三通阀和进气系统.pdf

本发明提供一种三通阀和进气系统，其能够在抑制流路的开闭性能恶化的同时调整流体的流入量。三通阀(10)具备：阀体(11)，其具备与第1端口(11a)对置的第2端口(11b)和第1端口与第2端口之间的第3端口(11c)；和开闭构件(12)，其使第1端口和第2端口以切换的方式开闭，其中，开闭构件由下述部分构成：可封闭第1端口或第2端口的面积的板状的封闭板(12a)；和使封闭板在第1端口与第2端口之间往返的板移动部(12b)，在第1端口或第2端口上具备用于调整端口的开口面积的调整部(13)。

权利要求书
1.  一种三通阀，所述三通阀具备：阀体，其具备与第1端口对置的第2端口、和该第1端口与该第2端口之间的第3端口；和开闭构件，其使该第1端口和该第2端口以切换的方式开闭，所述三通阀的特征在于，
该开闭构件至少由下述部件构成：面积为能够封闭该第1端口或该第2端口的板状的封闭板；和使该封闭板在该第1端口与该第2端口之间往返的板移动部，
在该第1端口或第2端口上具备用于调整端口的开口面积的调整部。

2.  根据权利要求1所述的三通阀，其中，
所述调整部具备：用于调整开口的面积的调整板；使该调整板活动的可动部；和利用该可动部控制该调整板的位置的位置控制部，
通过该位置控制部对该调整板的位置控制来调整开口面积。

3.  一种进气系统，所述进气系统具备：
第1抽吸部和第2抽吸部，它们通过分支管从鼓风机用马达的抽吸口开始至少向两个方向分支，并至少对两处加工台进行抽吸；
由权利要求1或2所述的三通阀构成的第1三通阀，其配设在连接该分支管和该第1抽吸部的第1配管上；
由权利要求1或2所述的三通阀构成的第2三通阀，其配设在连接该分支管和该第2抽吸部的第2配管上；以及
切换控制部，其对该第1三通阀和该第2三通阀的开闭进行切换控制，其中，
使该第1三通阀的第3端口与该分支管连接，使该第1三通阀的第1端口与该第1抽吸部连接，该第1三通阀的第2端口能够向大气开放，
使该第2三通阀的第3端口与该分支管连接，使该第2三通阀的第1端口与该第2抽吸部连接，该第2三通阀的第2端口能够向大气开放，
通过该切换控制部使该第1三通阀的开闭构件和第2三通阀的开闭构件中的某一方动作，
使该第1三通阀和第2三通阀中的一方的开闭构件动作以封闭第1端口，并且，使大气从通过该调整部调整了开口面积的第2端口进入，使从与该第1三通阀和第2三通阀中的另一方的第1端口连接的抽吸部进入的进气量与该第1三通阀和第2三通 阀中的所述一方的第1端口被封闭之前相同。

4.  根据权利要求3所述的进气系统，其中，
在所述第1配管和第2配管上分别配设有测量配管内部的风速的风速测量部，所述位置控制部控制成该风速测量部测量出的风速不变化。

说明书三通阀和进气系统
技术领域
本发明涉及三通阀，特别是涉及切换空气等流体的流路的三通阀和使用该三通阀的进气系统。
背景技术
以往，已知这样的三通阀，其配设在与进气源连接的配管上，用于切换在配管中流动的流体的流路。例如，在专利文献1中，提出了下述这样的三通阀，所述三通阀具备：由中空椭圆柱状的弹性体构成的阀芯；和形成有将该阀芯收纳成能够旋转的椭圆柱状的空洞的阀室，通过使阀芯在阀室内不晃动地旋转滑动，由此切换2个出口端口的开闭状态。另外，在专利文献2中，提出了下述这样的三通阀：在两侧设有阀孔的阀室内收纳有一对阀芯和凸轮，所述一对阀芯以交替地开闭阀孔的方式一体地移动，所述凸轮选择性地将这些阀芯推压至闭阀位置，随着开闭轴的转动，利用凸轮选择性地将阀芯推压至闭阀位置。
专利文献1：日本特开2013-57352号公报
专利文献2：日本特开2009-299736号公报
可是，在上述的专利文献1所述的三通阀中，阀芯具有相对于阀室的一部分滑动的部分。另一方面，在上述的专利文献2所述的三通阀中，凸轮的一部分具有相对于阀芯滑动的部分。在像这些在驱动阀芯的结构中包含滑动的部分的情况下，由于该滑动部分发生磨损而可能发生流路的开闭性能恶化的情况。
为了防止这样的滑动部分的磨损，可以考虑涂敷润滑油等。可是，在这种情况下，可能会发生润滑油的一部分泄漏到配管内的情况。润滑油的泄漏会成为具备三通阀的装置阀体中的不良情况的原因。例如，如后述那样，在将三通阀应用于对加工台的表面进行抽吸的进气系统中的情况下，可能会发生油分附着于加工台上的加工对象上这样的情况。
另外，将上述的三通阀例如应用于这样的进气系统：利用分支管使单一的进气源 分支，对配置在多个部位的加工台上的异物等进行抽吸。在这样的进气系统中，通过使用三通阀来切换分支管内的流路，能够对抽吸异物等的加工台进行切换。
在这样的进气系统中，优选的是，与分支管内的流路的状态无关地将对加工台的抽吸力维持得固定。例如，还可以想象到这样的情况：在对特定的加工台的抽吸力对应于分支管内的流路的状态发生变动的情况下，抽吸力脱离规定的范围而对不必要的构成部件进行抽吸。因此，在这样的进气系统中，为了将抽吸部的抽吸力维持得固定，要求能够调整流体的流入量的三通阀。
发明内容
本发明是鉴于这样的问题而完成的，目的在于提供一种能够在抑制流路的开闭性能恶化的同时调整流体的流入量的三通阀和使用该三通阀的进气系统。
本发明的三通阀具备：阀体，其具备与第1端口对置的第2端口、和第1端口与第2端口之间的第3端口；和开闭构件，其使第1端口和第2端口以切换的方式开闭，所述三通阀的特征在于，开闭构件至少由下述部件构成：面积为能够封闭第1端口或第2端口的板状的封闭板；和使封闭板在第1端口与第2端口之间往返的板移动部，在第1端口或第2端口上具备用于调整端口的开口面积的调整部。
根据上述三通阀，开闭构件通过利用板移动部使封闭板在第1端口与第2端口之间往返，从而使第1端口和第2端口以切换的方式开闭。因此，不存在相对于阀体等发生滑动的部分，就能够以切换的方式开闭第1端口和第2端口。由此，能够避免三通阀的构成部件发生磨损的情况，并且能够抑制流路的开闭性能恶化。另外，通过调整部来调整第1端口或第2端口的开口面积。因此，能够调整从第1端口或第2端口流入阀体内的流体的流入路径的面积。由此，能够调整从第1端口或第2端口流入的流体的流入量。其结果，能够在抑制流路的开闭性能恶化的同时调整流体的流入量。
例如，在上述三通阀中，调整部具备：用于调整开口的面积的调整板；使调整板活动的可动部；和利用可动部控制调整板的位置的位置控制部，通过位置控制部对调整板的位置控制来调整开口面积。根据该结构，能够通过对调整板的位置控制将第1端口或第2端口调整为所期望的开口面积。由此，能够灵活地调整从第1端口或第2端口流入的流体的流入量。
本发明的进气系统具备：第1抽吸部和第2抽吸部，它们通过分支管从鼓风机用 马达的抽吸口开始至少向两个方向分支，并至少对两处加工台进行抽吸；由上述的任意三通阀构成的第1三通阀，其配设在连接分支管和第1抽吸部的第1配管上；由上述的任意三通阀构成的第2三通阀，其配设在连接分支管和第2抽吸部的第2配管上；以及切换控制部，其对第1三通阀和第2三通阀的开闭进行切换控制，所述进气系统的特征在于，使第1三通阀的第3端口与分支管连接，使第1三通阀的第1端口与第1抽吸部连接，第1三通阀的第2端口能够向大气开放，使第2三通阀的第3端口与分支管连接，使第2三通阀的第1端口与第2抽吸部连接，第2三通阀的第2端口能够向大气开放，通过切换控制部使第1三通阀的开闭构件和第2三通阀的开闭构件中的某一方动作，使第1三通阀和第2三通阀中的一方的开闭构件动作以封闭第1端口，并且，使大气从通过调整部调整了开口面积的第2端口进入，使从与第1三通阀和第2三通阀中的另一方的第1端口连接的抽吸部进入的进气量与第1三通阀和第2三通阀中的所述一方的第1端口被封闭之前相同。
根据上述进气系统，在使第1三通阀(第2三通阀)的开闭构件动作而将第1三通阀(第2三通阀)的第1端口封闭的前后，能够使从与第2三通阀(第1三通阀)的第1端口连接的抽吸部进入的进气量相同。由此，能够与第1三通阀(第2三通阀)的状态无关地将与第2三通阀(第1三通阀)连接的抽吸部中的抽吸力维持得固定。其结果是，能够防止因与第2三通阀(第1三通阀)连接的抽吸部的抽吸力对应于第1三通阀(第2三通阀)的状态发生变化而引起的不良情况。
例如，在上述进气系统中，在第1配管和第2配管上分别配设有测量配管内部的风速的风速测量部，上述位置控制部控制成风速测量部测量出的风速不变化。根据该结构，能够基于第1、第2配管内部的风速的变化来利用位置控制部控制调整板的位置。由此，即使切换了第1三通阀的开闭状态，也能够高精度地将来自第2抽吸部的进气量维持得固定。
根据本发明，能够在抑制流路的开闭性能恶化的同时调整流体的流入量。
附图说明
图1是示出第1实施方式的三通阀的结构的示意图。
图2是示出第2实施方式的三通阀的结构的示意图。
图3是应用了第2实施方式的三通阀的进气系统的结构的说明图。
标号说明
10、20：三通阀；
20a：第1三通阀；
20b：第2三通阀；
20c：第3三通阀；
11：阀体；
11a:第1端口；
11b:第2端口；
11c：第3端口；
12：开闭构件；
12a：封闭板；
12b：板移动部；
12c：轴；
13：调整部；
131：调整板；
132：可动部；
133：位置控制部；
14：配管；
14a：第1配管；
14b：第2配管；
14c：第3配管；
15：鼓风机用马达；
151：抽吸口；
152：排出口；
16：分支管；
17a：第1抽吸部；
17b：第2抽吸部；
17c：第3抽吸部；
18：转换控制部；
19a～19c：风速测量部；
100：进气系统；
T1：校准工作台；
T2：贴带工作台；
T3：剥离工作台。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的多个实施方式进行说明。并且，在以下内容中，对将本发明的三通阀应用于下述这样的进气系统的情况进行说明：所述进气系统用于对加工半导体晶片等被加工物的加工台上进行抽吸。可是，关于应用本发明的三通阀的系统或装置，并不限定于进气系统，可以在需要切换流体的流路的任意的系统或装置中应用。
(第1实施方式)
图1是示出第1实施方式的三通阀10的结构的示意图。在图1的A中，示出了三通阀10为打开状态的情况，在图1的B中，示出了三通阀10为闭合状态的情况。在以下内容中，为了便于说明，将在图1中所示的上方侧称作三通阀10的上方侧，并将在图1中所示的下方侧称作三通阀10的下方侧。在图2所示的第2实施方式的三通阀20中也相同。
如图1所示，第1实施方式的三通阀10具备例如由金属材料或树脂材料构成的阀体11。在该阀体11的内部设有由一定的空间构成的阀室110。在阀体11的规定的位置形成有第1～第3端口11a～11c。这些第1～第3端口11a～11c例如由具有圆形状的开口部构成。
第1端口11a形成在阀体11的下表面。第2端口11b与第1端口11a对置地形成在阀体11的上表面。第3端口11c形成在第1端口11a与第2端口11b之间。具体而言，第3端口11c形成在阀体11的侧面(在图1中为右侧的侧面)。在第1端口11a和第3端口11c的周围设有与后述的配管14连接的连接部11d。
另外，三通阀10具备开闭构件12，该开闭构件12用于切换在阀室110内形成的流路的开闭状态。开闭构件12使第1端口11a和第2端口11b以切换的方式开闭。开闭构件12构成为包括：封闭第1端口11a或第2端口11b的封闭板12a；和使该封 闭板12a移动的板移动部12b。
封闭板12a由例如圆形的板状部件构成，并配置在阀体11(阀室110)的内部。构成封闭板12a的板状部件具有可封闭第1端口11a和第2端口11b的面积。即，构成封闭板12a的板状部件以比第1端口11a和第2端口11b的开口面积大的直径的尺寸而构成。并且，封闭板12a经由轴12c与板移动部12b的内部的驱动机构连结。
板移动部12b由例如螺线管等构成，使封闭板12a在阀室110内沿上下方向往复移动。更具体来说，板移动部12b使封闭板12a在第1端口11a与第2端口11b之间往返。即，板移动部12b构成为能够使封闭板12a在图1的A所示的于第1端口11a的内侧封闭第1端口11a的位置、和图1的B所示的于第2端口11b的内侧封闭第2端口11b的位置之间往复移动。基于板移动部12b实现的对封闭对象的切换由未图示的切换控制部控制(参照图3)。
此外，三通阀10具备调整第2端口11b的开口面积的调整部13。例如，调整部13在俯视观察时具有圆环形状，并配置在阀体11的上表面。调整部13配置在阀体11的上表面以减少第2端口11b的开口面积(更具体来说，其一部分与第2端口11b的开口部重叠)。
调整部13例如可以由金属材料或具有弹性的树脂材料形成。在调整部13具有圆环形状的情况下，通过将中央的开口部的直径不同的调整部13配置在阀体11的上表面，由此来调整第2端口11b的开口面积。并且，调整部13对第2端口11b的开口面积的调整量可以根据应用三通阀10的进气系统的构成部件的种类及其数量等适当地变更。
在图1所示的三通阀10中，在第1端口11a和第3端口11c上连接有配管14。抽吸部(在图1中未图示，参照图3)经由配管14与第1端口11a连接。作为进气源的鼓风机用马达(在图1中未图示，参照图3)经由配管14与第3端口11c连接。与第1端口11a连接的抽吸部例如在对将粘贴在半导体晶片上的保护带剥离的加工台(剥离工作台)上的异物等进行的抽吸中被利用。
根据具有这样的结构的三通阀10，如图1的A所示，如果利用封闭板12a封闭第2端口11b，则在阀体11(阀室110)内形成通过第1端口11a和第3端口11c的流路。这种情况下，由鼓风机用马达产生的抽吸力经由第3端口11c和第1端口11a被供给至抽吸部。因此，从抽吸部抽吸进来的空气经由通过第1端口11a和第3端口 11c的流路到达鼓风机用马达。由此，残留在加工台的表面上的异物等被去除。
另一方面，如图1的B所示，即使在利用封闭板12a封闭了第1端口11a的情况下，第2端口11b也成为经由调整部13对大气敞开的状态。这种情况下，当通过鼓风机用马达产生抽吸力时，大气被从通过调整部13调整了开口面积的第2端口11b吸入。从第2端口11b抽吸进来的空气经由第3端口11c到达鼓风机用马达。
这样，在本实施方式的三通阀10中，通过利用板移动部12b使封闭板12a在第1端口11a与第2端口11b之间往返，由此使第1端口11a和第2端口11b以切换的方式开闭。因此，在三通阀10中不存在相对于阀体11等滑动的部分，就能够以切换的方式使第1端口11a和第2端口11b开闭。由此，能够避免三通阀10的构成部件发生磨损的情况，并且，能够抑制流路的开闭性能恶化。
另外，在本实施方式的三通阀10中，在第2端口11b的周围设置有调整部13，通过该调整部13调整了第2端口11b的开口面积。因此，能够调整从第2端口11b流入阀体11(阀室110)内的流体的流入路径的面积。由此，能够调整从第2端口11b流入的流体的流入量。
例如，在本实施方式的三通阀10中，能够利用调整部13来调整第2端口11b的开口面积以便使与鼓风机用马达的抽吸力相伴随的抽吸量变得和封闭第1端口11a之前的状态(例如，图1的A所示的状态)相同。通过像这样调整第2端口11b的开口面积，能够在第1端口11a被封闭的前后将经由三通阀10抽吸的抽吸量维持得固定。
并且，在以上内容中，对将抽吸部与第1端口11a连接并通过调整部13调整第2端口11b的开口面积的情况进行了说明。可是，关于三通阀10的结构，并不限定于此，能够适当地进行变更。例如，也可以构成为：将抽吸部与第2端口11b连接，通过调整部13调整第1端口11a的开口面积。
(第2实施方式)
在第1实施方式的三通阀10中，对调整部13被固定在第2端口11b的附近的情况进行了说明。第2实施方式的三通阀在调整部13在第2端口11b的附近可动这一点上与第1实施方式的三通阀10不同。以下，关于第2实施方式的三通阀的结构，以与第1实施方式的三通阀10的不同点为中心进行说明。
图2是示出第2实施方式的三通阀20的结构的示意图。在图2的A、图2的B 中，都示出了三通阀20为闭合状态的情况。在图2的A中，示出了构成调整部13的调整板131闭合而使第2端口11b的开口面积减小的状态，在图2的B中，示出了调整板131打开而使第2端口11b的开口面积扩大的状态。并且，在图2中，对于与图1相同的结构要素标记相同的标号，并省略详细的说明。
如图2所示，第2实施方式的三通阀20在下述这一点上与第1实施方式的三通阀10不同：具备调整第2端口11b的开口面积的调整板131、使该调整板131可动的可动部132、以及借助该可动部132对调整板131的位置进行控制的位置控制部133，来作为调整部13。
调整板131例如在俯视时具有对圆环形状进行分割(例如分割成两个部分)而成的形状，调整板131被配置在阀体11的上表面。调整板131在图2的A所示的闭合的状态下以其一部分与第2端口11b的开口部重叠的方式配置在阀体11的上表面。并且，关于调整板131的形状，并不限定于此，能够适当地进行变更。例如，以能够调整第2端口11b的开口面积为前提，可以采用任意的形状。
可动部132与调整板131的外周缘的一部分连接。可动部132构成为能够使调整板131以调整板131的内周缘上下移动的方式可动。例如，可动部132构成为包括：向图2所示的纸面进深方向延伸的驱动轴；和使该驱动轴绕轴线转动的驱动马达。这种情况下，可动部132利用驱动马达使固定在驱动轴上的调整板131转动，由此能够使调整板131开闭。
例如，可动部132能够使调整板131在调整板131与阀体11的上表面平行地配置的状态(图2的A所示的状态)、和调整板131与阀体11的上表面垂直地配置的状态(图2的B所示的状态)之间可动。在前者的情况下，流入阀体11(阀室110)内的流体量(空气量)受到限制。在后者的情况下，流体朝向阀体11(阀室110)内的流入没有受到限制，会流入与不存在调整部13的情况同等的流体量(大气量)的流体。
位置控制部133对基于可动部132实现的调整板131的位置进行控制。例如，位置控制部133在应用了三通阀20的进气系统的主控制部的指示下，通过控制可动部131的可动状态来控制调整板131的位置。并且，基于位置控制部133实现的对第2端口11b的开口面积的调整量可以根据应用三通阀20的进气系统的构成部件的种类及其数量等适当地变更。
如图2所示，在具有这样的结构的三通阀20中，即使通过封闭板12a封闭了第1端口11a，与第1实施方式的三通阀10相同，第2端口11b也会成为经由调整部13对大气敞开的状态。这种情况下，当通过鼓风机用马达产生抽吸力时，大气被从第2端口11b吸入。
特别是，在第2实施方式的三通阀20中，能够与调整板13的配置相对应地调整流入阀体11(阀室110)内的大气量。例如，如图2的A所示，在调整板131为闭合状态的情况下，能够减少流入阀体11(阀室110)内的大气量。另一方面，如图2的B所示，在调整板131为打开状态的情况下，能够增加流入阀体11内的大气量。
并且，在图2中，举例示出了调整板131完全闭合的状态和完全打开的状态，但是，能够对应于调整板131的开度适当地调整流入阀体11内的大气量。例如，通过将调整板131配置在图2的A所示的状态(完全闭合的状态)与图2的B所示的状态(完全打开的状态)的中间位置，由此能够将流入阀体11内的大气量调整为图2的B所示的状态的一半左右。
这样，在本实施方式的三通阀20中具备调整部13，该调整部13能够使用于调整第2端口11b的开口面积的调整板131可动。因此，通过利用位置控制部133来控制调整板131的位置，能够将第2端口11b调整为所期望的开口面积。由此，能够灵活地调整从第2端口11b流入的流体(大气)的流入量。
以下，对应用了第2实施方式的三通阀20的进气系统的结构进行说明。图3是应用了第2实施方式的三通阀20的进气系统100的结构的说明图。并且，在图3中，对于与图1和图2相同的结构要素标记相同的标号(或者在相同的标号的末尾追加识别标号)，并省略其说明。
在图3中示出了进气系统100，所述进气系统100通过共用的鼓风机用马达来抽吸对半导体晶片等被加工物进行加工的多个加工台的表面。在此，示出了在对下述工作台进行抽吸的情况：在对半导体晶片进行磨削加工之前将半导体晶片的方向调整为一定的方向的校准工作台T1(以下，仅称作“工作台T1”)；粘贴对磨削加工后的半导体晶片进行支承的支承带的贴带工作台T2(以下，仅称作“工作台T2”)；以及将保护半导体晶片的器件部的保护带剥离的剥离工作台T3(以下，仅称作“工作台T3”)。
进气系统100构成为包括：鼓风机用马达15；与该鼓风机用马达15的抽吸口151连接的分支管16；与该分支管16连接的第1～第3配管14a～14c；与这些第1～第 3配管14a～14c连接的第1～第3抽吸部17a～17c；以及配设在这些第1～第3配管14a～14c上的第1～第3三通阀20a～20c。
鼓风机用马达15构成了本实施方式的进气系统100的单一的进气源。鼓风机用马达15具有抽吸口151和排出口152，并随着马达部的驱动从抽吸部151将抽吸力供给至进气系统100。并且，在本实施方式的进气系统100中，鼓风机用马达15产生的抽吸力固定，与第1～第3三通阀20a～20c的开闭状态无关。
分支管16与鼓风机用马达15的抽吸口151连接，将进气系统向三个方向分支。第1～第3配管14a～14c的一端部(上端部)分别与向三个方向分支的分支管16的第1～第3端部161～163连接。另一方面，第1～第3抽吸部17a～17c分别与这些第1～第3配管14a～14c的另一端部(下端部)连接。
第1抽吸部17a被配置成与工作台T1的表面对置。相同地，第2抽吸部17b被配置成与工作台T2的表面对置，第3抽吸部17c被配置成与工作台T3的表面对置。这些第1～第3抽吸部17a～17c分别具有比工作台T1～T3的在图3所示的Y轴方向上的外形尺寸长的形状。
这些工作台T1～T3构成为能够借助未图示的移动机构在图3所示的X轴方向上移动。通过将第1～第3抽吸部17a～17c设定为抽吸状态，并使工作台T1～T3沿图3所示的X轴方向移动，由此能够抽吸工作台T1～T3的整个表面。由此，能够去除例如残留在工作台T1～T3的表面的异物等。
第1三通阀20a配设在第1配管14a上。在第1三通阀20a中，第1端口11a经由第1配管14a与第1抽吸部17a连接，第3端口11c经由第1配管14a与分支管16(更具体来说是第1端部161)连接。并且，第2端口11b成为经由调整部13对大气敞开的状态。
相同地，第2三通阀20b配设在第2配管14b上。在第2三通阀20b中，第1端口11a经由第2配管14b与第2抽吸部17b连接，第3端口11c经由第2配管14b与分支管16(更具体来说是第2端部162)连接。并且，第2端口11b成为经由调整部13对大气敞开的状态。
另外，第3三通阀20c配设在第3配管14c上。在第3三通阀20c中，第1端口11a经由第3配管14c与第3抽吸部17c连接，第3端口11c经由第3配管14c与分支管16(更具体来说是第3端部163)连接。并且，第2端口11b成为经由调整部 13对大气敞开的状态。
在第1～第3三通阀20a～20c的开闭构件12上连接有切换控制部18，所述切换控制部18用于切换所述第1～第3三通阀20a～20c的开闭状态。切换控制部18通过使第1～第3三通阀20a～20c的开闭构件12动作来切换封闭板12a的封闭对象(第1端口11a或第2端口11b)。并且，在图3中，示出了将第3三通阀20c设为打开状态(即，将第2端口11b设为封闭状态)并将第1～第2三通阀20a～20b设为闭合状态(即，将第1端口11a设为封闭状态)的情况。
另外，在第1～第3三通阀20a～20c的可动部132上连接有对可动部132的可动状态进行控制的位置控制部133。位置控制部133通过控制第1～第3三通阀20a～20c的可动部132的可动状态来调整调整板131的位置。并且，在图3中，示出了这样的情况：在第3三通阀20c中设定为使调整板131闭合的状态，并且在第1～第2三通阀20a～20b中设定为使调整板131打开至中间位置的状态。
分别配设在第1～第3配管14a～14c上的风速测量部19a～19c与位置控制部133连接。这些风速测量部19a～19c分别配设在第1～第3三通阀20a～20c与分支管16的第1～第3端部161～163之间的第1～第3配管14a～14c上。这些风速测量部19a～19c分别测量第1～第3配管14a～14c内的风速，并将其测量结果输出至位置控制部133。在位置控制部133中，基于从风速测量部19a～19c输入的测量结果来控制可动部132的可动状态。更具体来说，位置控制部133对可动部132的可动状态进行控制，以便在变更第1～第3三通阀20a～20c的开闭状态的前后使风速测量部19a～19c测量出的风速不发生变化。
在图3所示的进气系统100中，当驱动鼓风机用马达15时，抽吸力经由设定为打开状态的第3三通阀20c被供给至第3抽吸部17c。由此，残留在工作台T3的表面上的异物等被抽吸而被去除。这种情况下，在第1～第2三通阀20a～20b中，大气从通过调整部13(调整板131)调整了开口面积的第2端口11b流入。
在此，在本实施方式的进气系统100中，即使切换第1～第3三通阀20a～20c的开闭状态，也能够以对各个工作台T1～T3的抽吸量相同的方式通过调整部13调整第2端口11b的开口面积。因此，能够与第1～第2三通阀20a～20b的开闭状态无关地将第3抽吸部17c中的抽吸力维持得固定。其结果是，能够防止因第3抽吸部17c的抽吸力与第1～第2三通阀20a～20b的开闭状态相对应地变化而引起的不良情 况。
考虑例如下述这样的情况：将第1～第3三通阀20a～20c的开闭状态从全部打开的状态切换为图3所示的状态。在第1～第3三通阀20a～20c全部为打开状态的情况下，来自鼓风机用马达15的抽吸力经由通过分支管16分支的进气系统被均等地供给至第1～第3抽吸部17a～17c。
如果从该状态开始将第1～第3三通阀20a～20c的开闭状态切换为图3所示的状态，则来自鼓风机用马达15的抽吸力仅被供给至第3抽吸部17c。这种情况下，当第1～第2三通阀20a～20b的第2端口11b被完全封闭时，切换前的状态的约3倍的抽吸力被供给至第3抽吸部17c。这样，在抽吸力增加的情况下，可能会发生在工作台T3上抽吸从半导体晶片剥离的保护带等周围部件这样的不良情况。
与此相对，在本实施方式的进气系统100中，通过第1～第3三通阀20a～20c的调整部13调整了第2端口11b的开口面积，使得对各个工作台T1～T3的抽吸量变得相同。由此，例如能够与第1～第2三通阀20a～20b的开闭状态无关地将第3抽吸部17c中的抽吸力维持得固定。其结果是，能够防止因第3抽吸部17c的抽吸力对应于第1～第2三通阀20a～20b的开闭状态发生变化而引起的不良情况。
特别是，在本实施方式的进气系统100中，通过位置控制部133控制可动部132的可动状态，以便在变更第1～第3三通阀20a～20c的开闭状态的前后使风速测量部19a～19c测量出的风速不发生变化。由此，能够基于第1～第3配管14a～14c的内部的风速的变化来控制调整板131的位置。由此，即使切换了第1～第3三通阀20a～20c的开闭状态，也能够高精度地将来自第3抽吸部17c的进气量维持得固定。
并且，本发明并不限定于上述实施方式的技术，能够进行各种变更来实施。在上述实施方式中，关于附图中图示的大小和形状等，并不限定于此，能够在可发挥本发明的效果的范围内适当地进行变更。此外，只要不脱离本发明的目的的范围，能够适当地变更并实施。
例如，在图3所示的进气系统100中，示出了通过分支管16使进气系统向三个方向分支的情况。可是，关于通过分支管16实现的进气系统的数量，并不限定于此，能够适当地进行变更。例如，还能够应用于使进气系统向两个方向分支的情况和向四个方向以上分支的情况。
另外，在图3所示的进气系统100中，对应用了第2实施方式的三通阀20的情 况进行说明。可是，关于在进气系统100中应用的三通阀，并不限定于第2实施方式的三通阀20，能够适当地进行变更。例如，以省略图3所示的位置控制部133的功能为前提，能够应用第1实施方式的三通阀10。
如以上所说明的那样，根据本发明，具有能够在抑制流路的开闭性能恶化的同时调整流体的流入量这样的效果，特别是对于具有将来自单一的进气源的抽吸力分支并使用的进气结构的装置或系统是有用的。