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以由氮化铝烧结体构成的陶瓷基板(10)的残余应力在-50MPa以下、陶瓷基板(10)与金属板(14)的接合面的算术平均粗糙度Ra为0.150.30m、十点平均粗糙度Rz为0.71.1m、最大高度Ry为0.91.7m、陶瓷基板(10)的抗弯强度为500MPa以下、沿着陶瓷基板(10)的表面所形成的残余应力层(10a)的厚度为25m以下的条件,在进行将液体中包含球状氧化铝作为磨粒的浆料喷射至陶瓷基板(。