放置非蒸散常温吸气剂的方法.pdf

本发明属于提高真空器件运行期间的真空度的一种方法。
    非蒸散常温吸气剂是提高真空器件运行期间真空度的有效途径。向真空器件内放置非蒸散常温吸气剂的公知技术是：在真空器件组装过程中将非蒸散常温吸气剂装入真空器件内部，在排气过程中用电阻加热或高频加热激活。这种方法要求在真空器件内设置专用的加热装置及必要的电流引入线，或者要求将非蒸散常温吸气剂做成易于高频加热的形式，并在排气台上装设高频加热装置。由于非蒸散常温吸气剂的激活温度很高，因而它必须远离玻璃等不耐高温或不允许强烈受热的内部购件。用高频加热激活非蒸散常温吸气剂时，它还必须远离真空器件内不允许强烈加热的金属构件和尽量接近绝缘外壳。在许多场合下，特别是在小型真空器件中，这些要求是很难得到满足的。美国4382646专利所述：将真空器件和非蒸散常温吸气剂一起放入一个真空室内。非蒸散常温吸气剂放在同一真空室中的一个平台上，平台位于真空器件外部，在排气孔附近。平台上还有一个从真空室外部操纵的推动装置。真空室达到要求的真空度时，加热非蒸散常温吸气剂，使之激活。待非蒸散常温吸气剂冷却后，用推动装置将非蒸散常温吸气剂推入真空器件中。最后用通常的密封材料或用冷封法封闭排气孔。这种方法虽可防止真空器件内部零件的过热，但它需要复杂的装置，不能用于大型真空器件和真空度要求高，排气工艺复杂的真空器件。

    本发明针对上述方法的缺点进行改进。本发明的要点是：如附图所示。用来激活和放置非蒸散常温吸气剂〔4〕的激活装置〔2〕通过连接管〔22〕与被抽真空器件〔1〕相连。激活后的非蒸散常温吸气剂〔4〕借助于自身的重力倒入真空器件〔1〕中，最后封离真空器件〔1〕。

    在真空器件〔1〕的排气管〔11〕与排气系统〔3〕的抽气管〔31〕之间接着激活装置〔2〕。激活装置〔2〕的外壳是一个用玻璃等无机绝缘材料制造的真空容器〔21〕。其内部装有一个上端开口的金属杯〔23〕。金属杯〔23〕由支杆〔26〕垂直地固定着。金属杯〔23〕周围装着与金属杯〔23〕电绝缘地加热体〔24〕，加热体〔24〕的两端分别与两根电流引线〔25〕相连，电流引线〔25〕通过真空容器〔21〕的器壁伸到真空容器〔21〕的外面。激活装置〔2〕的顶部有一连接管〔22〕与排气管〔11〕的侧壁相接。

    向真空器件〔1〕中放置非蒸散常温吸气剂〔4〕的方法如下：1、通过激活装置〔2〕上的连接管〔22〕用适当的工具（如镊子）将非蒸散常温吸气剂〔4〕放入金属杯〔23〕中;2、将真空器件〔1〕的排气管〔11〕封接到真空系统〔3〕的抽气管〔31〕上，将激活装置〔2〕的连接管〔22〕封接到排气管〔11〕的侧壁上。封接后的激活装置〔2〕应位于真空器件〔1〕的下方，非蒸散常温吸气剂〔4〕应可靠地保持在上端开口的金属杯〔23〕中;3、在排气过程中应对激活装置〔2〕进行烘烤除气并向加热体〔24〕通电，加热金属杯〔23〕，以达到激活非蒸散常温吸气剂〔4〕的目的;4、在〔32〕将抽气管〔31〕封闭并切断;5、倒转真空器件〔1〕，使激活装置〔2〕位于真空器件〔1〕的上方。非蒸散常温吸气剂〔4〕在重力作用下通过连接管〔22〕和排气管〔11〕落到真空器件〔1〕内，在〔12〕处将排气管〔11〕封闭并切断;6、取下激活装置〔2〕。激活装置〔2〕可反复使用。

    激活装置〔2〕中的金属杯〔23〕也可以用高频加热。

    本发明的方法的优点是：1、在非蒸散常温吸气剂〔4〕激活过程中，真空器件〔1〕不受热，这使一些利用已知技术不能使用非蒸散常温吸气剂〔4〕的真空器件〔1〕能够使用非蒸散常温吸气剂〔4〕，从而可大大提高这类真空器件〔1〕在运行中的真空度;2、真空器件〔1〕中不需设置激活非蒸散常温吸气剂〔4〕用的装置（加热装置等），激活装置〔2〕结构简单，并可反复使用。采用本发明的方法替代已知技术后，可大大简化真空器件〔1〕的结构。由此降低真空器件〔1〕的造价;3、本发明的方法适用于各类真空器件〔1〕和各种激活温度的非蒸散常温吸气剂〔4〕。非蒸散常温吸气剂〔4〕可得到最佳的激活。

    利用已知技术很难在玻璃外壳真空灭弧室中使用非蒸散常温吸气剂〔4〕，利用本发明的方法，发明者在玻璃外壳真空灭弧室内放置了非蒸散常温吸气剂〔4〕，使真空灭弧室的储存寿命从10年提高到30年以上