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1、10申请公布号CN102312219A43申请公布日20120111CN102312219ACN102312219A21申请号201010213744322申请日20100630C23C16/455200601C23C16/4620060171申请人鸿富锦精密工业（深圳）有限公司地址518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号申请人鸿海精密工业股份有限公司72发明人许嘉麟54发明名称镀膜装置57摘要一种镀膜装置，其采用原子层沉积方法进行镀膜，所述镀膜装置包括一腔体，所述腔体内壁设置有加热单元，所述加热单元具有一个收容空间用以收容一滚轮以对所述滚轮进行镀膜。51INTCL19中。
2、华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书3页附图2页CN102312221A1/1页21一种镀膜装置，其采用原子层沉积方法进行镀膜，其特征在于，所述镀膜装置包括一腔体，所述腔体内壁设置有加热单元，所述加热单元具有一个收容空间用以收容一滚轮以对所述滚轮进行镀膜。2如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述加热单元包括第一加热线圈和第二加热线圈，所述第一加热线圈和第二加热线圈共同限定所述收容空间以用来容纳所述滚轮。3如权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，所述腔体包括盖体和底座，所述第一加热线圈贴合在所述盖体内壁上，所述底第二加热线圈贴合在所述底座上。4如权利要求1至3任一。
3、项所述的镀膜装置，其特征在于，所述腔体内具有支撑架以支持所述滚轮。5如权利要求4所述的镀膜装置，其特征在于，所述支撑架位于所述底座内。6如权利要求5所述的镀膜装置，其特征在于，所述盖体上具有进气口。7如权利要求6所述的镀膜装置，其特征在于，所述底座上具有出气口。权利要求书CN102312219ACN102312221A1/3页3镀膜装置技术领域0001本发明涉及一种镀膜装置。背景技术0002目前光学膜片一般利用具有微结构雕刻之铜滚轮，将树脂载体压印后照光固化完成，而在制程上，难以避免有尘粒掉落于滚轮表面。因电镀之硬质铜硬度较小，所以当滚轮继续运转时，尘粒便在树脂载体与轮面间随之带动，最后造成刮。
4、伤而导致膜片成品光学质量不良。另一方面因轮面为铜材，故暴露于大气环境容易形成氧化铜，当氧化层面积增大时将造成微结构破坏，最后滚轮报废而须重新进行雕刻。0003在滚轮直接镀上镍层再行雕刻，虽增加了轮面硬度但势必缩短钻石刀具使用寿命，因此最佳方式仍是在铜滚轮上雕刻微结构，再设法制作保护层以达到轮面之耐磨耗或者抗氧化效果。0004由于滚轮体积较大，倘若以一般PVD方式进行镀膜，因膜层均匀性的考虑，除了注意载体气体流场外，可能由于靶材置放、电浆源以及滚轮转动等等疑虑，必须重新制作一套较为复杂的系统。0005传统镀膜设备中，加热装置一般设置在镀膜工件下方，从下方对工件进行加热，但是，采用此方式对滚轮加热。
5、造成滚轮加热不均匀。发明内容0006有鉴于此，有必要提供一种可均匀加热滚轮的镀膜装置。0007一种镀膜装置，其采用原子层沉积制程进行镀膜，所述镀膜装置包括一腔体，所述腔体内壁设置有加热单元，所述加热单元具有一个收容空间用以收容一滚轮以对所述滚轮进行镀膜。0008与现有技术相比，本发明实施例的镀膜装置的加热单元围绕滚轮设置，以将滚轮围绕在中间，从而使得滚轮各个位置受热均匀，进而可均匀加热滚轮。附图说明0009图1是本发明实施例镀膜装置之轴向剖面图。0010图2是本发明实施例镀膜装置之径向剖面图。0011主要元件符号说明0012镀膜装置10013腔体100014盖体110015底座120016加热。
6、单元130017支撑架14说明书CN102312219ACN102312221A2/3页40018第一加热线圈1310019第二加热线圈1320020滚轮200021第一收容空间300022第二收容空间400023内壁110，1200024进气口1110025出气口121具体实施方式0026下面将结合附图对本发明实施例作进一步详细说明。0027请参阅图1及图2所示，本发明实施例提供了一种镀膜装置1，其在原子层沉积ATOMICLAYERDEPOSITION，ALD过程中对滚轮20进行镀膜。0028镀膜装置1包括腔体10，腔体10包括盖体11、底座12、加热单元13和用来支撑滚轮20之支撑架14，。
7、支撑架14设置在底座12上，盖体11盖合在底座12上从而限定一个第一收容空间30，第一收容空间30可以为方形、圆筒形等。0029滚轮20设置在支撑架14上，支撑架14将滚轮20支撑一定高度使得滚轮20与腔体10之间具有一定空隙，即滚轮20大致位于腔体10中部。0030加热单元13包括设置在盖体11内的第一加热线圈131和设置在底座12内的第二加热线圈132，第一加热线圈131和第二加热线圈132在第一收容空间30内限定一个第二收容空间40，滚轮20设置在第二收容空间40内且与第一加热线圈131、第二加热线圈132隔开一定距离，换言之，第一加热线圈131和第二加热线圈132围绕在滚轮20的外围且。
8、不接触滚轮20。0031优选地，第一加热线圈131贴合在盖体11的内壁110上，第二加热线圈132贴合在底座12的内壁120上。0032优选地，第二收容空间40为圆筒形，即形状与滚轮20的形状相同。0033第一加热线圈131和第二加热线圈132均匀缠绕滚轮20，以利均匀加热滚轮20。0034盖体11上设置有进气口111，底座12上设置有出气口121，镀膜时，气体可经过进气口111进入腔体10内，多馀的气体或者镀膜过程中产生的副产物可经过出气口121排出腔体10以凈化腔体10，另外，也可以通过出气口121实现腔体10的真空度。0035当然，进气口111的数量可以根据需要引入腔体10内的气体种类设。
9、定，一个进气口111允许一种气体进入腔体10。0036在对滚轮20进行镀膜时，打开盖体11，将滚轮20放置在支撑架14上，然后将盖体11盖合在底座12上，藉助真空装置通过出气口121实现腔体10内的真空度，施加电流予第一加热线圈131和第二加热线圈132使其对滚轮20加热达到预定温度，然后将反应气体通过进气口111引入腔体10内，反应气体在腔体10内发生反应从而在滚轮20表面形成镀膜。0037由于加热单元均匀缠绕滚轮，使得滚轮各个位置受热均匀，从而使得滚轮表面形成的薄膜厚度均匀。说明书CN102312219ACN102312221A3/3页50038可以理解的是，本领域技术人员还可于本发明精神内做其它变化等用于本发明的设计，只要其不偏离本发明的技术效果均可。这些依据本发明精神所做的变化，都应包含在本发明所要求保护的范围之内。说明书CN102312219ACN102312221A1/2页6图1说明书附图CN102312219ACN102312221A2/2页7图2说明书附图CN102312219A。