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1、(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201410786581.6(22)申请日 2014.12.18C23C 14/56(2006.01)(71)申请人 光驰科技（上海）有限公司地址 200444 上海市宝山区宝山城市工业园区城银路 267 号(72)发明人 范宾 渡边优 张洪 汪洋(74)专利代理机构 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214代理人 徐小蓉(54) 发明名称自动化连续式防污膜镀膜装置(57) 摘要本发明涉及真空镀膜领域，尤其涉及自动化连续式防污膜镀膜装置，特别是适用于对液态有机蒸镀材料进行真空蒸发镀膜的镀膜装置，其特征在于 ：所述真空蒸镀室与所述真空预热室。
2、之间设置有一可启闭的闸阀 ；所述真空预热室内设置有加液系统、推送机构、加热装置和坩埚，所述加液系统向所述坩埚中加注蒸镀所述防污膜的膜料，所述加热装置承载并加热所述坩埚，所述推送机构通过推送杆连接所述坩埚，以使所述坩埚实现在所述真空蒸镀室和所述真空预热室之间的往返移动。本发明的优点是 ：可以进行自动化、连续式镀膜 ；可以对液态镀膜材料进行精确定量的镀膜，不但提高了镀膜精度，同时降低了因使用固态药片所导致的高成本。(51)Int.Cl.(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请权利要求书1页 说明书6页 附图7页(10)申请公布号 CN 104498889 A(43)申请公布日 20。
3、15.04.08CN 104498889 A1/1 页21.一种自动化连续式防污膜镀膜装置，所述镀膜装置包括真空蒸镀室和至少一个真空预热室，所述真空蒸镀室的内腔和所述真空预热室的内腔之间构成连通，其特征在于 ：所述真空蒸镀室与所述真空预热室之间设置有一可启闭的闸阀 ；所述真空预热室内设置有加液系统、推送机构、加热装置和坩埚，所述加液系统向所述坩埚中加注蒸镀所述防污膜的膜料，所述加热装置承载并加热所述坩埚，所述推送机构通过推送杆连接所述坩埚，以使所述坩埚实现在所述真空蒸镀室和所述真空预热室之间的往返移动。2.根据权利要求 1 所述的一种自动化连续式防污膜镀膜装置，其特征在于 ：所述真空预热室内的。
4、真空度小于所述真空蒸镀室内的真空度。3.根据权利要求 2 所述的一种自动化连续式防污膜镀膜装置，其特征在于 ：所述真空预热室与所述真空蒸镀室之间设置有一过渡室，所述过渡室内的真空度大于所述真空预热室内的真空度，且小于所述真空蒸镀室内的真空度。4.根据权利要求 1 所述的一种自动化连续式防污膜镀膜装置，其特征在于 ：所述加液系统至少包括一套加药装置 , 所述加药装置由加药控制器、容积式计量阀和滴药阀构成，所述容积式计量阀的药液进口与所述防污膜料药液瓶连通，所述容积式计量阀的药液出口与所述滴药阀连通，所述滴药阀的滴药口通向所述坩埚，所述加药控制器分别连接控制所述容积式计量阀和所述滴药阀。5.根据权。
5、利要求 4 所述的一种自动化连续式防污膜镀膜装置，其特征在于 ：所述滴药阀具有排液管道，所述排液管道的上部开口与所述容积式计量阀的药液出口连通，所述排液管道的下部开口为滴药口，所述滴药阀内、位于所述排液管道上部开口处设置有一密封堵头，由所述加液控制器控制所述密封堵头的起落。6.根据权利要求 5 所述的一种自动化连续式防污膜镀膜装置，其特征在于 ：所述密封堵头底部固定连接一密封针，所述密封针与所述排液管道的内轮廓形状、大小吻合适配，所述密封针的长度不小于所述排液管道的长度，且当所述密封堵头封堵于所述排液管道的上部开口时，所述密封针的端头部伸出于所述滴药口。7.根据权利要求 1 所述的一种自动化连。
6、续式防污膜镀膜装置，其特征在于 ：所述加热装置包括加热片、外引线和对外引线柱，所述外引线一端导通所述加热片，另一端导通所述对外引线柱，所述对外引线柱由一导电支座支承，所述外引线外围套装包覆有一散热件，所述散热件自所述外引线与所述加热片的连接处起沿所述外引线的延伸方向布设 ；所述散热件外围涂覆有散热绝缘层。权 利 要 求 书CN 104498889 A1/6 页3自动化连续式防污膜镀膜装置技术领域0001 本发明涉及真空镀膜领域，尤其涉及自动化连续式防污膜镀膜装置，特别是适用于对液态有机蒸镀材料进行真空蒸发镀膜的镀膜装置。背景技术0002 真空镀膜方法是制作薄膜产品的一种重要方法，目前，以真空镀。
7、膜方法制备的薄膜产品已经渗透到众多应用领域。在真空蒸镀方法中，镀膜材料可以是无机物和有机物。对于一般的无机膜料，可以直接放入坩埚或镀舟中进行真空蒸镀。对于有机镀膜原料（在此指防污膜料），可以采用如下方法实现真空镀膜 ：首先，将有机膜料溶解于有机溶剂从而形成有机溶液 ；而后，将此有机溶液注入多孔吸附载体中 ；最后，将吸附有有机膜料的载体放入坩埚进行蒸镀。目前的常规方法是将上述吸附有有机膜料的载体进行特殊处理制成固体药片作为镀膜原料，然后进行蒸镀。不过这种方法制成的膜料药片成本高，同时亦需要将药片在特定环境条件下保存以保持药片的镀膜效果。0003 防污膜可应用于触摸屏、镜片和镜头等领域。在这些光学。
8、产品中，基板材料上通常先镀制一些光学薄膜（比如增透膜），然后再蒸镀防污膜。特别是，近年来随着信息技术的发展，以智能手机、平板电脑为主导的终端产品高度普及，触摸屏产品需求迅猛增长。为了增加以触摸屏主的多种光电产品的防污效果，在多种光学产品表面上镀制防污膜已经成为必不可少的工序。0004 目前，防污膜一般采用前述的真空蒸镀方法进行镀膜。对于常规的防污膜镀膜设备，每镀完一罩膜均需要打开镀膜腔体来放置防污膜原料，这样不利于生产效率的提高 ；同时，由于防污膜料的有机物特性，罩间镀膜腔体的开门时间和抽真空时间过长将大大增加膜料特性改变的风险。鉴于上述原因，并为了应对市场需求的激增，研发自动化程度高、可以实。
9、现不间断生产的连续式防污膜镀膜设备变得日益重要。在开发连续式防污膜镀膜设备方面，可以在防污膜料的预热室和蒸镀室中设置防污膜料传输带，将防污膜料不间断的运送到真空镀膜室以实现连续镀膜。但上述方法中，很难保证防污膜的预热室和蒸镀室完全隔离，由于防污膜料的热挥发特性，因此会导致真空镀膜室的污染。还有，防污膜通常是在其他功能性薄膜镀膜完成后进行 ；在连续镀膜过程中，防污膜与其他薄膜的镀膜是交替进行的。因此，前述传输带式的连续镀膜装置会造成防污膜料与其他膜料的互相污染，劣化薄膜质量。发明内容0005 本发明的目的是根据上述现有技术的不足，提供了自动化连续式防污膜镀膜装置，通过将盛放防污膜膜料的坩埚在真空。
10、预热室和真空蒸镀室之间自动、连续的往返传递，利用真空预热室和真空蒸镀室之间压力差所实现的船闸原理，保证有机膜料在加药、预热过程中不影响真空蒸镀室的环境，实现连续式多种功能薄膜镀膜。0006 本发明目的实现由以下技术方案完成 ：说 明 书CN 104498889 A2/6 页4一种自动化连续式防污膜镀膜装置，所述镀膜装置包括真空蒸镀室和至少一个真空预热室，所述真空蒸镀室的内腔和所述真空预热室的内腔之间构成连通，其特征在于 ：所述真空蒸镀室与所述真空预热室之间设置有一可启闭的闸阀 ；所述真空预热室内设置有加液系统、推送机构、加热装置和坩埚，所述加液系统向所述坩埚中加注蒸镀所述防污膜的膜料所述加热装。
11、置承载并加热所述坩埚，所述推送机构通过推送杆连接所述坩埚，以使所述坩埚实现在所述真空蒸镀室和所述真空预热室之间的往返移动。0007 所述真空预热室内的真空度小于所述真空蒸镀室内的真空度。0008 所述真空预热室与所述真空蒸镀室之间设置有一过渡室，所述过渡室内的真空度大于所述真空预热室内的真空度，且小于所述真空蒸镀室内的真空度。0009 所述加液系统至少包括一套加药装置 , 所述加药装置由加药控制器、容积式计量阀和滴药阀构成，所述容积式计量阀的药液进口与所述防污膜料药液瓶连通，所述容积式计量阀的药液出口与所述滴药阀连通，所述滴药阀的滴药口通向所述坩埚，所述加药控制器分别连接控制所述容积式计量阀和。
12、所述滴药阀。0010 所述滴药阀具有排液管道，所述排液管道的上部开口与所述容积式计量阀的药液出口连通，所述排液管道的下部开口为滴药口，所述滴药阀内、位于所述排液管道上部开口处设置有一密封堵头，由所述加液控制器控制所述密封堵头的起落。0011 所述密封堵头底部固定连接一密封针，所述密封针与所述排液管道的内轮廓形状、大小吻合适配，所述密封针的长度不小于所述排液管道的长度，且当所述密封堵头封堵于所述排液管道的上部开口时，所述密封针的端头部伸出于所述滴药口。0012 所述加热装置包括加热片、外引线和对外引线柱，所述外引线一端导通所述加热片，另一端导通所述对外引线柱，所述对外引线柱由一导电支座支承，所述。
13、外引线外围套装包覆有一散热件，所述散热件自所述外引线与所述加热片的连接处起沿所述外引线的延伸方向布设 ；所述散热件外围涂覆有散热绝缘层。0013 本发明的优点是 ：1、可以进行自动化、连续式镀膜。2、可以对液态镀膜材料进行精确定量的镀膜，不但提高了镀膜精度，同时降低了因使用固态药片所导致的高成本。3、通过设置防污膜的预热室、蒸镀室、闸阀、推送机构，以及船闸原理的应用，实现有机膜料在加药、预热过程中不影响真空蒸镀室的环境，保证连续式多种功能薄膜镀膜的薄膜质量。附图说明0014 图 1 为本发明的第一种结构示意图 ；图 2 为本发明的第二种结构示意图 ；图 3 为本发明的第三种结构示意图 ；图 4。
14、 为本发明的第四种结构示意图 ；图 5 为本发明中加液系统的结构示意图 ；图 6 为本发明中加液滴嘴的结构示意图 ；图 7 为本发明中加热装置的结构示意图。具体实施方式0015 以下结合附图通过实施例对本发明特征及其它相关特征作进一步详细说明，以便说 明 书CN 104498889 A3/6 页5于同行业技术人员的理解 ：如图 1-7 所示，图中标记 1-41 为 ：预热室 1、闸阀 2、蒸镀室 3、加液系统 4、坩埚 5、驱动汽缸 6、支杆 7、滴嘴 8、加热头 9、喷孔 10、蒸镀喷头 11、镀膜基板 12、真空泵 13、过渡室 14、上位工控机15、加液控制器16、容积式计量阀17、药液。
15、入口18、防污膜料药液瓶19、药液出口 20、滴药阀 21、密封针 22、排液管道 23、二位五通阀 24、液体管路 25、控制管路 26、气体管路 27、压缩空气出入口 28、密封堵头 29、滴药口 30，加热头法兰 31、陶瓷管 32、散热件33、陶瓷加热片 34、加热头支座 35、外引线 36、对外引线柱 37、支承孔 38、连接孔 39、导电支座 40、散热绝缘层 41。0016 实施例一 ：如图 1 所示，本实施例中的自动化连续式防污膜镀膜装置包括预热室 1和蒸镀室3，两者的内腔相连通，其中预热室1用于进行镀膜原液的滴注和预加热，蒸镀室3用来实现膜料的真空蒸镀。预热室1和蒸镀室3之间。
16、的连接处设置有可受控启闭的闸阀2，用于通过启闭控制预热室 1 和蒸镀室 3 之间的联通和关断。预热室 1 内设置有加液系统 4、坩埚 5、由驱动气缸 6 和支杆 7 构成的推送机构以及加热头 9。加液系统 4 用于实现定时、定量通过滴嘴 8 向坩埚 5 内输送加注镀膜原材料。坩埚 5 放置在加热头 9 上，加热头 9 用于对坩埚 5 进行加热。推送机构中的支杆 7 的一端由驱动气缸 6 的输出端连接驱动，另一端与盛放坩埚 5 的加热头 9 连接固定，以便将盛有镀膜材料的坩埚 5 按镀膜要求在预热室1 和蒸镀室 3 内自动往返移动。蒸镀室 3 内设置有带有喷孔 10 的蒸镀喷头 11 和镀膜基板。
17、12。蒸镀喷头 11 可以被加热至一定温度以实现镀膜材料的蒸镀，被加热的镀膜材料通过喷孔 10 蒸发到镀膜基板 12 上。镀膜基板 12 可以借助机械机构在蒸镀室 3 内移动，并可以在完成镀膜后移动至蒸镀室 3 之外，以便完成下一轮蒸镀。蒸镀喷头 11 与镀膜基板 12 平行放置，以保证镀膜均一性。0017 预热室 1 和蒸镀室 3 分别连接有一真空泵 13，真空泵 13 用于将在工作状态时的预热室 1 或蒸镀室 3 内部抽至真空。一般而言，预热室 1 维持低真空即可对坩埚 5 内盛放的镀膜原材料进行预热动作 ；而蒸镀室 3 需要高真空度来保证镀膜机版 12 上的镀膜质量。利用预热室1和蒸镀室。
18、3、两个真空室之间的闸阀2、推送机构的设置，并配合适时调整闸阀2的开合，就可利用船闸原理，将低真空的预热室1中的镀膜材料输送到高真空的蒸镀室3，并保证各个镀膜过程的独立性。0018 在此处，船闸原理的应用为 ：预热室 1 与外界连通的出口有两个，分别为预热室 1中加药用的滴药口30和闸阀2，以上两个出口在任何情况下不会同时开启，以保证蒸镀室3的真空度不会由于预热室 1 内的加药而发生明显降低。加药时，滴药口 30 开启，闸阀 2 关闭，此时蒸镀室 3 内的真空度不受影响 ；向蒸镀室 3 送药时，滴药口 30 关闭，闸阀 2 开启，此时蒸镀室 3 与预热室 1 连通，其内部的真空度与预热室 1 。
19、内的真空度相均衡，但并不会与外界大气相连通，所以真空度降低程度较小。在完成送药之后，将蒸镀室 3 内的真空度抽至要求之后即可进行蒸镀防污膜。以上原理的应用是为了实现较高的镀膜效率。0019 本实施例在具体使用时，具有如下步骤 ：1) 闸阀 2 受控关闭，使预热室 1 和蒸镀室 3 之间处于相互隔离的状态。利用加液系统4 将镀膜材料通过滴嘴 8 滴注到位于预热室 1 中加热头 9 上所盛放的坩埚 5 之中。当镀膜材料的滴注量满足镀膜要求之后，关断加液系统 4 的滴嘴 8，此步骤应保证膜料质量精确以及加液系统 4 与预热室 1 之间的隔离。说 明 书CN 104498889 A4/6 页60020。
20、 2) 预热室 1 通过真空泵 13 抽真空至设定值，其后通过加热头 9 对坩埚 5 中的镀膜材料进行预热。同时，将待镀膜基板 12 推送到蒸镀室 3 内的指定位置，之后蒸镀室 3 开始通过真空泵 13 抽真空直至设定值。此时，在蒸镀室 3 中，可以对镀膜基板 12 进行其他薄膜的蒸镀。此处的其他薄膜是指，由于防污膜一般是通常是在其他功能性薄膜镀膜完成后进行的，所以在坩埚 5 预热时，可进行其他功能性薄膜的蒸镀。待其他薄膜蒸镀完成后，蒸镀喷头 11 开始加热。0021 3) 坩埚 5 中的镀膜材料经加热头 9 预热，并且蒸镀喷头 11 加热完成后，闸阀 2 打开。坩埚 5 在驱动气缸 6 以及。
21、支杆 7 的配合作用下运动至蒸镀室 3 的蒸镀喷头 11 内。坩埚 5 中的镀膜材料随即在蒸镀喷头 11 的高温作用下蒸发，并从蒸镀喷头 11 的喷孔 10 中喷出，最终沉积于镀膜基板 12 上形成薄膜。0022 4) 此轮镀膜完成后，坩埚 5 在推送机构的作用下从蒸镀室 3 回到预热室 1，闸阀 2随即关闭。蒸镀室 3 内，镀完膜的镀膜基板 12 被推送到蒸镀室外，新的镀膜基板 12 被推送至蒸镀室 3 中的指定位置。预热室 1 中，坩埚 5 运动至加液系统 4 的滴嘴 8 下方，加液系统4 将镀膜原材料加注至坩埚 5 中，并开始新一轮的镀膜流程，即上述步骤 1）- 4）的过程。0023 实。
22、施例二 ：本实施例相较实施例一的不同之处在于 ：本实施例中的蒸镀喷头 11 上喷孔 10 的开孔方向以及镀膜基板 12 的放置方向均垂直于坩埚 5 的推送方向，同样也可完成镀膜。0024 实施例三 ：本实施例相较实施例一或二的不同之处在于 ：在预热室 1 和蒸镀室 3之间设置有串联的过渡室 14，过渡室 14 连接有一真空泵 13。预热室 1 和过渡室 14 之间、过渡室 14 和蒸镀室 3 之间分别设置有闸阀 2，以使三者相对隔离。过渡室 14 用于保证坩埚途径的各个真空室之间的真空度差异不致太大。而过渡室 14 的设置目的也是利用上述的船闸原理 ：因为蒸镀室3必须保持较高的真空度才能开始镀。
23、膜，而预热室1的真空度一般不会很高。若预热室 1 真空度与蒸镀室 3 的差距较大，则闸阀 2 打开时，就会导致蒸镀室 3 的真空度发生明显下降，这样，蒸镀室 3 的真空泵 13 需要较长时间抽真空才能达到蒸镀所需的真空度，由此，影响了镀膜效率。但设置了过渡室 14 时，可利用真空泵将过渡室 14 的真空度抽至略小于或等于蒸镀室 3 的真空度，这样一来，当闸阀 2 打开时，蒸镀室 3 内的真空度便不会发生明显下降，有利于提高镀膜效率。0025 实施例四 ：本实施例相较实施例一、二或三的不同之处在于 ：为了保证蒸镀室 3 中的镀膜均一性，可以在蒸镀室 3 的一侧并联设置两个或两个以上的预热室 1，。
24、以扩大蒸镀喷头 11 的覆盖范围以及保证喷孔 10 所喷出的镀膜材料的均匀性。另外，此装置还可以实现在只镀防污膜情况下的连续不间断镀膜，即使两个或两个以上的预热室 1 依次工作，当其中一个预热室工作完毕之后，将另一个预热室投入使用，而使之前已经完成工作的预热室进行加液、预热等准备工作。0026 上述实施例在具体实施时 ：如图 5 所示，加液系统 4 用于将防污膜料药液瓶 19 内的药液加注到真空镀膜时用于盛放药液的坩埚 5 内。加液系统包括加液控制器 16 以及由容积式计量阀 17 和滴药阀 21 构成的一套加液装置。该加液装置具有输液线、气动线以及控制线，其中输液线是指传输镀膜药液的管路，气。
25、动线为系统中的气体运动路径，这些气体是药液运动的动力，而控制线是指控制阀门部件启闭的线路。0027 输液线 ：容积式计量阀 17 的药液入口 18 和防污膜料药液瓶 19 通过液体管路 25说 明 书CN 104498889 A5/6 页7构成连通以实现抽吸药液，容积式计量阀 17 的药液出口 20 与滴药阀 21 内的排液管道 23的上部开口通过液体管路 25 相连通以实现传输药液。容积式计量阀 17 可以被精确设定加药量。防污膜原液的精确计量对于镀膜效果有重要作用，药液量不准确将导致防污膜厚度异常，影响光学元件的光学特性。排液管道 23 的下部开口（滴药口 30）对准坩埚 5 的放置位置以。
26、完成加注药液。0028 气动线 ：容积式计量阀 17 上的药液入口 18 和药液出口 20 以及滴药阀 21 分别与二位五通阀 24 通过气体管路 27 连通，二位五通阀 24 由加液控制器 16 连接控制并连通外界的入气管。容积式计量阀 17 的药液入口 18 还与防污膜料药液瓶 19 相连通，防污膜料药液瓶 19 连通有一入气管，该入气管用以将药液通过药液入口 18 压入容积式计量阀 17 内。容积式计量阀 17 内的药液通过二位五通阀 24 所输入的气体压入滴药阀 21 内。药液出口20 和滴药阀 21 的启闭保持同步，即药液出口 20 打开时，滴药阀 21 同时打开完成对坩埚 5进行加。
27、液。0029 控制线 ：加液控制器16通过控制管路26精确连接控制设定容积式计量阀17内的每次加液量（药液量）。加液控制器 16 还控制二位五通阀 24 的工作状态，通过控制二位五通阀 24 以精确控制药液的添加过程。0030 如图 5、6 所示，滴药阀 21 的底部开设有一中空的排液管道 23，排液管道 23 的上部开口与容积式计量阀 17 的药液出口 20 相连通以传输药液，排液管道 23 的下部开口为滴药口 30，滴药口 30 对准坩埚 5，坩埚 5 为镀膜时的镀液盛放容器。如图 6 所示，呈中空的排液管道 23 上方具有一密封堵头 29，密封堵头 29 封堵排液管道 23 的上部开口 。
28、；排液管道 23与密封堵头 29 之间的相邻面互相对应设置有斜面，以实现二者的相邻面在互接触时构成相互限位。密封堵头 29 由二位五通阀 24 控制起、落动作，其起、落动作作用于排液管道23 的打开或关断。密封堵头 29 的底部固定连接有一密封针 22，密封针 22 的外轮廓形状、大小与排液管道 23 的内轮廓形状、大小吻合适配，密封针 22 的长度不小于排液管道 23 的长度，以使密封针 22 的端头部随着密封堵头 29 下落后突出于滴药口 30 外部，以保证排液管道 23 内的管道被密封针 22 完全封堵密封。滴药阀 21 一侧连接有气体管路 27，气体管路27 即为二位五通阀 24 气动。
29、控制密封堵头 29 的气动线。0031 加液控制器 16 在实际使用时，可辅以上位控制机 15 进行操作控制，例如 PLC 上位机或计算机等。0032 加液控制器 16 用于对每次加液量的精确设定，同时接收上位工控机 15 指令在指定时刻控制容积式计量阀 17 与滴药阀 21 配合加药。容积式计量阀 17 可以被精确设定加药量。滴药阀 21 与容积式计量阀 17 同步动作 ；加药完毕后滴药阀 21 自动关闭防止泄漏。加液控制器 16 由单片机作为处理器，籍触摸屏进行人机交互设定加液量，上接上位工控机指令，并按预定设置让容积式计量阀 17 及关闭阀同步工作。容积式计量阀 17 的工作原理是通过丝。
30、杆调节加药容积，在往复运动中吸排定量容积液体。滴药阀 21 配合容积式计量阀的开关而开关，避免泄漏 ；同时滴药阀 21 内密封堵头 29 与密封针 22 的配合结构可以自动清理排液管道 23 内镀液结晶所造成的堵塞。0033 上述加液系统在具体实施时具有如下工作流程 ：1) 上位工控机 15 发出吸药指令，加液控制器 16 控制容积式计量阀 17 的药液入口 18打开，待其从防污膜原液瓶 19 抽吸定量液体后，其药液入口 18 关闭。说 明 书CN 104498889 A6/6 页80034 2) 上位工控机 15 发出加药指令 ；加液控制器 16 控制容积式计量阀 17 的药液出口 20 打。
31、开，待定量液体注入到滴药阀 21 中后，其药液出口 20 关闭。0035 3) 与此同时，滴药阀 21 的药液进口打开，滴药阀 21 末端的密封针 22 被向上提升，药液进入滴药阀 21，并通过排液管道 23 排送药液至坩埚 5 后，滴药阀 21 末端的密封针22 插入排液通道 10，完成一次自动清理通道。滴药阀末端的密封针 22 对于排液管道 23 的打开和关断与容积式计量阀 17 的药液出口 20 的打开与关断同步。0036 其中 2)、3）两个步骤同时进行，这种同步是在加液控制器 16 的控制下，由二位五通阀 24 来实现的。0037 如图7所示，加热头9由加热头法兰31、陶瓷加热片34。
32、、陶瓷加热片35、外引线36、对外引线柱 37 和导电支座 40 构成。支杆 7 与加热头法兰 31 之间轴孔配合，两者的组合作为坩埚加热头与其它真空镀膜部件相连接的连接部。加热头法兰 31 相对于支杆 7 的另一侧装配有导电支座 40，导电支座 40 上开设有贯通的支承孔 38，支承孔 38 内插装有对外引线柱 37。导电支座 40 相对于加热头法兰 31 的另一侧装配有热头支座 6，两者之间配合连接固定。陶瓷加热片 35 上放置有陶瓷加热片 34，陶瓷加热片 34 用于加热放置在其表面的坩埚 5。陶瓷加热片 34 的加热方式为电加热，其片体一侧连接有外引线 36 的一端，外引线36的另一端。
33、穿过开设于导电支座40表面的连接孔39与对外引线柱37焊接固定，使得陶瓷加热片 34 与对外引线柱 37 之间通过外引线 36 构成导通 ；而对外引线柱 37 与外部电源导通。但由于外引线 36 与陶瓷加热片 34 两者的材质不同，所以两者的焊接区域就会由于热量积聚效应而产生变形以至断裂，使陶瓷加热片不能继续发挥加热功能，影响了连续生产。0038 如图 1 所示，外引线 36 的外围套装包覆有散热件 33，散热件 33 以外引线 36 与陶瓷加热片 34 的连接处为始端，沿外引线 36 的延伸方向布置。散热件 33 的长度可根据散热需要进行选择。而位于散热件 33 末端的外引线 36 的外围套。
34、装包覆有同样用以散热的陶瓷管 32。陶瓷管 32 以散热件 33 的末端为始端布置，其长度应满足外引线 36 末端的余留长度能与对外引线柱 37 之间构成焊接固定的要求。在散热件 33 和陶瓷管 32 的外围涂覆有散热绝缘层 41，该散热绝缘层 41 既对包裹外引线 36 的散热件 33 起到散热效果，又对其起到绝缘效果，保持其与周围部件绝缘。0039 虽然以上述实施例已经参照附图对本发明目的的构思和实施例做了详细说明，但本领域普通技术人员可以认识到，在没有脱离权利要求限定范围的前提条件下，仍然可以对本发明作出各种改进和变换，如 ：预热室1的数量和位置、位于预热室1中的推送机构、加热装置、加液装置的具体结构组成，故在此不一一赘述。说 明 书CN 104498889 A1/7 页9图1说 明 书 附 图CN 104498889 A2/7 页10图2说 明 书 附 图CN 104498889 A。