半导体芯片的安装结构体、液晶装置和电子装置本发明涉及通过使用ACF(各向异性导电膜)等的粘接剂将半导体芯
片粘接到基板上而构成的半导体芯片的安装结构体，特别是涉及对半导
体芯片中设置的多个凸点(bump)与在基板上设置的多个接合区(land)
进行导电性连接的结构的安装结构体。此外，本发明涉及使用了该安装
结构的液晶装置和使用了该液晶装置的电子装置。
目前，在携带电话机、携带信息终端等的电子装置中广泛地使用了
液晶装置。在很多情况下，为了显示文字、数字、图形等的可视信息而
使用了该液晶装置。
一般来说，在该液晶装置中，具有由一对透先性基板夹住的液晶，
通过控制施加到该液晶上的电压来控制该液晶的取向，因而对入射到该
液晶上的光进行调制。在该液晶装置中，为了控制施加到该液晶上的电
压，必须使用液晶驱动用IC、即半导体芯片，将该IC直接地或通过基
板间接地连接到上述透光性基板上。
现在，如果考虑通过基板将液晶驱动用IC连接到液晶装置的透光性
基板上的情况，则例如，如图9中所示，通过使用ACF53将液晶驱动用
IC51连接到基板52上来形成安装结构体58，再使用FPC(柔性印刷基
板)54等的连接部件将该安装结构体58内的基板52连接到液晶装置56
的透光性基板57a上。液晶装置56的构成包括一对透光性基板57a、57b
和封入这些基板之间的液晶59。在基板57a、57b的外侧表面上粘贴偏
振片60，还在基板57a的表面上设置反射板61。
但是，在现有的安装结构体58中，一般来说，如图10中所示，在
基板52中用于安装液晶驱动用IC51的区域A是与除此以外的表面区域
相同的平坦面。其结果，如果ACF53的量过多的话，则在ACF53的压接
连接时在该ACF53的内部产生大的残留应力，因此，存在随着时间的推
移产生连接不良的问题。
再有，在图10中符号62表示相对于IC51的输入布线，符号63表
示来自IC51的输出布线。这些布线实际上形成多条，但在图中示出这
些布线的一部分，用点划线将剩下的部分省略。
本发明是鉴于上述的问题而完成的，其目的在于，在使用ACF等的
粘接剂将液晶驱动用IC等的半导体芯片安装到基板上的安装结构体中
提高电极端子间的连接可靠性。
(1)为了达到上述目的，与本发明有关的半导体芯片的安装结构体
是包括具备多个凸点的半导体芯片和多个接合区的基板、同时通过使用
粘接剂来连接上述半导体芯片和上述基板以便使这些凸点与这些接合区
互相导通而构成的半导体芯片的安装结构体。而且，该安装结构体的特
征在于，在上述基板中，在被上述多个接合区包围的区域内分散地配置
多个贯通孔。
按照该半导体芯片的安装结构体，通过在其间夹住粘接剂的状态下
将半导体芯片挤压到基板上，利用该粘接剂将半导体芯片固定在基板
上。在这种情况下，在粘接剂的量过多时，在将半导体芯片挤压到基板
上时多余的粘接剂进入贯通孔中，于是，不会在粘接剂的内部产生残留
应力。其结果，能可靠地防止在连接部中随着时间的推移产生连接不良
的情况。
再有，作为本发明的半导体芯片的安装结构，例如可考虑COB(板上
的芯片)方式的安装结构或COF(FPC上的芯片)方式的安装结构等。COB
方式的安装结构是例如在环氧基板等上安装半导体芯片的结构。此外，
COF方式的安装结构是在具有柔性且较薄的基板、例如柔性印刷基板
(FPC：柔性印刷基板)上安装半导体芯片的结构。
按照实开平3-39876号公报，公开了在片状部件而不是在半导体芯
片的安装区域的内部设置贯通孔的技术。但是，在该处示出的贯通孔是
为了容易形成片状部件的安装部的凹陷，其目的不是为了在粘接剂中不
产生残留应力。因此，在该现有文献中没有示出在被与半导体芯片的凸
点对应地配置在基板一侧的多个接合区包围的区域内形成贯通孔和在分
散状态下配置这些多个贯通孔的技术要点。
本发明者对于本发明中在基板中形成的多个贯通孔的配置形态进行
了模拟，得到了下述的结果。以下，考虑图7中示出的模型作为压接前
的状态，考虑图8中示出的模型作为压接后的状态。在这些图中各符号
具有以下的意义。
X、Y：液晶驱动用IC(即，半导体芯片)6的外形尺寸
x、y：凸点16的外形尺寸
h：凸点16的高度
n：凸点16的数目
t：ACF(即，粘接剂)4的厚度
T：基板3的厚度
H：接合区13的厚度
d：通孔(即，贯通孔)9的孔径
N：通孔9的孔数
(A)在将液晶驱动用IC6压接到基板3上时，由液晶驱动用IC6挤
压的ACF4的体积V是：
V=X·Y·t……(1)
(B)在图8中示出的压接完了的状态下，被凸点16排出的ACF4的
体积v1是：
v1=x·y·h·n……(2)
此外，在图8中示出的压接完了的状态下，被接合区13排出的ACF4
的体积v2是：
v2=x·y·H·n……(3)
其中，为了简单起见，将接合区13的尺寸设定为与凸点16的尺寸
相等。
(C)假定在压接时没有从IC芯片6的外形向外侧伸出的ACF4。因
压接而成为多余的(即，被排出的)ACF4的体积v0是：
v0=X·Y·(t-h)+v1+v2……(4)
再有，在上式中，(t-h)表示因压接引起的ACF4的厚度的减少量。
(D)如果假定成为多余的体积v0的ACF4全部充填到基板3的孔9
内，再假定孔9的总面积为S0，则
S0·T=v0
因而
S0={X·Y·(t-h)+v1+v2}/T……(5)
(E)在基板3中设置的孔9的总面积S0对液晶驱动用IC6的占有
率R(％)是：
R=(S0/X·Y)×100……(6)
这里，不管孔9是圆孔、四角形孔、这些孔的组合、还是其它任意
的形状都没有关系。
(F)例如，假定孔9为圆孔，再假定成为多余的体积v0的ACF4全
部充填到该圆孔内，则下述的公式成立：
v0=(d/2)2·π·T·N……(7)
因而，
孔数N=v0/(d/2)2·7π·T
={X·Y·(t-h)+v1+v2}/(d/2)2·π·T
……(8)
(G)模拟的结果如下表所示。
【表1】
R(％)
8.9
17.9
7.9
7.0
4.4
2.2
1.1
0.1
X(μm)
3000
3000
3000
3000
3000
3000
3000
3000
Y(μm)
10000
10000
10000
10000
10000
10000
10000
10000
X(μm)
70
70
70
70
70
70
70
70
y(μm)
70
70
70
70
70
70
70
70
h(μm)
18
18
18
20
18
18
18
18
n(个)
300
300
300
300
300
300
300
300
t(μm)
35
35
25
35
35
35
35
27
T(μm)
100
100
100
100
200
400
800
800
H(μm)
9
0
0
9
9
9
9
9
d(μm)
300
300
300
300
300
300
300
300
N(个)
37.7
75.9
33.5
29.6
18.8
9.4
4.7
0.5
R(％)
7.5
3.8
11.5
7.8
X(μm)
3000
3000
3000
3000
Y(μm)
10000
10000
10000
10000
X(μm)
70
70
70
70
y(μm)
70
70
70
70
h(μm)
18
18
18
18
n(个)
300
300
300
300
t(μm)
28
28
20
30
T(μm)
25
50
25
50
H(μm)
9
9
0
9
d(μm)
300
300
300
300
N(个)
31.9
16.0
48.9
33.0
在上表中，R由上式(6)求出，N由上式(8)求出。此外，在上表
中，T=100μm以上的数据涉及COB方式的安装结构，T=50μm以下的数
据涉及COF方式的安装结构。
(H)在基板3中设置的孔9的占有率随液晶驱动用IC6的大小、凸
点16的大小和数目、ACF4的厚度、基板3的厚度、接合区13的厚度等
的组合而变化，但为了确保ACF4的连接可靠性，有必要使ACF4充分地
充填在液晶驱动用IC6与基板3之间，也可选择适当的厚度的ACF4。
但是，在现实的压接操作中，有必要压接多种多样的部件的组合，
要分别使用与这些多种多样的部件对应的的最佳的ACF4是困难的。与
此不同，如果按照本申请的发明，则在ACF4的厚度厚的情况下，通过
使多余的ACF4逸出到基板孔9中，可确保最佳的压接状态，因此，即
使将ACF4的厚度的变动设定为一个小的范围内，也能适应多种类型的
压接。
(2)如参照上述的模拟的结果，则基板孔9对液晶驱动用IC6(即，
半导体芯片)的面积占有率R(％)在下述范围内是较为理想的：
0％＜R≤18％
利用该尺寸设定，能在进行压接时使粘接剂可靠地逸出到贯通孔中。
(3)基板孔9的面积占有率R(％)在下述范围内则更为理想：
2％≤R≤10％
如按照该尺寸设定，则能在进行压接时使粘接剂可靠地逸出到贯通
孔中，同时也能更多地留下用于形成布线图形的基板的面积。
(4)关于上述结构的半导体芯片的安装结构体，最好将设置在基板
中的多个贯通孔设置在被多个接合区包围的区域的与中央部相比靠近这
些接合区的位置上。如果这样做，则能可靠地使被凸点和接合区排出的
全部粘接剂逸出到上述贯通孔中。
具体地说，在图8中，最好在IC芯片6的中央C与凸点16之间的
距离D1的2/3以下的范围D2内设置贯通孔9。例如，如果将IC芯片6
的宽度设为X=3mm(=3000μm)，将从IC芯片6的端面到凸点16的
内侧端面为止的距离设为D3=0.3mm，则下式成立：
D1=X/2-D3
=3/2-0.3
=1.2(mm)
因此，下式成立：
D2=D1×2/3=0.8(mm)
即，在这种情况下，最好将贯通孔9设置在离凸点16的内侧端面的
0.8mm的范围内。
(5)本发明中使用的基板可以由具备单一的布线层的基板形成，也
可由包含利用多个导电性通孔互相进行导电性连接的多个布线层的基板
构成。在使用具备这样的导电性通孔的基板的情况下，可将该基板中形
成的导电性通孔用作使粘接剂逸出用的多个贯通孔。
目前，大多考虑将基板中形成的导电性通孔配置在IC芯片的安装区
的外侧，但在进行在面积小的基板内形成高密度的布线图形的所谓精细
安装的情况下，在IC芯片的安装区的的内部配置导电性通孔是非常有
效的，在这样的图形配置时，如果将这些多个导电性通孔作为使粘接剂
逸出用的贯通孔来利用，则是非常有效的。
(6)其次，与本发明有关的液晶装置是这样的液晶装置：它具有被
一对透光性基板夹住的液晶，通过控制施加到该液晶上的电压来控制该
液晶的取向，因而对入射到该液晶上的光进行调制。而且该液晶装置具
有与上述一对透光性基板的至少一方粘接的半导体芯片的安装结构体，
该安装结构体包括具备多个凸点的液晶驱动用IC和具备多个接合区的
基板，同时通过使用粘接剂来连接上述液晶驱动用IC与上述基板以便
使这些凸点与这些接合区互相导通而构成。而且，在上述基板中，在被
上述多个接合区包围的区域内在分散的状态下配置多个贯通孔。
在制造该液晶装置时，通过在其间夹住粘接剂的状态下将液晶驱动
用IC(即，半导体芯片)挤压到基板上，利用该粘接剂将液晶驱动用IC
固定在基板上。在这种情况下，在粘接剂的量过多时，在将液晶驱动用
IC压接到基板上时多余的粘接剂进入贯通孔中，于是，不会在粘接剂的
内部产生残留应力。
(7)在上述(6)记载的液晶装置中，如果将贯通孔的合计面积对
液晶驱动用IC的面积的占有率设为R，则R在下述范围内是较为理想的：
0％＜R≤18％
利用该尺寸设定，能在进行压接时使粘接剂可靠地逸出到贯通孔中。
(8)在上述(6)记载的液晶装置中，如果将贯通孔的合计面积对
液晶驱动用IC的面积的占有率设为R，则R在下述范围内更为理想：
2％≤R≤10％
如按照该尺寸设定，则能在进行压接时使粘接剂可靠地逸出到贯通
孔中，同时也能更多地留下用于形成布线图形的基板的面积。
(9)关于上述(6)至(8)中记载的液晶装置，最好将用于使粘接
剂逸出的贯通孔设置在被上述多个接合区包围的区域的与中央部相比靠
近这些接合区的位置上。如果这样做，则能在将液晶驱动用IC压接到
基板上时可靠地且自然地使被凸点和接合区排出的全部粘接剂逸出到贯
通孔中。
(10)关于上述(6)至(9)中记载的液晶装置，基板可以是具备
利用多个导电性通孔互相进行导电性连接的多个布线层的基板，在这种
情况下，可由这些通孔来构成使粘接剂逸出用的多个贯通孔。如果这样
做，则由于没有必要为了使粘接剂逸出而设置专用的贯通孔，故可将基
板的面积作为布线区域等，可有效地加以利用。
(11)其次，与本发明有关的电子装置是包含液晶装置而构成的电
子装置，其特征在于，该液晶装置是上述(6)至(10)中记载的液晶
装置。作为这样的电子装置，例如可考虑携带电话机、携带信息终端等。
图1是将与本发明有关的半导体芯片的安装结构体的一实施例分解
后示出的斜视图。
图2是示出图1的安装结构体的主要部分的斜视图。
图3是示出与本发明有关的液晶装置的一实施例的斜视图。
图4是示出图3示出的液晶装置的主要部分的剖面结构的剖面图。
图5是示出与本发明有关的电子装置的一实施例的斜视图。
图6是示出图5示出的电子装置的内部结构的主要部分的剖面图。
图7是示意性地示出与本发明有关的半导体芯片的安装结构体的特
别是在安装完了前的状态的图。
图8是示意性地示出图7中示出的半导体芯片的安装结构体的在安
装完了后的状态的图。
图9是示出具备半导体芯片的安装结构体的液晶装置的现有例的图。
图10是将图9中示出的半导体芯片的安装结构体分解后示出的斜视
图。
(关于半导体芯片的安装结构体的实施例)
图1示出了与本发明有关的半导体芯片的安装结构体的一实施例。
在这里示出的的安装结构体1的构成包括：安装了片状电容器、片状电
阻等所谓的电子片状部件2的电路基板3；由作为粘接剂的ACF(各向
异性导电膜)4连接到电路基板3的表面上的液晶驱动用IC6；以及由ACF7
连接到电路基板3的表面上的输入用电缆8。
电子片状部件2是构成用于驱动液晶装置的驱动电路用的电路部件。
这些电子片状部件2例如可用焊锡连接到电路基板3上。此外，也可使
用银膏等所谓的导电性粘接剂或ACF进行连接。
电路基板3例如通过下述方法来形成：在玻璃环氧基体材料的表面
背面覆盖铜箔，利用刻蚀形成布线图形，再通过通孔9实现表面背面的
导通。在布线图形的表面上进行Ni-Au电镀，这对于防止发生迁移
(migration)等的不良情况的效果很好。
在电路基板3的表面上设定安装液晶驱动用IC6用的区域、即IC安
装区A。此外，形成多条输出布线11和多个输入端子12作为布线图形，
如图2中所示，这些布线和端子的前端在IC安装区A的内部区域中形
成接合区13。在输出布线的背面一侧、即在与液晶驱动用IC6相反的一
侧的面上，如图4中所示，与各输出布线11对应地形成输出端子14，
这些输出端子14与各输出布线11利用通孔9进行导电性连接。
在图1中，液晶驱动用IC6在其底面、即有源面上具有多个凸点16，
这些凸点16通过ACF4与电路基板3上的多条输出布线11分别进行导
电性连接。ACF4可通过使对粒径为5μm的聚苯乙烯粒子进行Ni-Au电
镀而形成的导电粒子分散在以环氧系列粘接剂为主要成分的粘接剂中而
形成。在使用该ACF4的情况下，可在温度180℃、压力10gf/凸点、加
压时间30秒的条件下进行热压接。
在输入用电缆8的前端的下表面上形成布线图形17，这些布线图形
17通过ACF7与电路基板3的输入端子12进行导电性连接。ACF7使用
由粒径约为3～10μm的镍金属粒子形成的导电粒子和以环氧系列粘接剂
为主要成分的粘接剂构成的材料，在温度170℃、压力3MPa、加压时间
20秒的条件下进行连接。
此外，可利用以往进行的焊锡焊接，用手工操作或机械将电路基板3
与输入用电缆8连接起来。再者，最好在电路基板3与输入用电缆8的
连接部处覆盖硅酮树脂、丙烯酸树脂或尿烷树脂等模塑材料，以便防湿、
防尘和防止因机械接触而引起的损伤。关于电路基板3与下述的液晶屏
的连接部、液晶驱动用IC6与电路基板3的连接部、电子部件2与电路
基板3的连接部，也可同样使用这样的模塑材料。
在与本实施例有关的半导体芯片的安装结构体1中，如图2中所示，
在IC安装区A的内部、特别是被多条输出布线11的接合区13和多个
输入端子12的接合区13包围的区域B中分散地配置多个贯通孔10。
现在，如果将贯通孔10的合计面积对液晶驱动用IC6的朝向基板3
的安装面的面积的占有率设为R，则根据模拟结果、随时间推移的连接
不良的测定以及液晶驱动用IC6与电路基板3的连接强度的实验，将R
设定在下述范围内是较为理想的：
0％＜R≤18％
按照这一点，如果占有率R是0％，则会留下残留应力，发生显著
的随时间推移的连接不良，此外，如果占有率R大于18％，则不能确保
足够的连接强度。将R设定在下述范围内则更为理想：
2％≤R≤10％
通过这样来设定，则由于既能确保液晶驱动用IC6与电路基板3的
连接强度，又能使多余的ACF4通过贯通孔10逸出，故可降低残留应力。
此外，通过将贯通孔10的设定位置定为被接合区包围的区域B的与中
央部相比尽可能靠近凸点的位置，可在各凸点与对应的接合区的连接部
中使多余的ACF迅速地逸出。
在与本实施例有关的半导体芯片的安装结构体中，由于在电路基板3
的IC安装区A的内部、特别是在被接合区包围的区域B(参照图2)的
内部以分散状态形成多个贯通孔10，故在将液晶驱动用IC6压接到电路
基板3时，在利用压接头挤压ACF4时，多余的ACF4进入这些贯通孔10
中，从液晶驱动用IC6逸出。因而，由于在IC6和基板3之间始终存在
适量的ACF4，于是在ACF4的压接连接时，在该ACF4的内部不会产生
大的残留应力，因此，也不会产生随时间推移的连接不良，其结果，可
提高IC6的凸点16与基板3上的接合区之间的连接可靠性。
(变形例)
关于上述的安装结构体，可考虑以下的变形例。首先，在上述实施
例中，作为单纯的贯通孔10形成了使ACF4等粘接剂逸出用的的贯通孔，
但在安装液晶驱动用IC6的电路基板3是在表面背面两面上具有布线层
的两面电路基板、而且将导通这些布线层的导电性通孔设置在IC安装
区A的内部区域中时，可将这样的导电性通孔兼作使粘接剂逸出用的贯
通孔之用。
此外，作为电路基板3的基体材料，可使用由①芳族聚酰胺纤维或
②玻璃纤维和芳族聚酰胺纤维的混合材料构成的第1材料以及由③聚酰
亚胺系列树脂或④BT(bismaleid triazine双马来酰亚胺三嗪)树脂
等构成的第2材料的复合材料，来代替玻璃纤维与环氧系列树脂的复合
材料、即玻璃环氧基体材料。
此外，也可使用环氧系列树脂、聚酰亚胺系列树脂、BT树脂等的单
独材料，或由这些材料的混合或化合材料构成的基板材料来形成电路基
板。
此外，关于电路基板3，可使用单面布线基板，也可使用3层、4层
等多层基板，来代替上述实施例那样的两面布线基板。在使用单面布线
基板的情况下，虽然在与液晶驱动用IC6的安装面相同的面上形成输出
端子，但可使基板的成本降低。此外，在使用多层基板的情况下，可比
较容易地实现设置接地层或使电源布线图形变粗等降低噪声的对策。
(液晶装置的实施例)
图3示出了使用图1中示出的安装结构体1的液晶装置。在这里示
出的液晶装置20由该安装结构体1和与其连接的液晶屏19构成。
如图4中所示，液晶屏19通过用密封材料27粘贴一对透光性基板21a
和21b并在这些基板之间封入液晶22来形成。在一个透光性基板21a
的内侧表面上形成透光性电极23a，在另一个透光性基板21b的内侧表
面上形成透光性电极23b。
透光性基板21a伸出到对置的透光性基板21b的外侧，在该伸出部
上形成屏一侧的端子24。在该屏一侧的端子24中包含从透光性电极23a
直接延伸出来的部分和通过配置在两基板21a和21b间的导通材料(图
中未示出)与透光性电极23b连接的部分这样的2种类型。在各透光性
基板21a和21b的外侧表面上粘贴偏振片26、26。
在对半导体芯片的安装结构体1进行定位以使电路基板3的输出端
子14与屏一侧的端子24在位置上一致的状态下，利用配置在它们间的
ACF28进行导电性连接。在本实施例中，作为ACF28，使用由对粒径为10μm
的聚苯乙烯粒子进行Ni-Au电镀而形成的导电粒子和以环氧系列粘接
剂为主要成分的粘接剂构成的ACF，在温度170℃、压力3MPa、加压时
间20秒的压接条件下进行连接。
再有，可只使用不含有导电粒子的粘接剂使电路基板3的输出端子14
与屏一侧的端子24直接接触而导通，来代替使用ACF28的连接方法。
如果按照该连接方法，则可消除因使用ACF时产生的导电粒子引起的短
路不良情况的担心，可实现更微细的间距的连接。
关于如上所述那样构成的液晶装置20，也如图4中所示那样，在半
导体芯片的安装结构体1中，由于在电路基板3的IC安装区A的内部、
特别是在被输出布线11和输入端子12的接合区13包围的区域B的内
部以分散状态形成了多个贯通孔10，故在压接液晶驱动用IC6时，多余
的ACF4进入这些贯通孔10中，于是，可防止在ACF4的压接连接时在
该ACF4的内部产生大的残留应力。
(电子装置的实施例)
图5示出了与本发明有关的电子装置的一例、即携带电话机的一实
施例。在这里示出的携带电话机30通过在外壳36中安置天线31、扬声
器32、液晶装置20、键开关33、话筒34等各种构成要素而构成。液晶
装置20由图3中示出的液晶装置构成。
图6示出了图5中示出的携带电话机的内部结构的主要部分，将由
液晶屏19和安装结构体1构成的液晶装置20安装在携带电话机30的
本体基板37内。例如，使用粘接剂将液晶屏19固定到以硅橡胶或发泡
尿烷为基体材料的具有减震性的固定部件38上，或利用以无纺布为基
体材料的两面胶带将液晶屏19固定到本体基板37的预定位置上。
在本体基板37上形成将电源和输入信号供给液晶装置20用的端子
41，而且设有与该端子连接的凹形的连接器42。液晶装置20通过以可
插拔的方式将输入用电缆8插入连接器42中，与本体基板37的电源一
侧进行连接。
在这里例示的携带电话机中，也通过使用图1中示出的安装结构体1，
在使用ACF4将液晶驱动用IC6安装到电路基板3上时，由于能使多余
的ACF4逸出到贯通孔10中，故可提高IC6的连接可靠性。
(其它的实施例)
以上举出了优选的实施例说明了本发明，但本发明不限定于这些实
施例，在权利要求中记载的发明的范围内可进行各种改变。
例如，本发明中使用的半导体芯片不限于液晶驱动用IC，可以是用
于各种目的的各种IC。此外，安装半导体芯片的基板也不限于图1中示
出的两面布线结构的基板，也可以是单层的基板或多层的基板。
此外，在图1中将凸点16和贯通孔10作为直线状的列来排列，但
排列形态不限于特别的形态。例如，也可将凸点16和贯通孔10排列成
锯齿状。
按照与本发明有关的半导体芯片的安装结构体、液晶装置和电子装
置，由于在基板中设置了贯通孔，故在其间夹住多量的粘接剂的状态下
将半导体芯片压接到基板上时，可使多余的粘接剂逸出到贯通孔中，因
此，在使用粘接剂的压接连接时，可防止在该粘接剂的内部产生大的残
留应力，因此，可防止随时间推移产生的连接不良。
此外，特别是按照本发明，由于将多个贯通孔配置在被多个接合区
包围的区域内，而且这些贯通孔不集中在1个部位、而是以分散状态来
配置，故能使多余的粘接剂均匀地且可靠地逸出，于是在半导体芯片的
整个面中可大体上完全防止在粘接剂的内部产生残留应力。