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一种硅片清洗剂的制备方法,涉及光利用技术领域,先将硼酸钠和焦磷酸钾混合溶于水中,再将氢氧化钾溶于水中,再分别将椰子油烷基醇酰胺磷酸酯、辛烷基苯酚聚氧乙烯醚溶于水中,再将两溶液均匀混合,最后将以上三种溶液均匀混合,即成硅片清洗剂。本发明方法简单、易于生产,可有效降低生产成本,且生成的清洗剂原液可长期保存、运输,产品不含任何有机溶剂,无任何刺激性气味,工作液的pH值在911,并且清洗效率高,使用周期长。