振子的支撑机构以及振子组件.pdf

本发明提供一种振子的支撑机构以及振子组件。其被设置在基板上，用于将包括：通过自身的振动，对应被施加的旋转向第1方向作用哥氏力的驱动部；为了检测出作用于所述驱动部的哥氏力的大小，对应所述哥氏力而在与所述第1方向相同或垂直的第2方向上振动的检测部；和用于支撑所述驱动部及所述检测部的支撑部的振子，设置成通过所述支撑部来支撑所述振子的状态，所述支撑机构沿着在所述第1方向及所述第2方向中的至少1个方向振动的固有谐振频率，比沿着所述1个方向以外的方向振动的固有谐振频率低。由此，解决了在固定支撑陀螺振子的以往的支撑机构中所存在的驱动部的振动及检测部的振动受到限制或阻碍的问题。

1.  一种振子的支撑机构，其被设置在基板上，用于将包括：通过自身的振动，对应被施加的旋转向第1方向作用哥氏力的驱动部；为了检测出作用于所述驱动部的哥氏力的大小，对应所述哥氏力而在与所述第1方向相同或垂直的第2方向上振动的检测部；和用于支撑所述驱动部及所述检测部的支撑部的振子，设置成通过所述支撑部来支撑所述振子的状态，其特征在于，
所述支撑机构沿着在所述第1方向及所述第2方向中的至少1个方向振动的固有谐振频率，比沿着所述1个方向以外的方向振动的固有谐振频率低。

2.  一种振子的支撑机构，其被设置在基板上，用于将包括：通过沿着第1方向的振动，对应以垂直于所述第1方向的第2方向为轴被施加的旋转向垂直于所述第1方向及所述第2方向的第3方向作用哥氏力的驱动部；为了检测出作用于所述驱动部的哥氏力的大小，对应所述哥氏力而在沿着所述第1方向振动的检测部；和用于支撑所述驱动部及所述检测部的支撑部的振子，设置成通过所述支撑部来支撑所述振子的状态，其特征在于，
所述支撑机构沿着所述第1方向振动的固有谐振频率，比沿着所述第3方向振动的固有谐振频率低。

3.  一种振子的支撑机构，其被设置在基板上，用于将包括：通过沿着第1方向的振动，对应以垂直于所述第1方向的第2方向为轴被施加的旋转向垂直于所述第1方向及所述第2方向的第3方向作用哥氏力的驱动部；为了检测出作用于所述驱动部的哥氏力的大小，对应所述哥氏力而在沿着所述第1方向振动的检测部；和用于支撑所述驱动部及所述检测部的支撑部的振子，设置成通过所述支撑部来支撑所述振子的状态，其特征在于，
所述驱动部被配置成与所述第3方向平行，并具有被配置成相互平行的棒状的第1驱动腕部和第2驱动腕部，
所述检测部具有被配置成在所述第1驱动腕部及所述第2驱动腕部之间与所述两驱动腕部平行的棒状的检测腕部，
所述振子还包括一端与所述第1驱动腕部的中心连接，另一端与所述第2驱动腕部的中心连接，中心与所述检测腕部的中心连接的与所述第1方向平行的棒状的腕支撑部，
所述支撑机构具有沿着所述第3方向支撑所述支撑部的第1弹性机构，用于在连接所述腕支撑部及所述检测腕部的所述两部的中心支撑所述两部。

4.  根据权利要求3所述的振子的支撑机构，其特征在于，所述支撑机构还具有沿着所述第1方向支撑所述支撑部的第2弹性机构。

5.  根据权利要求4所述的振子的支撑机构，其特征在于，所述支撑机构由所述第2弹性机构进行的沿着所述第1方向振动的固有谐振频率比由所述第1弹性机构进行的沿着所述第3方向振动的固有谐振频率低。

6.  根据权利要求4所述的振子的支撑机构，其特征在于，所述第2弹性机构的宽度比所述第1弹性机构的宽度窄。

7.  根据权利要求4所述的振子的支撑机构，其特征在于，所述第1弹性机构及所述第2弹性机构的各自的宽度相互不同。

8.  根据权利要求4所述的振子的支撑机构，其特征在于，所述第1弹性机构及所述第2弹性机构的各自的宽度不均等。

9.  根据权利要求4所述的振子的支撑机构，其特征在于，所述第1弹性机构及所述第2弹性机构各自具有缩颈部分。

10.  根据权利要求4所述的振子的支撑机构，其特征在于，所述第1弹性机构及所述第2弹性机构各自具有中空部分。

11.  根据权利要求4所述的振子的支撑机构，其特征在于，所述第1弹性机构及所述第2弹性机构各自具有弯曲部分。

12.  根据权利要求4所述的振子的支撑机构，其特征在于，构成所述第1弹性机构的材料与构成所述第2弹性机构的材料之间具有使所述第2弹性机构的固有谐振频率低于所述第1弹性机构的固有谐振频率的关系。

13.  一种振子组件，其特征在于，包括：
具有：通过自身的振动，对应被施加的旋转向第1方向作用哥氏力的驱动部；为了检测出作用于所述驱动部的哥氏力的大小，对应所述哥氏力而在与所述第1方向相同或垂直的第2方向上振动的检测部；和用于支撑所述驱动部及所述检测部的支撑部的振子；
用于设置所述振子的基板，和
被设置在所述基板上，通过所述支撑部来支撑所述振子的所述支撑机构，所述支撑机构沿着在所述第1方向及所述第2方向中的至少1个方向振动的固有谐振频率，比沿着所述1个方向以外的方向振动的固有谐振频率低。

14.  一种振子组件，其特征在于，包括：
具有通过沿着所述第1方向的振动，对应以垂直于第1方向的第2方向为轴被施加的旋转向垂直于所述第1方向及所述第2方向的第3方向作用哥氏力的驱动部；为了检测出作用于所述驱动部的哥氏力的大小，对应所述哥氏力而在沿着所述第1方向振动的检测部；和用于支撑所述驱动部及所述检测部的支撑部的振子；
用于设置所述振子的基板，和
被设置在所述基板上，通过支撑部来支撑所述振子的所述支撑机构，所述支撑机构沿着所述第1方向振动的固有谐振频率，比沿着所述第3方向振动的固有谐振频率低。

15.  一种振子组件，其特征在于，包括：
具有：通过沿着所述第1方向的振动，对应以垂直于第1方向的第2方向为轴被施加的旋转向垂直于所述第1方向及所述第2方向的第3方向作用哥氏力的驱动部，所述驱动部被配置成与所述第3方向平行，并由被配置成相互平行的棒状的第1驱动腕部和第2驱动腕部构成；为了检测出作用于所述驱动部的哥氏力的大小，对应所述哥氏力而在沿着所述第1方向振动的检测部，所述检测部由被配置成在所述第1驱动腕部及所述第2驱动腕部之间与所述两驱动腕部平行的棒状的检测腕部构成；用于支撑所述驱动部及所述检测部的支撑部；和一端与所述第1驱动腕部的中心连接，另一端与所述第2驱动腕部的中心连接，中心与所述检测腕部的中心连接的与所述第1方向平行的棒状的腕支撑部的振子；
用于设置所述振子的基板；和
被设置在所述基板上，通过所述支撑部来支撑所述振子的支撑机构，由沿着所述第3方向支撑所述支撑部的弹性机构构成，用于在连接所述腕支撑部及所述检测腕部的所述两部的中心支撑所述两部。

振子的支撑机构以及振子组件
技术领域
本发明涉及用于支撑如用于检测物体的姿势、速度及位置的陀螺振子那样的振子的支撑机构，以及包括所述振子及所述支撑机构的振子组件。
背景技术
上述的陀螺振子具有用于支撑在沿着一个方向进行的自身振动中对应由外部施加的旋转而作用哥氏力的驱动部、和为了检测出所述哥氏力而随着所述哥氏力振动的检测部的两个部分的支撑部。所述陀螺振子，通过将该支撑部支撑在被设置在用于载置所述陀螺振子的基板上的支撑机构上，而被载置在所述基板上。
但是，上述的支撑机构由于是对所述陀螺振子构成固定的支撑，所以存在着所述陀螺振子的所述驱动部或检测部的振动受到限制或阻碍的问题。此外，如果单纯为了缓和所述振动的阻碍而降低所述支撑机构的刚性，则产生以耐冲击性为主的可靠性下降的问题。
发明内容
为了解决上述的问题，本发明之1的振子的支撑机构，被设置在基板上，用于将包括：通过自身的振动，对应被施加的旋转向第1方向作用哥氏力的驱动部；为了检测出作用于所述驱动部的哥氏力的大小，对应所述哥氏力而在与所述第1方向相同或垂直的第2方向上振动的检测部；和用于支撑所述驱动部及所述检测部的支撑部的振子，设置成通过所述支撑部来支撑所述振子的状态，其特征在于，所述支撑机构沿着在所述第1方向及所述第2方向中的至少1个方向振动的固有谐振频率，比沿着所述1个方向以外的方向振动的固有谐振频率低。
本发明之2的振子的支撑机构，其被设置在基板上，用于将包括：通过沿着所述第1方向的振动，对应以垂直于所述第1方向的第2方向为轴被施加的旋转向垂直于所述第1方向及所述第2方向的第3方向作用哥氏力的驱动部；为了检测出作用于所述驱动部的哥氏力的大小，对应所述哥氏力而在沿着所述第1方向振动的检测部；和用于支撑所述驱动部及所述检测部的支撑部的振子，设置成通过所述支撑部来支撑所述振子的状态，其特征在于，所述支撑机构沿着所述第1方向振动的固有谐振频率，比沿着所述第3方向振动的固有谐振频率低。
本发明之3的振子的支撑机构，其被设置在基板上，用于将包括：通过沿着所述第1方向的振动，对应以垂直于所述第1方向的第2方向为轴被施加的旋转向垂直于所述第1方向及所述第2方向的第3方向作用哥氏力的驱动部；为了检测出作用于所述驱动部的哥氏力的大小，对应所述哥氏力而在沿着所述第1方向振动的检测部；和用于支撑所述驱动部及所述检测部的支撑部的振子，设置成通过所述支撑部来支撑所述振子的状态，其特征在于，所述驱动部被配置成与所述第3方向平行，并具有被配置成相互平行的棒状的第1驱动腕部和第2驱动腕部，所述检测部具有被配置成在所述第1驱动腕部及所述第2驱动腕部之间与所述两驱动腕部平行的棒状的检测腕部，所述振子还包括一端与所述第1驱动腕部的中心连接，另一端与所述第2驱动腕部的中心连接，中心与所述检测腕部的中心连接的与所述第1方向平行的棒状地腕支撑部，所述支撑机构具有沿着所述第3方向支撑所述支撑部的第1弹性机构，用于在连接所述腕支撑部及所述检测腕部的所述两部的中心支撑所述两部。
本发明之3的振子的支撑机构，其特征在于，所述支撑机构还具有沿着所述第1方向支撑所述支撑部的第2弹性机构。
本发明之3的振子的支撑机构，其特征在于，所述支撑机构由所述第2弹性机构进行的沿着所述第1方向振动的固有谐振频率比由所述第1弹性机构进行的沿着所述第3方向振动的固有谐振频率低。
本发明之3的振子的支撑机构，其特征在于，所述第2弹性机构的宽度比所述第1弹性机构的宽度窄。
本发明之3的振子的支撑机构，其特征在于，所述第1弹性机构及所述第2弹性机构的各自的宽度相互不同。
本发明之3的振子的支撑机构，其特征在于，所述第1弹性机构及所述第2弹性机构的各自的宽度不均等。
本发明之3的振子的支撑机构，其特征在于，所述第1弹性机构及所述第2弹性机构各自具有缩颈部分。
本发明之3的振子的支撑机构，其特征在于，所述第1弹性机构及所述第2弹性机构各自具有中空部分。
本发明之3的振子的支撑机构，其特征在于，所述第1弹性机构及所述第2弹性机构各自具有弯曲部分。
本发明之3的振子的支撑机构，其特征在于，构成所述第1弹性机构的材料与构成所述第2弹性机构的材料之间具有使所述第2弹性机构的固有谐振频率低于所述第1弹性机构的固有谐振频率的关系。
本发明的第一种振子组件，其特征在于，包括：具有通过自身的振动，对应被施加的旋转向第1方向作用哥氏力的驱动部；为了检测出作用于所述驱动部的哥氏力的大小，对应所述哥氏力而在与所述第1方向相同或垂直的第2方向上振动的检测部；和用于支撑所述驱动部及所述检测部的支撑部的振子；用于设置所述振子的基板，和被设置在所述基板上，通过所述支撑部来支撑所述振子的所述支撑机构，所述支撑机构沿着在所述第1方向及所述第2方向中的至少1个方向振动的固有谐振频率，比沿着所述1个方向以外的方向振动的固有谐振频率低。
本发明的第2种振子组件，其特征在于，包括：具有通过沿着所述第1方向的振动，对应以垂直于所述第1方向的第2方向为轴被施加的旋转向垂直于所述第1方向及所述第2方向的第3方向作用哥氏力的驱动部；为了检测出作用于所述驱动部的哥氏力的大小，对应所述哥氏力而在沿着所述第1方向振动的检测部；和用于支撑所述驱动部及所述检测部的支撑部的振子；用于设置所述振子的基板，和被设置在所述基板上，通过所述支撑部来支撑所述振子的所述支撑机构，所述支撑机构沿着所述第1方向振动的固有谐振频率，比沿着所述第3方向振动的固有谐振频率低。
本发明的第3种振子组件，其特征在于，包括：具有：通过沿着所述第1方向的振动，对应以垂直于所述第1方向的第2方向为轴被施加的旋转向垂直于所述第1方向及所述第2方向的第3方向作用哥氏力的驱动部；为了检测出作用于所述驱动部的哥氏力的大小，对应所述哥氏力而在沿着所述第1方向振动的检测部；和用于支撑所述驱动部及所述检测部的支撑部；一端与所述第1驱动腕部的中心连接，另一端与所述第2驱动腕部的中心连接，中心与所述检测腕部的中心连接的与所述第1方向平行的棒状的腕支撑部的振子；其中：所述驱动部被配置成与所述第3方向平行，并由被配置成相互平行的棒状的第1驱动腕部和第2驱动腕部构成，所述检测部由被配置成在所述第1驱动腕部及所述第2驱动腕部之间与所述两驱动腕部平行的棒状的检测腕部构成，用于设置所述振子的基板；和被设置在所述基板上，通过所述支撑部来支撑所述振子的支撑机构，由沿着所述第3方向支撑所述支撑部的弹性机构构成，用于在连接所述腕支撑部及所述检测腕部的所述两部的中心支撑所述两部。
附图说明
图1是表示配置了陀螺振子的实施例1的振子组件及其剖面的图。
图2是表示驱动臂的动作的图。
图3是表示驱动臂的动作与哥氏力的关系的图。
图4是表示检测臂的动作的图。
图5是表示实施例2的振子组件的图。
图6是表示支撑实施例3的陀螺振子的引线结构的图。
图7是表示实施例4的陀螺振子组件的结构的剖面图。
图8是表示实施例4的其它振子组件的结构的俯视图。
图中：10-陀螺振子；11A-第1驱动臂；11B-第1驱动臂；12-检测臂；13-臂支撑部；14-支撑板；15A、15B-第1引线；16A、16B-第2引线；17支撑基板；18-开口部；100-振子组件。
具体实施方式
下面，结合附图，对本发明的振子的支撑机构及支撑单元的实施例进行说明。
[实施例1]
图1(A)表示配置了陀螺振子的实施例1的振子组件，图1(B)是图1(A)的AA剖面图。
实施例1的振子组件100是为了检测出如电子机器以及搭乘工具那样的物体的姿势、速度以及位置而通过设置在所述物体上进行使用的装置。振子组件100由作为振子的陀螺振子10、作为用于支撑陀螺振子10的支撑机构的引线15A、15B、16A及16B和作为通过所述引线15A等把所述陀螺振子10载置在其上面的基板的支撑基板17构成。
陀螺振子10为了能够以公知的驱动模式、检测模式及杂散信号模式这3种模式进行动作，如图1(A)所示，包括：作为构成驱动部的第1驱动腕部及第2驱动腕部的第1驱动臂11A及第2驱动臂11B、作为检测部的检测臂12、作为腕支撑部的臂支撑部13及作为支撑部的支撑板14。
第1及第2驱动臂11A、11B，如图1(A)所示，分别是在图示的Y方向上延伸，即相互平行的具有规定长度的板状部件。第1及第2驱动臂11A、11B，在沿着图示的X方向上进行振动时，对应作为所述的物体的姿势变动之一的，把图示的Z方向作为旋转轴所施加的旋转，生成与该旋转的大小的哥氏力。
图2表示驱动臂的动作。如图2(A)～(C)所示，驱动臂11A进行以其中心为轴的弯曲动作的振动，具体是，通过进行越是接近其端部的部位，其沿着X方向的变位就越大这样的凹凸型的变形，而进行振动。驱动臂11B进行与驱动臂11A的变形的凹凸形状形成线对称关系的形状的弯曲动作的振动。
图3表示驱动臂的动作与哥氏力的关系。如图3所示，在第1驱动臂11A从用点划线表示的形状向用实线表示的形状变化，第2驱动臂11B也从用点划线表示的形状向用实线表示的形状变化时，如果施加图中的顺时针方向的旋转，则产生如图3中的箭头19A、19B所示的方向的哥氏力。另一方面，在第1驱动臂11A从用实线表示的形状向用点划线所表示的形状变形，第2驱动臂11B从实线所表示形状向用点划线所表示的形状变化时，如果施加图中的顺时针方向的旋转，则产生与图3中的箭头19A、19B所示的方向相反方向的哥氏力。
检测臂12与第1驱动臂11A及第2驱动臂11B同样，是沿着图示的Y方向延伸的具有规定长度的板部件。即，第1驱动臂11A、第2驱动臂11B及检测臂12相互平行。检测臂12为了检测出作用于第1及第2驱动臂11A、11B上的所述哥氏力，响应从第1及第2驱动臂11A、11B经由臂支撑部13传导来的所述哥氏力，进行对应该哥氏力的大小的振动。
图4表示检测臂的动作。如图4(A)～(C)所示，检测臂12与如图3(A)～(C)所示的第1及第2驱动臂11A、11B的弯曲动作同样，进行大致S字状及反S字状的变形的弯曲动作。通过检测出检测臂12的所述弯曲动作旋转而产生的电信号，来得知所述哥氏力的大小，以此来识别施加在所述物体上的旋转的大小。
再返回到图1(A)，臂支撑部13其一端与第1驱动臂11A的中心连接，其另一端与第2驱动臂11B的中心连接，检测臂12被连接成其中心与臂支撑部13的中心一致。支撑板14是具有包括与臂支撑部13和检测臂12的连接点的规定面积的板状部件。
在X方向延伸的引线15A、15B及在Y方向上延伸的引线16A、16B是具有相互相同形状的带状部件。而且，如图1(B)所示，引线15A、15B被成型为其一端连接在与支撑板14对应的边的附近，另一端连接在支撑基板17上，使振子10与支撑基板17相互不接触。引线16A、16B也与引线15A、15B同样，被成型为其一端连接在支撑板14上，另一端连接在支撑基板17上，使振子10与支撑基板17相互不接触。支撑基板17例如是由以往公知的环氧树脂等的绝缘体构成的基板，在其中央规定有用于成型引线15A等的开口部18。
沿着X方向设置的引线15A及15B的构成材料的固有谐振频率比沿着Y方向设置的引线16A及16B的构成材料的固有谐振频率低。即，引线15A、15B在X方向上对于陀螺振子10的支撑刚性比引线16A、16B在Y方向上对于陀螺振子10的支撑刚性低。
如上所述，根据实施例1的振子组件，由于支撑机构在X方向上的固有谐振频率比在Y方向上的低，所以可避开对为了检测作用于驱动臂11A、11B上的哥氏力而由检测臂12进行的沿X方向的振动的阻碍，由此，与以往的相比，可高精度地检测出从外部施加于所述物体的旋转的大小。
[实施例2]
图5(A)及图5(B)表示实施例2的振子组件。如图5(A)所示，实施例2的陀螺振子20具有与构成图1(A)所示的陀螺振子10的第1驱动臂11A、第2驱动臂11B、检测臂12、臂支撑部13及支撑板14的各个部件相同功能的第1驱动臂21A、第2驱动臂21B、检测臂22、臂支撑部23及支撑板24。陀螺振子20与支撑陀螺振子10的支撑板14的引线15A、15B、16A及16B同样，由在X方向上支撑陀螺振子20的引线25A、25B和在Y方向支撑陀螺振子20的引线26A、26B所支撑。
成为第2弹性机构的引线25A、25B的宽度比成为第1弹性机构的26A、26B的宽度窄。这样，由于支撑机构在X方向上的振动的固有振动频率比在Y方向上的低，所以，不会妨碍为了检测作用于驱动臂21A、21B上的哥氏力而由检测臂22进行的沿X方向的振动。
实施例2的另外陀螺振子30，如图5(B)所示，具有与构成图1(A)所示的陀螺振子10的第1驱动臂11A、第2驱动臂11B、检测臂12、臂支撑部13及支撑板14的各个部件相同功能的第1驱动臂31A、第2驱动臂31B、检测臂32、臂支撑部33及支撑板34。陀螺振子30与支撑陀螺振子10的支撑板14的引线16A及16B同样，仅由在Y方向支撑陀螺振子30的引线35A、35B、36A及36B所支撑，在X方向上没有支撑。
成为第1弹性机构的相互平行的引线35A、35B以及相互平行的36A、36B仅在Y方向支撑陀螺振子30。因此，为了检测作用于驱动臂31A、31B上的哥氏力而由检测臂32进行的沿X方向的振动不会受到任何妨碍。
如上所述，根据实施例2的振子组件，陀螺振子20在Y方向由引线26A及26B支撑，在X方向由其固有谐振频率比引线26A、26B低的引线25A及25B支撑，因此，与第1实施例的振子组件100的检测臂12同样，不会阻碍由检测臂22进行的沿X方向的振动，由此，与以往的相比，可高精度地检测出从外部施加的旋转。
另外，根据实施例2的另外的振子，由于陀螺振子30仅在Y方向由引线35A、35B、36A及36B支撑，在X方向没有任何支撑，所以，不会阻碍检测臂32在X方向上的振动，其结果，与以往的相比，可高精度地检测出从外部施加的旋转。
[实施例3]
图6(A)～(D)表示支撑实施例3的陀螺振子的引线的结构。如图6(A)所示，具有与实施例1的引线15A等的功能相同功能的引线40，其厚度(在穿透图纸方向上的长度)比引线15A等要薄。
如图6(B)所示，具有与实施例1的引线15A等的功能相同功能的引线50，至少具有1个沿着其长度方向缩颈的部分。换言之，没有缩颈的部位的宽度与有缩颈的部位的宽度不同，即，引线50的宽度不均等。作为缩颈的示例，例如有图示的弯曲状的缩颈及楔型的缩颈。
如图6(C)所示，具有与实施例1的引线15A等的功能相同功能的引线60具有沿着其长度方向形成中空的部分61。
如图6(D)所示，具有与实施例1的引线15A等的功能相同功能的引线70取代图6(C)所示的沿着长度方向的中空61，而具有在中央形成菱形的中空71。
如上所述，根据具有实施例3的引线的振子组件，由于陀螺振子由具有易弯曲的结构的引线40、50、60或70支撑，所以，与实施例1及实施例2的振子组件同样，不会妨碍检测臂为了进行检测而在X方向上的振动，由此，与以往的相比，可高精度地检测出从外部施加的旋转。
[实施例4]
图7示表示实施例4的振子组件的结构的剖面图。如图7所示，实施例4的振子组件具有与实施例1的图1(B)所示的陀螺振子10、引线15A及15B以及支撑基板17的功能相同功能的陀螺振子70、引线75A及75B以及支撑基板77。
引线75A及75B被弯曲成大致Z字形状，相当于实施例1的引线16A及16B的引线(未图示)也被同样地弯曲。该弯曲使得例如在被安装在支撑基板77上的引线75A及75B上设置了陀螺振子70后，能够将陀螺振子70向支撑基板77的方向按下。
图8是表示实施例4的其它振子组件的结构的俯视图。如图8所示，实施例4的其它陀螺振子80具有与构成图1(A)所示的陀螺振子10的第1驱动臂11A、第2驱动臂11B、检测臂12、臂支撑部13及支撑板14的功能的第1驱动臂81A、第2驱动臂81B、检测臂82、臂支撑部83及支撑板84。
陀螺振子80与支撑陀螺振子10的支撑板14的引线15A、15B、16A及16B同样，由在X方向支撑陀螺振子80的引线85A及85B，以及在Y方向支撑陀螺振子80的引线86A及86B所支撑。引线85A、85B、86A、86B被弯曲成大致为Z字形状。即引线75A及75B沿垂直方向弯曲，而引线85A、85B、86A、86B沿水平方向弯曲。
如上所述，根据实施例4的振子组件及其它的振子组件，由于引线75A等及引线85A等为弯曲状态，所以，引线75A等及引线85A等的固有谐振频率比没有弯曲形状的以往的引线的固有谐振频率低。这样，由于避开了对检测臂为了检测出作用于驱动臂上的哥氏力所进行的沿着X方向的振动的妨碍，所以与以往相比，能够高精度地检测出被从外部施加的旋转的大小。
此外，通过取代在高度方向，即，垂直方向具有Z字形状的引线75A及75B，而使用在水平方向具有Z字状的引线，可获得与上述相同的效果。
根据本发明的振子的支撑机构，其中，沿着在所述第1方向及所述第2方向中的至少1个方向振动的固有谐振频率，比沿着所述1个方向以外的方向振动的固有谐振频率低。因此，所述支撑机构不会对由所述振子进行的沿着所述1个方向的振动形成限制或阻碍，而且，由在所述1个方向具有比较高的固有谐振频率的弹性机构来支撑所述振子，不会降低耐冲击性等的可靠性。