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本发明涉及一种羟基封端聚氟硅氧烷的制备方法,具体在室温惰性气体保护下以二苯基二硅醇锂作为非平衡性引发剂引发三氟丙基甲基环三硅氧烷进行阴离子开环聚合,反应至粘度恒定,加入封端剂水,减压脱除低沸得羟基封端聚氟硅氧烷。本发明利用引发剂用量控制产物的分子量,解决了水与反应体系不相容所导致的产物分子量可控性差的问题,而且引发剂分子结构中的苯基大分子基团能有效抑制阴离子开环聚合过程中的“回咬”与“再分布”副反。