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1、(10)申请公布号 CN 104350615 A(43)申请公布日 2015.02.11CN104350615A(21)申请号 201380030104.0(22)申请日 2013.05.2210-2012-0061374 2012.06.08 KRH01L 33/36(2006.01)H01L 33/42(2006.01)H01L 33/48(2006.01)G02F 1/13357(2006.01)(71)申请人 LG 伊诺特有限公司地址韩国首尔(72)发明人丁焕熙(74)专利代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司 11219代理人陈海涛 穆德骏(54) 发明名称发光器件、发光器件包装和。
2、光设备(57) 摘要根据一个实施方式的一种发光器件,所述发光器件包含:透明导电氧化物层;与所述透明导电氧化物层的底面接触的有源层;与所述有源层的底面接触的第一导电半导体层;电连接到所述第一导电半导体层的反射电极;和电连接到所述透明导电氧化物层的第一电极。(30)优先权数据(85)PCT国际申请进入国家阶段日2014.12.08(86)PCT国际申请的申请数据PCT/KR2013/004502 2013.05.22(87)PCT国际申请的公布数据WO2013/183876 KO 2013.12.12(51)Int.Cl.权利要求书2页 说明书14页 附图10页(19)中华人民共和国国家知识产权局。
3、(12)发明专利申请权利要求书2页 说明书14页 附图10页(10)申请公布号 CN 104350615 ACN 104350615 A1/2页21.一种发光器件,所述发光器件包含:透明导电氧化物层;与所述透明导电氧化物层的底面接触的有源层;与所述有源层的底面接触的第一导电半导体层;电连接到所述第一导电半导体层的反射电极;和电连接到所述透明导电氧化物层的第一电极。2.权利要求1的发光器件,其中所述透明导电氧化物层包含ITO和ZnO中的至少一种物质。3.权利要求1的发光器件,其中所述透明导电氧化物层的厚度在10nm500nm的范围内。4.权利要求1的发光器件,其中所述反射电极设置在所述第一导电半。
4、导体层之下。5.权利要求1的发光器件,其中构成所述有源层的第一阻挡层包含具有In或Al的氮化物半导体。6.权利要求5的发光器件,其中所述第一阻挡层与所述透明导电氧化物层的底面接触。7.权利要求1的发光器件,还包含设置在所述第一导电半导体层之下和所述反射电极周围的金属层。8.权利要求7的发光器件,其中所述金属层与所述第一导电半导体层的底面接触。9.权利要求7的发光器件,其中所述金属层具有与所述第一导电半导体层的底面接触的第一区域和从所述第一区域向外延伸的第二区域。10.权利要求7的发光器件,还包含在所述金属层之下的结合层和支持构件。11.权利要求1的发光器件,还包含在所述第一导电半导体层与所述反。
5、射电极之间的欧姆接触层。12.一种发光器件包装,所述发光器件包装包含:主体;在所述主体上的发光器件;以及电连接到所述发光器件的第一引线电极和第二引线电极,其中所述发光器件包含:透明导电氧化物层;与所述透明导电氧化物层的底面接触的有源层;与所述有源层的底面接触的第一导电半导体层;电连接到所述第一导电半导体层的反射电极;和电连接到所述透明导电氧化物层的第一电极。13.权利要求12的发光器件包装,其中所述透明导电氧化物层包含ITO和ZnO中的至少一种物质。14.权利要求12的发光器件包装,其中所述透明导电氧化物层的厚度在10nm500nm的范围内。15.权利要求12的发光器件包装,其中所述反射电极设。
6、置在所述第一导电半导体层之下。权 利 要 求 书CN 104350615 A2/2页316.权利要求12的发光器件包装,其中构成所述有源层的第一阻挡层包含具有In或Al的氮化物半导体。17.权利要求16的发光器件包装,其中所述第一阻挡层与所述透明导电氧化物层的底面接触。18.一种光设备,所述光设备包含:基板;在所述基板上的发光器件;和光学构件,所述光学构件充当发射自所述发光器件的光的光学通道,其中所述发光器件包含:透明导电氧化物层;与所述透明导电氧化物层的底面接触的有源层;与所述有源层的底面接触的第一导电半导体层;电连接到所述第一导电半导体层的反射电极;和电连接到所述透明导电氧化物层的第一电极。
7、。19.权利要求18的光设备,其中所述透明导电氧化物层包含ITO和ZnO中的至少一种物质。20.权利要求18的光设备,其中所述透明导电氧化物层的厚度在10nm500nm的范围内。权 利 要 求 书CN 104350615 A1/14页4发光器件、 发光器件包装和光设备技术领域0001 本实施方式涉及一种发光器件、发光器件包装和光设备。背景技术0002 发光二极管(LED)已经被广泛用作发光器件中的一种。所述LED通过使用复合半导体的特性将电信号转化成光的形式如近红外光、超紫外光和可见光。0003 随着发光器件光效率的提高,已经将LED用于各种领域如显示装置和照明电器中。发明内容0004 技术问。
8、题0005 本实施方式提供一种能够提高光提取效率的发光器件、发光器件包装和光设备。0006 技术方案0007 根据本实施方式的发光器件包括:透明导电氧化物层;与所述透明导电氧化物层的底面接触的有源层;与所述有源层的底面接触的第一导电半导体层;电连接到所述第一导电半导体层的反射电极;和电连接到所述透明导电氧化物层的第一电极。0008 根据本实施方式的发光器件包装包括:主体;在所述主体上的发光器件;以及电连接到所述发光器件的第一引线电极和第二引线电极,其中所述发光器件包括:透明导电氧化物层;与所述透明导电氧化物层的底面接触的有源层;与所述有源层的底面接触的第一导电半导体层;电连接到所述第一导电半导。
9、体层的反射电极;和电连接到所述透明导电氧化物层的第一电极。0009 根据本实施方式的光设备包括:基板;在所述基板上的发光器件;和光学构件,所述光学构件充当发射自所述发光器件的光的光学通道,其中所述发光器件包括:透明导电氧化物层;与所述透明导电氧化物层的底面接触的有源层;与所述有源层的底面接触的第一导电半导体层;电连接到所述第一导电半导体层的反射电极;和电连接到所述透明导电氧化物层的第一电极。0010 有益效果0011 根据本实施方式的发光器件、发光器件包装和光设备能够提高光提取效率。附图说明0012 图1是显示根据本实施方式的发光器件的视图。0013 图25是显示用于制造根据本实施方式的发光器。
10、件的方法的视图。0014 图6是显示根据本实施方式的发光器件的改进实例的视图。0015 图7是显示根据本实施方式的发光器件包装的视图。0016 图8是显示根据本实施方式的显示装置的视图。0017 图9是显示根据本实施方式的显示装置的另一个实例的视图。说 明 书CN 104350615 A2/14页50018 图1012是显示根据本实施方式的发光装置的视图。0019 图13和14是显示根据本实施方式的发光器件的另一个实例的视图。具体实施方式0020 在本实施方式的说明书中,应理解,当指层(或膜)、区域、图案或结构在另一个基板、另一个层(或膜)、另一个区域、另一个垫或另一个图案“上”或“下”时,其。
11、能够“直接”或“间接”地在其他基板、层(或膜)、区域、垫或图案之上,或还可存在一个以上的插入层。已经参考附图对所述层的这种位置进行了描述。0021 为了方便或清晰,示于附图中的各个层的厚度和尺寸可以放大、省略或示意性绘制。另外,元件的尺寸不完全反应实际尺寸。0022 下文中,将参考附图对根据本实施方式的发光器件、发光器件包装、光设备和制造所述发光器件的方法进行详细说明。0023 图1是显示根据本实施方式的发光器件的视图。0024 如图1中所示,根据本实施方式的发光器件可以包括有源层12、第一导电半导体层13、反射电极17、透明导电氧化物层30和第一电极80。0025 用于相关领域的发光器件中的。
12、发光结构包括掺杂有第一导电掺杂剂的第一导电半导体层和掺杂有第二导电掺杂剂的第二导电半导体层。然而,用于本实施方式的发光器件中的发光结构可以由第一导电半导体层13、有源层12和透明导电氧化物层30构成。0026 透明导电氧化物层30可以包括ITO(铟锡氧化物)或ZnO。例如,透明导电氧化物层30可以包括选自如下物质中的至少一种物质:ITO(铟锡氧化物)、IZO(铟锌氧化物)、AZO(铝锌氧化物)、AGZO(铝镓锌氧化物)、IZTO(铟锌锡氧化物)、IAZO(铟铝锌氧化物)、IGZO(铟镓锌氧化物)、IGTO(铟镓锡氧化物)、ATO(锑锡氧化物)、GZO(镓锌氧化物)、IZON(IZO的氮化物)和。
13、ZnO。0027 有源层12可以设置在透明导电氧化物层30之下。有源层12可以与透明导电氧化物层30的底面接触。第一导电半导体层13可以设置在有源层12之下。第一导电半导体层13可以与有源层12的底面接触。0028 反射电极17可以电连接到第一导电半导体层13。例如,反射电极17可以设置在第一导电半导体层13之下。第一电极80可以电连接到透明导电氧化物层30。例如,第一电极80可以设置在透明导电氧化物层30上。第一电极80可以与透明导电氧化物层30的顶面接触。0029 根据本实施方式,例如,第一电极80可以充当n型电极且反射电极17可以充当p型电极。在此情况中,第一导电半导体层13可以包含掺杂。
14、有作为第一导电掺杂剂的p型掺杂剂的p型半导体层。透明导电氧化物层30例如可以具有10nm500nm的厚度。透明导电氧化物层30具有优异的电流扩散特性,因此透明导电氧化物层30能够有效扩散从第一电极80输入的电流。透明导电氧化物层30可以扩散从第一电极80输入的电子,从而有效将电子迁移到有源层12。0030 例如,第一导电半导体层13可以包含p型半导体层。第一导电半导体层13可以通过使用复合半导体来实现。例如,第一导电半导体层13可以通过使用IIVI族复合半导体或IIIV族复合半导体来实现。说 明 书CN 104350615 A3/14页60031 例如,第一导电半导体层13可以通过使用具有组成。
15、式InxAlyGa1-x-yN(0x1,0y1,0x+y1)的半导体材料来实现。例如第一导电半导体层13可以包含掺杂有n型掺杂剂的选自如下物质中的一种:GaN、AlN、AlGaN、InGaN、InN、InAlGaN、AlInN、AlGaAs、GaP、GaAs、GaAsP和AlGaInP,所述n型掺杂剂为例如Mg、Zn、Ca、Sr和Ba。0032 有源层12利用通过透明导电氧化物层30注入的电子(或空穴)与通过第一导电半导体层13注入的空穴(或电子)的结合来发光,所述光的波长与构成有源层12的材料的能量带隙差相对应。有源层12可以具有如下结构中的一种:单量子阱(SQW)结构、多量子阱(MQW)结。
16、构、量子点结构和量子线结构,但本发明不限制于此。0033 有源层12可以通过使用复合半导体来实现。有源层12可以通过使用具有组成式InxAlyGa1-x-yN(0x1,0y1,0x+y1)的半导体材料来实现。当有源层12具有MQW结构时,有源层12可以通过堆叠多个阱层和多个阻挡层来形成。例如,有源层12可以具有InGaN阱层/GaN阻挡层的循环。0034 同时,第一导电半导体层13可以包含掺杂有作为第一导电掺杂剂的n型掺杂剂的n型半导体层。例如,第一导电半导体层13可以包含n型半导体层。例如,第一导电半导体层13可以通过使用复合半导体来实现。例如,第一导电半导体层13可以通过使用IIVI族复合。
17、半导体或IIV族复合半导体来实现。0035 例如,第一导电半导体层13可以通过使用具有组成式InxAlyGa1-x-yN(0x1,0y1,0x+y1)的半导体材料来实现。例如,第一导电半导体层13可以包含掺杂有n型掺杂剂的选自如下物质中的一种:GaN、AlN、AlGaN、InGaN、InN、InAlGaN、AlInN、AlGaAs、GaP、GaAs、GaAsP和AlGaInP,所述n型掺杂剂为例如Si、Ge、Sn、Se和Te。0036 另外,可以在均一或不均一的掺杂浓度下将杂质掺杂入第一导电半导体层13中。换言之,根据本实施方式的发光结构可以以各种方式构造,且本实施方式不限制于此。0037 另。
18、外,在第一导电半导体层13与有源层12之间可以形成第一导电InGaN/GaN超晶格结构或InGaN/InGaN超晶格结构。另外,在第一导电半导体层13与有源层12之间可以形成第一导电AlGaN层。0038 根据本实施方式,构成有源层12的第一阻挡层可以由包含In或Al的氮化物半导体形成。在此情况中,第一阻挡层可以与透明导电氧化物层30的底面接触。第一阻挡层可以与透明导电氧化物层30实现欧姆接触。0039 反射电极17可以设置在第一导电半导体层13之下。欧姆接触层15还可设置在第一导电半导体层13与反射电极17之间。金属层50可以设置在第一导电半导体层13之下和欧姆接触层15周围。金属层50可以。
19、设置在第一导电半导体层13下部的周围。金属层15可以设置在反射电极17周围。0040 金属层50可以与第一导电半导体层13的底面接触。金属层50的第一区域可以与第一导电半导体层13的底面接触。金属层50的第二区域可以从所述第一区域向外延伸。金属层50的第二区域可以从第一区域在水平方向上延伸。0041 例如,欧姆接触层15可以包含透明导电氧化物层。例如,欧姆接触层15可以包含选自如下物质中的至少一种:ITO(铟锡氧化物)、IZO(铟锌氧化物)、AZO(铝锌氧化物)、AGZO(铝镓锌氧化物)、IZTO(铟锌锡氧化物)、IAZO(铟铝锌氧化物)、IGZO(铟镓锌氧化物)、IGTO(铟镓锡氧化物)、A。
20、TO(锑锡氧化物)、GZO(镓锌氧化物)、IZON(IZO的氮化物)、说 明 书CN 104350615 A4/14页7ZnO、IrOx、RuOx、NiO、Pt和Ag。0042 反射电极17可以包含具有高反射率的材料。例如,反射电极17可以包含金属或其合金,所述金属包括Ag、Ni、Al、Rh、Pd、Ir、Ru、Mg、Zn、Pt、Cu、Au和Hf中的至少一种。另外,反射电极17可以以多层金属或其合金和透射导电材料的形式形成,所述透射导电材料为例如ITO(铟-锡-氧化物)、IZO(铟-锌-氧化物)、IZTO(铟-锌-锡-氧化物)、IAZO(铟-铝-锌-氧化物)、IGZO(铟-镓-锌-氧化物)、IG。
21、TO(铟-镓-锡-氧化物)、AZO(铝-锌-氧化物)或ATO(锑-锡-氧化物)。例如,根据本实施方式,反射电极17可以包含如下物质中的至少一种:Ag、Al、Ag-Pd-Cu合金和Ag-Cu合金。0043 欧姆接触层15可以与第一导电半导体层13实现欧姆接触。另外,反射电极17可以对从发光结构向其入射的光进行反射,从而提高向外部提取的光的量。0044 金属层50可以包含如下物质中的至少一种物质:Cu、Ni、Ti、Ti-W、Cr、W、Pt、V、Fe和Mo。金属层50可以充当扩散阻挡层。可以在金属层50之下设置结合层60和支持构件70。0045 金属层50在结合层60的设置过程中可以防止包含在结合层。
22、60中的材料扩散入反射电极17中。金属层50可以防止包含在结合层60中的材料如Sn对反射电极17施加影响。0046 结合层60可以包含阻挡金属或结合金属。例如,结合层60可以包括如下物质中的至少一种物质:Ti、Au、Sn、Ni、Cr、Ga、In、Bi、Cu、Ag、Nb、Pd和Ta。支持构件70可以在发挥热辐射功能的同时支持根据本实施方式的发光结构10。结合层60可以以籽晶层的形式实现。0047 支持构件70可以包含植入有Ti、Cr、Ni、Al、Pt、Au、W、Cu、Mo、Cu-W或杂质的至少一种半导体基板(例如Si、Ge、GaN、GaAs、ZnO、SiC和SiGe基板)。例如,支持构件70可以。
23、由绝缘材料形成。0048 根据本实施方式的发光器件可以包括电连接到透明导电氧化物层30的第一电极80。例如,第一电极80可以设置在透明导电氧化物层30上。第一电极80可以与透明导电氧化物层30接触。0049 根据本实施方式,可以通过反射电极17和第一电极80将电力施加到发光结构。根据本实施方式,第一电极80可以以多层的形式实现。第一电极80可以包括欧姆层、中间层和上层。欧姆层可以包括选自如下材料中的材料以实现欧姆接触:Cr、V、W、Ti和Zn。中间层可以通过使用选自Ni、Cu和Al中的材料来实现。例如,上层可以包含Au。第一电极80可以包括选自Cr、V、W、Ti、Zn、Ni、Cu、Al和Au中。
24、的至少一种。0050 用于相关领域的发光器件中的发光结构包括掺杂有第一导电掺杂剂的第一导电半导体层和掺杂有第二导电掺杂剂的第二导电半导体层。然而,用于本发明的发光器件中的发光结构可以由第一导电半导体层13、有源层12和透明导电氧化物层30构成。即,本实施方式使用透明导电氧化物层30代替根据相关领域的发光器件的第二导电半导体层。0051 因此,发射自有源层12的光子能够通过透明导电氧化物层30提取到外部。结果,发射自有源层12的光子不会被吸收在半导体层中,从而能够提高光效率。0052 下文中,将参考图25对根据本实施方式的发光器件的制造方法进行说明。0053 根据制造本实施方式的发光器件的方法,。
25、如图2中所示,在基板5上形成透明导电说 明 书CN 104350615 A5/14页8氧化物层30、有源层12和第一导电半导体层13。将透明导电氧化物层30、有源层12和第一导电半导体层13定义为发光结构10。0054 例如,基板5可以包括如下基板中的至少一种:蓝宝石基板(Al2O3)、SiC、GaAs、GaN、ZnO、Si、GaP、InP和Ge,但本实施方式不限制于此。可以将缓冲层设置在透明导电氧化物层30与基板5之间。0055 例如,透明导电氧化物层30可以通过溅射方案或MBE方案形成。透明导电氧化物层30可以包含ITO(铟锡氧化物)或ZnO。例如,透明导电氧化物层30可以包含选自如下物质。
26、中的至少一种物质:ITO(铟锡氧化物)、IZO(铟锌氧化物)、AZO(铝锌氧化物)、AGZO(铝镓锌氧化物)、IZTO(铟锌锡氧化物)、IAZO(铟铝锌氧化物)、IGZO(铟镓锌氧化物)、IGTO(铟镓锡氧化物)、ATO(锑锡氧化物)、GZO(镓锌氧化物)、IZON(IZO的氮化物)和ZnO。0056 有源层12可以形成在透明导电氧化物层30上。有源层12可以通过使用复合半导体来实现。例如有源层12可以通过使用IIVI族或IIIV族复合半导体来实现。另外,例如,有源层12可以通过使用具有组成式InxAlyGa1-x-yN(0x1,0y1,0x+y1)的半导体材料来实现。当有源层12具有MQW结。
27、构时,有源层12可以通过堆叠多个阱层和多个阻挡层来形成。例如,有源层12可以具有InGaN阱层/GaN阻挡层的循环。0057 第一导电半导体层13可以形成在有源层12上。例如,第一导电半导体层13可以包含p型半导体层。第一导电半导体层13可以包含复合半导体。例如,第一导电半导体层13可以通过使用IIVI族或IIIV族复合半导体来实现。0058 例如,第一导电半导体层13可以通过使用具有组成式InxAlyGa1-x-yN(0x1,0y1,0x+y1)的半导体材料来实现。例如,第一导电半导体层13可以包含掺杂有p型掺杂剂的选自如下物质中的一种:GaN、AlN、AlGaN、InGaN、InN、InA。
28、lGaN、AlInN、AlGaAs、GaP、GaAs、GaAsP和AlGaInP,所述p型掺杂剂为例如Mg、Zn、Ca、Sr和Ba。0059 同时,第一导电半导体层13可以包含掺杂有作为第一导电掺杂剂的n型掺杂剂的n型半导体层。例如,第一导电半导体层13可以包含n型半导体层。例如,第一导电半导体层13可以通过使用复合半导体来实现。例如,第一导电半导体层13可以通过使用IIVI族复合半导体或IIV族复合半导体来实现。0060 例如,第一导电半导体层13可以通过使用具有组成式InxAlyGa1-x-yN(0x1,0y1,0x+y1)的半导体材料来实现。例如,第一导电半导体层13可以包含掺杂有n型掺。
29、杂剂的选自如下物质中的一种:GaN、AlN、AlGaN、InGaN、InN、InAlGaN、AlInN、AlGaAs、GaP、GaAs、GaAsP和AlGaInP,所述n型掺杂剂为例如Mg、Zn、Ca、Sr和Ba。0061 另外,可以在均一或不均一的掺杂浓度下将杂质掺杂入第一导电半导体层13中。换言之,根据本实施方式的发光结构可以以各种方式构造,且本实施方式不限制于此。0062 另外,在第一导电半导体层13与有源层12之间可以形成第一导电InGaN/GaN超晶格结构或InGaN/InGaN超晶格结构。另外,可以在第一导电半导体层13与有源层12之间形成第一导电AlGaN层。0063 然后,如图。
30、13中所示,可以在第一导电半导体层13上形成欧姆接触层15和反射电极17。说 明 书CN 104350615 A6/14页90064 例如,欧姆接触层15可以包含透明导电氧化物层。例如,欧姆接触层15可以包含选自如下物质中的至少一种:ITO(铟锡氧化物)、IZO(铟锌氧化物)、AZO(铝锌氧化物)、AGZO(铝镓锌氧化物)、IZTO(铟锌锡氧化物)、IAZO(铟铝锌氧化物)、IGZO(铟镓锌氧化物)、IGTO(铟镓锡氧化物)、ATO(锑锡氧化物)、GZO(镓锌氧化物)、IZON(IZO的氮化物)、ZnO、IrOx、RuOx、NiO、Pt和Ag。0065 反射电极17可以包含具有高反射率的材料。。
31、例如,反射电极17可以包含金属或其合金,所述金属包括Ag、Ni、Al、Rh、Pd、Ir、Ru、Mg、Zn、Pt、Cu、Au和Hf中的至少一种。另外,反射电极17可以以多层金属或其合金和透射导电材料的形式形成,所述透射导电材料为例如ITO(铟-锡-氧化物)、IZO(铟-锌-氧化物)、IZTO(铟-锌-锡-氧化物)、IAZO(铟-铝-锌-氧化物)、IGZO(铟-镓-锌-氧化物)、IGTO(铟-镓-锡-氧化物)、AZO(铝-锌-氧化物)或ATO(锑-锡-氧化物)。例如,根据本发明,反射电极17可以包含如下物质中的至少一种:Ag、Al、Ag-Pd-Cu合金和Ag-Cu合金。0066 另外,如图4中所示。
32、,金属层50可以形成在反射电极17上。金属层50可以设置在欧姆接触层15周围和反射电极17上。金属层50可以包含如下物质中的至少一种物质:Cu、Ni、Ti、Ti-W、Cr、W、Pt、V、Fe和Mo。金属层50可以充当扩散阻挡层。金属层可以充当扩散阻挡层。0067 同时,用于形成层的上述方法仅出于示例性目的且方法的顺序可以以多种方式改变。0068 然后,如图4所示,将结合层60和支持构件70设置在金属层50上。金属层50在结合层60的设置过程中可以防止包含在结合层60中的材料扩散入反射电极17中。金属层50可以防止包含在结合层60中的材料如Sn对反射电极17施加影响。0069 结合层60可以包含。
33、阻挡金属或结合金属。例如,结合层60可以包含如下物质中的至少一种物质:Ti、Au、Sn、Ni、Cr、Ga、In、Bi、Cu、Ag、Nb、Pd和Ta。支持构件70可以在发挥热辐射功能的同时支持根据本实施方式的发光结构10。结合层60可以以籽晶层的形式实现。0070 支持构件70可以包含植入有Ti、Cr、Ni、Al、Pt、Au、W、Cu、Mo、Cu-W或杂质的至少一种半导体基板(例如Si、Ge、GaN、GaAs、ZnO、SiC和SiGe基板)。0071 然后,将基板5从透明导电氧化物层30除去。根据一个实例,通过激光剥离(LLO)工艺将基板5除去。所述LLO工艺是通过将激光照射到基板5的底面将基板。
34、5从透明导电氧化物层30分层的工艺。0072 然后,如图5中所示,通过隔离腐蚀工艺对发光结构10的横向侧面进行腐蚀以露出一部分金属层50。隔离腐蚀工艺可以通过干腐蚀工艺如诱导耦合等离子体(ICP)工艺来实施,但本实施方式不限制于此。0073 金属层50的第一区域可以设置在发光结构10之下。金属层50的第二区域可以从第一区域向外延伸。金属层50的第二区域可以从第一区域水平延伸。金属层50的第二区域可以暴露于发光结构的下外围部分。0074 另外,如图5中所示,第一电极80可以电连接到透明导电氧化物层30。例如,第一电极80可以设置在透明导电氧化物层30上。第一电极80可以与透明导电氧化物层30的顶。
35、面接触。说 明 书CN 104350615 A7/14页100075 根据本实施方式,第一电极80可以以多层的形式实现。第一电极80可以包括欧姆层、中间层和上层。欧姆层可以包含选自如下材料中的材料以实现欧姆接触:Cr、V、W、Ti和Zn。中间层可以通过使用选自Ni、Cu和Al中的材料来实现。例如,上层可以包含Au。第一电极80可以包括选自Cr、V、W、Ti、Zn、Ni、Cu、Al和Au中的至少一种。0076 根据本实施方式,例如,第一电极80可以充当n型电极且反射电极17可以充当p型电极。在此情况中,第一导电半导体层13可以包含掺杂有作为第一导电掺杂剂的p型掺杂剂的p型半导体层。透明导电氧化物。
36、层30例如可以具有10nm500nm的厚度。透明导电氧化物层30具有优异的电流扩散特性,从而透明导电氧化物层30能够有效扩散从第一电极80输入的电流。透明导电氧化物层30可以扩散从第一电极80输入的电子,从而有效将电子迁移到有源层12。0077 根据本实施方式,可以通过反射电极17和第一电极80将电力施加到发光结构。0078 用于相关领域的发光器件中的发光结构包括掺杂有第一导电掺杂剂的第一导电半导体层和掺杂有第二导电掺杂剂的第二导电半导体层。然而,用于本发明的发光器件中的发光结构可以由第一导电半导体层13、有源层12和透明导电氧化物层30构成。即,本实施方式使用透明导电氧化物层30代替根据相关。
37、领域的发光器件的第二导电半导体层。0079 因此,发射自有源层12的光子能够通过透明导电氧化物层30提取到外部。结果,发射自有源层12的光子不会被吸收在半导体层中,从而光效率能够提高。0080 上面已经描述,首先形成透明导电氧化物层30并在所述透明导电氧化物层30上依次形成有源层12和第一导电半导体层13。0081 然而,根据本另一个实施方式,与在相关领域的垂直发光器件中形成发光结构的工艺类似,在基板5上依次形成n型半导体层、有源层和p型半导体层。另外,当通过剥离工艺除去基板5时,结合到基板5的n型半导体层也会分离并在有源层上形成透明导电氧化物层30。另外,第一电极80电连接到透明导电氧化物层。
38、30。0082 图6是显示根据本实施方式的发光器件的另一个实例的视图。在关于图6中所示发光器件的如下说明中,为了避免冗余,将不再对与参考图1中所述的相同的组件和结构进行说明。0083 在根据本实施方式的发光器件中,将欧姆反射电极19设置在发光结构之下。以发挥参考图1所述的反射电极17和欧姆接触层15的功能的方式构造欧姆反射电极19。由此,欧姆反射电极19可以与第一导电半导体层13接触并具有对从发光结构向其入射的光进行反射的功能。0084 用于相关领域的发光器件中的发光结构包括掺杂有第一导电掺杂剂的第一导电半导体层和掺杂有第二导电掺杂剂的第二导电半导体层。然而,用于本实施方式的发光器件中的发光结。
39、构可以由第一导电半导体层13、有源层12和透明导电氧化物层30构成。0085 透明导电氧化物层30可以包括ITO(铟锡氧化物)或ZnO。例如,透明导电氧化物层30可以包含选自如下物质中的至少一种物质:ITO(铟锡氧化物)、IZO(铟锌氧化物)、AZO(铝锌氧化物)、AGZO(铝镓锌氧化物)、IZTO(铟锌锡氧化物)、IAZO(铟铝锌氧化物)、IGZO(铟镓锌氧化物)、IGTO(铟镓锡氧化物)、ATO(锑锡氧化物)、GZO(镓锌氧化物)、IZON(IZO的氮化物)和ZnO。0086 有源层12可以设置在透明导电氧化物层30之下。有源层12可以与透明导电氧说 明 书CN 104350615 A10。