充气设备与入气端口装置.pdf

一种充气设备以及其入气端口装置。充气设备与供气装置连接，用以将气体导入具有入气部分的半导体组件或光罩存放装置中。充气设备包含有承载该存放装置的承座以及至少一个入气端口装置，设于承座上且与存放装置的入气部分，气体自入气端口装置填充进入存放装置中。入气端口装置具有第一基座、第二基座、第一弹性件、固定件与开关装置。第一基座与第二基座均具有一贯穿孔，且其等之贯穿孔相对应。第一弹性件，用以保持气密性，设于第二基座上且对应于与该存放装置的入气部分接触处。固定件，用以将弹性件固定于第二基座上。而开关装置，设于该第一基座与第二基座的孔内，用以控制进出该入气端口装置的气体。

1、  一种充气设备，与一供气装置连接，用以将气体导入至少一个用以存放半导体组件或光罩的存放装置中，该存放装置具有至少一入气部分，该充气设备包含：
至少一承座，用以承载该存放装置；以及
至少一入气端口装置，设于该承座上且与该存放装置入气部分对应的位置，其特征在于，该入气端口装置包含有：
一第一基座，具有一贯穿孔；
一第二基座，设于该第一基座上，亦具有一贯穿孔对应于该第一基座的贯穿孔；
一第一弹性件，设于该第二基座上且对应于与该存放装置的入气部分接触处，用以保持气密性；
一固定件，固设于该第二基座上，用以将该第一弹性件固定于该第二基座；
一开关装置，设于该第一基座与该第二基座的贯穿孔内，用以控制进出该入气端口装置的气体，其包含有：
一中空管部，该管部的一端固接于该第二基座，另一端具有一扩大部，卡持于该第一基座由此封闭该第一基座的贯穿孔，该管部靠近该扩大部的部分设有至少一孔隙，用以供气体进入该管部的中空部分；
一伸缩件，环设于该管部的外侧，卡设于该第二基座与该第一基座之间；
其中，当该存放装置设置于该承座上，该存放装置的入气部分与该入气端口装置相接触，该存放装置的重量将使该第二基座向下移动，带动该开关装置向下移动使得该扩大部与该第一基座分离，使该管部的孔隙露出，由此使得气体得以流入该开关装置并且充入至该存放装置；
当该存放装置离开该承座时，该伸缩件会将该第二基座抬升，带动该管部的扩大部回复封闭该第一基座贯穿孔的位置。

2、  根据权利要求1所述的充气设备，其特征在于，该固定件与该第二基座的固接方式为卡制或螺旋。

3、  依据权利要求1所述的充气设备，其特征在于，该开关装置的管部与该第二基座的固接方式为卡制或螺旋。

4、  依据权利要求1所述的充气设备，其特征在于，该开关装置的扩大部上另设置一第二弹性件，以保持该开关装制与该第一基座之间的气密性。

5、  依据权利要求1所述的充气设备，其特征在于，该第一基座另包含有至少一锁固位置，以至少一锁固件与该承座接合。

6、  依据权利要求1所述的充气设备，其特征在于，该第一基座与该供气装置连接。

7、  根据权利要求6所述的充气设备，其特征在于，该第一基座与该供气装置的连接方式为卡制或螺旋。

8、  一种入气端口装置，设于一充气设备的承座上，该充气设备用以将气体导入至少一个置于该承座上用以存放半导体组件或光罩的存放装置中，该存放装置具有至少一入气部分，其特征在于，该入气端口装置包含有：
一第一基座，具有一贯穿孔；
一第二基座，设于该第一基座上，亦具有一贯穿孔对应于该第一基座的贯穿孔；
一第一弹性件，设于该第二基座上且对应于与该存放装置的入气部分接触处，用以保持气密性；
一固定件，固设于该第二基座上，用以将该第一弹性件固定于该第二基座；
一开关装置，设于该第一基座与该第二基座的贯穿孔内，用以控制进出该入气端口装置的气体，其包含有：
一中空管部，该管部的一端固接于该第二基座，另一端具有一扩大部，卡持于该第一基座由此封闭该第一基座的贯穿孔，该管部靠近该扩大部的部分设有至少一孔隙，用以供气体进入该管部的中空部分；
一伸缩件，环设于该管部的外侧，卡设于该第二基座与该第一基座之间；
其中，当该存放装置设置于该承座上，该存放装置的入气部分与该入气端口装置相接触，该存放装置的重量将使该第二基座向下移动，带动该开关装置向下移动使得该扩大部与该第一基座分离，使该管部的孔隙露出，由此使得气体得以流入该开关装置并且充入至该存放装置；
当该存放装置离开该承座时，该伸缩件会将该第二基座抬升，带该动管部的扩大部回复封闭该第一基座贯穿孔的位置。

9、  依据权利要求8所述的入气端口装置，其特征在于，该开关装置的扩大部上另设置一第二弹性件，以保持该开关装制与该第一基座之间的气密性。

10、  依据权利要求8所述的入气端口装置，其特征在于，该第一基座与该供气装置连接。

充气设备与入气端口装置
技术领域
本发明是有关于一种充气设备与入气端口装置，特别是有关于一种用以将气体导入至少一个用以存放半导体组件或光罩的存放装置中的充气设备。
背景技术
近代半导体科技发展迅速，其中光学微影技术扮演重要的角色，只要是关于图形定义，皆需仰赖光学微影技术。光学微影技术在半导体的应用上，是将设计好的线路制作成具有特定形状可透光的光罩。利用曝光原理，则光源通过光罩投影至硅圆片可曝光显示特定图案。由于任何附着于光罩上的尘埃颗粒(如微粒、粉尘或有机物)都会造成投影成像的质量劣化，用于产生图形的光罩必须保持绝对洁净，而被投射的硅圆片或者其它半导体投射体亦必须保持绝对清静，因此在一般的圆片工艺中，都提供无尘室的环境以避免空气中的颗粒污染。然而，目前的无尘室也无法达到绝对无尘的状态。
因此，现代半导体工艺皆利用抗污染的存放装置进行光罩与半导体组件的保存与运输，以使光罩与半导体组件保持洁净。存放装置是在半导体工艺中用于存放光罩或半导体组件，以利光罩与半导体组件在机台之间的搬运与传送，并隔绝光罩与半导体组件与大气的接触，避免光罩或半导体组件被杂质污染而产生变化。因此，在先进的半导体厂中，通常会要求该些存放装置的洁净度要符合机械标准接口(Standard Mechanical Interface；SMIF)，也就是说保持洁净度在Class 1以下。故，在该些存放装置中充入气体便是目前解决的手段之一。
因此，存放装置需再连接充气设备，使气体由充气设备导入该些存放装置。以往当存放装置与充气设备连接后，不论是将存放装置放置于充气设备上或其它方式，要使充气设备开始将气体导入存放装置，多半使用人工开启方式，之后进步为使用感应装置，当感应到存放装置已经设置于充气设备上时，可以自动开启气体充填功能。
在气体充填的过程中，不论是使用人工开启方式或由感应装置自动开启充气，都是增加工艺的动作或增加设备的结构，其都是在增加成本。又或是当存放装置放置不正确，而人工或感应器仍开始充气，则将造成气体外泄，亦是增加成本。另外，当存放装置与充气装置分开时，若人工停止气体充填的控制方式不妥，或感应装置无正确感应时，则无法停止充气，气体持续供应，亦将造成成本的增加。
发明内容
本发明提供一种充气设备与入气端口装置，以解决公知技术中气体外泄的问题。
为实现上述目的，本发明提供的充气设备与供气装置连接，用以将气体导入具有入气部分的半导体组件或光罩存放装置中。充气设备包含有承载该存放装置的承座以及至少一个入气端口装置，设于承座上且与存放装置的入气部分，气体自入气端口装置填充进入存放装置中。
入气端口装置具有第一基座、第二基座、第一弹性件、固定件与开关装置。第一基座与第二基座均具有一贯穿孔，且其等之贯穿孔相对应。第一弹性件，用以保持气密性，设于第二基座上且对应于与该存放装置的入气部分接触处。固定件，用以将弹性件固定于第二基座上。而开关装置，设于该第一基座与第二基座的孔内，用以控制进出该入气端口装置的气体。
关键在于开关装置，包含有中空的管部与伸缩件，目的在于以机械结构随着存放装置的摆放或取出而控制气体的进出。中空管部的一端固接于第二基座，另一端具有一扩大部，可卡持于第一基座，由此封闭该第一基座的贯穿孔，该管部靠近扩大部的部分设有至少一孔隙，用以供气体进入该管部的中空部分；另外，伸缩件，环设于管部的外侧，卡设于第二基座与第一基座之间；当存放装置放置于承座上时，存放装置的入气部分与入气端口装置相接触，存放装置的重量将使第二基座向下移动，带动开关装置向下移动使得其扩大部与第一基座分离，使管部的孔隙露出，由此使得气体得以流入开关装置并且充入至存放装置中；当该存放装置离开该承座时，该伸缩件会将该第二基座抬升，带动管部的扩大部回复封闭第一基座的贯穿孔的位置。
再详细一点地说，本发明提供的充气设备，与一供气装置连接，用以将气体导入至少一个用以存放半导体组件或光罩的存放装置中，该存放装置具有至少一入气部分，该充气设备包含：
至少一承座，用以承载该存放装置；以及
至少一入气端口装置，设于该承座上且与该存放装置入气部分对应的位置，其中，该入气端口装置包含有：
一第一基座，具有一贯穿孔；
一第二基座，设于该第一基座上，亦具有一贯穿孔对应于该第一基座的贯穿孔；
一第一弹性件，设于该第二基座上且对应于与该存放装置的入气部分接触处，用以保持气密性；
一固定件，固设于该第二基座上，用以将该第一弹性件固定于该第二基座；
一开关装置，设于该第一基座与该第二基座的贯穿孔内，用以控制进出该入气端口装置的气体，其包含有：
一中空的管部，该管部的一端固接于该第二基座，另一端具有一扩大部，可卡持于该第一基座由此封闭该第一基座的贯穿孔，该管部靠近该扩大部的部分设有至少一孔隙，用以供气体进入该管部的中空部分；
一伸缩件，环设于该管部的外侧，卡设于该第二基座与该第一基座之间；
其中，当该存放装置设置于该承座上，该存放装置的入气部分与该入气端口装置相接触，该存放装置的重量将使该第二基座向下移动，带动该开关装置向下移动使得该扩大部与该第一基座分离，使该管部的孔隙露出，由此使得气体得以流入该开关装置并且充入至该存放装置；
当该存放装置离开该承座时，该伸缩件会将该第二基座抬升，带动该管部的扩大部回复封闭该第一基座的贯穿孔的位置。
所述的充气设备，其中该固定件与该第二基座的固接方式为卡制或螺旋。
所述的充气设备，其中该开关装置的管部与该第二基座的固接方式为卡制或螺旋。
所述的充气设备，其中该开关装置的扩大部上可另设置一第二弹性件，以保持该开关装制与该第一基座之间的气密性。
所述的充气设备，其中该第一基座另包含有至少一锁固位置，以至少一锁固件与该承座接合。
所述的充气设备，其中该第一基座与该供气装置连接。
所述的充气设备，其中该第一基座与该供气装置的连接方式为卡制或螺旋。
本发明提供的入气端口装置，设于一充气设备的承座上，该充气设备用以将气体导入至少一个置于该承座上的用以存放半导体组件或光罩的存放装置中，该存放装置具有至少一入气部分，其中该入气端口装置包含有：
一第一基座，具有一贯穿孔；
一第二基座，设于该第一基座上，亦具有一贯穿孔对应于该第一基座的贯穿孔；
一第一弹性件，设于该第二基座上且对应于与该存放装置的入气部分接触处，用以保持气密性；
一固定件，固设于该第二基座上，用以将该第一弹性件固定于该第二基座；
一开关装置，设于该第一基座与该第二基座的贯穿孔内，用以控制进出该入气端口装置的气体，其包含有：
一中空的管部，该管部的一端固接于该第二基座，另一端具有一扩大部，可卡持于该第一基座由此封闭该第一基座的贯穿孔，该管部靠近该扩大部的部分设有至少一孔隙，用以供气体进入该管部的中空部分；
一伸缩件，环设于该管部的外侧，卡设于该第二基座与该第一基座之间；
其中，当该存放装置设置于该承座上，该存放装置的入气部分与该入气端口装置相接触，该存放装置的重量将使该第二基座向下移动，带动该开关装置向下移动使得该扩大部与该第一基座分离，使该管部的孔隙露出，由此使得气体得以流入该开关装置并且充入至该存放装置；
当该存放装置离开该承座时，该伸缩件会将该第二基座抬升，带该动管部的扩大部回复封闭该第一基座的贯穿孔的位置。
所述的入气端口装置，其中该开关装置的扩大部上可另设置一第二弹性件，以保持该开关装制与该第一基座之间的气密性。
所述的入气端口装置，其中该第一基座与该供气装置连接。
本发明的效果是：
1)本发明的具开关装置入气端口装置，可随着存放装置的放置与取出而控制气体的进出，不需要另外以人工控制或增设感应器，以达到自动化控制与节省成本的效果。
2)本发明的具开关装置入气端口装置，可随着存放装置的放置与离而控制气体的进出，不会造成气体的外泄，可达到节省成本的效果。
附图说明
图1是充气设备的示意图。
图2A与图2B是入气端口装置的示意图。
图3A与图3B是第一弹性件的示意图。
图4A与图4B是固定件与第二基座固接方式示意图。
图5A与图5B是开关装置的管部与第二基座固接方式的示意图。
图6是开关装置的示意图。
图7A与图7B是第一基座的示意图。
图8A至图8C是第一基座与供气装置连接的示意图。
附图中主要组件符号说明：
充气设备1
承座2
供气装置3
存放装置4
入气部分41
入气端口装置5
第一基座51
贯穿孔511
锁固位置512
锁固件513
锁固头5131
第二基座52
贯穿孔521
第一弹性件53
第一弹性件与入气端口份接触处531
固定件54
弹性装置514
开关装置6
管部61
孔隙612
扩大部62
伸缩件63
第二弹性件64
具体实施方式
由于本发明公开一种具有入气端口装置的充气设备，其中所利用到的一些关于光罩、半导体组件、存放装置或充气装置的详细制造或处理过程，是利用现有技术来完成，故在下述说明中，并不作完整描述。而且下述内文中的附图，亦并未依据实际的相关尺寸完整绘制，其作用仅在表达与本发明特征有关的示意图。
首先，请先参阅图1，本发明的充气设备1的示意图。充气设备1与供气装置3连接，用以将气体导入至少一个用以存放半导体组件或光罩的存放装置4中，存放装置4具有至少一个入气部分41。该充气设备1包含至少一个承座2，用以承载存放装置4；以及至少一个入气端口装置5，设于承座2上且与存放装置4入气部分41相对应的位置，气体自入气端口装置4填充，经入气部分41进入存放装置4中。
接着，请参阅图2A，入气端口装置5包含有：第一基座51，第二基座52，第一弹性件53，固定件54，以及开关装置6。第一基座51，具有一贯穿孔511；第二基座52，设于该第一基座51上，亦具有一贯穿孔521对应于第一基座51的贯穿孔521；第一弹性件53，设于第二基座52上且与存放装置4的入气部分41相接触，用以保持气密性；固定件54，固设于第二基座52上，用以固定第一弹性件53于第二基座52；开关装置6，设于第一基座51与第二基座52的贯穿孔511，521内，用以控制进出该入气端口装置5的气体。开关装置6包含有中空的管部61与伸缩件63。管部61的一端固接于第二基座52，另一端具有扩大部62，扩大部62可卡持于第一基座51，由此封闭第一基座51的贯穿孔511；管部61靠近扩大部62的部分设有至少一孔隙612，用以供气体进入管部61的中空部分；伸缩件63，环设于管部61的外侧，卡设于第二基座52与第一基座51之间；当存放装置4放置于承座2上时，存放装置4的入气部分41与该入气端口装置5相接触，存放装置4的重量将使第二基座52向下移动，带动开关装置6向下移动，使得开关装置6的扩大部62与第一基座51分离，使管部61的孔隙612露出，由此使得气体得以从孔隙612流入管部61进而充入至存放装置4，请参阅图2B所示，此为入气端口装置进入开启的状态，空气可进入入气端口装置5；当存放装置4离开该承座2时，该伸缩件63会将该第二基座52抬升，带动管部61的扩大部62回复封闭第一基座51的贯穿孔511的位置，此时气体将无法进入入气端口装置5。(回复到图2A的关闭位置)
请参阅图3A与图3B，入气端口装置5中的第一弹性件53与存放装置4的入气部分41的接触处531可以是平面(图3A)或弧面(图3B)。
请参阅图4A与图4B，固定件54与第二基座52的固接方式可以是卡制(图4A)或螺旋(图4B)方式固接。
请参阅图5A与图5B，开关装置6的管部61与第二基座52的固接方式为卡制(图5A)或螺旋(图5B)。
请参阅图6，开关装置6的扩大部62上可另设置第二弹性件64，以保持开关装置6与第一基座51间的气密性。
请参阅图7A，第一基座51可另包含至少一个锁固位置512，以至少一个锁固件513与该承座2接合。此外，锁固件513具有一锁固头5131，请参阅图7B，入气端口装置5上可再增设一个弹性装置514，设于该锁固件513的锁固头5131与该第一基座51间，用以使该入气端口装置5与该承座2的相对位置可弹性调整，当承座2或是存放装置4倾斜或不正时，该入气端口装置5可随之调整，不会造成因为倾斜或不正而导致气体外泄。
请参阅图8，第一基座51与供气装置3连接，而其连接方式可为卡制(图8A与图8B)或螺旋(图8C)的方式。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并非用以限定本发明的权利范围；同时以上的描述，对于本领域技术人员应可明了及实施，因此其它未脱离本发明所揭示的精神下所完成的等效改变或修饰，均应包含在本发明申请的权利要求范围中。