新型动力传动输电式高压隔离联动轴.pdf

1、10申请公布号CN102002677A43申请公布日20110406CN102002677ACN102002677A21申请号200910090664022申请日20090903C23C14/4820060171申请人北京中科信电子装备有限公司地址101111北京市中关村科技园通州园光机电一体化产业基地兴光二街6号北京中科信电子装备有限公司72发明人胡东京罗宏洋彭立波许波涛胡振东54发明名称新型动力传动输电式高压隔离联动轴57摘要本发明公开了一种动力传动输电式高压隔离联动轴，涉及一种电位隔离和电力传输装置，特别地涉及一种用于离子注入机中从市电向高电位工作区的动力传动输电式高压隔离装置，属于半导

2、体设备领域。此装置中的绝缘传动轴采用环氧玻璃纤维材料，提高了高压隔离联动轴的刚度和绝缘特性，提高了离子注入机的可靠性。该装置包括一前端轴1、两连轴器2、一绝缘传动轴3、一后端轴4，所述的其前端轴1通过连轴器2与绝缘传动轴3一端相连，绝缘传动轴3另一端通过另一连轴器2与其后端轴4连接。51INTCL19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书2页附图1页CN102002689A1/1页21一种动力传动输电式高压隔离联动轴装置，是对绝缘传动轴进行材料的改进，采用环氧玻璃纤维材料，此装置包括一前端轴1、两连轴器2、一绝缘传动轴3、一后端轴4，其特征在于1此绝缘传动轴采用环氧玻

3、璃纤维材料制作而成，具有很高的刚度和绝缘特性；2所述的前端轴1通过连轴器2与绝缘传动轴3一端相连，绝缘传动轴3的另一端通过另一连轴器2与一后端轴4相连。权利要求书CN102002677ACN102002689A1/2页3新型动力传动输电式高压隔离联动轴技术领域0001本发明涉及一种电位隔离和电力传输装置，特别地涉及一种用于离子注入机中从市电向高电位工作区的动力传动输电式高压隔离装置，属于半导体设备领域。背景技术0002离子注入机属于粒子加速器的一种，有部分设备处在高电位工作区，其电位与粒子的加速能量有关，但从普通市电向高电位设备供电的过程却将带来两级不同电位之间的绝缘问题。目前，动力传动输电式

4、高压隔离装置的应用解决了高压隔离问题，但此装置在高速旋转和电压差很大的情况下，就要求绝缘传动轴具有很高的刚度和很好的绝缘特性。提高整个联动轴装置运行的平稳度，克服由绝缘传动轴在高速旋转过程中由于材料刚度不够产生扭摆，导致振动。为了解决这些问题，必须对绝缘传动轴进行新的设计和采用新型的材料。发明内容0003本发明即是针对上述现有技术中的缺点而提出的一种结构简单、工作可靠的联动轴装置。一种动力传动输电式高压隔离联动轴，此处对高压隔离联动轴的绝缘传动轴进行新的发明设计，采用环氧玻璃纤维材料制作而成。0004本发明专利采用如下技术方案来实现前端轴1通过连轴器2与绝缘传动轴3一端相连，绝缘传动轴3另一端

5、通过另一连轴器2与一后端轴4相连，如图1。0005本发明具有如下显著优点00061应用环氧玻璃纤维绝缘材料对绝缘传动轴进行改进，提高了绝缘传动轴的刚性和绝缘特性，在高速运转中不会有扭摆现象；00072应用这种环氧玻璃纤维绝缘材料使得绝缘传动轴长度加大，因此隔离空间加大，也使得绝缘特性增强；00083提高了注入机在工作中稳定性和可靠性。附图说明0009图1为本发明的动力传动输电式高压隔离联动轴的结构图。具体实施例0010下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步介绍，但不作为对本发明的限定。0011图1中包含一前端轴1、两连轴器2、一绝缘传动轴3、一后端轴4，其中，前端轴1通过连轴器2与绝缘传动轴

6、3一端相连，绝缘传动轴3另一端通过另一连轴器2与后端轴4连接，绝缘传动轴3采用环氧玻璃纤维绝缘材料，实现前后两级电位的绝缘。此处采用环氧玻璃纤维，解决了绝缘传动轴因刚度或绝缘特性不好所带来的问题。此材料刚度大在高速旋转中不会有断裂和扭摆的问题，绝缘好不会被高压电势击穿，实现了此装置的安全运行，说明书CN102002677ACN102002689A2/2页4为注入机的正常运行提供了保障。0012绝缘传动轴3实现了两级电位之间的绝缘，在本实施例中，连轴器2选用柔性连轴器，有利于降低传动轴之间的同轴度要求，降低安装难度。0013本发明的特定实施例已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。说明书CN102002677ACN102002689A1/1页5图1说明书附图CN102002677A