等离子显示装置及其制造方法 【技术领域】
本发明涉及用于显示装置的等离子显示面板等等离子显示装置及其制造方法，具体地说，涉及密封工序的改良。背景技术
等离子显示面板(PDP)是等离子显示装置的一种，虽然尺寸小也能够比较容易地实现大画面的显示，因而作为下一代的显示面板而备受注目。现在，60英寸的产品已经商品化。
图5是表示一般的交流表面放电型PDP的主要结构的部分截面的透视图。图中，z方向为PDP的厚度方向，xy平面为与PDP的面板平行的平面。如图所示，该PDP1由主面相对设置的前面板20及后面板26构成。
形成前面板20的基片的前面板玻璃21中，在其主面的一侧沿着x轴方向形成一对显示电极22、23(X电极22、Y电极23)，使该电极间可以进行表面放电。显示电极22、23是在ITO(氧化锡铟)等形成的透明电极220、230上层压由Ag和玻璃混合而成的总线221、231而形成。
设置有显示电极22、23地前面板玻璃21中，在该玻璃21的一侧的主面的中央部涂敷由绝缘材料形成的介质层24。并且，在该介质层24上涂敷相同尺寸的保护层25。
形成后面板26的基片的后面板玻璃27中，在其主面的一侧以y轴方向为纵向、每隔一定间隔并列设置条纹状的多个地址电极28。该地址电极28与总线221、231一样，也是由Ag和玻璃混合而成。
然后，在上述后面板玻璃27的主面中央部涂敷由绝缘材料形成的介质层29，以将这些地址电极28包围在内。在介质层29上，配合邻接的两个地址电极28的间隙而设置隔壁30。然后，在邻接的两个隔壁30的各个侧壁和其间的介质层29的表面上，形成与红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)等任何一种颜色对应的荧光体层31-33。
具有这样结构的前面板20和后面板26使地址电极28和显示电极22、23在纵向上成直角正交。然后，在前面板20和后面板26的各个边缘部分进行密封，使两个面板20、26的内部形成密封状态。具体地说，如图6的PDP正面图所示，在前面板玻璃21的边缘部分(详细地说是介质层24的周围)和后面板玻璃27的边缘部分(详细地说是介质层29的周围)，涂敷作为密封材料40的熔融玻璃，该密封材料40熔融粘合后将两个面板20、26的内部密封。这里，两个面板玻璃21、27的各个端部211、212、271、272成为引出端子，用以分别将显示电极22、23和地址电极28和外部驱动电路(未图示)连接。
另外，该图中，为了便于说明，显示电极22、23和地址电极28用比实际少的根数以实线进行表示。另外，为了说明密封材料40和介质层24的设置位置，以实线进行表示。
在这样密封的前面板20和后面板26的内部，以规定的压力(传统通常为40kPa～66.5kPa左右)封入包含Xe的放电气体(封入气体)。
从而，在前面板20和后面板26之间，介质层24、荧光体层31-33以及邻接的两个隔壁30分隔的空间成为放电空间38。另外，邻接的一对显示电极22、23和一根地址电极28夹着放电空间38而交叉的区域成为用以显示图像的单元(未图示)。
PDP驱动时，在各个单元中，地址电极28和显示电极22、23的任何一个之间开始放电，在一对显示电极22、23之间通过辉光放电产生短波长的紫外线(Xe共振线，波长约147nm)，荧光体层31-33发光，进行图像的显示。
但是，上述结构的PDP会产生以下的问题。
图7是表示PDP的边缘部分附近(沿着地址电极)的截面图。由熔融玻璃形成的密封材料40除了在后面板27和介质层24之间熔融粘合外，如图所示，还在地址电极28和介质层24之间熔融粘合。在熔融粘合时，地址电极28也被加热，该地址电极28中的Ag粒子扩散到密封材料40中。
这样扩散的Ag粒子会部分遮断地址电极28，引起导电特性的降低。另外，如果横跨多个地址电极28，则可能引起短路。而且，由于Ag粒子扩散到密封材料40中，还引起密封材料40变质、降低其密封性能等的问题。
在显示电极22、23和密封材料40之间也会产生同样的问题。图8是表示PDP的边缘部分附近(沿着总线221、231)的截面图。图中表示总线221中的Ag粒子熔融溢出到密封材料40的情况。从而，引起显示电极22、23的总线221、231的短路和遮断等并降低PDP的性能。
该问题尤其在具有非常细的总线和地址电极的PDP、如高清晰度电视等的具有高精度单元的PDP中特别容易发生，因而必须尽早解决。发明的公开
本发明是针对上述问题而提出的，其目的在于提供即使在高清晰度电视等的具有高精度单元的结构中，也能够发挥良好的显示性能的等离子显示装置及其制造方法。
为了达到上述目的，本发明的等离子显示装置通过设置互相面对的第一板和第二板，使放电空间夹于其间，并将从外周包围并密封该放电空间的密封材料跨接在两个板之间而形成，其中，在第一板或第二板的内主面上形成多个电极，而且，在该多个电极和上述密封材料交叉的部位形成电极扩散防止层，用以避免密封材料与多个电极直接接触。
通过设置电极扩散防止层，可以防止电极材料扩散到密封材料中，避免上述多个电极的短路和遮断。从而在驱动时保持良好的显示性能。
这样，本发明尤其在上述多个电极包含有Ag时特别有效。
这里，上述电极扩散防止层，具体地说，上述电极扩散防止层可以用软化点比上述密封材料的熔点高的绝缘材料构成。
更具体地说，上述电极扩散防止层可以用包含玻璃和氧化填充物的材料构成。
另外，本发明的等离子显示装置通过设置相互面对的形成有多个第一电极和将其覆盖的第一介质层的第一板的一侧主面和第二板，使放电空间夹于其间，并将从外周包围并密封上述放电空间的密封材料跨接在两个板之间而形成，其中，上述第一介质层具有比上述密封材料的熔点高的软化点温度，而且，延长到多个第一电极和上述密封材料交叉的部位，避免了密封材料与多个第一电极的直接接触。
另外，本发明还分别在第二板的一侧主面上形成多个第二电极和用于覆盖这些第二电极的具有比上述密封材料的熔点高的软化点温度的第二介质层，而且，该第二介质层延长到多个第二电极和上述密封材料交叉的部位，避免了密封材料与多个第二电极的直接接触。
从而，通过在密封材料与多个第一电极(以及密封材料与多个第二电极)之间插入上述第一介质层(以及第二介质层)，可以达到与设置上述电极扩散防止层的情况大致同样的效果。附图说明
图1是实施例1的PDP的周边部分(沿着地址电极)的截面图。
图2是实施例1的PDP的周边部分(沿着显示电极)的截面图。
图3是实施例2的PDP的顶视图。
图4是实施例2的PDP的周边部分(沿着地址电极)的截面图。
图5是表示交流表面放电型PDP的结构的部分截面透视图。
图6是PDP的顶视图。
图7是传统的PDP的周边部分(沿着地址电极)的截面图。
图8是传统的PDP的周边部分(沿着显示电极)的截面图。发明的最佳实施例
1.实施例1
1-1.PDP的特征部分的结构
本实施例1的PDP的内部结构基本上与上述图5的内部结构相同，而密封材料40附近的结构则差异很大。即，如图1的密封材料附近的PDP部分截面图所示，本实施例1中，密封材料40不与后面板26侧直接接触，而是通过电极扩散防止层50与后面板玻璃27(及地址电极28)接触。
电极扩散防止层50可以由例如玻璃和氧化填充物(具体地说，Al2O3和TiO2等)构成。它是作为具有比密封材料40的熔融玻璃的熔点(约360℃)高的软化点温度(约560℃)的绝缘材料而选择的。
这样的电极扩散防止层50沿着介质层24的周围涂敷，使其厚度为大约10μm。
1-2.电极扩散防止层的效果
以前，在后面板玻璃27的周边部分，在密封材料40和地址电极28接触的状态下进行前面板20和后面板26的密封。即在高热炉中，使密封材料40熔融并冷却粘合。
但是在该密封工序中，受到高热炉的加热而使密封材料40熔融的同时，也使一些地址电极28(包含Ag和玻璃)熔融。这里，由于熔融玻璃的熔点比地址电极28的熔点(例如约530℃)低，因而熔融成比地址电极28的粘性低的状态。这样，密封材料40和地址电极28这两种互不相同的材料以熔融状态接触。这时，如上述图7所示，地址电极28中的Ag粒子从粘性高的地址电极28一侧向粘性低的密封材料40扩散。
这里，本申请发明人发现当发生这样的Ag粒子扩散时，多个地址电极28之间容易发生短路。另外，还发现根据特定的地址电极28的Ag粒子的扩散程度，该地址电极28有断线的危险性。
该现象尤其在具有非常细的地址电极28的PDP、如高清晰度电视等的具有高精度单元的PDP中特别容易发生，因而必须尽早解决。
因而，在实施例1中，PDP上具备有电极扩散防止层50。即，实施例1的PDP中，和以前一样，密封材料40和地址电极28不直接接触，使电极扩散防止层50和密封材料40介于其间，密封前面板20和后面板26。而且，该电极扩散防止层50的软化点为560℃，设置成高于密封材料的熔点。
从而，在密封工序中，即使地址电极28和密封材料40成为熔融状态，但是由于它们之间存在电极扩散防止层50，因而地址电极28中的Ag粒子不易混入密封材料40。而且，电极扩散防止层50即使在密封材料40的密封工序中也可保持比密封材料40良好的固体状态，因而能够有效防止地址电极28中的Ag粒子混入密封材料40。
从而，可以避免多个地址电极28短路、电气遮断的危险，能够发挥PDP良好的显示性能。
1-2.PDP的制造方法
以下，举例说明实施例1的PDP的制造方法。
1-2-a.前面板的制作
准备由厚度约2.6mm的钠钙玻璃形成的前面板玻璃21。这里采用(纵600mm×横950mm)尺寸的玻璃。
在该前面板玻璃21的表面上，沿着玻璃的纵向(x方向)以一定的间距制作多对显示电极22、23。显示电极22、23的制作方法可以采用以下的光刻法。
即，首先在前面板玻璃21一侧的主面上，涂敷厚度约0.5μm的光致抗蚀剂(例如紫外线硬化型光致抗蚀剂)。然后将一定图案的光掩模重叠在上面进行紫外线照射，并浸泡在显影液中，洗出未硬化的抗蚀剂。然后通过CVD法，在前面板玻璃21的抗蚀剂的间隙形成膜状的透明电极材料(ITO)。然后，用洗净液除去抗蚀剂，获得透明电极220、230。
接着，采用以Ag为主要成分的金属材料(例如杜邦公司的可光成像的Ag，熔点为580℃的DC202)，在上述透明电极220、230上形成厚度约4μm的总线221、231。该总线221、231的形成除了上述的光刻法，也可以采用丝网印刷法。该丝网印刷法，具体地说，将网格装在比前面板玻璃21大的长方形框架上，并将网格压在前面板玻璃21上，用涂刷器穿过网格在前面板玻璃21的表面涂敷包含Ag的涂料而形成。
以上，形成了显示电极22、23。
然后，从显示电极22、23的上面到前面板玻璃21的表面，采用上述丝网印刷法涂敷厚度约15～45μm的铅玻璃涂料。然后，焙烧涂敷的玻璃涂料，形成介质层24。
另外，这时，使介质层24处于前面板玻璃21的表面的中央，形成纵600mm×横950mm的尺寸。
接着，在介质层24的表面通过蒸镀法或CVD(化学蒸镀法)等形成厚度为约0.3～0.6μm的保护层25。保护层25通常采用氧化镁(MgO)，但是，当部分改变保护层25的材料时，例如分别采用MgO和氧化铝(Al2O3)时，则通过采用适宜的金属掩膜的图案来形成。
这样，制作成了前面板20。
1-2-b.后面板的制作
首先，准备由厚度约2.6mm的钠钙玻璃形成的后面板玻璃27。与上述前面板玻璃21一样，这里采用(纵600mm×横950mm)尺寸的玻璃。
接着，在上述后面板玻璃27的表面上，采用丝网印刷法，沿着该后面板玻璃27的纵向以一定的间距涂敷带状的包含有Ag和玻璃的导电材料(熔点约为520℃)并进行焙烧，形成厚度约5μm的多个地址电极28。这时，在制作的PDP的规格为40英寸的NTSC或VGA的情况下，两根地址电极28的间距设定在0.4mm以下。这里以0.3mm为例。
另外，此时设定的地址电极28的间距成为隔壁30的间距。
接着，在形成了地址电极28的后面板玻璃27的整个表面涂敷厚度约20～30μm的铅玻璃涂料并进行焙烧，形成介质层29。
接着，通过介质层29和相同的玻璃材料，在介质层29上每隔邻接的地址电极28的间隙(约150μm)形成高度约120μm的隔壁30。该隔壁30可以通过例如反复丝网印刷包含有上述玻璃材料的涂料并进行焙烧而形成。除此之外，隔壁30的形成还可以采用喷砂法。
形成隔壁30后，在隔壁30的壁面和两个隔壁30之间露出的介质层29的表面上涂敷包含有红色(R)荧光体、绿色(G)荧光体和蓝色(B)荧光体中任何一种的荧光墨水并进行干燥和焙烧，分别形成荧光体层31～33。
这里，举例说明通常用于PDP的荧光体材料。
红色(R)荧光体：(YXGd1-X)BO3：Eu3+
绿色(G)荧光体：Zn2SiO4：Mn
蓝色(B)荧光体：BaMgAl10O17：Eu3+(或BaMgAl14O23：Eu3+)
各荧光体材料可以使用例如粒径约3μm的粉末。有几种荧光体墨水的涂敷法，这里采用众所周知的弯液面法，在形成弯液面(由表面张力形成的交联)的同时从精细的喷嘴射出荧光体墨水。该方法可以将荧光体墨水非常均匀地涂敷在目标区域。另外，本发明的荧光体墨水的涂敷法当然不限于此，也可以采用丝网印刷等其他方法。
以上完成了后面板26。
另外，这里采用钠钙玻璃形成前面板玻璃21和后面板玻璃27，但这只是作为一个例子，也可以采用别的材料形成前面板玻璃21和后面板玻璃27。
1-2-c.电极扩散防止层的制作
在上述制作的后面板26的介质层29的周边部分(参照图6)，涂敷由铅玻璃和氧化填充物形成的玻璃涂料，在约560℃进行焙烧。该玻璃涂料采用具有比后述的密封材料40用的熔融玻璃的熔点高的软化点的材料。最好该玻璃涂料采用具有比密封材料40的熔点高50℃以上的软化点的材料。另外，通过实验发现，该玻璃涂料的软化点最好在300℃以上。
从而制作成电极扩散防止层50。
1-2-d.密封工序
在上述制作的电极扩散防止层50上涂敷密封材料40的熔融玻璃涂料。例如，通过丝网印刷法涂敷软化点为360℃的PbO-B2O3-SiO2系的熔融玻璃(旭硝子公司的ASF2300)的涂料。该熔融玻璃也可以采用其他可购买的材料如ASF2300M、ASF2452(软化点为350～360℃)。
另外，虽然可以适当采用可购买的材料，但是最好尽量选择能够有效抑制气泡发生和与电极发生反应的材料。
接着，将前面板20和后面板26设置成使保护层25和隔壁30相对的位置，且两个面板20、26的纵向正交地重叠在一起。
在该状态将两个面板20、26投入高热炉，进行焙烧(约450℃、0.5小时)。
这里，在密封材料40熔融时，地址电极28(包含Ag和玻璃)也有部分熔融。这时熔融的密封材料40的粘性比熔融的地址电极28低。以前，由于密封材料40和地址电极28直接接触，从而，上述密封材料40和地址电极28的粘性的差异导致地址电极28的Ag粒子扩散到密封材料40中，引起该地址电极28的断线和短路等问题。
但是，本实施例1中，由于密封材料40和地址电极28之间夹着具有比密封材料40的熔点高的软化点的电极扩散防止层50，避免了地址电极28的Ag粒子扩散到密封材料40中。具体地说，由于电极扩散防止层50的软化点温度比密封材料40高，与密封材料40相比，地址电极28的Ag粒子不易扩散到电极扩散防止层50，从而可以避免上述Ag粒子扩散到密封材料40中。
如上所述，本实施例1可以进行良好的密封工序。
上述前面板20和后面板26的焙烧工序完成后，接着进行冷却工序，使密封材料40冷却粘接。
1-2-d.PDP的完成
然后，将放电空间的内部排空到高真空(1.1×10-4Pa)状态，在规定的压力下(例如2.7×105Pa)封入Ne-Xe族、He-Ne-Xe族和He-Ne-Xe-Ar族等放电气体。
另外，通过实验发现，如果封入时气体压力设定在800～5.3×105Pa的范围内，则可以提高发光效率。
接着，将用以驱动显示电极22、23及地址电极28的驱动电路(未图示)连接到各个面板玻璃21、27的端部211、212、271、272，完成PDP。
1-3.实施例1的其他事项
上述例子中，在密封材料40和地址电极28之间设置电极扩散防止层50，但是本实施例不限于此，如图2的端部211周围的PDP部分截面图所示，也可以在显示电极22、23(具体地说，总线221、231)和密封材料之间设置电极扩散防止层50。从而，能够防止总线221、231中的Ag粒子扩散到密封材料40中，抑制显示电极的断线或短路问题的发生，发挥良好的PDP的显示性能。
另外，也可以在密封材料40和地址电极28之间及总线221、231和密封材料40之间分别设置电极扩散防止层50。
2.实施例2
实施例1说明了采用电极扩散防止层50的例子，但是实施例2不采用电极扩散防止层50，而是如图3的PDP正面图所示，以兼备电极扩散防止层的作用的介质层24的周边部分向外扩展形成的结构为特征(图中为便于说明，用实线表示比实际少的显示电极22、23及地址电极28的根数。另外，为了说明密封材料40和介质层24的设置位置，用实线进行表示)。
具体地说，如图4的端部271周围的PDP截面图所示，通过将介质层24的扩展部插入密封材料40和地址电极28之间而形成。
这里，本实施例2的介质层24具有比密封材料40和地址电极28的各个熔点高的软化点温度，且具有不易与Ag反应的特征。这里，该介质层24由绝缘材料的玻璃和氧化填充物构成。氧化填充物可以采用氮化硅(SiN)等，除此之外也可以采用SiO2，或者包含SiN、SiO2两者。作为可购买的材料，可以采用旭硝子公司的YPT061F(PbO-B2O3-SiO2系)、YPW040(PbO-B2O3-SiO2系)、PLS3244(PbO-B2O3-SiO2系)。由这些可购买的材料制作的介质层24能够很好地避免地址电极28的断线和短路的问题，获得良好的效果。
另外，作为该介质层24的材料，最好采用具有比地址电极28和密封材料40的各熔点高50℃以上的软化点的材料。另外，通过实验发现，该介质层24的软化点如果在300℃以上，可以更好地防止Ag粒子的扩散。
采用这样的介质层24，可以达到与实施例1同样的效果。即，在密封工序中，通过具有比地址电极28和密封材料40的各熔点高的软化点温度的介质层24，可以防止地址电极28中的Ag粒子的扩散到密封材料中，避免地址电极28的断线和短路的问题。从而，发挥良好的PDP的显示性能。
另外，图4中说明了介质层24扩展到密封材料40的下面的例子，但是本实施例2不限于此，介质层29也可以扩展到密封材料40的下面。从而，可以防止显示电极22、23的总线221、231中的Ag粒子扩散到密封材料40中。此时，与上述介质层24一样，介质层29最好用玻璃和氧化填充物构成。
另外，也可以使介质层24和介质层29都进行扩展。
2-1.实施例2的其他事项
本实施例2可以适用于在前面板或后面板上配置介质层而构成的PDP。产业上应用的可能性
本发明的等离子显示面板的制造装置及其制造方法可以利用于电视接收机采用的等离子显示面板的制造装置及其制造方法等。