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1、(10)申请公布号 CN 102873058 A(43)申请公布日 2013.01.16CN102873058A*CN102873058A*(21)申请号 201210309208.2(22)申请日 2012.08.28B08B 5/02(2006.01)(71)申请人贵州建新南海科技股份有限公司地址 550004 贵州省贵阳市新添大道北段266号(72)发明人方启彬 马剑钧 康宁(74)专利代理机构遵义市遵科专利事务所 52102代理人宋妍丽(54) 发明名称蓝宝石单晶炉测温仪观察镜片的清扫装置(57) 摘要一种蓝宝石单晶炉测温仪观察镜片的清扫装置，所述清扫装置包括带法兰三通管、真空微调阀和。
2、电磁阀，所述真空微调阀与三通管上端的法兰连接，电磁阀一端与真空微调阀通过金属管道相连，另一端连接与保护气体气源相连的胶管总成，三通管下方一端的法兰与单晶炉炉体密封连接，另一端的法兰通过法兰套、螺栓与红外测温仪相连，并将红外测温仪端部的石英玻璃观察镜片置于三通管端部法兰与法兰套之间的空隙中。本发明所述清扫装置能随时清扫附着在测温仪石英玻璃观察镜片上的粉尘，保证测温仪的精度和灵敏性。(51)Int.Cl.权利要求书1页 说明书2页 附图1页(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请权利要求书 1 页 说明书 2 页 附图 1 页1/1页21.一种蓝宝石单晶炉测温仪观察镜片的清扫装置，。
3、其特征在于：所述清扫装置包括带法兰三通管（1）、真空微调阀（2）和电磁阀（4），所述真空微调阀（2）与三通管（1）上端的法兰连接，电磁阀（4）一端与真空微调阀（2）通过金属管道（3）相连，另一端连接与保护气体气源相连的胶管总成（5），三通管（1）下方一端的法兰与单晶炉炉体密封连接，另一端的法兰通过法兰套（7）、螺栓（8）与红外测温仪（6）相连，并将红外测温仪端部的石英玻璃观察镜片（9）置于三通管端部法兰与法兰套之间的空隙中。2. 如权利要求1所述蓝宝石单晶炉测温仪观察镜片的清扫装置，其特征在于：三通管端部法兰与炉体之间装有密封圈，三通管另一端部法兰与法兰套（7）之间装有密封圈。权 利 要 求 。
4、书CN 102873058 A1/2页3蓝宝石单晶炉测温仪观察镜片的清扫装置技术领域0001 本发明涉及蓝宝石生产设备单晶炉测温仪观察镜片的清扫装置，用于清扫附着在石英玻璃镜片上的粉尘，保证测温仪的精度和灵敏性。背景技术0002 蓝宝石单晶炉在工作时需精确控制其炉内气氛的温度，目前工业上主要采用双色红外测温仪来测控炉内的温度。为保证炉内真空度或保护气体氛围，测温仪常通过密封的石英玻璃镜片与炉内空间隔离。而玻璃镜片上常常受到炉内气氛粉尘的污染，使测量精度和灵敏性下降。目前国际上对此问题还没有完善的处理办法。发明内容0003 本发明的目的是为解决上述问题，提供一种蓝宝石单晶炉中测温仪观察镜片的清扫。
5、装置。0004 所述清扫装置包括带法兰三通管、真空微调阀、电磁阀，所述真空微调阀与三通管上端的法兰连接，电磁阀一端与真空微调阀通过金属管道相连，另一端连接与保护气体气源相连的胶管总成，三通管下方一端的法兰与单晶炉炉体密封连接，另一端的法兰通过法兰套、螺栓与红外测温仪端部相连，并将红外测温仪端部的石英玻璃观察镜片置于三通管端部法兰与法兰套之间的空隙中。0005 本发明所述清扫装置能随时清扫附着在测温仪石英玻璃观察镜片上的粉尘，保证测温仪的精度和灵敏性。附图说明0006 图1是本发明所述清扫装置结构示意图。0007 图中：1-三通管、2-真空微调阀、3-金属管道、4-电磁阀、5-胶管总成、6-红外。
6、测温仪、7-法兰套、8-螺栓、9-观察镜片。具体实施方式0008 如图所示，本发明所述蓝宝石单晶炉测温仪观察镜片的清扫装置，包括带法兰三通管1、真空微调阀2、电磁阀4，所述真空微调阀2与三通管1上端的法兰连接，电磁阀4一端与真空微调阀2通过金属管道3相连，另一端连接与保护气体气源相连的胶管总成5，三通管1下方一端与单晶炉炉体密封连接，另一端通过法兰套7、螺栓8与红外测温仪端部6相连，并将红外测温仪端部的石英玻璃观察镜片9置于三通管端部法兰与法兰套之间的空隙中。为提高密封性，三通管端部法兰与炉体之间装有密封圈，通管另一端部法兰与法兰套之间也装有密封圈。0009 本发明装置与气源连通工作时能通过自动或人工指令向三通管道内吹出保护气体，将观察镜片上的粉尘吹掉，保证测温仪正常工作。说 明 书CN 102873058 A2/2页40010 本发明所述测温仪观察镜片清扫装置有以下特点：1、可采用电信号智能控制，定时启动，不间断清扫；2、由于该装置吹出的气体来自炉内气氛，即使吹回炉内也不会对炉内氛围有不利影响。说 明 书CN 102873058 A1/1页5图1说 明 书 附 图CN 102873058 A。