头滑动器 本发明一般涉及一种能被合并在诸如磁或光盘驱动器之类的盘驱动器中的头滑动器。更具体地说，本发明涉及一种装在其气垫表面上的低悬浮型头滑动器，该气垫表面带有多个用来防止其表面粘着到盘表面上的垫。
在装有悬浮磁头系统的磁盘驱动器的领域中，磁头滑动器的悬浮高度已经显著减小，以提高磁记录介质或磁盘的存储密度，且减小磁盘驱动器的尺寸。随着悬浮高度的减小，磁盘表面必须高度光滑，以避免磁头滑动器与旋转磁盘之间的接触。然而，在接触起停(CSS)型磁盘驱动器中，当提高磁盘表面的平滑度时，在磁盘静止状态期间磁头滑动器可能粘着到磁盘上，并且可能妨碍磁盘驱动器的正常操作。
为了解决磁头滑动器的粘着问题，已经得知一种无粘着滑动器结构和一种区域构造介质结构。在无粘着滑动器结构中，形成在磁头滑动器中用来产生悬浮力的气垫表面(ABS)装有从ABS伸出的多个垫，以防止后者的粘着。在区域构造介质结构中，使在磁盘静止状态期间把磁头滑动器置于其上的磁盘表面中的CSS区局部粗糙化。提供这些结构，以减小磁头滑动器的ABS与磁盘表面的接触面积，以便使其间的粘着或摩擦力最小。
在常规的磁头滑动器中，还已知在相邻ABS的空气引入端形成一个楔形表面以让空气流到ABS上，以便当磁盘开始旋转时建立磁盘的容易和快速悬浮。如果以上的无粘着滑动器结构用于这样一种带有楔形表面的磁头滑动器，则磁头滑动器在磁盘刚开始旋转之后地初始悬浮阶段，可能产生滑动器主体的颠簸运动。当磁头滑动器产生颠簸时，在ABS与楔形表面之间的相互接合处或过渡部分重复地与磁盘表面接触，并且被诸如由磨损产生的粉末材料之类的灰尘弄脏。结果，可能使磁头磁盘界面(HDI)的可靠性降低。
从这种观点出发，解决方案一直是在带有楔形表面的磁头滑动器上形成粘着防止垫，其中至少一个垫在靠近空气引入端形成，以便延伸过在ABS与楔形表面之间的相互接合处或过渡部分(见，例如，日本未审查专利公开(Kokai)No.9-293223(JP-A-9-293223))。在这种结构中，在磁头滑动器处在其初始悬浮阶段中的颠簸期间，靠近空气引入端的垫与磁盘表面接触，并且由此用来防止接合部分由于与磁盘表面接触而被弄脏。
在带有由相邻空气引入端提供的楔形表面的磁头滑动器中，楔形表面在通过例如离子切削或离子束刻蚀过程在滑动器主体上形成ABS之前，通常由磨削之类的机械加工过程形成。在这种情况下，加工的楔形表面往往在气流方向上具有较大的尺寸公差，并且其公差基本上由于加工过程而在气流方向上有楔形表面的基准尺寸的百分之几十的量级。然后，在形成楔形表面之后和在形成ABS之前，通过例如在加工楔形表面、和在以后阶段形成ABS的表面部分上的希望位置处的离子切削或离子束刻蚀过程，形成上述的粘着防止垫。
在无粘着滑动器结构中，当粘着防止垫与磁盘的总接触表面面积减小时，在滑动器与磁盘之间引起的粘着或摩擦力因而被降低。在这种情况下，在ABS与楔形表面之间的相互接合处或过渡部分，由于楔形表面的加工过程而引起的尺寸公差往往具有位置偏差。另一方面，粘着防止垫一般准确地形成在磁头滑动器表面上的预定位置处，并且每个垫的位置偏差较小。因而，当粘着防止垫形成时，在靠近空气引入端的延伸过接合部分的垫表面，具备一般平行于ABS、且具有粘着防止效果的表面部分，并且表面部分的表面面积可能波动。
结果，粘着防止垫与磁盘的总接触面积可能波动，并因而粘着力在滑动器与磁盘之间是不均匀的。就是说，即使粘着防止垫准确地形成在预定位置处，粘着防止垫与磁盘的总接触面积也随着加工楔形表面的尺寸减小而增大，这导致粘着力的增大，并因而可能干扰磁盘驱动器的正常操作。
因此本发明的一个目的在于提供一种低悬浮型头滑动器，该头滑动器能解决上述问题，并且因而能改进盘驱动器的性能。
本发明的另一个目的在于提供一种低悬浮型、采用无粘着滑动器结构的头滑动器，该头滑动器能消除滑动器与盘之间的粘着力的不均匀度或至少使其最小，并且还能防止在ABS与楔形表面之间的相互接合处或过渡部分被弄脏。
本发明的又一个目的在于提供一种其中包含有一个改进头滑动器的驱动器，以实现大容量和高密度性能。
按照本发明，提供了一种头滑动器，该头滑动器包括：一个滑动器主体，它具备一个布置在该滑动器主体的一个表面中的气垫表面、和一个在相邻该气垫表面的空气引入端布置的楔形表面；至少一个第一垫，形成在气垫表面上并且从其伸出，该至少一个第一垫在靠近气垫表面与楔形表面之间的接合部分定位；及至少一个第二垫，形成在楔形表面上并且从其伸出，该至少一个第二垫在靠近接合部分而远离至少一个第一垫处定位。
在本发明的一个最佳方面，第一垫与接合部分隔开。
而且，在本发明一个最佳方面，第二垫与接合部分隔开。
最好把气流方向上第一垫与第二垫之间的距离，确定为楔形表面在气流方向的尺寸公差的至少两倍。
在这种布置中，尺寸公差可以是楔形表面在气流方向的基准尺寸的10％至30％。
多个第一垫可以相对于接合部分对着相应的多个第二垫来布置。
头滑动器可以进一步包括至少一个形成在气垫表面和楔形表面上并且从其伸出的第三垫，该至少一个第三垫延伸过接合部分。
至少一个第一垫可以相对于气流方向布置在滑动器主体的一侧。
在这种布置中，至少一个第二垫可以相对于气流方向布置在滑动器主体的一侧。
本发明还提供一个包括上述头滑动器的盘驱动器。
该盘驱动器可以进一步包括一个具备盘表面上的局部粗糙区域的盘，其中相对于头滑动器的滑动主体的一侧的另一侧是比前一侧靠近局部粗糙区域定位的。
本发明进一步提供了一种头滑动器，该头滑动器包括：一个滑动器主体，具备一个布置在该滑动器主体的一个表面中的气垫表面、和一个在相邻该气垫表面的空气引入端布置的楔形表面；及至少一个垫，形成在气垫表面上并且从其伸出，该至少一个垫靠近气垫表面与楔形表面之间的接合部分并在楔形表面外侧定位，即使当楔形表面具有在气流方向的最大尺寸极限的大小时也是如此。
由如下联系附图的最佳实施例的描述，将使本发明的以上和其他目的、特征、和优点变得更清楚，在附图中：
图1A是根据本发明一个实施例的一种磁头滑动器的仰视图；
图1B是图1A的磁头滑动器的侧视图；
图2是图1A的磁头滑动器的部分放大仰视图；
图3是图1A的磁头滑动器和磁盘的部分放大侧视图，表示磁头滑动器的尺寸和位置；
图4是图1A的磁头滑动器的具体例子的仰视图；
图5是图1A的磁头滑动器的改进的部分放大仰视图，
图6是能利用图1A的磁头滑动器的磁盘驱动器的示意俯视图；
图7A是根据本发明另一个实施例的一种磁头滑动器的仰视图；
图7B是图7A的磁头滑动器的侧视图；
图8是图7A的磁头滑动器的改进的部分放大仰视图；
图9A是根据本发明又一个实施例的一种磁头滑动器的仰视图；
图9B是图9A的磁头滑动器的侧视图；
图10是图1A的磁头滑动器的改进的部分放大仰视图；
图11是根据本发明又一个实施例的一种磁头滑动器的部分放大仰视图。
现在参照附图，其中相同或类似的元件用相同的标号指示，图1A和1B示意地表示根据本发明一个实施例的一种磁头滑动器10。磁头滑动器10包括一个在平面图中一般为矩形形状的滑动器主体12、一对形成在滑动器主体12的主要表面上用来产生悬浮力的空气垫表面(ABS)14、及一对分别在相邻滑动器主体12上的ABS14的空气引入端形成的用来便于气流引入到ABS14上的楔形表面16。ABS14分别提供在两个导轨18的表面上，导轨18通过例如离子切削或离子束刻蚀过程形成在滑动器主体12的主要表面上。楔形表面16通过诸如磨削之类的加工过程分别形成在导轨18上，与后者的空气引入端相邻。提供一个其中包括记录/复制元件(未表示)的磁头部分20，与ABS14的空气排出端相邻。
磁头滑动器10具有一种无粘着滑动器结构，其中形成多个垫以在每个ABS14上的预定位置处伸出，用来防止ABS的粘着。磁头滑动器10的粘着防止垫包括：一对“空气引入侧”垫24，如此布置从而每个ABS14一个，并且靠近相互接合ABS14和对应楔形表面16的接合处或过渡部分22；及一对“空气排出侧”垫26，如此布置从而每个ABS14一个，并且向ABS14的空气排出端远离相应空气引入侧垫24。空气引入侧垫24的每一个构成本发明的一个第一垫。在说明的实施例中，每个第一垫24向空气排出端隔开每个接合部分22。
磁头滑动器10还包括一对辅助垫28，如此布置从而每个楔形表面16一个，且靠近接合部分22，并且向ABS14的空气引入端隔开相应第一垫24一个下述的预定距离。辅助垫28的每一个构成本发明的一个第二垫。在说明的实施例中，每个第二垫28向空气引入端隔开每个接合部分22。而且在说明的实施例中，每个第二垫28相对于接合部分22相对着每个第一垫24布置。应该注意，在本说明书中定义第一和第二垫24、28与接合部分22之间位置关系的术语“靠近”，不仅指图1中所示的这样一种布置，其中第一和第二垫24、28分别向空气排出和引入端稍微隔开接合部分22；而且指联系图7A或9A在以后描述的这样一种布置，其中第一垫24的前边缘或第二垫28的后边缘与接合部分22对准。
用来形成磁头滑动器上多个垫的过程的一个例子公开在JP-A-9-293223中，并且表示在附属其中的图1至5中。根据本发明一个实施例的磁头滑动器10可以通过一个一般对应于在该公开中描述的先有技术过程的过程产生。下面描述用于磁头滑动器10的制造过程。
首先，由一个其上形成多个磁电传感器(记录/复制元件)的晶片切出一个棒形件，并且把楔形表面16通过一个机械加工过程形成在棒形件上。然后，通过在加工楔形表面16和在以后阶段形成ABS14的表面部分上成层金刚石状碳(DLC)薄层，提供一个垫层。垫层在其希望的垫形成区域处用一个抗蚀膜覆盖，然后刻蚀以在希望位置处形成垫24、26、28。此后，分别包括其上带有垫24、26、28的ABS14的导轨18经另一个刻蚀过程形成。最后，切削带有导轨18和其上形成的垫24、26、28的棒形件，以产生磁头滑动器10。
在以上用于磁头滑动器10的制造过程中，在第一刻蚀过程中使用一个用来分别把预定垫形成区域掩盖在抗蚀膜中的掩模图案，该预定垫形成区域被限定在楔形表面16和用于ABS14的表面部分上。掩模图案包括如此定位的掩模部分，从而不延伸过在楔形表面16与用于ABS14的表面部分之间的接合部分22。把用这个掩模图案掩盖的抗蚀膜暴光和显影，并借此把抗蚀膜部分分别留在楔形表面16和用于ABS14的表面部分上。在这种状态下，刻蚀DLC薄层，并借此按照下面描述的特征位置关系，把包括第一或空气引入侧垫24和第二或辅助垫28的多个垫形成在楔形表面16和用于ABS14的表面部分上。
在通过以上过程制造的磁头滑动器10中，第一或空气引入侧垫24、空气排出侧垫26及第二或辅助垫28以彼此基本相同的表面面积形成。尽管图1B以放大比例表示导轨和垫，特别是对于其高度，但在滑动器主体12上的每个导轨18的高度通常在几个μm(微米)的量级上，而在ABS14和楔形表面16上的第一垫24、空气排出侧垫26及第二垫28的每一个高度通常在几十nm(纳米)的量级上。
在气流方向上在每个导轨18上的第一垫24与第二垫28之间测得的直线距离“L”(图2)，被设计成是以气流方向上定义的每个楔形表面16的尺寸公差的至少两倍。就是说，在图2中，如果把每个楔形表面16机械加工成基准尺寸，并且每个接合部分22沿一个基准位置“P”安置，则在气流方向在接合部分22与第一垫24之间测得的直线距离“L1”代表上公差，而在气流方向在接合部分22与第二垫28之间测得的直线距离“L2”代表下公差。应该注意，在本说明书中，“尺寸公差”指基准尺寸与尺寸的最大或最小极限之间的差，“上尺寸公差”指基准尺寸与尺寸的最大极限之间的差，而“下尺寸公差”指基准尺寸与尺寸的最小极限之间的差。
在磁头滑动器10中，加工楔形表面16的尺寸公差，是例如在气流方向测得的楔形表面16的基准尺寸的10％至30％。在这种情况下，如果在气流方向测得的楔形表面16的基准尺寸是100μm，且尺寸公差是基准尺寸的10％，则在气流方向测得的楔形表面16的长度可以在90μm至110μm的范围内。
在每个导轨18上的垫24、28能合作防止每个接合部分22与磁盘“M”(图3)的表面接触的条件下，选择每个第一垫24与每个第二垫28之间的位置和尺寸。例如，在图3中，应该理解，能防止接合部分22与磁盘表面的接触，其条件是楔形表面16相对于ABS14的楔形角θ、第一垫24的高度“h1”、第二垫28的高度“h2”、接合部分22与第一垫24之间的距离“L1”、及接合部分22与第二垫28之间的距离“L2”有如下定义的相互关系：
tan-1(h1/L1)+tan-1(h2/L2)＞θ
因而，假定在气流方向测得的楔形表面16的基准尺寸是100μm，其尺寸公差是10μm，及第一和第二垫24、28的每一个的高度“h1”、“h2”都是50μm，就必须把接合部分22与第一和第二垫24、28之间的距离“L1”、“L2”确定在10μm至12.5μm的范围内。
依据磁盘表面的粗糙度、润滑剂性质等，可以选择第一或空气引入侧垫24和空气排出侧垫26的总表面面积的最佳值。第二或辅助垫28的表面面积没有规定。第一垫24、空气排出侧垫26和第二垫28的每一个的表面轮廓可以是各种形状，如圆形、椭圆形、矩形等等。空气排出侧垫26在每个导轨18上的位置可以在希望区域中选择，只要它在磁头滑动器的悬浮状态期间不与磁盘表面接触。
具有以上结构的磁头滑动器10具有如下的各种显著特性效果。采用无粘着结构的滑动器10有可能通过使作为介质的磁盘“M”(图3)的表面高度平滑，有效地减小其悬浮高度。在产生于其初始悬浮阶段中的磁头滑动器10的颠簸运动期间，形成在每个导轨18上的第二、辅助垫28和相对于接合部分22与其相对的第一、空气引入侧垫24合作与磁盘“M”的表面接触，并由此防止第一和第二垫24、28之间的每个接合部分22由于与磁盘“M”的表面接触而被弄脏。
而且，由于通过加工过程形成的每个楔形表面16，在气流方向具有其中误差可以在尺寸公差内的长度，故有可能防止此后形成的第一和第二垫24、28跨过接合部分22定位。因此，能防止空气引入和排出侧垫24、26与磁盘接触的总表面面积的波动，并且由此能消除滑动器与磁盘之间的粘着或摩擦力的不均匀。结果，由于空气引入和排出侧垫24、26的每一个准确形成在希望位置处，故有可能得到与希望值一致的粘着力，即使当每个楔形表面16以尺寸公差内的误差形成时也是如此。
图4表示作为以上磁头滑动器10的具体例子一种磁头滑动器30。磁头滑动器30具有类似于磁头滑动器10的结构，与滑动器10的元件相同或相应的滑动器30的元件用共用标号指示，并且不重复描述。磁头滑动器30包括一个在靠近空气引入端且在一对侧导轨18之间的位置处形成的附加中心导轨32。中心导轨32在其表面上带有一个气垫表面(ABS)34和一个楔形表面36。一个负压表面38形成在中心导轨32的以气流方向定义的下游侧处，由于空气流过中心导轨32而在该负压表面38上产生负压。
磁头滑动器30在每个侧导轨18上装有一个第一空气引入侧垫24、一个空气排出侧垫26和一个第二或辅助垫28。因此，磁头滑动器30拥有类似于磁头滑动器10的特性效果。而且，磁头滑动器30可以装有能以相同方式形成在中心导轨32的ABS34和楔形表面32上的一个第一或空气引入侧垫和一个第二或辅助垫。所有这样的改进都在本发明的范围内。例如，在带有通过连接侧导轨18和中心导轨32设计的U形导轨40的磁头滑动器中，如图5中所示，多个第一或空气引入侧垫24和多个第二或辅助垫28可以分别形成在一个气垫表面42和一个楔形表面44上。
图6表示根据本发明一个实施例的磁盘驱动器50的内部结构，以上的磁头滑动器10或30包含在其中。磁盘驱动器50包括一个作为壳体部分的基座52、一个在基座上以高速在箭头A所示方向旋转的磁盘54、及一个把磁头滑动器10或30携带在悬架56的远端上的臂58。臂58在基座上在由箭头B所示的方向上摆动，并且磁头滑动器10或30在径向扫描磁盘54的表面。通常，多个磁盘54同轴地叠置且同步地旋转，并且臂58以及磁头滑动器10或30布置在每个磁盘54的两侧处。在磁盘驱动器50中，由于磁头滑动器10或30的上述特性效果，故有可能提高记录性能的容量和密度。
在以上实施例的磁头滑动器10、30中，所有第一、空气引入侧垫24布置在ABS14上，靠近接合部分22而不伸过后者，而第二、辅助垫28相对于接合部分22对着相应的第一垫24布置。然而，本发明不限于这样一种结构，而可以建造成仅布置第一垫24的一些，以便不伸过接合部分22。图7A和7B示意地表示具有这样一种结构的、根据本发明另一个实施例的一种磁头滑动器60。与磁头滑动器10的元件相同或相应的磁头滑动器60的元件用共用标号指示，并且不重复描述。
磁头滑动器60包括一个第一导轨18A和一个第二导轨18B，第一导轨18A和第二导轨18B分别在靠近一个滑动器主体12的、在相对气流方向定义的相对侧边缘形成。磁头滑动器60在第一导轨18A上装有：一个第一或空气引入侧垫24，布置在ABS14上，以便靠近一个互连ABS14和一个相应楔形表面16的接合处或过渡部分22；一个空气排出侧垫26；及一个第二或辅助垫28，布置在楔形表面16上，以便靠近接合部分22，并且向ABS14的空气引入端隔开第一垫24。
在气流方向上在第一导轨18A上的第一、空气引入侧垫24与第二、辅助垫28之间测得的直线距离“L”，被确定为在气流方向限定的楔形表面16的尺寸公差的至少两倍。在这个实施例中，第一垫24以气流方向定义的前边缘与接合部分22对齐。因此，在这种布置中，每个导轨18的楔形表面16在气流方向形成尺寸的最大极限。就是说，每个接合部分22从基准位置“P”向ABS的空气排出端移动或偏移。
磁头滑动器60还在第二导轨18B上装有：一个空气引入侧垫62，布置在一个ABS14和一个相应楔形表面16上，以便伸过一个互连ABS14和楔形表面16的接合处或过渡部分22；和一个空气排出侧垫26，如此布置以便向ABS的空气排出端远离空气引入侧垫62。空气引入侧垫62构成本发明的一个第三垫。因此，第三垫62用来仅在位于接合部分22的以气流方向定义的下游的表面部分62a中，防止ABS粘着到磁盘上。
在具有上述结构的磁头滑动器60中，第一或空气引入侧垫24、第二或辅助垫28及第三或空气引入侧垫62合作防止每个导轨18的每个接合部分22，在其初始悬浮阶段中产生的磁头滑动器60的颠簸运动期间由于与磁盘表面的接触而弄脏。关于第三、空气引入侧垫62，如果接合部分22由于加工楔形表面16的尺寸波动而在气流方向移动或偏离，则第三垫62的表面部分62a的表面面积变化，从而影响滑动器与磁盘之间的粘着力。另一方面，在第一导轨18A中，由于楔形表面16在气流方向具有其误差在尺寸公差内的长度，故有可能以与磁头滑动器10中的相同方式，防止第一和第二垫24、28跨过接合部分22定位。因此，能使第一和第三垫24、62以及空气排出侧垫26与磁盘接触的总表面面积的波动最小，并且由此能减小滑动器与磁盘之间的粘着或摩擦力的不均匀。结果，磁头滑动器60有可能得到近似等于希望值的粘着力。
以上磁头滑动器60可以有效地用于采用区域构造介质结构的磁盘驱动器中，其中使在磁盘静止状态期间磁头滑动器60置于其上的磁盘表面中的CSS区局部粗糙化。例如，在图6所示的磁盘驱动器50中，磁盘54可以包括一个在磁盘表面的内周缘区域中作为CSS区64的粗糙表面部分，并且可以以这种方式包含磁头滑动器60，从而其第二导轨18B定位到磁盘54的内周缘区域，并且在磁盘静止状态期间可靠地位于CSS区64上。根据这种布置，有可能防止滑动器与磁盘之间的粘着力受到影响，即使由于加工楔形表面16的尺寸波动而使第三垫62的表面部分62a的表面面积变化也是如此。就是说，当磁头滑动器60在磁盘54的静止状态期间定位于在磁盘54的径向稍微移动的一个位置处，并且只有第一导轨18A脱离CSS区64以置于一个数据区66上时，就能在第一导轨18A上的第一或空气引入侧垫24、和空气排出侧垫26防止ABS的粘着。
磁头滑动器60中第一和第三垫24、62的上述布置还可以用在一种具有U形导轨40的磁头滑动器中，如图8中所示。在这种情况下，希望数量的第一、第二和第三垫24、28、62可以形成在一个ABS42和一个楔形表面44上。当第一垫24和对应第二垫28相对于气流方向而布置在滑动体的一侧时，磁头滑动器可以有效地用于采用上述区域构造介质结构的磁盘驱动器中。
如果磁头滑动器用于采用区域构造介质结构的磁盘驱动器中，则还有可能相对于气流方向把所有粘着防止垫布置在滑动器主体的一侧。图9A和9B示意地表示具有这样一种结构的根据本发明又一个实施例的一种磁头滑动器70。与磁头滑动器10的元件相同或相应的磁头滑动器70的元件用共用标号指示，并且不重复描述。
磁头滑动器70包括一个第一导轨18A和一个第二导轨18B，第一导轨18A和第二导轨18B分别在靠近一个滑动器主体12的、在相对气流方向定义的相对侧边缘形成。磁头滑动器70在第一导轨18A上没有装粘着防止垫，仅在第二导轨18B上装有一个第一或空气引入侧垫24、一个空气排出侧垫26、及一个第二或辅助垫28。
在气流方向上在第二导轨18B上的第一、空气引入侧垫24与第二、辅助垫28之间测得的直线距离“L”，被确定为是在气流方向上限定的楔形表面16的尺寸公差的至少两倍。在这个实施例中，第二垫28以气流方向定义的后边缘与接合部分22对齐。因此，在这种布置中，每个导轨18的楔形表面16在气流方向形成尺寸的最小极限。就是说，每个接合部分22从基准位置“P”向ABS的空气引入端移动或偏移。
具有以上结构的磁头滑动器70也可以有效地用于例如在图6所示的磁盘驱动器50中，磁盘驱动器50采用区域构造介质结构。在这种情况下，磁盘54可以包括一个在磁盘表面的外周缘区域中作为CSS区64’的粗糙表面部分，并且可以以这种方式包含磁头滑动器70，从而其第一导轨18A被定位到磁盘54的外周缘区域，并且在磁盘静止状态期间可靠地位于CSS区64’上。根据这种布置，有可能防止滑动器与磁盘之间的粘着。而且，当磁头滑动器70在磁盘54的静止状态期间定位于在磁盘54的径向稍微移动的一个位置处，并且只有第二导轨18B脱离CSS区64’以置于一个数据区66上时，在第二导轨18B上的第一或空气引入侧垫24和空气排出侧垫26能防止ABS的粘着。
而且，在本发明中，可以定位在相对于一个接合部分22在相对侧布置的第一或空气引入侧垫和第二或辅助垫，从而不是刚好彼此相对着，如图10中所示。在图10中所示的改进中，一对侧导轨18的每一个分别形成在一个滑动器主体12的在相对于气流方向定义的相对侧边缘附近，该对侧导轨18的每一个装有一个第一或空气引入侧垫24，并且一个在靠近一个空气引入端、且处在侧导轨18之间的位置处形成的附加中心导轨32，在其一个楔形表面36上装有一个第二或辅助导轨28，第二或辅助导轨28在远离每个第一垫24且靠近一个接合部分22的位置处。这种布置也拥有与上述磁头滑动器10相同的特性效果，因为在气流方向上在每个第一垫24与第二垫28之间测得的距离“L”，被确定为是在气流方向上限定的楔形表面16的尺寸公差的至少两倍。
一般地，在具有无粘着滑动器结构的磁头滑动器中，依靠磁盘表面的粗糙度、润滑剂性质等，可以优化多个粘着防止垫与磁盘表面接触的总表面面积，以得到希望的粘着或摩擦力。在这方面，为了确定粘着防止垫的总表面面积，一种用来估计粘着力的磁头滑动器已经用来测量和估计指定磁盘上的粘着力，这种磁头滑动器具有等效于实际装入磁盘驱动器中的磁头滑动器的结构。
建造这样一种用于粘着力估计的磁头滑动器，以在磁盘开始旋转之后、且在磁头滑动器开始悬浮之前的时间期间，测量在其上带有一个磁头滑动器的一个摆动臂中引起的失真，并由此估计粘着力。因此，考虑到磁盘上滑动器的悬浮性能，不需要设计用于估计的磁头滑动器。另一方面，需要使多个粘着防止垫形成准确尺寸，因为垫表面面积的波动影响粘着力。在这样一种情况下，必须防止加工楔形表面的尺寸公差影响粘着防止垫的尺寸。为此目的，本发明还提供了一种用于粘着力估计的磁头滑动器，该磁头滑动器采用上述第一或空气引入侧垫的结构。
图11以部分放大视图表示一种根据本发明一个实施例的、用于粘着力估计的磁头滑动器80。与磁头滑动器10的元件相同或相应的磁头滑动器80的元件用共用标号指示，并且不重复描述。
磁头滑动器80装有一对如此布置的第一或空气引入侧垫24，使每个第一垫24用于一对导轨18的每一个并且靠近接合部分22。每个第一垫24定位在每个导轨18上的在气流方向的楔形表面16的尺寸的最大极限外侧的一个位置处。就是说，如果每个楔形表面16被加工成基准尺寸，并且每个接合部分22沿基准位置“P”安置，则把在气流方向上的在每个接合部分22与每个第一垫24之间测得的直线距离“L”选择为至少是上公差。
在具有以上结构的磁头滑动器80中，由于通过加工过程形成的每个楔形表面16，在气流方向具有误差在尺寸公差内的长度，故有可能防止此后形成的第一垫24跨过接合部分22定位。因此，能防止空气引入和排出侧垫24、26与磁盘接触的总表面面积的波动，并且由此能消除滑动器与磁盘之间的粘着或摩擦力的不均匀。结果，由于空气引入和排出侧垫24、26的每一个准确形成在希望位置处，故有可能得到与希望值一致的粘着力，甚至当每个楔形表面16以尺寸公差内的误差形成时也是如此。因此，磁头滑动器80能有效地用于粘着力的估计。
应该注意，没有安装在以前实施例中形成的辅助垫的磁头滑动器80，不能在初始悬浮阶段中产生的磁头滑动器80的颠簸运动期间，防止在一个ABS14与楔形表面16之间的每个接合部分22，由于与磁盘表面接触而被弄脏。然而，磁头滑动器80专门用于粘着力的估计，从而不必考虑这样一种困难。
本发明不仅可以用于磁头滑动器和使用它们的磁盘驱动器，如在上述实施例中那样，而且可以用于在诸如光盘驱动器之类的其他盘驱动器中使用的其他各种头滑动器，和这样的其他盘驱动器。
由以上描述显见，本发明提供了一种在空气引入端处带有一个楔形表面的低悬浮型头滑动器，该头滑动器通过采用无粘着滑动器结构能减小悬浮高度，并且能消除或至少减小滑动器与盘之间的粘着力的不均匀，以防止互接ABS和楔形表面的一个接合部分被弄脏。本发明还能通过把本发明的头滑动器装入盘驱动器中，提高盘驱动器的记录性能的容量和密度。
尽管参照其最佳实施例已经具体地表示和描述了本发明，但熟悉本专业的技术人员将会理解，可在不脱离如下权利要求书的精神和范围的情况下进行各种变更和修改。