基于热位移的微进给系统.pdf

本发明公开了一种在恒温室工作的基于热位移的微进给系统。它具有一级进给装置和二级进给装置,一级进给装置采用滚珠丝杆,二级进给装置在微位移工作腔内,它具有变形体,变形体上设有前、后几个定位块,定位块上、下设有隔热板,前、后两隔热板上分别设有前压力调节螺丝、后压力调节螺丝,在变形体上间隔设有冷源热源驱动器,冷源热源驱动器相应处设有温度感知器,变形体一端设有位移感知器。本发明的优点是:1)在微进给机构中,直接用变形体的热位移作为微进给,从而消除大部分链路,提高进给精度。2)变形体取材容易,成本适中,且承受力较大。3)因变形体的热位移变化缓慢,故此微进给机构适合于位置控制。4)二级进给机构,既可以粗进给,也可以微进给。

1.一种基于热位移的微进给系统，其特征在于它具有一级进给装置[9]和
二级进给装置[7]，一级进给装置和二级进给装置都在恒温室[13]内，一级进给
装置采用滚珠丝杆[10]，二极进给装置在微位移工作腔壳体[11]内，它具有变形
体[5]，变形体上设有前、后两定位块[12]，定位块上、下设有隔热板[1]，前、
后两隔热板上分别设有前压力调节螺丝[4]、后压力调节螺丝[2]，在变形体上间
隔设有冷源热源驱动器[3]，冷源热源驱动器相应处设有温度感知器[8]，变形
体一端设有位移感知器[6]。
2.根据权利要求书1所述的一种基于热位移的微进给系统，其特征在于
所说的温度感知器为热电偶、热电阻或者半导体测温器件。
3.根据权利要求书1所述的一种基于热位移的微进给系统，其特征在于
所说的位移感知器为电容测微传感器或激光测量装置。

基于热位移的微进给系统

                          技术领域

本发明涉及一种基于热位移的微进给系统。