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本发明的蒸气发生装置(20)备有:蒸发容器(1),对该蒸发容器(1)进行加热的加热用加热器(2),将供水箱(7)的水向所述蒸发容器(1)内供水的供水泵(5),通过排水管(8)排出所述蒸发容器(1)内的水的排水阀(6),检测所述蒸发容器(1)的温度的温度检测机构(9),以及控制所述加热用加热器(2)、供水泵(5)、排水阀(6)等的控制装置(10);在蒸气发生运行结束后,所述蒸发容器(1)的温度降低到。