X射线检查方法和X射线检查装置.pdf

1、(10)申请公布号 CN 102265143 A (43)申请公布日 2011.11.30 CN 102265143 A *CN102265143A* (21)申请号 200980152102.2 (22)申请日 2009.12.21 2008-326251 2008.12.22 JP G01N 23/04(2006.01) (71)申请人 欧姆龙株式会社 地址 日本京都府 (72)发明人 益田真之 杉田信治 加藤训之 松波刚 (74)专利代理机构 隆天国际知识产权代理有限 公司 72003 代理人 聂宁乐 向勇 (54) 发明名称 X 射线检查方法和 X 射线检查装置 (57) 摘要 X 射

2、线检查方法和 X 射线检查装置 (100) 具 有 ： X射线源(10)、 X射线检测器(23)、 X射线检测 器驱动部 (22)、 控制 X 射线检测器驱动部 (22) 驱 动 X 射线检测器 (23) 及从 X 射线检测器 (23) 取 得图像数据的图像取得控制机构 (30)、 移动检查 对象(1)的检查对象驱动机构(20)、 X射线源控制 机构 (60)、 运算部 (70)。X 射线源控制机构 (60) 基于运算部的指示， 使X射线源(10)输出X射线。 图像取得控制机构 (30) 基于运算部的指示， 使 X 射线检测器移动至 Y 方向上的多个拍摄位置。检 查对象驱动机构基于运算部的指示

3、， 使检查对象 在Y方向上移动， 能在各拍摄位置使X射线检测器 检测透过检查对象的 X 射线。 (30)优先权数据 (85)PCT申请进入国家阶段日 2011.06.22 (86)PCT申请的申请数据 PCT/JP2009/071242 2009.12.21 (87)PCT申请的公布数据 WO2010/074030 JA 2010.07.01 (51)Int.Cl. (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 3 页 说明书 19 页 附图 26 页 按照条约第19条修改的权利要求书 3 页 按照条约第19条修改的声明或说明 2 页 CN 102265149 A1/

4、3 页 2 1. 一种 X 射线检查方法， 利用 X 射线检测部 (23) 来拍摄从 X 射线源 (10) 输出并透过 对象物 (1) 的检查对象区域的图像， 基于拍摄到的图像， 重建所述检查对象区域的三维数 据， 该 X 射线检查方法的特征在于， 包括 ： 拍摄步骤 (S902、 S904、 S910)， 变更所述 X 射线源的 X 射线焦点位置 (17) 与所述检查 对象区域之间的相对位置关系， 并在使所述 X 射线检测部移动至拍摄位置的状态下拍摄所 述图像， 所述拍摄位置是根据所述 X 射线焦点位置与所述检查对象区域之间的所述相对位 置关系决定的， 重复步骤 (S908、 S912)，

5、以在将所述检查对象区域作为基准时使假想平面与特定线段 所成的角度为多个不同的值的方式重复所述拍摄步骤， 所述假想平面包含成为所述 X 射线 焦点位置的点， 所述特定线段是连接所述 X 射线焦点位置和所述检查对象区域而成的线 段， 重建步骤 (S812)， 基于针对所述检查对象区域在多个所述角度拍摄得到的多个图像， 重建所述三维数据。 2. 如权利要求 1 所述的 X 射线检查方法， 其特征在于， 所述 X 射线焦点位置是固定的， 在所述拍摄步骤中， 移动所述对象物。 3. 如权利要求 2 所述的 X 射线检查方法， 其特征在于， 所述重复步骤包括 ： 使所述 X 射线检测部直线移动至排列在第一

6、方向上的多个所述拍摄位置的步骤， 使所述 X 射线检测部在与所述第一方向不同的第二方向上移动的步骤， 在使所述 X 射线检测部在所述第二方向移动后， 使所述 X 射线检测部直线移动至排列 在所述第一方向上的其他的多个所述拍摄位置的步骤。 4.如权利要求1所述的X射线检查方法， 其特征在于， 所述重复步骤包括使所述X射线 焦点位置在排列有多个所述拍摄位置的第一方向上进行扫描的步骤。 5. 如权利要求 4 所述的 X 射线检查方法， 其特征在于， 在所述重复步骤中， 使所述 X 射 线焦点位置在沿着所述第一方向的一条直线上进行扫描。 6. 如权利要求 5 所述的 X 射线检查方法， 其特征在于，

7、所述重复步骤包括 ： 使所述 X 射线检测部直线移动至排列在所述第一方向上的多个所述拍摄位置的步骤， 使所述 X 射线检测部在与所述第一方向不同的第二方向上移动的步骤， 在使所述 X 射线检测部在所述第二方向移动后， 使所述 X 射线检测部直线移动至排列 在所述第一方向上的其他的多个所述拍摄位置的步骤。 7. 如权利要求 5 所述的 X 射线检查方法， 其特征在于， 所述检查对象区域在与所述第一方向不同的第二方向上分割为多个部分区域， 所述 X 射线检测部包括排列在所述第二方向上的多个 X 射线检测器， 在使所述 X 射线检测部在所述第一方向上移动的步骤中， 以从相同的所述 X 射线焦点 位置

8、输出并透过互不相同的所述部分区域的所述X射线入射至互不相同的所述X射线检测 器的方式， 使各所述 X 射线检测器在所述第一方向上直线移动。 8.如权利要求7所述的X射线检查方法， 其特征在于， 在使所述X射线检测部在所述第 权 利 要 求 书 CN 102265143 A CN 102265149 A2/3 页 3 一方向上移动的步骤中， 在所述多个 X 射线检测器中的一部分所述 X 射线检测器拍摄所述 图像的期间， 使与所述一部分的 X 射线检测器不同的另一部分所述 X 射线检测器在所述第 一方向上移动。 9. 如权利要求 4 所述的 X 射线检查方法， 其特征在于， 所述 X 射线源是扫描

9、型 X 射线源， 能够使所述 X 射线焦点位置在沿着所述第一方向的 多条线上进行扫描， 所述 X 射线检测部包括多个 X 射线检测器， 在使所述 X 射线检测部在所述第一方向上移动的步骤中， 以从互不相同的所述线输出 并透过所述检查对象区域的所述 X 射线入射至互不相同的所述 X 射线检测器的方式， 使各 所述 X 射线检测器在所述第一方向上直线移动， 在所述重复步骤中， 使所述 X 射线焦点位置在各所述线上进行扫描。 10. 如权利要求 9 所述的 X 射线检查方法， 其特征在于， 所述扫描型 X 射线源包括分别 配置在多条所述线上的多个反射型的靶。 11. 如权利要求 9 所述的 X 射线

10、检查方法， 其特征在于， 在使所述 X 射线检测部在所述 第一方向上移动的步骤中， 在所述多个 X 射线检测器中的一部分所述 X 射线检测器拍摄所 述图像的期间， 使与所述一部分的 X 射线检测器不同的另一部分所述 X 射线检测器在所述 第一方向上移动。 12. 如权利要求 9 所述的 X 射线检查方法， 其特征在于， 所述重复步骤包括 ： 使所述 X 射线检测部在与所述第一方向不同的第二方向上移动的步骤， 在使所述 X 射线检测部在所述第二方向上移动后， 使所述 X 射线检测部直线移动至排 列在所述第一方向上的多个所述拍摄位置的步骤。 13. 如权利要求 1 所述的 X 射线检查方法， 其特

11、征在于， 所述 X 射线检测部具有排列在 第一方向上的多个受光部。 14. 一种 X 射线检查装置， 用于重建对象物的检查对象区域的三维数据， 该 X 射线检查 装置特征在于， 具有 ： X 射线源 (10)， 其用于输出 X 射线， X 射线检测部 (23)， 其用于拍摄所述 X 射线， 移动机构 (22)， 其用于移动所述 X 射线检测部， 控制部 (70)， 其用于控制所述 X 射线检查装置的动作 ； 所述控制部进行如下处理 ： 使所述 X 射线源变更其 X 射线焦点位置 (17) 与所述检查对象区域之间的相对位置关 系， 并使所述移动机构将所述 X 射线检测部移动至拍摄位置， 在变更了

12、所述相对位置关系 以及移动了所述 X 射线检测部的状态下， 使所述 X 射线源和所述 X 射线检测部拍摄图像， 所 述拍摄位置是根据所述 X 射线焦点位置与所述检查对象区域之间的所述相对位置关系决 定的， 以在将所述检查对象区域作为基准时使假想平面与特定线段所成的角度为多个不同 的值的方式重复对所述图像的拍摄， 所述假想平面包含成为所述 X 射线焦点位置的点， 所 述特定线段是连接所述 X 射线焦点位置和所述检查对象区域而成的线段， 权 利 要 求 书 CN 102265143 A CN 102265149 A3/3 页 4 基于针对所述检查对象区域在多个所述角度拍摄得到的多个图像， 重建所述

13、三维数 据。 15.如权利要求14所述的X射线检查装置， 其特征在于， 所述X射线源是扫描型X射线 源， 能够使所述 X 射线焦点位置在沿着排列有多个所述拍摄位置的第一方向的一条直线上 进行扫描。 16. 如权利要求 14 所述的 X 射线检查装置， 其特征在于， 所述 X 射线源是扫描型 X 射线源， 能够使所述 X 射线焦点位置在沿着排列有多个所述 拍摄位置的第一方向的多条直线上进行扫描， 所述 X 射线检测部包括多个 X 射线检测器， 各所述 X 射线检测器被配置为， 使从互不相同的所述线输出并透过所述检查对象区域 的所述 X 射线， 入射至互不相同的所述 X 射线检测器。 17.如权利

14、要求16所述的X射线检查装置， 其特征在于， 所述扫描型X射线源包括分别 配置在所述多条线上的多个反射型的靶。 权 利 要 求 书 CN 102265143 A CN 102265149 A1/19 页 5 X 射线检查方法和 X 射线检查装置 技术领域 0001 本发明涉及 X 射线检查方法和 X 射线检查装置。特别地， 本发明是利用 X 射线照 射来检查对象物的拍摄方法， 涉及应用于 X 射线检查方法和 X 射线检查装置的技术。 背景技术 0002 近 年 来，亚 微 米 (submicron) 的 微 细 加 工 技 术 推 进 LSI(Large-Scale Integration ：

15、 大规模集成电路 ) 的高集成化， 将以往分为多个封装的功能集成到一个 LSI 中。 在以往的QFP(Quad Flat Package ： 四侧引脚扁平封装)、 PGA(Pin Grid Array ： 栅格阵 列接脚)中， 无法对应因组装一系列封装(one package)所需的功能而导致的管脚数增加， 因此， 最近特别使用BGA(Ball Grid Array ： 球状引脚栅格阵列)、 CSP(Chip Size Package ： 芯片尺寸封装 ) 封装的 LSI。另外， 为了满足移动电话等的超小型化的需要， 即使管脚数不 需要那么多， 也使用 BGA 封装。 0003 LSI 的 B

16、GA、 CSP 封装对超小型化做出巨大贡献的反面， 在装配 (assembly) 后无法 从外观上看到焊接部分等。因此， 在对安装了 BGA、 CSP 封装的印刷基板等进行检查时， 对检 查对象品照射 X 射线而获取透视图像， 对该透视图像进行分析， 从而判断品质是否良好。 0004 例如， 在专利文献 1(JP 特开 2003-344316 号公报 ) 中公开了这样的方法， 任意选 择X射线的照射角度来进行倾斜三维X射线CT(Computed Tomography ： 断层摄影)， 从而重 建对象物的三维数据。 0005 参照图 32， 说明专利文献 1 所公开的 X 射线检查装置。图 32

17、 是专利文献 1 所记 载的 X 射线检查装置的示意图。参照图 32， 该检查装置相对于对象物的检查对象区域 ( 视 场 ) 倾斜地照射 X 射线。 0006 另外， 在专利文献 2(JP 特开 2006-162335 号 ) 中， 公开了一种 X 射线检查装置， 该 X 射线检查装置， 基于用平行 X 射线检测装置取得的 X 射线图像来实施二维检查， 并且基于 用倾斜 X 射线检测单元取得的 X 射线图像来进行三维检查， 由此能够高速地进行双方面的 检查。这里， 也涉及了基于多个 X 射线图像来重建检查对象品的三维数据的技术。作为重 建的方法， 例如举出了 “滤波修改反投影法” 。 0007

18、 参照图 33， 说明利用专利文献 2 所公开的 X 射线检查装置进行的三维检查。参照 图 33， 在进行三维检查时， X 射线检查装置使检查对象和 X 射线检测装置在圆轨道上移动。 0008 现有技术文献 0009 专利文献 0010 专利文献 1 ： JP 特开 2003-344316 号公报， 0011 专利文献 2 ： JP 特开 2006-162335 号公报。 发明内容 0012 发明要解决的问题 0013 在 以 往 的 X 射 线 检 查 方 法 中， 无 法 充 分 高 速 实 现 AXI(Automated X-ray 说 明 书 CN 102265143 A CN 102

19、265149 A2/19 页 6 Inspection ： 自动 X 射线检查 )， 即， 无法充分高速利用 X 射线在生产线上进行检查。 0014 如专利文献1、 专利文献2记载那样， 每当X射线检查时， 为了使X射线检测器在圆 轨道上移动， 需要复杂的移动机构。另外， 由于移动耗时， 导致检查时间长。 0015 本发明为了解决上述问题， 提供一种高速的 X 射线检查方法以及能够实现高速的 X 射线检查的 X 射线检查装置。 0016 用于解决问题的方法 0017 根据本发明的一个方面， 提供一种 X 射线检查方法， 利用 X 射线检测部来拍摄从 X 射线源输出并透过对象物的检查对象区域的图

20、像， 基于拍摄到的图像， 重建检查对象区域 的三维数据， 该X射线检查方法的特征在于， 包括 ： 拍摄步骤， 变更X射线源的X射线焦点位 置与检查对象区域之间的相对位置关系， 并在使 X 射线检测部移动至拍摄位置的状态下拍 摄图像， 拍摄位置是根据 X 射线焦点位置与检查对象区域之间的相对位置关系决定的， 重 复步骤， 在以检查对象区域作为基准时， 重复拍摄， 使得假想平面与特定线段所成的角度为 多个不同的值， 假想平面含有作为X射线焦点位置的点， 特定线段是连接X射线焦点位置和 检查对象区域而成的线段， 重建步骤， 基于针对检查对象区域而在多个角度拍摄的多个图 像来重建三维数据。 0018

21、优选地， X 射线焦点位置是固定的， 在拍摄步骤中， 移动对象物。 0019 进一步优选地， 重复步骤包括 ： 使 X 射线检测部直线移动至排列在第一方向上的 多个拍摄位置的步骤， 使 X 射线检测部在与第一方向不同的第二方向上移动的步骤， 在使 X 射线检测部在第二方向移动后， 使 X 射线检测部直线移动至排列在第一方向上的其他的多 个拍摄位置的步骤。 0020 优选地， 重复步骤包括使 X 射线焦点位置在排列有多个拍摄位置的第一方向上扫 描的步骤。 0021 进一步优选地， 在重复步骤中， 使 X 射线焦点位置在沿着第一方向的一条直线上 扫描。 0022 进一步优选地， 重复步骤包括 ：

22、使 X 射线检测部直线移动至排列在第一方向上的 多个拍摄位置的步骤， 使 X 射线检测部在与第一方向不同的第二方向上移动的步骤， 在使 X 射线检测部在第二方向移动后， 使 X 射线检测部直线移动至排列在第一方向上的其他的多 个拍摄位置的步骤。 0023 或者， 进一步优选地， 检查对象区域在与第一方向不同的第二方向上被分割为多 个部分区域， X 射线检测部包括排列在第二方向上的多个 X 射线检测器， 在使 X 射线检测部 在第一方向上移动的步骤中， 通过使各 X 射线检测器在第一方向上直线移动， 从而使得从 相同的 X 射线焦点位置输出并且透过互不相同的部分区域的 X 射线入射至互不相同的

23、X 射 线检测器。 0024 进一步优选地， 在使X射线检测部在第一方向上移动的步骤中， 在多个X射线检测 器中的一部分 X 射线检测器拍摄图像期间， 使与一部分的 X 射线检测器不同的另一部分 X 射线检测器在第一方向上移动。 0025 或优选地， X 射线源是扫描型 X 射线源， 能够使 X 射线焦点位置在沿着第一方向的 多条线上进行扫描， X 射线检测部包括多个 X 射线检测器， 在使 X 射线检测部在第一方向上 移动的步骤中， 通过使各 X 射线检测器在第一方向上直线移动， 从而使得从互不相同的线 说 明 书 CN 102265143 A CN 102265149 A3/19 页 7

24、输出并且透过检查对象区域的 X 射线入射至互不相同的 X 射线检测器， 在重复步骤中， 使 X 射线焦点位置在各线上进行扫描。 0026 进一步优选地， 扫描型 X 射线源包括分别配置在多条线上的多个反射型的靶。 0027 或者， 在使X射线检测部在第一方向上移动的步骤中， 在多个X射线检测器中的一 部分 X 射线检测器拍摄图像期间， 使与一部分的 X 射线检测器不同的另一部分 X 射线检测 器在第一方向上移动。 0028 或者， 进一步优选地， 重复步骤包括 ： 使 X 射线检测部在与第一方向不同的第二方 向上移动的步骤， 在使X射线检测部在第二方向上移动后， 使X射线检测部直线移动至排列

25、在第一方向上的多个拍摄位置的步骤。 0029 优选地， X 射线检测部具有排列在第一方向上的多个受光部。 0030 根据本发明的其他方面， 提供一种用于重建对象物的检查对象区域的三维数据的 X 射线检查装置。X 射线检查装置包括 ： X 射线源， 其用于输出 X 射线 ； X 射线检测部， 其用 于拍摄 X 射线 ； 移动机构， 其用于移动 X 射线检测部 ； 控制部， 其用于控制 X 射线检查装置 的动作。控制部进行如下处理 ： 使 X 射线源变更其 X 射线焦点位置与检查对象区域之间的 相对位置关系， 并使移动机构将 X 射线检测部移动至拍摄位置， 在变更了相对位置关系的 变更和移动了 X

26、 射线检测部的状态下， 使 X 射线源和 X 射线检测部拍摄图像， 拍摄位置是根 据 X 射线焦点位置与检查对象区域之间的相对位置关系决定的 ； 在以检查对象区域作为基 准时， 重复图像的拍摄， 使得假想平面与特定线段所成的角度为多个不同的值， 假想平面含 有作为X射线焦点位置的点， 特定线段是连接X射线焦点位置和检查对象区域而成的线段， 基于针对检查对象区域而在多个角度拍摄的多个图像来重建三维数据。 0031 进一步优选地， X 射线源是扫描型 X 射线源， 能够使 X 射线焦点位置在沿着排列有 多个拍摄位置的第一方向的一条直线上扫描。 0032 或者， 进一步优选地， X 射线源是扫描型

27、X 射线源， 能够使 X 射线焦点位置在沿着 排列有多个拍摄位置的第一方向的多条直线上扫描， X 射线检测部包括多个 X 射线检测器， 各X射线检测器被配置为， 使从互不相同的线输出并透过检查对象区域的X射线， 入射至互 不相同的 X 射线检测器。 0033 进一步优选地， 扫描型 X 射线源包括分别配置在多条线上的多个反射型的靶。 0034 发明的效果 0035 根据本发明， 使 X 射线检测部直线移动至排列在某方向的多个拍摄位置。另外， 改 变 X 射线焦点与检查对象区域之间的位置关系， 使得透过检查对象区域的 X 射线入射至各 拍摄位置的 X 射线检测部。因此， 通过本发明， 能够实现高

28、速的 X 射线检查。 附图说明 0036 图 1 是 X 射线检查装置的概略框图。 0037 图 2 是用于说明 X 射线检查装置的结构的图。 0038 图 3 是表示具有基板导轨作为检查对象驱动机构的 X 射线检查装置的图。 0039 图 4 是表示第一实施方式的 X 射线检测器和检查对象的轨道的图。 0040 图 5 是说明第一实施方式的 X 射线检测器的拍摄位置的图。 0041 图 6 是表示现有方法中的 X 射线检测器和检查对象的轨道的图。 说 明 书 CN 102265143 A CN 102265149 A4/19 页 8 0042 图 7 是表示现有方法中的拍摄位置的图。 004

29、3 图 8 是以流程图形式表示第一实施方式的 X 射线检查的全部流程的图。 0044 图 9 是以流程图形式表示在图 8 中说明的 CT 拍摄的处理的流程的图。 0045 图 10 是表示检查对象的分割所需的 X 射线检测器和检查对象的配置的图。 0046 图 11 是用于说明第二实施方式的 X 射线检查装置的结构的图。 0047 图 12 是 X 射线源的剖面图。 0048 图 13 是 X 射线源的立体图。 0049 图 14 是表示具有连续面的靶的 X 射线源的图。 0050 图 15 是表示第二实施方式中的检查对象区域的图。 0051 图 16 是用于说明第二实施方式中的 X 射线焦点

30、位置和 X 射线检测器的 Y 方向移 动的一例的图。 0052 图 17 是表示第二实施方式中拍摄时的、 X 射线检测器、 检查对象以及 X 射线焦点 位置的位置关系的一例的图。 0053 图 18 是用于说明第二实施方式中的 X 射线检测器和检查对象的 X 方向移动的图。 0054 图 19 是表示对多个检查对象区域进行检查时的 X 射线检查装置的动作的一部分 的一例的图。 0055 图 20 是用于说明对整个检查对象区域检查时的 X 射线检查装置的动作的一例的 图。 0056 图 21 是以流程图形式表示第二实施方式的 X 射线检查的全部流程的图。 0057 图 22 是以流程图形式表示在

31、图 21 中说明的 CT 拍摄的处理的流程的图。 0058 图 23 是用于说明第三实施方式的 X 射线检查装置的结构的图。 0059 图 24 是表示第三实施方式中的 X 射线焦点位置和 X 射线检测器的 Y 方向移动的 一例的图。 0060 图 25 是表示第三实施方式中拍摄时的、 X 射线检测器、 检查对象以及 X 射线焦点 位置的位置关系的一例的图。 0061 图 26 是用于说明第三实施方式的检测器的独立移动的图。 0062 图 27 是用于说明第三实施方式中的 X 射线检测器和检查对象的 X 方向移动的图。 0063 图 28 是以流程图形式表示第三实施方式的 X 射线检查的全部流

32、程的图。 0064 图 29 是以流程图形式表示图 28 中的 CT 拍摄的处理的流程的图。 0065 图 30 是用于说明第四实施方式的 X 射线检查装置的结构的图。 0066 图 31 是用于说明第四实施方式的拍摄方式的图。 0067 图 32 是专利文献 1 记载的 X 射线检查装置的示意图。 0068 图 33 是专利文献 2 记载的 X 射线检查装置的示意图。 具体实施方式 0069 下面， 参照附图来说明本发明的实施方式。 在以下的说明中， 对同一部分标注相同 附图标记。它们的名称和功能也相同。因此不同对其重复详细说明。 0070 第一实施方式 0071 ( 概略结构 ) 说 明

33、书 CN 102265143 A CN 102265149 A5/19 页 9 0072 参照图 1， 说明第一实施方式的 X 射线检查装置 100 的结构。图 1 是第一实施方式 的 X 射线检查装置 100 的概略框图。 0073 X 射线检查装置 100 具有 ： 用于输出 X 射线 18 的 X 射线源 10、 X 射线检测器 23、 X 射线检测器驱动部 22、 图像取得控制机构 30， 所述图像取得控制机构 30 用于控制 X 射线检 测器驱动部 22 驱动 X 射线检测器 23 以及控制从 X 射线检测器 23 取得图像数据。进而， X 射线检查装置 100 还具有 ： 输入部

34、40、 输出部 50、 X 射线源控制机构 60、 运算部 70、 存储器 90。 0074 在 X 射线源 10 和 X 射线检测器 23 之间配置检查对象 1。在本实施方式中， 检查对 象 1 是安装有元件的电路基板。 0075 X 射线源 10 受 X 射线源控制机构 60 的控制， 对检查对象 1 照射 X 射线 18。 0076 检查对象驱动机构 20( 图 1 中未图示 ) 使检查对象 1 移动。作为检查对象驱动机 构20， 例如能够使用X-Y-Z载物台、 夹着检查对象1的一对导轨。 在后面详细说明检查对象 驱动机构 20。 0077 X 射线检测器 23 是二维 X 射线检测器，

35、 对从 X 射线源 10 输出并透过检查对象 1 的 X射线进行检测， 并使其图像化。 作为X射线检测器23， 能够使用I.I.(Image Intensifier ： 影像增强 ) 管、 FPD(Flat Panel Detector ： 平板探测器 )。从设置空间的观点出发， 优选对 X 射线检测器 23 使用 FPD。另外， 为了能够在生产线上 (in-line) 检查， 优选 X 射线检测器 23 具有高灵敏度， 特别优选使用了 CdTe( 碲化镉 ) 的直接变换方式的 FPD。 0078 X 射线检测器驱动部 22 将 X 射线检测器 23 驱动至指定的位置。在后面详细说明 X 射线

36、检测器驱动部 22 的结构。能够利用位置传感器 ( 未图示 ) 来获取被 X 射线检测器驱 动部 22 驱动的 X 射线检测器 23 的位置， 运算部 70 能够经由检测器驱动控制部 32 来获取 X 射线检测器 23 的位置。 0079 图像取得控制机构30包括检测器驱动控制部32和图像数据取得部34。 检测器驱 动控制部 32 控制 X 射线检测器驱动部 22， 使得 X 射线检测器 23 移动到由运算部 70 指定的 位置。图像数据取得部 34 获取由运算部 70 指定的 X 射线检测器 23 的图像数据。 0080 输入部 40 是用于接收来自用户的指示输入等的操作输入设备。输出部 5

37、0 是向外 部输出测定结果等的装置。在本实施方式中， 输出部 50 是用于显示由运算部 70 构建的 X 射线图像等的显示器。 0081 即， 用户能够通过输入部 40 执行各种输入， 并在输出部 50 上显示根据运算部 70 的处理得到的各种运算结果。输出部 50 显示的图像， 既可以为了由用户进行目视来判定好 坏而输出， 也可以作为后面说明的好坏判定部 78 的好坏判定结果而输出。 0082 X 射线源控制机构 60 包括用于控制电子束的输出的电子束控制部 62。电子束控 制部 62 从运算部 70 接受 X 射线焦点位置、 X 射线能量 ( 管电压、 管电流 ) 的指定。所指定 的 X

38、射线能量根据检查对象的结构而不同。 0083 运算部 70 执行存储在存储器 90 中的程序 96， 从而控制各部， 另外， 实施规定的计 算处理。运算部 70 包括扫描 X 射线源控制部 72、 图像取得控制部 74、 重建部 76、 好坏判定 部 78、 检查对象位置控制部 80、 X 射线焦点位置计算部 82、 拍摄条件设定部 84。 0084 扫描 X 射线源控制部 72 决定 X 射线焦点位置、 X 射线能量， 并且向 X 射线源控制 机构 60 发送指令。 说 明 书 CN 102265143 A CN 102265149 A6/19 页 10 0085 图像取得控制部 74 向图

39、像取得控制机构 30 发送指令， 从而使 X 射线检测器 23 取 得图像。另外， 图像取得控制部 74 从图像取得控制机构 30 取得图像数据。 0086 重建部 76 根据由图像取得控制部 74 取得的多个图像数据来重建三维数据。 0087 好坏判定部 78 基于由重建部 76 所重建的三维数据或者透视数据， 来判定检查对 象的好坏。例如， 好坏判定部 78 通过识别焊球的形状并判定该形状是否在预定的容许范围 内等来进行好坏判定。 此外， 进行好坏判定的算法， 或者对算法的输入信息因检查对象而不 同， 因此好坏判定部 78 根据拍摄条件信息 94 而获得这些信息。 0088 检查对象位置控

40、制部 80 控制检查对象驱动机构 20。 0089 X 射线焦点位置计算部 82 在对检查对象物 1 的某检查区域进行检查时， 针对该检 查区域计算 X 射线焦点位置、 照射角等。 0090 拍摄条件设定部 84 根据检查对象 1 来设定从 X 射线源 10 输出 X 射线时的条件 ( 例如， 对 X 射线源的施加电压、 拍摄时间等 )。 0091 存储器 90 存储有 ： X 射线焦点位置信息 92、 拍摄条件信息 94、 上述运算部 70 所执 行的用于实现各功能的程序 96、 X 射线检测器 23 拍摄到的图像数据 98。X 射线焦点位置信 息 92 含有由 X 射线焦点位置计算部 82

41、 所计算出的 X 射线焦点位置。拍摄条件信息 94 含 有由拍摄条件设定部 84 设定的拍摄条件、 与用于进行好坏判定的算法相关的信息。 0092 此外， 存储器 90 只要能储备数据即可。存储器 90 例如可由 RAM(Random Access Memory ： 随机存取存储器)、 EEPROM(Electrically Erasableand Programmable Read-Only Memory ： 电可擦除只读存储器 )、 HDD(Hard Disc Drive ： 硬盘驱动器 ) 等的存储装置构成。 0093 ( 具体的结构 ) 0094 参照图 2 来说明第一实施方式的 X

42、射线检查装置 100 的具体的结构。图 2 是用于 说明第一实施方式的 X 射线检查装置 100 的结构的图。此外， 在图 2 中， 对与图 1 相同的部 分标注相同附图标记。另外， 在图 2 中， 记载了从图 1 所示的部分中提取的与 X 射线焦点 位置的控制、 X 射线检测器位置的控制、 检查对象位置的控制等有直接关系的需要说明的部 分。 0095 X射线源10在本实施方式中是固定焦点型X射线源， 其产生X射线的位置(X射线 焦点位置 17) 是固定的。X 射线源 10 根据通过 X 射线源控制机构 60 的来自运算部 70 的命 令， 产生 X 射线。 0096 X 射线检测器驱动部 2

43、2 具有正交式的双轴的机械臂 (robot arm)22a 和检测器支 持部 22b。X 射线检测器驱动部 22 利用机械臂 22a 使 X 射线检测器 23 在 XY 方向上移动。 检测器驱动控制部 32 将移动时刻的 X 射线检测器 23 的位置信息发送至运算部 70。 0097 此外， 在本实施方式中， 如后述， X射线检测器驱动部22使X射线检测器23在Y方 向上的移动比在 X 方向上的移动多。因此， 如图 2 所示， 作为机械臂 22a， 优选在 X 轴的机械 臂上装载 Y 轴的机械臂。通过该结构， 能够减轻应该由 Y 轴的机械臂移动的物体的总重量， 因此能够在 Y 方向的高速移动。

44、 0098 但是， X射线检测器驱动部22的结构并不仅限于此。 也可以使用能够实现这种X-Y 方向移动的其他机构作为 X 射线检测器驱动部 22。此外， X 射线检测器驱动部 22 优选为了 调整放大率而具有使 X 射线检测器 23 上下升降的机构。 0099 检查对象驱动机构 20 具有促动器和用于固定检查对象的机构。检查对象驱动机 说 明 书 CN 102265143 A CN 102265149 A7/19 页 11 构 20 利用由运算部 70 内的检查对象位置控制部 80 所控制的检查对象位置驱动机构， 能够 使检查对象的视场与上述 X 射线检测器 23.1 或 23.2 相独立地在

45、 XY 方向上移动。 0100 在生产线上检查时， 检查对象驱动机构20基本使检查对象1在X方向上移动。 即， 检查对象驱动机构 20 使未检查的检查对象 1 从图 2 的右 ( 或左 ) 方向向左 ( 或右 ) 移动， 直到将其运到 X 射线的照射范围为止。另外， 检查对象驱动机构 20 使检查结束的检查对象 1进一步向左(或右)移动。 但是， 如后述， 为了拍摄数据重建所需的图像， 检查对象驱动机 构 20 也使检查对象 1 在 Y 方向上移动。 0101 作为检查对象驱动机构20， 优选使用对X射线无妨碍的装置。 例如， 能够使用基板 导轨作为检查对象驱动机构 20。图 3 表示具有基板

46、导轨检查对象驱动机构 20 的 X 射线检 查装置 100。 0102 参照图 3， 检查对象驱动机构 20 具有 ： 从检查对象 1 的两端夹着该检查对象 1 的 导轨 25a 和 25b、 用于测定检查对象 1 的 Z 方向的位置的位置传感器 21。此外， 在图 3 中， 检查对象 1 是电路基板。在检查对象 1 上配置有电路元件 2。含有电路元件 2 的区域是检 查区域。 0103 导轨 25a 和 25b 能够使检查对象 1 在 XYZ 方向上移动。位置传感器 21 对检查对 象 1 的位置进行测定， 特别测定电路元件 2 的 Z 方向的位置。因电路基板 2 的翘曲， 导致电 路元件

47、2 的位置因检查对象 1 的不同而变动。导轨 25a 和 25b 基于位置传感器 21 的测定 结果， 调节检查对象 1 的高度方向的位置。 0104 回到图2， 运算部70向检测器驱动控制部32、 图像数据取得部34、 扫描X射线源控 制机构 60 发送命令， 执行后述说明的用于检查处理的流程图所示的程序。 0105 特别地， 运算部 70 在通过检测器驱动控制部 32 传来的命令所指示的时刻， 执行 X 射线透视图像的取得和拍摄数据的传送。另外， 运算部 70 根据来自输入部 40 的输入而控 制检查装置的动作， 各部的状态或检查结果能够由输出部 50 输出。 0106 ( 拍摄方式 )

48、0107 为了重建三维数据， 需要从多个方向拍摄检查对象区域。本实施方式的 X 射线检 查装置 100 在 XY 平面内分别移动 X 射线检测器 23 和检查对象 1 的， 从而实现从多个方向 进行的拍摄。 0108 参照图 4 和图 5， 来说明本实施方式的 X 射线检测器 23 和检查对象 1 的轨道。图 4 是表示第一实施方式的 X 射线检测器 23 和检查对象 1 的轨道的图。图 5 是说明第一实施 方式的 X 射线检测器 23 的拍摄位置的图。 0109 参照图 4 和图 5， 检测器驱动部 22 首先使 X 射线检测器 23 按顺序移动至排列在 Y 方向上的拍摄位置 s1、 s2、

49、 s3、 s4。然后， 检测器驱动部 22 使 X 射线检测器 23 在 X 方向上 移动， 进而移动至拍摄位置 s5。检测器驱动部 22 重复这样的 Y 方向的直线移动和 X 方向的 直线移动， 从而使 X 射线检测器移动至拍摄位置 s1 s16。 0110 另外， 检查对象移动机构20移动检查对象1， 使得透过检查对象1的检查对象区域 的 X 射线入射至各拍摄位置的 X 射线检测器 23。因此， 如图 4 所示那样， 检查对象 1 的轨道 与 X 射线检测器 23 的轨道相似。 0111 换言之， 如图 4 所示那样， 依次改变 X 射线源 10 的 X 射线焦点位置 17 与检查对象 1( 严格来讲， 是检查对象 1 中的检查对象区域 ) 的相对位置关系， 并且， 使 X 射线检测器 23 说 明 书 CN 102265143