本发明涉及分子量组成在4000和10000道尔顿之间的天然源的新的寡脱氧核糖核苷酸及其获得方法。 本发明的又一目的是这类新化合物作为抗局部缺血剂的应用。这里,必须首先说明,上述方法具有由在水介质中天然高分子量的脱氧核糖核酸的预先解聚步骤,接着,加适宜量的有机溶剂使得到的寡脱氧核糖核苷酸沉淀组成的一般特征。
有关的分析和药理活性表明,本发明的聚合物构成一个特殊系列,其所有同系寡脱氧核糖核苷酸分子量都在上面指定的范围内。
事实上,如下文所表明的,在同样范围内,与有关分析(更具体地说是化学参数)揭示的物质不同的那些化合物,抗局部缺血活性极低。
上面所说的化学参数是腺嘌呤+胸腺嘧啶/胞嘧啶+鸟嘌呤或A+T/C+G摩尔数之和的比值,因此,必须认识到下面报告的范围(表1)对于限定化合物在分子量为4000-10000范围内是非常重要的,这些化合物具有显著的抗局部缺血活性,因此,从治疗观点上看是很有用地。
先有技术已经揭示了一些由天然寡氧核糖核酸解聚而得的低分子量聚合物。但是,无论如何,像在下文充分解释的,不能认为它们会影响本发明的新的寡脱氧核糖核苷酸的新颖性或使之成为显而易见的事情。
EP-A-416677揭示了含有分子量组成在10000和100000之间的天然源多聚脱氧核糖核苷酸的组合物作为美容剂的应用,有趣的是,由其相应范围包含的嘌呤/嘧啶(G+A/C+T)之克分子比阐明本发明的同样参数(见表1)。
然而,不能认为这一公开会使本发明的第一目的丧失创造性。例如,没有理由认为本发明的新的聚合物是该先有技术的多聚脱氧核糖核苷酸的“仅仅”低分子量等同物,因为上述G+A/C+T的摩尔比范围包括了很大一类化合物,包括具有上述药理学活性的寡脱氧核糖核苷酸和几乎没有这种活性的化合物。
这一观察由表1所给本发明化合物的G+A/C+T的数值及其范围和表4显示的制剂POO67。DV具有的弱的抗局部缺血活性得到充分证实。
由以上考虑可得出清楚的结论,即EP-A-416677未给予最终能帮助本技术领域人员选择或另外确定本发明公开的一类聚合物的任何信息。WO87/06235提到的天然源的多聚脱氧核糖核苷酸不同于构成本发明第一目的的具有较高增色参数和旋光度的物质。关于这一点值得注意的是,在同一专利申请中已经揭示,低分子量化合物的增色参数将减小。同时必须承认,该文献没有给出比旋光会相应改变的任何信息。
另外,像在EP-A-416677中一样,在WO87/06235中,就最终发现证实这些化合物活性的重要的A+T/C+G摩尔比的特定值或其任何范围方面,没有给出任何建议。
上面提到的两篇文献,甚至没有A+T/C+G摩尔比方面考虑这样的多聚脱氧核糖核苷酸的化学特性。
此外,WO87/06235在更大范围上证实了本发明的非显而易见性。
事实上,在相应的披露中发现这样的叙述,即,增色参数h值小于10的脱氧糖核苷酸的低分子量聚合物,呈现惊人的药理学活性降低。另外,还证实分子量为8000的寡脱氧核糖核苷酸的h值几乎为零。
这些主张直接导出以下结论:
a.h值小于10的寡脱氧核糖核苷酸不能用于治疗方面;
b.特别是,由于在上述文献中这种药理学活性令人难忘的降低与低于10的h值有关。实践中的技术人员必然认为,h值越低剩余活性减小,尤其是当h=0时,如上述按照WO87/06235,这相当于分子量为8000的多聚脱氧核糖核苷酸。
这两条结论事实上显然相反于下面要证实的本发明的实验结果。
表1报告了新的寡脱氧核糖核苷酸的有关物理化学和化学特性。
表中记载的各种范围除了比旋光外都由表11导出,比旋光范围是由表11(范围:+34-+48)和实施例:在实施例8中报告的制剂POO97.N的比旋光(+32.5°)和实施例9中报告的制剂POO97.M的比旋光(+30.9)一起确定的。
表Ⅰ中的参数由以下各法测定。
本发明的天然物质的分子量的确定主要取决于所选用的测定方法。对于HPLC法,参数标准的选择将强烈影响结果。对于本发明,已通过考虑其与待分析的寡脱氧核糖核苷酸在分子结构或构型上的相似性选择了参考标准。
分子量由HPLC测定,在滤相色谱上装有两个柱子,BiosilRTSK300和BiosilRTSK250(BioradR),恒热在30℃。组成流动相的溶液是由溶解在蒸馏水中的如下物质获得的:氯化钠5.844g,NaH2PO4·H2O 9.24g,甘氨酸22.5g。然后,使体积达950ml,用6N NaOH调节PH至6.8最后用蒸馏水稀释成1升。
流速为0.5ml/分钟,注入样品体积为6mcl(微升的缩写)和在260nm该取流出液的光密度。用具有已知分子量的聚苯乙烯磺酸盐(钠盐)(厂商:Polymers Laboratories Limited)标准物校准柱子。用两种溶液即溶液A和溶液B校准。两种溶液各含有0.25%的n。4标准物。在溶液A中四种聚苯乙烯磺酸钠标准物的分子量为:1800,8000,46000和200000,而在溶液B中四种聚苯乙烯磺酸钠标准物的分子量为4600,18000,100000和400000。
表1
表征本发明的寡脱氧核糖核苷酸的不同分析参数的范围
分子量 4000-10000
h <10
A+T/C+G*1,100-1,455
A+G/C+T*0,800-1,160
比旋光 +300-480
*碱基摩尔比
每种溶液注入三次。
以同样条件注入样品。
增色参数h以Enzymology Vol.111Pages708-712中所述的方法测定(也见WO87/06235Page 3)。
旋光度用一台自动旋光计在钠D-线,用1%W/V(以干重计)样品的水溶液,于恒温20℃下测定。
为了计算碱基摩尔比A+T/C+G和A+G/C+T,需要先确定每种碱基在相应寡脱氧核糖核苷酸样品中的相对重量百分比。这一分析可以由HPLC进行,在像EP360882所述的样品水介后在一离子交换柱上进行。可以获得这些物质的该方法如下:
-从含有4%W/V分子量范围在15000-75000道尔顿的多聚脱氧核糖核苷酸钠盐的0.8M乙酸钠水溶液中分步沉淀聚合物。该方法在20℃下进行,并按照下述步骤向溶液中加选自乙醇、丙醇和异丙醇的低级烷基醇来进行沉淀:
a).加0.8体积乙醇到含有4%W/V多聚脱氧核糖核苷酸的0.8M乙酸钠溶液中,以便沉淀大部分的高分子量的多聚脱氧核糖核苷酸部分。
b).向含0.8体积醇的上述a)中所得的醇水溶液中,再加醇使有机相体积/原来的水相体积为1∶1。除去上清液,生成的沉淀中含混有本发明聚合物的高分子量多聚脱氧核糖核苷酸部分,回收并以如下列步骤d)所述进行加工。
c).上述步骤b)的上清液与另加量的乙醇混合,使乙醇体积/步骤a)的0.8M乙酸钠缓冲水溶液的体积为2∶1,在这样的条件下,分离并回收本发明的寡脱氧核糖核苷酸。
d).将步骤b)中所得的沉淀溶解于0.8M乙酸钠中。每体积水溶液中加1体积醇,沉淀后除去高分子量的多聚脱氧核糖核苷酸部分。离心除去沉淀后,剩下的醇水溶液与醇混合直至总量为2体积有机溶剂/1体积水溶液。回收由本发明的寡脱氧核糖核苷酸组成的沉淀。
按照另一可供选择的方法,通过向原来的水溶液中加1体积的醇,也可实现一次间断沉淀。在这样的条件下,上清液与另加1体积的醇混合,可得到所要聚合物的沉淀,但这一方法的产率较低。
-在PH为4.1的乙酸/0.5M乙酸钠缓冲水溶液中,高分子量脱氧核糖核酸钠盐的热解聚。该方法在65℃-75℃进行至少6小时,最好低于10小时,这时间总是取决于起始核酸的分子量。解聚作用通过以固定的间隔监测聚合物分子量来跟踪。该方法一直进行到分子量落入表1规定的范围。
在该0.5M乙酸钠缓冲液中脱氧核糖核酸的浓度是4%W/V或大约12%W/V,并表明,较高浓度下,产率稍高些(见实施例6-11)。
该方法由以下步骤组成:
a).溶解高分子量的脱氧核糖核酸和接着加三水合乙酸钠+浓(80%)乙酸,得到所要求的缓冲液摩尔浓度和PH。
b).得自步骤c的粘性水溶液于65℃-75℃加热至少6小时。
c).在b)步的加热处理之后使温度降低到30℃,并以30%NaOH调节PH至7.8-8.0,然后,再于85℃下加热90分钟。
d).冷却该溶液至室温,以浓乙酸调节PH至6.5,加水溶液体积的1.5-2倍的乙醇沉淀寡脱氧核糖核苷酸。
-高分子量脱氧核糖核酸用脱氧核糖核酸酶解聚并接着超滤,浓缩该溶液。在10mM氯化镁存在下,在PH7.0的0.1M磷酸盐缓冲液中,对1%W/V高分子量核酸进行24小时的酶解。最后,超滤步骤进行如下:
a).在10000道尔顿截止膜上超滤该溶液,直至溶液体积减少至原体积的1/5。
b).以不变的体积(即,向所得溶液中加水保持其体积不变)在5倍体积的蒸馏水中渗析剩余溶液,使其脱盐。
c).在3000道尔顿截止膜上超滤,从上面步骤a)和b)中收集的渗透液合并后,浓缩至原体积的1/5。
d).溶解在第一次超滤(步骤a)和第二次超滤(步骤c)的剩余溶液中的溶质经用盐处理回收,直至0.8M盐浓度,该盐最好是乙酸钠,并接着每体积水相中加1.5体积乙醇使沉淀。
代替上述两个超滤步骤的另一种溶液浓缩作用可以按以下方法进行:
a).在3000道尔顿截止膜上超滤,直至剩余液体积为原体积的1/5。
b).以不变体积在5倍体积的蒸馏水中渗析该剩余液,使其脱盐。
c).按照上述步骤d)中所述的方法,从剩余液中回收溶质。
后一方法所得产率与前一方法大体相同,但比前法简单。
在上述两个方法中,经脱水、研磨和干燥,从沉淀中得到所要化
表11中报告的一些制剂的分析数据,在下文将叙述的药理学检验中已经利用。
分子量少于10000和抗局部缺血活性比本发明的聚合物低得多的实验室规格的寡脱氧核糖核苷酸制剂POO67。DV,按照实施例15中所述的分级分离法而获得。该制剂给出如下的分析数据(干重):分子量6600;h,1.4;A+T/G+C,1.494;A+G/T+C,0.914;比旋光,+37.2°。
值得说明的是,获得POO67。DV的同样分级分离法,用于其它批号的解聚的脱氧核糖核酸时,始终给出具有同样分析特性的产物,即A+T/G+C的摩尔比值较高。实施例16给予适宜的说明。
表Ⅲ新的寡脱氧核糖核苷酸对产色底物三肽S-2251的体外纤维蛋白溶解活性化合物5分钟由底物S-2251释放的对硝基苯胺的mcg化合物浓度200mcg/ml800mcg/mlPOO85.CPOO85. D IVPOO85.M IIPO102.APO102.BPOO67.D V血纤维蛋白溶解酶0.25±0.160.18±0.0901.27±0.520.87±0.5706.70*0.89±0.380.03±0.032.49±0.702.63±0.610.56±0.27未测定27.01*
* 由血纤维蛋白溶酶的回归议程推导的值y=线=-0.26+
0.0341×(r=1)
表111给出本发明化合物的和制剂POO67.DV的纤维蛋白溶解活性数据并与纤维蛋白溶解剂血纤维蛋白溶酶-一种来自血纤维蛋白溶酶原的蛋白水解酶进行比较。这里值得说明的是,血纤维蛋白溶酶已用于人的治疗。活性是用从共价连接对硝基苯胺的肽底物S-2251水解而得的对硝基苯胺(PNA)的mcg值表示。该共价键可选择性地受到纤维蛋白溶解剂作用的影响。其结果,溶液中释放的PNA量与被检化合物的纤维蛋白溶解活性直接有关。正如J.H.Verheijen等人在“A Simple Sensitive Spectrophotometric assay for Extrinsic(tissue-type)Plasminogen activator applicable to measurements in plasma”Thromb Haemostas.48(3)266-269,1982中大体叙述的纤维蛋白溶解活性已在体外用三肽S-2251(H-D-缬氨酸-L-亮氨酸-L-赖氨酸的对硝基苯胺二盐酸化物Kabi-Milan)测试。用含有2m13.8%W/V柠檬酸钠溶液的注射器从兔耳缘静脉取血(8ml)制备血浆优球蛋白部分。将离心分得的血浆分成0.5ml一份,每份血浆中加1ml寡脱氧核糖核苷酸溶液以便最后得到如下的两个样品浓度:200和800mcg/ml血浆(mcg表示微克)。向该溶液中加0.1ml尿激酶(50U./ml)水溶液,使血纤维蛋白溶酶原转化为血纤维蛋白溶酶。加乙酸调节PH至5.4,然后,于+4℃下加冷蒸馏水把溶液体积调到8.5ml以便得到优球蛋白沉淀。将试管转入冰箱(+4℃)2小时即完成这一步骤。离心10分钟后弃去上清液。残留物用0.3mlPH为7.4的三羟甲基氨基甲烷盐酸盐缓冲液处理,得到一个悬浮液。向0.3ml悬浮液中加0.4ml上述缓冲液,然后,在37℃下保温10分钟。然后,加三肽S-2251(8.25mg三肽溶于5ml蒸馏水)并在同样温度下再保温5分钟。加0.1ml1%乙酸和0.6ml0.15M Nacl停止酶解作用。在试验液中释放的色原量以分光光度法测定。参考标准曲线以同样试验检验剂量如下的细菌血纤维蛋白溶酶U.S(Biosintex)制得:40,80,160,320mcg。实验须重复6次,每次检验样品和上面四个浓度的血纤维蛋白溶酶。
结果如表Ⅲ所示。
从表111的数据可以看出,分子量小于10000的寡脱氧核糖核苷酸显示一个弱的或无价值的纤维蛋白溶解活性。
这一点从WO87/06235的提示中已经是可以预料的。
抗局部缺血活性基本上按照P.D.Henry在其文章“Myocardial contracture and accumulation of mitochondrial calcium in ischemia rabbit heart”Am.J.Physiol.233,1977中所述方法,以离体并经灌注的兔心脏在体外进行。在局部缺血发生前40分钟以400mcg/ml浓度和20ml/分钟流速开始灌注试验化合物。在局部缺血期(40分钟),流速减至0.2ml/分钟。在这个时期结束时,恢复初始流速并再维持20分钟。试验须重复6次。在局部缺血期和紧接着的再灌注期间,测量被处理的心脏的左心室远距舒张压并与未处理心脏(对照组)的测量值比较。表Ⅳ中报告了在该表所示的检验条件下(局部缺血期和紧接着的再灌注期)所测得的这些化合物的抗局部缺血活性。
表Ⅳ新的寡脱氧核糖核苷酸的体外抗局部缺血活性化合物对局部缺血损害的抑制%实验引发的局部缺血局部缺血期再灌注期P0085.CP0085.D IVP0085.M IIP0102.AP0102.BP0130.AP0130.CP0067.D V67666861426357238077796960746637
从表Ⅳ可以看出,符合表Ⅰ所列分析数据的寡脱氧核糖核苷酸具有显著的抗局部缺血活性。相反,碱基摩尔比A+T/G+C超出表Ⅰ所列的1.100-1.455极限值(1.495)的制剂POO67.DV所显示出的活性要低得多。
考虑到当在所述的实验模型中由于减少灌注液流速造成心脏局部缺血时,心脏将受损,这种损害在功能上表现为心室挛缩,可以更好地理解这些数据的意义。在随后的再灌注阶段,经重新建立起始流速条件,会造成更严重的损害,因为随着心室舒张压的增加(已在前述阶段观察到),开始出现心律不齐。
从表Ⅳ的数据可得出以下结论:在最后的再灌注阶段,本发明的寡脱氧核糖核苷酸可提供重要的保护作用以防实验诱发的局部缺血,从而基本上维持心脏规则的收缩性并降低其抗舒张性。
综上所述,结论是这些新化合物可有效地用于治疗心脏局部缺血。
本发明的其它目的是含有作为有效成分的这些新化合物的剂型。所述的制剂既可供肠胃外给药又可以口服。
肠胃外组合物可以无菌和无热原溶液形式封装于安瓿中,或以冻干物形式装在密闭的小瓶中,用时溶于无菌水溶剂中。
作为含水溶剂可使用以常规缓冲剂(柠檬酸盐、磷酸盐等)以及已知的防腐剂制成的等渗溶液。
口服制剂可以片剂、包衣片剂、明胶胶囊、颗粒剂形式得到。
所述的剂型可按已知方法制备。
例如口服剂型可经粉剂或颗粒剂的直接压片制得,可含有粘合剂、润滑剂和已知的崩解剂。
适于肠胃外给药的剂型可含有40-200mg/ml有效成分,优选80-160mg/ml(对可冻干物,以上数字是指该物质在无菌溶剂中的终浓度),适于口服的单位剂量为200-1500mg。
实施例1
在乙酸钠存在下,加入乙醇,经分段沉淀从含有defibrotide的水溶液中分离出本发明的寡核苷酸(制剂POO85.C和POO85.MII)
将420gdefibrotide(批号82)溶于10.5l蒸馏水(终浓度4%w/v)并加入1155g乙酸钠三水合物(0.8M)。使溶液在20℃下恒温。然后加入0.8体积的乙醇(95%)。经离心回收上清液(含有高分子量聚脱氧核苷酸的沉淀物被弃去)并加入0.2体积的乙醇(有机相/水相的总体积=1)。再次进行离心,回收沉淀物,将其脱水、干燥并研磨。总共回收到97.6g(制剂POO85.B,由本发明的寡脱氧核糖核苷酸及聚脱氧核糖核苷酸的混合物所组成)。向上清液中加入更多的乙醇以使有机相与水相的体积比为2∶1。以此回收得到40.5g产物(制剂POO85.C)。
将97.6gPOO85.B溶于2.45l蒸馏水并加入269.5g乙酸钠三水合物。使溶液在20℃下恒温。加入1体积的乙醇并离心所得到的悬浮液。向上清液中加入更多的乙醇以使乙醇的总量与水溶液总量的最终比率为2。然后回收得到31.2g产物(制剂POO85.M.Ⅱ)。
寡脱氧核苷酸,即POO85.C+POO85.MⅡ的总回收率为71.7g(17.1%)。
实施例2
在乙酸钠存在下,用乙醇分段沉淀,从含有defibrotide水中分离出寡脱氧核糖核苷酸(制剂POO85.D.Ⅳ)
将20g分子量为17000道尔顿的defibrotide制剂溶于500ml蒸馏水。加入55g乙酸钠三水合物并使得到的澄清的溶液在20℃下恒温。然后加入500ml(1体积)乙醇,经以3000rpm的速度离心5分钟收集沉淀物。向上清液中加入500ml(即,相对于水相的体积总共为2体积)乙醇。回收固体物,将其脱水、研磨并在烘箱中干燥。得到2.10g产物。产率:10.5%。
实施例3
在乙酸钠存在下,用乙醇分段沉淀,从聚脱氧核苷酸水溶液中分离出寡脱氧核糖核苷酸(制剂POO85.D.Ⅴ)
将20g分子量为43000道尔顿的聚脱氧核糖核苷酸的钠盐溶于500ml蒸馏水。然后按照实施例2所述的程序进行。最后得到1.46g产物(产率7.3%)。所分离出的物质具有下列分析特性(以干重计的数据):分子量6700,h3.4,A+T/G+C1.375,G+A/T+C0.825,比旋光+43.4°。
实施例4
用实施例2的方法分离寡脱氧核糖核苷酸(制剂POO85.D Ⅵ)
将20g defibrotide(批号157,分子量为26200)按照所述实施例加工处理。最后回收到1.54g产物(产率7.7%)。分析数据(以干重计)如下:分子量5900,h5.7,A+T/G+C1.343,A+G/T+C0.835,比旋光+41.6°。
实施例5
在乙酸钠存在下,用乙醇分段沉淀从聚脱氧核糖核苷酸中分离出寡脱氧核糖核苷酸(制剂POO85.D.Ⅶ)
将20g分子量为75000道尔顿的聚脱氧核糖核苷酸的钠盐溶于500ml蒸馏水。然后按照实施例2所述的程序进行,得到0.78g(3.9%)具有下列特性的化合物(以干重计):分子量6100,h7.1,A+T/G+C1.415,G+A/C+T0.860,比旋光+43.6°。
实施例6
在乙酸钠/乙酸缓冲水溶液中经化学解聚制备本发明的寡脱氧核糖核苷酸(制剂PO130.A)
在温热条件下,将800g高分子量脱氧核糖核苷酸(分子量高于700,000)溶于5280ml水中。加入426.4g乙酸钠三水合物,然后加入1.016ml乙酸(80%,浓乙酸)将PH调至4.1,在75℃下将粘性溶液加热6小时(最终聚合物浓度为12.7%w/v;0.5M乙酸钠)。此后使温度降到30℃,用30%NaOH将PH调至7.8-8.0并将溶液在85℃下进一步加热90分钟。冷却后,用80%CH3COOH将PH调至6.5。然后通过向每体积水相中加入1.5体积乙醇进行沉淀。将回收的固体物洗涤,研磨并干燥,得到745g产物(产率93.1%)。
实施例7
在乙酸钠/乙酸缓冲水溶液中经化学解聚制备本发明的寡脱氧核糖核苷酸(制剂PO130.C)
按照实施例6所述的方法处理800g高分子量脱氧核糖核苷酸,最后得到76 5g产物(产率95.6%)。
实施例8
在乙酸/乙酸钠缓冲溶液中经解聚制备新物质(制剂POO97.N)
在70℃下将50g高分子量核酸溶于1l水,然后加入80gCH3COONa.3H2O和190mlCH3COOH(80%)(终PH4.1)(聚合物浓度:4%w/v;乙酸钠摩尔浓度:0.5M),将所得溶液在70℃下加热24小时。然后进行冷却并使温度降到30℃,以后按照实施例6所述的程序进行,得到33.5g产物(产率67%)。分析(基于干重):分子量8100,h5.3,A+T/G+C1.037,A+G/T+C0.865,比旋光+32.5°。
实施例9
在乙酸/乙酸钠缓冲水溶液中经解聚制备新物质(制剂POO97.M)
按照实施例8所述的方法加工处理50g高分子量核酸,所不同的是解聚时间减少到16小时,通过加入2体积乙醇制得沉淀物。回收到35.5g(产率71%)产物。分析(基于干重):分子量6200,h1.0,A+T/G+C1.167,A+G/T+C0.830,比旋光+30.9°。
实施例10
在乙酸/乙酸钠缓冲水溶液中经解聚制备寡核苷酸(制剂PO123.B)
将100g高分子量核酸溶于660ml水,然后在温热条件下进行溶解。依次加入53.5gCH3COONa.3H2O和127ml80%乙酸。终PH为4.1,聚合物浓度为12.7%(w/v)(盐摩尔浓度0.5M)。然后将所得溶液在65℃下加热16小时,再如实施例6所述进行处理。得到78.6g产物。分析(基于干重):分子量9400,h6.4,A+T/G+C1.174,A+G/T+C0.941,比旋光+38.9°。
实施例11
在乙酸/乙酸钠缓冲水溶液中经解聚制备寡核苷酸(制剂PO123.H)
如实施例10所述加工处理100g高分子量脱氧核酸。解聚时间定为22小时。得到85.9g产物。分析(基于干重):分子量7000,h1.9,A+T/G+C1.305,A+G/T+C0.875,比旋光+35.4°。
实施例12
通过借助于脱氧核糖核酸酶对高分子量脱氧核糖核酸进行酶促解聚制备本发明的寡核苷酸(制剂PO102.A和PO102.B)
将10g高分子量核酸的钠盐溶于1l0.1M磷酸盐缓冲剂(PH7)和MgCl2(10mM)中。
向最终的粘性乳色溶液中加入3.67g粗制脱氧核糖核酸酶。在37℃下进行24小时酶解,最后经用截止10000道尔顿的膜超滤使溶液体积减少到起始体积的1/5。收集0.8l渗透液。
以恒定的体积使浓缩物(残留物)对1l水透析进行脱盐并通过μm厚的单晶硅层。
然后,用通常的CVD法,在非多孔性硅单晶上堆积1μm厚的高质量的外延生长硅单晶膜,堆积条件如下:
源气体:SiH2Cl2……1000sccm
载体气体:H2……230 1/min
基体温度(第二种温度):1080℃
压强:80Torr
生长时间:2min
用透射电子显微镜观察断面的结果,可以确认硅层中未导入新的结晶缺陷,形成了约1.5μm厚的保持着良好结晶性的SOI结构。
另一方面,除霍尔测定外,未发现其它电气特性与通常的整个硅体的特性有什么不同。
实施例5:
将具有200微米厚的P型(100)单晶硅基体浸在50%的HF溶液中进行阳极氧化。这时,电流密度为100mA/cm2。
多孔性的形成速度为8.4μm/min,在24分钟内,200微米厚的P型(100)硅基体可全部形成多孔性。
然后,用减压CVD法,在该P型(100)多孔性硅基体上,在低温下生长0.5微米的外延生长层。堆积条件如下:
源气体:SiH4800sccm
载体气体:H2150l/min
温度(第一种温度):850℃
压强:1×10-2Torr
生长速度:3.3nm/sec
然后,将经过光学研磨的融熔石英玻璃基体重合在该外延生长层表面,在氧气环境中用800℃加热0.5小时,使两个基体牢固地接合起来。
然后,用等离子体CVD法,堆积0.1μm的Si3N4作为防蚀膜,复盖在贴合的两个基体上,通过反应性离子离蚀,只将多孔性基体上的氮化膜除去。
然后,将该贴合的基体浸在49%的氟酸中,边搅拌边进行选择性腐蚀。78分钟后,只有单晶硅层未被腐蚀而保留下来,以单晶硅作为腐蚀终止材料,多孔性硅基体被选择性腐蚀而完全除去。
即,200微米厚的多孔性的硅基体被除去,并将作为防蚀膜的Si3N4层除去后,在融熔石英玻璃基体上可形成0.5μm厚的单晶硅层。
然后,利用通常的CVD法,在非多孔性硅单晶上,堆积1μm的高质量的外延生长硅单晶膜。堆积条件如下:
源气体:SiH2Cl2……1000sccm
载体气体:H2……230l/min
基体温度(第二种温度):1080℃
压强:80Torr
生长时间:2min
用透射电子显微镜观察断面的结果,可以确认在硅层中未导入新的结晶缺陷,形成了约1.5μm厚的保持着良好结晶性的SOI结构。
另一方面,除霍尔测定外,未发现其它电气特性与通常的整个硅6100,h0,A+T/C+G1.508,A+G/T+C0.917,比旋光+35.9°。
实施例17
适于肠胃外使用的药物组合物
密封的安瓿
寡脱氧核糖核苷酸 250mg
柠檬酸三钠二水合物 25mg
对羟基苯甲酸甲酯 3.13mg
对羟基苯甲酸丙酯 0.62mg
蒸馏水 2.5ml
实施例18
适于口服的药物组合物
硬明胶胶囊
寡脱氧核糖核苷酸 350mg
乳糖 56.75mg
胶体二氧化硅 0.7mg
硬脂酸镁 3mg