层。
在各发光元件的基板 31 上，形成有通过对栅极导电层印刻图案而形成的晶体管 T1、晶体管 T1 的栅极电极 T1g。 在与各发光像素邻接的基板 31 上，形成有通过对栅极 导电层印刻图案而形成的沿列方向延伸的数据线 Ld(i)。
像素电极 42 由具有透光性的导电材料、例如 ITO(Indium Tin Oxide)、 ZnO 等构 成。 像素电极 42 借助层间绝缘膜 47 与邻接的其他像素电路 11(i， j) 的像素电极 42 绝 缘。
层间绝缘膜 47 由绝缘性材料、例如硅氮化膜形成。 层间绝缘膜 47 形成在各像 素电路 11(i，j) 的像素电极 42 之间，用于对晶体管 T1、T2、选择线 Ls(j)、阳极线 La(j) 进行绝缘保护。 在层间绝缘膜 47 上形成有大致方形的多个开口部 47a，通过该开口部 47a 对各像 素电路 11(i， j) 的有机 EL 元件 OEL 的形成区域进行划分。
如图 8 所示，在层间绝缘膜 47 上形成有隔壁 48。 在该隔壁 48 上形成有与层间 绝缘膜 47 的开口部 47a 相连的槽状的多个开口部 48a。 隔壁 48 是将绝缘材料例如聚酰亚 胺等的感光树脂硬化而形成的。
隔壁 48 例如在列方向上延伸而形成为条纹状。 在该情况下，隔壁 48 的开口部 48a 跨越在列方向上配设的多个像素电路 11(i， j) 的有机 EL 元件 OEL 的形成区域而形 成。
另外，也可以对隔壁 48 的表面、层间绝缘膜 47 的表面实施憎液处理，以使各表 面具有憎液性。 这里具有憎液性是表示具有相对于发光层 45 形成用的液体中的水类的溶 剂、有机类溶剂都不相溶的性质的状态。
发光层 45 形成在像素电极 42 上。 发光层 45 具有通过向阳极电极 42 和对置电 极 46 之间施加电压而产生光的功能。
发光层 45 由可发出荧光或磷光的公知的高分子发光材料、例如包含聚对亚苯基 亚乙烯基类、聚芴类等共轭双键聚合物的发光材料构成。
这些发光材料是通过利用喷嘴印刷方式或喷墨方式等涂敷适当在水类溶剂、或 者四氢化萘、四甲基苯、均三甲基苯、二甲苯等有机溶剂中溶解 ( 分散 ) 的液体 ( 分散 液 )，通过加热处理等使溶剂挥发并使其干燥而形成的。
在此，作为有机 EL 层，在设置空穴注入层的情况下，空穴注入层设置在像素电 极 42 和发光层 45 之间。 空穴注入层 45 具有向发光层 45 供给空穴的功能。 空穴注入层 由能够进行空穴 (hole) 注入、输送的有机高分子类材料、例如作为导电性聚合物的聚乙 撑二氧噻吩 (PEDOT) 和作为掺杂剂的聚苯乙烯磺酸 (PSS) 构成。
进而在设置中间层的情况下，中间层设置在空穴注入层和发光层 45 之间。 中间
层具有控制从发光层 45 向空穴注入层的空穴注入性以使电子和空穴在发光层 45 内易于复 合的功能，提高发光层 45 的发光效率。
此外，对置电极 46 在为顶部发光型的情况下，例如具有层叠构造，该层叠构造 具有设置在发光层 45 侧的由导电材料例如 Li、 Mg、 Ca、 Ba 等的功函数低的材料形成的 电子注入性的下层，和设置在该下层上的由 Al 等的光反射性导电金属形成的上层。
在本实施方式中，对置电极 46 由跨越多个发光像素而形成的单一电极层构成， 例如施加作为接地电位的共同电极 Vss。
另外，在将有机 EL 元件 OEL 设为顶部型的情况下，对置电极 46 例如具有透 明层叠构造，该透明层叠构造具有设置在发光层 45 侧的 10nm 左右膜厚的极薄的由例如 Li、Mg、Ca、Ba 等功函数低的材料形成的光透射性低功函数层，和设置在该光透射性低 功函数层上的 100nm ～ 200nm 左右膜厚的 ITO 等的光透射性导电层。
接着，对本实施方式涉及的发光装置 10 的制造方法进行说明。
图 9A、 B、 C 是表示发光装置的制造方法的图。
在此，由于图 6 所示的晶体管 T2 通过与晶体管 T1 相同的工序形成，所以省略一 部分晶体管 T2 的形成的说明。
如图 9A 所示，首先，准备基于玻璃基板等的基板 31。
接着，利用溅射法、真空蒸镀法等在该基板 31 上形成基于例如 Mo 膜、 Cr 膜、 Al 膜、 Cr/Al 层叠膜、 AlTi 合金膜或 AlNdTi 合金膜、 MoNb 合金膜等的栅极导电膜。
然后，如图 9A 所示，对该栅极导电膜刻印图案而形成晶体管 T1 的栅极电极 T1g 和数据线 Ld(i) 的形状。 由此，形成栅极电极 112(T1g)、数据线 Ld(i)。
此时，虽然省略图示，但也同时形成晶体管 T2 的栅极电极 T2g。
接着，如图 9B 所示，通过 CVD(Chomical Vapor Deposition ：化学气相沉积 ) 法 等在栅极电极 T1g 和数据线 Ld(i) 之上形成绝缘膜 32。
接着，利用 CVD 法等在绝缘膜 32 上形成非结晶硅等的半导体层 114。 接着， 利用 CVD 法等在半导体层 114 上形成例如 SiN 等绝缘膜。
接着，利用光刻蚀法对绝缘膜进行图案形成，形成阻挡膜 115。
进而，利用 CVD 法等在半导体层 114 和阻挡膜 115 上形成含有 n 型杂质的非结 晶硅等的膜，通过光刻蚀等对该膜和半导体层 114 进行图案形成。
由此，形成图 9B 所示的半导体层 114、和欧姆接触层 116、117。
接着，利用溅射法、真空蒸镀法等在绝缘膜 32 上被膜形成 ITO 等透明导电膜、 或光反射性导电膜和 ITO 等的透明导电膜后，通过光刻蚀印刻图案而形成像素电极 42。
接着，在绝缘膜 32 上形成作为贯通孔的接触孔后，利用溅射法、真空蒸镀法被 膜形成基于例如 Mo 膜、 Cr 膜、 Al 膜、 Cr/Al 层叠膜、 AlTi 合金膜或 AlNdTi 合金膜、 MoNb 合金膜等的源极 - 漏极导电膜。 然后，通过光刻蚀对其印刻图案，形成图 9B 所示 的漏极电极 T1d 和源极电极 T1s。 与此同时，形成阳极线 La(j)。 此时，晶体管 T1 的源 极电极 T1s 以与像素电极 42 的一部分重叠的方式形成。
接着，如图 9C 所示，以覆盖晶体管 T1 等的方式，利用 CVD 法等形成基于硅氮 化膜等的层间绝缘膜 47。 然后，通过光刻蚀对层间绝缘膜 47 印刻图案，形成图 9C 所示 的开口部 47a。接着，如图 9C 所示，以覆盖层间绝缘膜 47 的方式涂敷感光聚酰亚胺。 然后， 通过经由与隔壁 48 的形状对应的掩膜进行曝光、显影来对感光聚酰亚胺印刻图案，形成 具有图 9C 所示的开口部 48a 的隔壁 48。
接着，使用从喷嘴孔连续流动含有发光聚合物材料 (R、 G、 B) 的有机化合物含 有液的、后述的喷嘴印刷方式的涂敷装置，在设置于隔壁 48 的开口部 48a 内、在层间绝 缘膜 47 的开口部 47a 内露出的像素电极 42 上涂敷该有机化合物含有液。 该涂敷沿着隔 壁 48 的开口部 48a 在列方向上进行。
< 第一实施方式 >
接着，对将本发明应用于喷嘴印刷方式的涂敷装置的情况进行说明。
另外，本发明能够适当地应用于喷墨方式的涂敷装置。
图 10A、B 是表示本发明的第一实施方式涉及的喷嘴印刷方式的涂敷装置进行的 涂敷动作的概略的图。
喷嘴印刷方式的涂敷装置，如图 10A、 B 所示，大概具备具有喷嘴孔 ( 喷出孔 ) 的喷嘴头部 ( 喷出部 )78。
而且，喷嘴印刷方式的涂敷装置，从喷嘴孔喷出含有发光聚合物材料 (R、 G、 B) 的有机化合物含有液亦即液体 51，在基板 31 上使喷嘴头部 78 相对于基板 31 相对移 动，由此将有机化合物含有液涂敷在基板 31 上的预定区域。 接着，在大气气氛下对基板 31 进行加热而使液体 51 中的溶剂挥发，形成发光层 45R、45G、45B( 涂敷层 )。 另外， 也可以在加热气氛下涂敷液体 51。
在此，图 10A、 B 所示的 X 方向与图 7 所示的基板 31 的列方向对应， Y 方向与 基板 31 的行方向对应。
喷嘴印刷方式的涂敷装置，从喷嘴头部 78 向隔壁 48 间的开口部 48a 内喷出液体 51，并且沿着隔壁 48 所延伸的列方向使喷嘴头部 78 移动，由此，在隔壁 48 间的开口部 48a 内涂敷液体 51。
在多列的开口部 48a 内连续涂敷有机化合物含有液的情况下，喷嘴印刷方式的涂 敷装置，如图 10A 所示，使喷嘴头部 78 在位于基板 31 外部期间沿与基板 31 的行方向对 应的方向移动。 另外，也可以使喷嘴头部 78 在位于基板 31 外部的期间原样地从喷嘴头 部 78 喷出液体 51。
另外，图 10A 中，表示仅具有一个喷嘴头部 78，按照每列分别进行涂敷时的涂 敷装置的结构的概要，但并不限定于此。 喷嘴印刷方式的涂敷装置也可以构成为，具有 两个以上的多个喷嘴头部 78，同时涂敷对应的多列。
图 10B 中，表示具有两个喷嘴头部 78，同时涂敷两列时的涂敷装置的结构的概 要。 在该情况下，喷嘴头部 78 位于基板 31 外部期间时向基板 31 的行方向的移动量增加 为两倍，除此之外，成为与图 10A 同样的动作。
另外，在形成空穴注入层的情况下，在形成发光层 45 之前，利用连续流动含有 空穴注入材料的液体 51 的喷嘴印刷方式、或者将含有空穴注入材料的液体 51 分别作为独 立的多个液滴喷出的喷墨方式的涂敷装置，在被开口部 47a 包围的像素电极 42 上选择性 地涂敷。 接着，将基板 31 在大气气氛下加热而使液体 51 中的溶剂挥发，形成空穴注入 层 ( 涂敷层 )。 也可以在加热气氛下涂敷液体 51。此外，在进而形成中间层的情况下，使用喷嘴印刷方式或喷墨方式的涂敷装置 将含有成为中间层的材料的液体 51 涂敷在空穴注入层上。 进行氮气气氛中的加热干燥或 真空中的加热干燥，进行残留溶剂的除去而形成中间层 ( 涂敷层 )。 也可以在加热气氛下 涂敷液体 51。
接着，在形成发光层 45 为止的基板 31 上通过真空蒸镀或溅射形成由 Li、 Mg、 Ca、Ba 等的功函数低的材料形成的层、由 Al 等的光反射性导电层形成的双层构造的对置 电极 46。
接着，在形成有多个发光像素的发光区域的外侧，在基板 31 上涂敷紫外线硬化 树脂、或热硬化树脂形成的密封树脂，使未图示的密封基板与基板 31 贴合。 接着利用紫 外线或热使密封树脂硬化，接合基板 31 和密封基板。
接着，对本实施方式的喷嘴印刷方式的涂敷装置 ( 喷嘴打印机 ) 的具体结构进行 说明。
图 11 是表示本实施方式的涂敷装置的具体结构的整体的图。
该涂敷装置具备液体罐 71、供给管 72、加压部 73、流量检测和控制部 74、线性 驱动部 75、工作台 76、控制部 77 和喷嘴头部 78。 线性控制部 75 和工作台 76 构成本发 明的移动部。 液体罐 71 用于贮存涂敷的有机化合物含有液等的液体 51。
供给管 72 用于将液体罐 71 所贮存的液体导向喷嘴头部 78，由柔软的材料形成。
加压部 73 用于向液体罐 71 所贮存的液体施加压力。
流量检测和控制部 74 对液体的压力和流量进行控制以从喷嘴头部 78 喷出定量的 液体，并安装在供给管 72 的周围。 流量检测和控制部 74 例如具有质量流量控制器。
线性驱动部 75 用于在图 10A、 B 中的左右方向 (X 方向 ：设为主扫描方向 ) 扫 描 ( 移动 ) 喷嘴头部 78。 该主扫描方向与基板 31 的列方向对应。
工作台 76 用于固定基板 31，能够在图 10A、 B 中的 Y 方向 ( 设为副扫描方向 ) 移动。 该副扫描方向与基板 31 的行方向对应。
控制部 77 用于控制涂敷装置整体以向基板 31 涂敷液体。 控制部 77，使线性驱 动部 75 运作而使喷嘴头部 78 相对于基板 31 在主扫描方向上移动，将液体在基板 31 的列 方向上涂敷一行后，使工作台 76 阶梯式移动，进而使基板 31 在副扫描方向上移动一列的 量。
控制部 77 依次进行这样的控制，在基板 31 的所有行上涂敷液体。
另外，并不限定于该结构，例如也可以固定喷嘴头部 78 的位置，使基板 31 在主 扫描方向和副扫描方向上移动，也可以固定基板 31 的位置，使喷嘴头部 78 在主扫描方向 和副扫描方向上移动。 或者也可以使喷嘴头部 78 在副扫描方向上移动，使基板 31 在主 扫描方向上移动。
总之，只要具有使喷嘴头部 78 相对于基板 31 在主扫描方向和副扫描方向上相对 移动的结构即可。
接着，图 12 是表示图 11 所示的喷嘴头部 78 的具体结构的一例的图，图 13 是喷 嘴头部 78 的截面图。
喷嘴头部 78 是喷出液体的机构部，安装于线性驱动部 75。
如图 12、图 13 所示，喷嘴头部 78 由头部缸体 81、汽缸凸缘 82、连结单元 83、 过滤器 84、喷嘴板 Np 和喷嘴盖 Nc 构成。
头部缸体 81 是喷嘴头部 78 的主体部，在内部填充有通过供给管 72 引导来的液 体。
汽缸凸缘 82 具有凸缘形状，设置在头部缸体 81 的外周部。 汽缸凸缘 82 与头部 缸体 81 一体加工或者与头部缸体 81 接合。
基座单元 75a，是构成涂敷装置主体的线性驱动部 75 的扫描部的部件，设置有 用于安装喷嘴头部 78 的开口部 75b。 头部缸体 81 插入该开口部 75b，汽缸凸缘 82 螺纹 紧固于基座单元 75a。
连结单元 83 用于连结供给管 72 的前端和头部缸体 81。
过滤器 84 用于过滤向喷嘴头部 78 供给的液体，固定在头部缸体 81 的内部。
喷嘴板 Np 用于喷出液体，设置有喷出液体的多个喷嘴孔。 通过加压部 73 向配 管内施加压力，使从喷嘴板 Np 的各喷嘴孔喷出的液体成为液柱 Lp。
喷嘴盖 Nc 用于将喷嘴板 Np 固定配置在头部缸体 81 的一端侧。 喷嘴板 Np 被喷 嘴盖 Nc 固定在头部缸体 81 的一端侧，通过卸下喷嘴盖 Nc，能够更换喷嘴板 Np。 本第一实施方式涉及的喷嘴板 Np 为形成有相同尺寸直径的多个喷嘴孔的多连喷 嘴板 Np，通过一个液体罐 71 以 1 系统的液压系统对该喷嘴板 Np 供给液体。
图 14A、 B 分别示出了本第一实施方式涉及的多连喷嘴板 Np 的一例。 图 14A 表示作为上述多个喷嘴孔设置有两个喷嘴孔的两连喷嘴板 Np2，图 14B 表示设置有三个 喷嘴孔的三连喷嘴板 Np3。
两连喷嘴板 Np2 的各喷嘴孔、三连喷嘴板 Np3 的各喷嘴孔具有相同或大致相同 的直径，其喷嘴直径为 10 ～ 20μm 左右。 各喷嘴孔以两连喷嘴板 Np2、三连喷嘴板 Np3 的中心点为中心设置。 在为三连喷嘴板 Np3 的情况下，三个喷嘴形成为在大致一条直线 上排列。
当设定为通过各喷嘴中心的中心线设为 c-c’、副扫描方向为 z-z’ 时，在本第 一实施方式中，两连喷嘴板 Np2、三连喷嘴板 Np3，以中心线 c-c’ 和副扫描方向 z-z’ 相一致的方式，设置在图 11 所示的喷嘴头部 78 上。
在为两连喷嘴板 Np2 的情况下，当将两个喷嘴的中心点的间隔、各喷嘴的直径 分别设为 W2、R2 时，如果将由两连喷嘴板 Np2 涂敷的涂敷宽度设为 w21(0)，则涂敷宽 度 w21(0) 如下式 (1) 所示。
w21(0) ＝ W2+R2…… (1)
在为三连喷嘴板 Np3 的情况下，当将两侧的喷嘴的中间点的间隔、各喷嘴的直 径分别设为 W3、R3 时，如果将由三连喷嘴板 Np3 涂敷的涂敷宽度设为 w31(0)，则涂敷 宽度 w31(0) 如下式 (2) 所示。
w31(0) ＝ W3+R3…… (2)
在本实施方式中，设定为能够通过具有一个喷嘴的喷嘴板 Np 形成液柱 Lp，预先 设定可均匀地涂敷的喷出条件。
然后，在将涂敷宽度变更成两倍时，不改变上述喷出条件，而将喷嘴板 Np 更换 成图 14A 所示的两连喷嘴板 Np2。 由此，能够稳定地得到上述涂敷宽度 w21(0) 的涂敷
宽度。 当将涂敷宽度变更成三倍时，不改变上述喷出条件，而更换成图 14B 所示的三 连喷嘴板 Np3。 由此，能够稳定地得到上述涂敷宽度 w31(0) 的涂敷宽度。
由此，在改变涂敷宽度时，不调整喷出条件，而仅凭借变换成适当的喷嘴板， 就能够形成均匀的成膜。
另外，在为图 14A 所示的两连喷嘴板 Np2 的情况以及图 14B 所示的三连喷嘴板 Np3 的情况下，根据邻接的隔壁 48 的间隔、即开口部 48a 的间隔，分别调节间隔 W2、 W3，由此也能够在邻接的隔壁 48 之间形成适当的涂敷宽度。
如以上说明的那样，根据本第一实施方式，在喷嘴板 Np 上形成多个喷嘴孔，从 1 系统的液体罐 71 供给液体，形成多个液柱 Lp。
因而，即使不提升液压进而提高液柱 Lp 的射出速度，也能够均匀地涂敷液体， 而且即使改变涂敷宽度也能够降低涂敷不均的发生。 还能够防止由跨过隔壁而引起的混 色的发生。
在此，通过改变喷嘴板 Np 的多个喷嘴孔的中心点的间隔、喷嘴孔的喷嘴直径、 喷嘴孔的数量，能够调整液体的涂敷宽度。
因此，对于像素分辨率不同且像素尺寸不同的多个种类的面板，不改变涂敷条 件地选择更换与各个面板对应的适当的喷嘴板 Np，由此能够形成与各个面板对应的涂敷 宽度。
即，使用现有的具备仅具有一个喷嘴孔的喷嘴头部的涂敷装置，对规格不同的 多个种类的基板、例如对像素精细度高且像素尺寸小、具有比较狭窄的涂敷宽度的涂敷 区域的比较小的基板，和像素精细度低且像素尺寸比较大、具有比较宽广的涂敷宽度的 涂敷区域的大型 TV 用等的比较大的基板进行涂敷时，两者中最佳的涂敷条件大不相同。 因此，在保持能够对一个基板稳定涂敷的涂敷条件不变的情况下，无法对另一个基板两 者都进行稳定的涂敷，需要针对规格不同的基板的每个再调整涂敷条件。
对此，根据本实施方式，仅凭借选择与各基板对应的适当的喷嘴板，无需再调 整喷出条件等的其他涂敷条件，就能够对各基板的涂敷区域稳定地涂敷液体。
< 第二实施方式 >
第二实施方式涉及的涂敷装置，相对于上述第一实施方式的涂敷装置，喷嘴头 部 78 还具备使多连喷嘴板旋转的旋转机构部。
即，第二实施方式涉及的多连喷嘴板构成为能够在喷嘴头部 78 中在包含主扫描 方向、副扫描方向的面上旋转。
图 15A、B 是表示本第二实施方式中的作成能够旋转的两连喷嘴板、三连喷嘴板 的图。
如图 15A 所示，在为两连喷嘴板 Np2 的情况下，旋转并固定两连喷嘴板 Np2， 使得中心线 c-c’ 相对于副扫描方向 z-z’ 的角度为 0°～ 90°。
当 将 角 度 设 为 0 °、30 °、60 °、90 ° 时 的 涂 敷 宽 度 分 别 设 定 为 w21(0)、 w21(30)、w21(60)、w21(90) 时，各个值成为下式 (3) ～ (5) 所示的值，具有 w21(0) ＞ w21(30) ＞ w21(60) ＞ w21(90) 的关系。
w21(30) ＝ w21(0)×4/5…… (3)
w21(60) ＝ w21(0)×3/5…… (4)
w21(90) ＝ R2…… (5)
如图 15B 所示，三连喷嘴板 Np3 的情况也同样，构成为能够在包含主扫描方 向、副扫描方向的面上旋转，使三连喷嘴板 Np3 以中心线 c-c’ 相对于副扫描方向 z-z’ 的角度为 0°～ 90°的方式旋转并固定。
当 将 角 度 设 为 0 °、30 °、60 °、90 ° 时 的 涂 敷 宽 度 分 别 设 定 为 w31(0)、 w31(30)、w31(60)、w31(90) 时，各个值成为下式 (6) ～ (8) 所示的值，具有 w31(0) ＞ w31(30) ＞ w31(60) ＞ w31(90) 的关系。
w31(30) ＝ w31(0)×4/5…… (6)
w31(60) ＝ w31(0)×3/5…… (7)
w31(90) ＝ R3…… (8)
如果涂敷宽度与邻接隔壁的间隔即开口部 48a 的宽度不对应，则存在所涂敷的液 体越过隔壁，露出到邻接的其他色的涂敷区域的情况。
针对于此，在本第二实施方式中，通过使配置有两连喷嘴的喷嘴板 Np2、配置 有三连喷嘴的喷嘴板 Np3 等能够以任意的旋转角度旋转，能够细微地调整涂敷宽度。 由 此，对于各种面板，能够将涂敷宽度设定为适当的值。 由此，能够抑制所涂敷的液体向 邻接的其他色的涂敷区域露出。
进而，在本第二实施方式中，即使改变涂敷宽度，多连喷嘴板的喷嘴孔的数 量、大小也不发生任何变化。 因此，即使改变涂敷宽度，也完全不需要改变喷出条件， 能够稳定地得到所希望的涂敷宽度。
接着，对喷嘴头部 78 中的用于使多连喷嘴板能够旋转的机构的一例进行说明。
图 16A、B ～图 19 是表示具备旋转机构部的喷嘴头部 78 的第一结构例的图，图 20A、 B、 C 是表示具备旋转机构部的喷嘴头部 78 的第二结构例的图。
作为具有能够使多连喷嘴板 ( 此处为三连喷嘴板 Np3) 旋转的旋转机构部的喷嘴 头部 78 的结构例，有图 16A、 B ～图 19 所示的第一结构例、图 20A、 B、 C 所示的第二 结构例。 另外，在此作为多连喷嘴板表示了使用三连喷嘴板 Np3 的情况，但作为多连喷 嘴板也可以使用两连喷嘴板 Np2。
如图 16A、 B 所示，在第一结构例中，具有能够将头部缸体 81 相对于基座单元 75a 的旋转角度调整固定为任意的角度的结构。 即，头部缸体 81 相对于基座单元 75a 能 够旋转任意的角度，并且能够以任意的旋转角度将头部缸体 81 固定在基座单元 75a 上。 头部缸体 81 相当于旋转机构部。
在此，图 16A 是该喷嘴头部 78 的俯视图，图 16B 是其侧视图。
如图 17A、B 所示，在基座单元 75a 的中心部形成有开口部 75b，在基座单元 75a 的上表面标记有表示该喷嘴头部 78 的中心线 c-c’ 相对于副扫描方向 z-z’ 的角度的刻 印。
此外，如图 17A 所示，在汽缸凸缘 82 上标记有用于进行角度对准的三角记号。
为了组装该喷嘴头部 78，如图 18 所示，将头部缸体 81 插入基座单元 75a 的开口 部 75b。 头部缸体 81 被旋转自如地保持于基座单元 75a。
在作为喷嘴板使用三连喷嘴板 Np3 的情况下，如图 19 所示，三连喷嘴板 Np3 配设在喷嘴盖 Nc 上。 在头部缸体 81 的下端的外周面设有外螺纹，在喷嘴盖 Nc 的内周面 形成有内螺纹。
而且，通过使头部缸体 81 的外螺纹与喷嘴盖 Nc 的内螺纹啮合，配设有三连喷嘴 板 Np3 的喷嘴盖 Nc 拧入头部缸体 81，三连喷嘴板 Np3 被头部缸体 81 和喷嘴盖 Nc 夹持 而固定。
另外，在固定三连喷嘴板 Np3 时，使三连喷嘴板 Np3 的中心线 c-c’ 和副扫描 方向 z-z’ 一致，进而，此时，使得标记于汽缸凸缘 82 上的三角记号与基座单元 75a 的 角度 0°一致。
例如，在将涂敷宽度设为图 15B 所示的 w31(30) 的情况下，通过使标记于汽缸 凸缘 82 的三角记号和标记于基座单元 75a 的 30°的刻印一致，中心线 c-c’ 成为相对于 副扫描方向 z-z’ 倾斜 30°的状态。 这样，当在基板 31 上涂敷液体 51 时，涂敷宽度为 w31(30)。
接着，在第二构成例中，如图 20A、B、C 所示，具有将三连喷嘴板 Np3 配设在 喷嘴头部 78 的前端部分，将中心线 c-c’相对于副扫描方向 z-z’的角度调整固定为任意 的角度的结构。
该喷嘴头部 78，如图 20A 所示，由主体部、三连喷嘴板 Np3、喷嘴盖 Nc、板按 压螺纹件 91 和旋转止动螺母 92 构成。
主体部由头部缸体 81 和连结单元 83 构成。 头部缸体 81 的前端侧成为直径小的 小径部 81a，在该小径部 81a 的外周面形成有外螺纹。
板按压螺纹件 91 用于按压三连喷嘴板 Np3，在内周面、外周面分别形成有内螺 纹、外螺纹。
旋转止动螺母 92 是用于阻止板按压螺纹件 91 旋转的螺母，在内周面形成有与在 头部缸体 81 的小径部 81a 的外周面形成的外螺纹啮合的内螺纹。
在组装该喷嘴头部 78 的情况下，如图 20A 所示，三连喷嘴板 Np3 配设在喷嘴盖 Nc 上。 在该喷嘴盖 Nc 的内周面形成有内螺纹。
然后，如图 20B 所示，通过使在喷嘴盖 Nc 的内周面形成的内螺纹与在板按压螺 纹件 91 的外周面形成的外螺纹啮合，将喷嘴盖 Nc 拧入板按压螺纹件 91，三连喷嘴板 Np3 被喷嘴盖 Nc 和板按压螺纹件 91 夹持而固定。
此外，在旋转止动螺母 92 的内周面形成的内螺纹与在头部缸体 81 的小径部 81a 的外周面形成的外螺纹啮合，旋转止动螺母 92 拧入头部缸体 81 的小径部 81a。
然后，如图 20C 所示，在板按压螺纹件 91 的内周面形成的内螺纹与在头部缸体 81 的小径部 81a 的外周面形成的外螺纹啮合，板按压螺纹件 91 拧入头部缸体 81 中，旋转 止动螺母 92 拧入直至碰到板按压螺纹件 91 为止，固定板按压螺纹件 91 和喷嘴盖 Nc。
调节该板按压螺纹件 91 的拧入位置，调节三连喷嘴板 Np3 的中心线 c-c’ 相对 于副扫描方向 z-z’ 的角度。 该头部缸体 81 和板按压螺纹件 91 和旋转止动螺母 92 相当 于旋转机构部。
如以上说明那样，根据本第二实施方式，使多个喷嘴板能够旋转，能够不更换 多连喷嘴板就改变涂敷宽度。
另外，当实施本发明时，考虑到各种方式，并不限定于上述实施方式。图 21A、 B 和图 22A、 B 是表示多连喷嘴板的变形例的图。
例如，在上述第一实施方式中，对多个喷嘴具有相同喷嘴直径的情况进行了说 明。 与此相对，如图 21A、 B 所示，例如也可以在三连喷嘴板 Np3 中，在 1 系统的液压 系统中，配置具有不同的喷嘴直径的多个喷嘴。
图 21A 是表示使中心的喷嘴的喷嘴直径比两侧的喷嘴的喷嘴直径大的三连喷嘴 板 Np3 的图。 主要能够期待用中心的喷嘴涂敷液体，利用从两侧的喷嘴喷出的液体形成 的液柱 Lp 来防止向邻接像素的露出的效果。
此外，通过使该三连喷嘴板 Np3 旋转 90°并涂敷液体，先用细的喷嘴的液柱 Lp 涂敷，之后用粗的喷嘴的液柱 Lp 涂敷，由此能够期待液体的飞溅、飞散防止的效果。
图 21B 表示其相反图案的三连喷嘴板 Np3，两侧的喷嘴的喷嘴直径比中心的喷 嘴的喷嘴直径大。 该三连喷嘴板 Np3 能够期待涂敷部液体扩散效果。
此外，如图 22A、B 所示，也可以使多个喷嘴孔的喷出方向的中心线 d-d’ 相对 于与喷嘴板的上表面垂直的方向 v-v’ 倾斜。 该喷嘴孔的喷出方向的中心线 d-d’ 的倾 斜角度例如设定为朝向涂敷区域的涂敷宽度的中心方向倾斜。 在这样的多连喷嘴板中， 通过使各喷嘴孔相对于与喷嘴板的上表面垂直的方向的倾斜角度不同，当从多个喷嘴喷 出液体时，能够期待限缩涂敷区域的效果。 此外，通过调节从喷嘴至涂敷面的距离，不 仅能够期待限缩而且还能够期待扩散的效果。
此外，除了通过多个喷嘴相对于喷嘴板配置在一条直线上之外，通过以任意的 尺寸且任意的角度配置在任意的位置，也能够产生聚集、扩散、涡旋等。
此外，在上述实施方式中，对两连喷嘴板 Np3、三连喷嘴板 Np3 进行了说明。 但是，喷嘴孔的数量也可以是三个以上。