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本发明涉及一种超纯水制备装置及其超纯水制备方法,其中,超纯水制备装置包括一级淡水系统和二级淡炎系统,一级淡水系统包括横向叠置的若干换热板片,各相邻换热板片间交错形成第一换热通道和第二换热通道,第一换热通道的上方设有集流通道一,集流通道一与冷水进水管连通,第二换热通道的下方设有集流通道二,集流通道二与热媒进口连接,第一换热通道的下方和第二换热通道的上方敞开,第一换热通道内的中部分别设有布液成膜装置,。