热传输装置及其制造方法 【技术领域】
本发明涉及利用工作流体的相变传输热量的热传输装置以及该热传输装置的制造方法。 背景技术 板式热管广泛地用作用于冷却例如为中央处理单元 (CPU) 的热源的装置。这样的 板式热管具有封闭的外壳。工作流体和毛细管结构设置在外壳内。CPU 等通过设置在外壳 内的工作流体的相变而被冷却。
例如， 在特开第 2006-140435 号公报中， 描述了采用热管原理的散热器。该散热器 具有外壳， 该外壳包括上盖和下盖。 该上盖和下盖每一个都通过压制铜片而形成， 并且在上 盖周边的内侧上形成凸起。 通过扩散结合所压制的上盖和下盖， 形成外壳， 上盖中凸起的内 侧形成外壳中的内部空间 ( 例如， 参考特开第 2006-140435 号公报中的
和
段以及附图 3)。
发明内容
对于特开第 2006-140435 号公报中描述的散热器， 为了制造外壳， 处理上盖和下 盖的步骤以及扩散结合上盖和下盖的步骤必须分开执行。因此， 必然导致用于制造外壳的 时间和成本。当改变所制造散热器的形状时， 上盖和下盖的处理也相应改变。当改变压制 模具时， 必然带来制备新模具的时间和成本。
所希望的是提供以很少步骤和较少时间及成本制造容器的热传输装置制造方法 以及热传输装置。
根据本发明实施例的制造热传输装置的方法包括如下步骤 ： 通过在第一板和第二 板之间插入毛细管构件来堆叠第一板、 毛细管构件和第二板， 该第一板和第二板构成热传 输装置的容器， 该热传输装置构成为利用工作流体的相变进行热传输。
使第二板变形的同时扩散结合第一板和第二板， 以在容器中产生存放毛细管构件 的内部空间。
在制造热传输装置的容器期间， 因为在容放毛细管构件的容器中产生内部空间而 使第二板变形与第一板和第二板的扩散结合同时执行， 所以该容器可以以很少的步骤和较 少的时间和成本制造。
毛细管构件可以沿着容器的外周边设置。在此情况下， 堆叠可以包括沿着毛细管 构件的外周边在第一板和第二板之间设置线式间隔物。 而且， 在扩散结合中， 可以通过沿着 间隔物的外周边给第二板施加压力来使第二板变形的同时扩散结合第一板和第二板。
和
段以及附图 3)。
发明内容
对于特开第 2006-140435 号公报中描述的散热器， 为了制造外壳， 处理上盖和下 盖的步骤以及扩散结合上盖和下盖的步骤必须分开执行。因此， 必然导致用于制造外壳的 时间和成本。当改变所制造散热器的形状时， 上盖和下盖的处理也相应改变。当改变压制 模具时， 必然带来制备新模具的时间和成本。
所希望的是提供以很少步骤和较少时间及成本制造容器的热传输装置制造方法 以及热传输装置。
根据本发明实施例的制造热传输装置的方法包括如下步骤 ： 通过在第一板和第二 板之间插入毛细管构件来堆叠第一板、 毛细管构件和第二板， 该第一板和第二板构成热传 输装置的容器， 该热传输装置构成为利用工作流体的相变进行热传输。
使第二板变形的同时扩散结合第一板和第二板， 以在容器中产生存放毛细管构件 的内部空间。
在制造热传输装置的容器期间， 因为在容放毛细管构件的容器中产生内部空间而 使第二板变形与第一板和第二板的扩散结合同时执行， 所以该容器可以以很少的步骤和较 少的时间和成本制造。
毛细管构件可以沿着容器的外周边设置。在此情况下， 堆叠可以包括沿着毛细管 构件的外周边在第一板和第二板之间设置线式间隔物。 而且， 在扩散结合中， 可以通过沿着 间隔物的外周边给第二板施加压力来使第二板变形的同时扩散结合第一板和第二板。
由间隔物可靠地形成具有预定容积的内部空间。 因为围绕容器外周边的毛细管构 件设置在容器中的内部空间中， 所以毛细管构件在容器中占据了很大比例的内部空间。这 样， 由毛细管构件引起的毛细管力有效地施加给内部空间中的工作流体。 而且， 该间隔物防 止所制造的容器中内部空间的变形。间隔物中可以形成缺口。 在此情况下， 在扩散结合后， 工作流体可以通过间隔物中 的缺口注入容器的内部空间中。
在设置具有缺口的间隔物时， 例如， 可以通过沿着毛细管构件的外周边提供一个 间隔物而可以很容易地设置间隔物。工作流体通过该缺口注入容器中的内部空间。
在扩散结合中， 可以扩散结合第一板和第二板， 同时通过给第二板施加压力以使 第二板变形， 从而容器的外形制造为具有预定的形状。 在此情况下， 容器可以通过扩散结合 后从第一板和第二板裁剪成预定的形状而制造。
例如， 在所制造的容器的外形改变时， 第二板可以根据该改变而变形。换言之， 通 过根据该实施例的制造方法， 可以制造具有预定外形的容器。
在堆叠中， 第一板、 毛细管构件和第二板可以堆叠在第一装配架的平坦表面上。 在 此情况下， 在扩散结合中， 可以在用具有带开口的凹陷的第二装配架使第二板变形的同时 扩散结合第一板和第二板， 该开口的形状与容器的外形的形状相同。
例如， 在所要制造容器的外形改变时， 第二装配架可以根据该改变而进行修改。 与 制造压制加工中采用的模具相比， 第二安装架可以以较少的时间和较低的成本制造。
根据本发明实施例的热传输装置包括工作流体、 毛细管构件、 线式间隔物和容器。 工作流体构造为通过相变进行热传输。毛细管构件构造为给工作流体施加毛细管力。 间隔物具有外周边， 并且围绕毛细管构件。
容器包括内部空间、 第一板和第二板。
段以及附图 3)。
发明内容
对于特开第 2006-140435 号公报中描述的散热器， 为了制造外壳， 处理上盖和下 盖的步骤以及扩散结合上盖和下盖的步骤必须分开执行。因此， 必然导致用于制造外壳的 时间和成本。当改变所制造散热器的形状时， 上盖和下盖的处理也相应改变。当改变压制 模具时， 必然带来制备新模具的时间和成本。
所希望的是提供以很少步骤和较少时间及成本制造容器的热传输装置制造方法 以及热传输装置。
根据本发明实施例的制造热传输装置的方法包括如下步骤 ： 通过在第一板和第二 板之间插入毛细管构件来堆叠第一板、 毛细管构件和第二板， 该第一板和第二板构成热传 输装置的容器， 该热传输装置构成为利用工作流体的相变进行热传输。
使第二板变形的同时扩散结合第一板和第二板， 以在容器中产生存放毛细管构件 的内部空间。
在制造热传输装置的容器期间， 因为在容放毛细管构件的容器中产生内部空间而 使第二板变形与第一板和第二板的扩散结合同时执行， 所以该容器可以以很少的步骤和较 少的时间和成本制造。
毛细管构件可以沿着容器的外周边设置。在此情况下， 堆叠可以包括沿着毛细管 构件的外周边在第一板和第二板之间设置线式间隔物。 而且， 在扩散结合中， 可以通过沿着 间隔物的外周边给第二板施加压力来使第二板变形的同时扩散结合第一板和第二板。
由间隔物可靠地形成具有预定容积的内部空间。 因为围绕容器外周边的毛细管构 件设置在容器中的内部空间中， 所以毛细管构件在容器中占据了很大比例的内部空间。这 样， 由毛细管构件引起的毛细管力有效地施加给内部空间中的工作流体。 而且， 该间隔物防 止所制造的容器中内部空间的变形。间隔物中可以形成缺口。 在此情况下， 在扩散结合后， 工作流体可以通过间隔物中 的缺口注入容器的内部空间中。
在设置具有缺口的间隔物时， 例如， 可以通过沿着毛细管构件的外周边提供一个 间隔物而可以很容易地设置间隔物。工作流体通过该缺口注入容器中的内部空间。
在扩散结合中， 可以扩散结合第一板和第二板， 同时通过给第二板施加压力以使 第二板变形， 从而容器的外形制造为具有预定的形状。 在此情况下， 容器可以通过扩散结合 后从第一板和第二板裁剪成预定的形状而制造。
例如， 在所制造的容器的外形改变时， 第二板可以根据该改变而变形。换言之， 通 过根据该实施例的制造方法， 可以制造具有预定外形的容器。
在堆叠中， 第一板、 毛细管构件和第二板可以堆叠在第一装配架的平坦表面上。 在 此情况下， 在扩散结合中， 可以在用具有带开口的凹陷的第二装配架使第二板变形的同时 扩散结合第一板和第二板， 该开口的形状与容器的外形的形状相同。
例如， 在所要制造容器的外形改变时， 第二装配架可以根据该改变而进行修改。 与 制造压制加工中采用的模具相比， 第二安装架可以以较少的时间和较低的成本制造。
根据本发明实施例的热传输装置包括工作流体、 毛细管构件、 线式间隔物和容器。 工作流体构造为通过相变进行热传输。毛细管构件构造为给工作流体施加毛细管力。 间隔物具有外周边， 并且围绕毛细管构件。
容器包括内部空间、 第一板和第二板。
工作流体、 毛细管构件和间隔物设置在内部空间中。
第二板在通过沿着间隔物的外周边施加的压力而变形的同时被扩散结合， 以产生 内部空间。
如上所述， 根据本发明的实施例， 容器可以以较少的步骤且用很少的时间和成本 制造。
附图说明 图 1 是图示根据本发明第一实施例的热传输装置的透视图。
图 2 是沿着图 1 所示热传输装置的横向方向上的Ⅱ - Ⅱ线剖取的截面图。
图 3 是图 1 所示热传输装置的分解透视图。
图 4A 和 4B 图示了图 1 所示热传输装置的制造方法。
图 5 是根据本发明第二实施例的热传输装置的透视图。
图 6A 至 6C 图示了图 5 所示热传输装置的制造方法。
图 7A 至 7C 图示了根据本发明第三实施例制造热传输装置的方法。
图 8A 和 8B 是在图 7A 至 7C 所示的步骤中沿着热传输装置的 V Ⅲ -V Ⅲ线剖取的 截面图。
图 9A 和 9B 图示了在图 7A 至 7C 所示的间隔物中形成缺口的部分。
图 10 图示了根据图 8A 和 8B 所示的第三实施例对热传输装置中的间隔物的修改。
图 11 是根据第二实施例在制造热传输装置的方法中采用的第二装配架的透视 图。
具体实施方式
下面， 参考附图描述本发明的实施例。
第一实施例
热传输装置的构造
图 1 是图示根据本发明第一实施例的热传输装置的透视图。图 2 是沿着图 1 所示 热传输装置 100 的横向方向上的Ⅱ - Ⅱ线剖取的截面图。图 3 是热传输装置 100 的分解透 视图。
热传输装置 100 包括由下板 1 和碟形上板 2 构成的容器 12。上板 2 中的凹陷 2a 产生容器 12 中的内部空间 ( 在下文， 该内部空间称为内部空间 2a)。通过相变进行热传输 的工作流体 ( 未示出 ) 密封在内部空间 2a 中。内部空间 2a 容纳为工作流体施加毛细管力 的毛细管构件 5。在该实施例中， 下板 1、 上板 2 和毛细管构件 5 均成型为矩形。
工作流体通过注入口 6a 和注入通道 6b 注入内部空间 2a 中， 注入口 6a 形成在下 板 1 的内表面 11 中， 注入通道 6b 是与注入口 6a 相通的 L 状沟槽。注入口 6a 穿过下板 1 形成。注入通道 6b 连接到内部空间 2a。注入通道 6b 可以通过端铣刀加工、 激光加工、 压 制或者诸如光刻或半蚀刻的在半导体生产中采用的微加工形成。 在工作流体注入内部空间 2a 中后， 例如通过型锻 (swaging) 密封注入口 6a 和注入通道 6b。
下板 1 和上板 2 由诸如铜、 铝或不锈钢的金属或者诸如碳纳米材料的高导热材料 制造。工作流体例如为纯水、 乙醇、 甲醇、 丙酮、 异丙醇、 氟氯氢烷碳化物或者氨水。
毛细管构件 5 由第一丝网层 3 和第二丝网层 4 构成。第一丝网层 3 设置在下板 1 的内表面 11 上， 并且第二丝网层 4 堆叠在第一丝网层 3 上。
如图 3 所示， 第一丝网层 3 通过堆叠多个丝网构件 3a 形成， 每一个丝网构件 3a 都 由编织的细金属线形成。第二丝网层 4 由单一丝网构件 4a 形成。丝网构件 3a 的丝网尺寸 小于丝网构件 4a 的丝网尺寸。因此， 当热传输装置 100 没有工作时， 工作流体主要附着到 第一丝网层 3， 第一丝网层 3 具有很强的毛细管力。
毛细管构件 5 可以由丝网层 (mesh layer) 之外的材料形成。例如， 毛细管构件 5 可以由一束线或者金属粉体的烧结结构形成。另外， 毛细管构件 5 可以成型为通过蚀刻形 成的条、 丝网或者沟槽。
热传输装置的操作
将描述热传输装置 100 的操作。如图 1 所示， 例如， 热源 7 热连接到热传输装置 100 的上板 2 的纵向方向上的一侧。这里， “热连接” 指直接连接或者通过导热构件或者导 热片连接， 此时导热构件或者导热片在附图中没有示出。热源 7 典型地为 CPU 的集成电路 (IC)， 但是也可以为例如半导体激光器或发光二极管 (LED) 的光源。
在容器 12 的内部空间 2a 中， 液相的工作流体从热源 7 接受热量且被气化。气相 的工作流体主要通过第二丝网层 4 运动到在上板 2 的纵向方向上与连接到热源 7 的一侧相 对的一侧， 并且因冷凝而释放热量。现在处于液相的已冷凝的工作流体受到第一丝网层 3 的毛细管力， 并且朝着连接到热源 7 的一侧运动。然后， 液相的工作流体再一次从热源 7 接 受热量且被气化。通过重复这样的周期， 热源 7 得以冷却。
图 1 图示了热源 7 设置在上板 2 上的示例， 上板 2 在热传输装置 100 靠近气相的 一侧， 即靠近第二丝网层 4 的一侧。然而， 因为薄板构成热传输装置 100， 所以， 例如即使将热源 7 设置在下板 1 上， 这是热传输装置 100 靠近液相的一侧， 即靠近第一丝网层 3 的一例， 也可实现很高的热传输能力。
热传输装置的制造方法
图 4A 和 4B 图示了制造热传输装置 100 的方法。如图 4A 所示， 下板 1 放置在第一 装配架 10 的平坦表面 10a 上， 并且毛细管构件 5 放置在下板 1 的内表面 11 上。构成上板 2 的平坦板 2′放置在毛细管构件 5 上。
第二装配架 20 放置在平坦板 2′的上方。第二装配架 20 具有凹陷 20a。凹陷 20a 的平面图 ( 在图 4A 和 4B 中的 Z 方向上看时 ) 即凹陷 20a 的开口的形状与热传输装置 100 的容器 12 的外形相同。凹陷 20a 的周边构成冲压部分 20b。
如图 4B 所示， 总负荷 F 在平坦板 2′至下板 1 的方向 ( 图 4A 和 4B 中的 Z 方向 ) 上施加给第二装配架 20， 以从第二装配架 20 给平坦板 2′施加压力。 这样， 平坦板 2′的外 周边区域 2b 被第二装配架 20 的冲压部分 20b 冲压， 并且与下板 1 扩散结合。
因为该扩散结合是在例如约 900℃的高温条件下执行的， 所以被第二装配架 20 冲 压的平坦板 2′变软且变形。因为第二装配架 20 的凹陷 20a 的开口形状与容器 12 的外形 相同， 所以平坦板 2′构成具有凹陷 2a 的上板 2， 这构成了容器 12 的外形。毛细管构件 5 设置在上板 2 的凹陷 2a 中。该毛细管构件 5 防止容器 12 在扩散结合期间被压坏， 并且产 生内部空间 2a( 凹陷 2a)。换言之， 在扩散结合中， 平坦板 2′被第二装配架 20 变形而形成 上板 2， 并且上板 2 与下板 1 扩散结合。 这样， 在热传输装置 100 的容器 12 成型期间， 在结合下板 1 和上板 2 的扩散结合 时， 执行平坦板 2′的变形以形成上板 2， 从而在容器 12 中产生容纳毛细管构件 5 的内部空 间 2a。这样， 容器 12 可以以很短的时间且以较少步骤的低成本形成。
第二装配架 20 的凹陷 20a 的深度和毛细管构件 5 的厚度可以适当设定， 并且毛细 管构件 5 可以在扩散结合中扩散结合到下板 1 和上板 2 二者。例如， 毛细管构件 5 的厚度 可以大于凹陷 20a 的深度。这样， 毛细管构件 5 可以在扩散结合中被压缩， 并且毛细管构件 5 可以通过被压缩的毛细管构件 5 的应力扩散结合到下板 1 和上板 2 二者。
图 4A 所示的平坦板 2′的尺寸可以适当设定。平坦板 2′在扩散结合中变形， 并 且构成具有凹陷 2a 的上板 2。因此， 在该实施例中， 平坦板 2′比下板 1 大凹陷 2a 的深度。 然而， 平坦板 2′的尺寸根据容器 12 的整个厚度、 上板 2 的侧壁要形成的厚度等适当设定。
第二装配架 20 的形状也可以适当设定。例如， 第二装配架 20 可以没有凹陷 20a， 而可以仅有冲压平坦板 2′的外周边区域 2b 的冲压部分 20b。在此情况下， 冲压部分 20b 成型为与要制造的容器 12 的外形相匹配的环形。还是在此情况下， 因为毛细管构件 5 放置 在下板 1 上， 所以平坦板 2′变形以形成用于放置毛细管构件 5 的内部空间 2a( 凹陷 2a) 的 上板 2。另外， 上板 2 和下板 1 被扩散结合。施加给第二装配架 20 的负荷可以不是总负荷 F， 而仅是施加给冲压部分 20b 的负荷。
第二实施例
图 5 是根据本发明第二实施例的热传输装置的透视图。下面， 将省略或简化与上 述实施例中的热传输装置 100 相同的结构和操作的描述。
根据第二实施例的热传输装置 200 与根据第一实施例的热传输装置 100 的区别在 于容器 212 的外形为 L 形状。 热传输装置 200 的上板 202 是碟状的， 并且在内表面侧具有凹
陷 202a。凹陷 202a 构成容器 212 中的内部空间 202a。L 状毛细管构件 205 沿着容器 212 的外周边 ( 图 5 中的虚线 ) 设置在内部空间 202a 中。
制造热传输装置的方法
图 6A 至 6C 图示了在热传输装置 200 的厚度方向上制造热传输装置 200 的方法。
如图 6A 所示， 平坦板 201′放置在第一装配架 210 上。平坦板 201′构成图 5 所 示的下板 201。在图 6A 中， 第一装配架 210 成型为矩形。然而， 第一装配架 210 的形状没有 限制。平坦板 201′的形状也不限于矩形， 而可以为任何其它形状， 只要在下面所述的扩散 结合中可以形成下板 201 即可。
注入口 206a 和注入通道 206b 形成在平坦板 201′中。L 状毛细管构件 205 放置 在平坦板 201′上， 且与注入口 206a 及注入通道 206b 的位置相对应。
如图 6B 所示， 矩形的平坦板 202′放置在毛细管构件 205 上。该平坦板 202′构 成上板 202。在该实施例中， 平坦板 202′和平坦板 201′二者都成型为矩形。然而， 平坦 板 202′和平坦板 201′的形状没有限制， 只要在下面所述的扩散结合中可以形成上板 202 即可。在图 6B 中， 形成在平坦板 201′的注入口 206a 和注入通道 206b 以及设置在平坦板 201′上的毛细管构件 5 都由虚线表示。 在图 6C 所示的步骤中， 图 11 中所示的第二装配架 220 在垂直方向上从平坦板 202′上面给平坦板 202′施加压力。如图 11 所示， 第二装配架 220 具有凸起的冲压部分 220b， 该冲压部分 220b 在结合平坦板 201′和平坦板 202′时冲压这些板。
冲压部分 220b 的外形与容器 212 的外形形状相同。冲压部分 220b 靠内的部分构 成凹陷 220a。 换言之， 与第一实施例相类似， 第二装配架 220 提供有凹陷 220a， 该凹陷 220a 具有成型为容器 212 的外形的开口。在该实施例中， 凹陷 220a 的开口为 L 形状。第二装配 架 220 在平坦板 202′中形成设置毛细管构件 205 的 L 状凹陷 202a， 并且扩散结合平坦板 201′和平坦板 202′。从上面看时， 凹陷 202a 表现为凸起。
在图 6C 中， 平坦板 201′和平坦板 202′扩散结合的结合区域 208 由阴影区域表 示。结合区域 208 的尺寸根据第二装配架 220 的冲压部分 220b 的尺寸设定。上面所述的 注入口 206a 和注入通道 206b 都包括在结合区域 208 内。
在结合区域 208 中， 平坦板 201′和平坦板 202′被裁剪为如图 5 所示的热传输装 置 200。裁剪的平坦板 201′构成下板 201， 而裁剪的平坦板 202′构成上板 202。为了裁剪 平坦板 201′和平坦板 202′， 例如， 采用激光刀具或者冲压模具。平坦板 201′和平坦板 202′或者可采用电火花线切割加工 ( 金属丝切割 ) 来裁剪。
下面将描述容器 212 的外形由 L 状改变为某种其它形状的情况。在此情况下， 在 根据该实施例的制造方法中， 在扩散结合中， 可以在将平坦板 202′变形为选择的形状的同 时扩散结合平坦板 201′和平坦板 202′。换言之， 在根据该实施例的制造方法中， 具有预 定外形的容器 212 可以通过将平坦板 202′变形为具有预定的外形而形成。在此情况下， 通过用具有凹陷的新第二装配架取代第二装配架 220， 该凹陷具有预定外形的开口， 平坦板 202′在扩散结合中可以变形为具有预定的外形。
例如， 为了在约 25℃的通常温度下通过冲压工艺或者模压 ( 如挤压 ) 变形平坦板 202′， 应当给平坦板 202′施加几十吨的极大负荷。产生这样大负荷以加工平坦板 202′ 的设备很昂贵， 因此设备成本会增加。然而， 在该实施例中， 因为平坦板 202′在高温下变
软， 使平坦板 202′变形可能不需要上述的大负荷， 并且可以抑制设备成本。
当通过模压制造容器 212 时， 在待制造容器 212 的外形改变时必须制造新的模具。 因为模具由比平坦板 202′硬的材料制造， 并且在受到大负荷时不能变形， 所以制造新模具 必然耗费大量的时间和成本。
相反， 作为该实施例的制造方法中要采用的模具的第二装配架 220 可以由具有高 熔点温度的材料制造， 从而在扩散结合期间的高温下不会变软， 因此具有与上述模具相同 的硬度水平不是必要的。 因此， 第二装配架 220 例如可以由不太昂贵的不锈钢或铁制造。 换 言之， 第二装配架 220 与制造冲压中采用的模具相比可以以较少的时间且以较低的成本制 造。
第三实施例
下面， 将描述根据本发明第三实施例的热传输装置及其制造方法。根据该实施例 的热传输装置具有 L 状外形的容器， 这与根据第二实施例的热传输装置 200 相类似。 L 状毛 细管构件和围绕该毛细管构件 5 外周边的线式间隔物设置在容器的内部空间中。
制造热传输装置的方法
图 7A 至 7C 图示了根据该实施例热传输装置的制造方法。图 8A 和 8B 是在图 7A 至 7C 所示的工艺中沿着热传输装置的 V Ⅲ -V Ⅲ线剖取的截面图。 如图 7A 所示， 构成下板的平坦板 301′放置在第一装配架 310 上。L 状毛细管构 件 305 放置在平坦板 301′上。 在根据该实施例的制造方法中， 围绕毛细管构件 305 的外周 边的线式间隔物 330 放置在平坦板 301′上。 例如， 由诸如铜的金属制造的单根线用作间隔 物 330。间隔物 330 的截面 ( 线截面 ) 的直径设定为基本上等于容器的内部空间的希望厚 度。
如图 7B 所示， 构成上板的平坦板 302′设置在毛细管构件 305 和间隔物 330 上。 如图 8A 所示， 第二装配架 320 设置在毛细管构件 305 和间隔物 330 上设置的平坦板 302′ 之上。为了简化描述， 图 7A 至 7C 中省略了第二装配架 320。同样， 在图 7B 和 7C 中， 仅由虚 线表示插入在平坦板 301′和平坦板 302′之间的间隔物 330， 并且省略了毛细管构件 305。
第二装配架 320 具有凹陷 320a。凹陷 320a 的开口为 L 状， 与容器 312 的外形相 同。凹陷 320a 的周边构成冲压部分 320b。
如图 7C 和 8B 所示， 第二装配架 320 在垂直方向上从平坦板 302′的上面给平坦板 302′施加压力。第二装配架 320 的冲压部分 320b 沿着间隔物 330 的外周边冲压区域 308。 该区域 308 构成连接区域 303。这样， 具有 L 状外形且在其中设置毛细管构件 305 和间隔物 330 的凹陷 302a 产生在平坦板 302′中， 并且扩散结合平坦板 301′和平坦板 302′。如图 7C 所示， 在间隔物 330 的缺口 335 的位置上没有给平坦板 302′施加压力。下面将描述缺 口 335 的位置。
在根据该实施例的制造方法中， 间隔物 330 可靠地形成具有预定容积的内部空间 302a。这样， 由毛细管构件 305 引起的毛细管力被充分地施加到内部空间 302a 中的工作流 体。因为可靠地形成内部空间 302a， 例如， 可以防止流道阻力的增加， 该流道阻力由毛细管 构件 305 相对于运动的气体工作流体的变形引起。换言之， 通过在内部空间 302a 中提供间 隔物 330， 有效地提供毛细管构件 305 与热传输相关的功能。此外， 间隔物 330 防止内部空 间 302a 例如由施加到已制造的热传输装置的外力所造成的变形。
环形间隔物可以设置在毛细管构件 305 的周围。在此情况下， 应当提供形成为环 形的间隔物。而且， 具有缺口 335 的间隔物 330( 见图 7C) 可以设置在该实施例中。在此情 况下， 通过沿着毛细管构件 305 的外周边设置由一条线形成的间隔物 330， 例如， 即使在改 变毛细管构件 305 的形状时， 也易于提供间隔物 330。如下所述， 工作流体可以通过间隔物 330 中的缺口 335 注入容器 312 的内部空间 302a 中。
图 9A 和 9B 图示了缺口 335 在图 7A 至 7C 所示的间隔物 330 中的位置。图 9A 是 由图 7C 中的参考符号 IXA 表示区域的分解图。图 9B 是沿着图 9A 的 IX-IX 线剖取的截面 图。
在图 7C 所示的扩散结合中， 连接容器 312 的外部和内部空间 302a 的孔 340 形成在 间隔物 330 中缺口 335 的位置。如图 9B 所示， 间隔物 330 的两端 330a 和 330b 是在孔 340 中的位置。两端 330a 和 330b 之间的间隙 ( 缺口 335) 与内部空间 302a 连接。图 9B 图示 了在内部空间 302a 中设置在两端 330a 和 330b 之间的毛细管构件 305。工作流体通过孔 340 注入内部空间 302a。
如图 9A 所示， 间隔物 330 的两端 330a 和 330b 设置为比孔 340 的开口面 345 更靠 近容器 312 中的内部空间 302a。从开口面 345 到两端 330a 和 330b 的区域 345a 在工作流 体注入内部空间 302a 后密封， 以密闭容器 312。 然后， 在由第二装配架 320 的冲压部分 320b 冲压和结合的区域 308 和区域 345a 中， 将平坦板 301′和 302′裁剪为构成根据该实施例 的热传输装置。
这样， 在该实施例中， 孔 340 形成在间隔物 330 中的缺口 335 处， 并且工作流体通 过孔 340 注入内部空间 302a 中。因此， 注入端口和注入通道不必像第一和第二实施例那样 在平坦板 301′和 302′中是需要的。此外， 与第二实施例一样， 因为毛细管构件 305 不必 设置在平坦板 301′上与注入口和注入通道对齐， 所以改善了热传输装置在制造上的实用 性。在间隔物中可以提供多个缺口。
修改
本发明不限于上述实施例， 而是在本发明的范围内可以进行各种修改。
例如， 在上述实施例中， 以容器外周边的形状形成的毛细管构件设置在内部空间 中。 这样， 容器内毛细管构件的容积与内部空间的比增加， 并且毛细管构件引起的毛细管力 充分地施加给工作流体。在扩散结合中， 容器可以防止在构成上板的平坦板变形时由于形 成容器中的内部空间的问题所引起的毛细管力导致的变形。
然而， 毛细管构件的形状不限于容器外周边的形状。如果毛细管构件的形状不是 容器外周边的形状， 则可以沿着容器的外周边提供间隔物， 从而构成上板的平坦板适当变 形且与构成下板的平坦板结合。作为选择， 多个柱子等可以沿着容器的外周边插入在两个 平坦板之间， 以使平坦板适当变形。
在上述实施例中， 毛细管构件由两个丝网层构成， 它们用作液相和气相工作流体 的通道。然而， 作为选择， 毛细管构件可以构成液相工作流体通道， 并且毛细管构件和内部 空间中的侧壁之间的空间可以构成气相工作流体的通道。
图 10 图示了图 8A 和 8B 所示的根据第三实施例的热传输装置 300 中的间隔物 330 的修改。上述间隔物 330 的截面为圆形 ( 见图 8A 和 8B)。另一方面， 图 10 所示的间隔物 430 的截面为矩形。截面为矩形的间隔物 430 牢固地提供在内部空间 302a 中， 与截面为圆形的间隔物 330 相比， 没有在图 10 中 Y 方向上的位移。因此， 与间隔物 330 相比， 在扩散结合中形成上 板 302 时， 间隔物 430 可以可靠地形成内部空间 302a。
与间隔物 330 相比， 间隔物 430 在毛细管构件 305 和内部空间 302a 的侧壁 380 之 间占据区域 390 更大的比例。如上所述， 当区域 390 构成液相工作流体通道时， 与采用间隔 物 430 时相比， 采用占据区域 390 较小比例的间隔物 330 时， 更好地改善液相工作流体热传 输的效率。 这样， 考虑容器中产生内部空间的稳定性和工作流体的热传输效率等， 适当地选 择间隔物的截面。
而且， 一束细金属线可以构成金属线， 并且用作间隔物。在此情况下， 该束金属细 线将毛细管力施加给液相的工作流体。 此外， 气相的工作流体可以通过间隔物的内部运动。
本 申 请 包 含 2009 年 6 月 9 日 提 交 日 本 专 利 局 的 日 本 优 先 权 专 利 申 请 JP2009-138356 中公开的相关主题事项， 其全部内容通过引用结合于此。
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