基板分断装置及基板分断装置的基板搬送方法.pdf

1、10申请公布号CN104129910A43申请公布日20141105CN104129910A21申请号201410364825122申请日20130403102012005904420120601KR201310116487520130403C03B33/02200601C03B35/0020060171申请人三星钻石工业股份有限公司地址日本大阪府摄津市香露园32番12号72发明人西尾仁孝74专利代理机构北京中原华和知识产权代理有限责任公司11019代理人寿宁张华辉54发明名称基板分断装置及基板分断装置的基板搬送方法57摘要本发明是有关于一种防止基板在传送移载时落下或碎裂发生的基板分断装置及基

2、板分断装置的基板搬送方法。该基板分断装置包含第1传送部及第2传送部，沿基板的搬送方向即第1方向隔着间隔配置，且具备在载置该基板的状态下卷绕于多个辊子而进行旋转的带部；刻划单元，设置于该间隔；以及跳动辊子单元，在第1方向，设置在上游侧第2传送部与下游侧第2传送部之间，至少具备第1辊子与第2辊子；该第1辊子位于该第2传送部的带部外侧，且该第2辊子位于该第2传送部的带部内侧；该第1辊子及该第2辊子，在与该第1方向交叉的第2方向，形成为可相互地往相反方向移动。本发明还提供一种基板分断装置的基板搬送方法。30优先权数据62分案原申请数据51INTCL权利要求书2页说明书9页附图6页19中华人民共和国国家

3、知识产权局12发明专利申请权利要求书2页说明书9页附图6页10申请公布号CN104129910ACN104129910A1/2页21一种基板分断装置，其特征在于其包含第1传送部及第2传送部，在设置台上，沿基板的搬送方向即第1方向相互地隔着间隔配置，且具备在载置该基板的状态下卷绕于多个辊子而进行旋转的带部；刻划单元，设置于该第1传送部与第2传送部之间并对该基板进行刻划；以及跳动辊子单元，在该第1方向，设置在位于该第2传送部的上游侧的上游侧第2传送部与位于下游侧的下游侧第2传送部之间，且至少具备一对第1辊子及第2辊子；该第1辊子及该第2辊子，在与该第1方向交叉的第2方向，形成为可移动，且形成为一体

4、的该上游侧第2传送部与该下游侧第2传送部，可成为互为不同的动作状态。2如权利要求1所述的基板分断装置，其特征在于其中该第1辊子及第2辊子，在该第2方向移动时，该第1辊子的移动距离与第2辊子的移动距离相同。3如权利要求1所述的基板分断装置，其特征在于其中该第1辊子及第2辊子的至少一者，一边维持该第2传送部的带部张力，一边与该带部接触。4如权利要求1所述的基板分断装置，其特征在于其中该第1辊子及第2辊子，在夹着与齿轮驱动马达连结的小齿轮而相互地对向配置的状态下，分别与啮合于该小齿轮的第1齿条及第2齿条结合。5如权利要求1所述的基板分断装置，其特征在于其中在该多个辊子中包含第3辊子，该第3辊子卷绕有

5、该下游侧第2传送部的带部，且该第3辊子连结带部驱动马达。6如权利要求1所述的基板分断装置，其特征在于其中在该跳动辊子单元中，设置有使该上游侧第2传送部的带部的旋转停止的第1制动器，以及使该下游侧第2传送部的带部的旋转停止的第2制动器。7一种基板搬送方法，在包含具备在设置台上沿基板的搬送方向即第1方向相互地隔着间隔配置且在载置该基板的状态下卷绕于多个辊子而进行旋转的带部的第1传送部及第2传送部，以及设置于该第1传送部与该第2传送部之间并对该基板进行刻划的刻划单元的基板分断装置中，将载置于该第2传送部的带部上的基板往该第1方向进行搬送，其特征在于在该基板分断装置中，在该第1方向，在位于该第2传送部

6、的上游侧的上游侧第2传送部与位于下游侧的下游侧第2传送部之间，具备在与该第1方向交叉的第2方向可移动的至少具有一对第1辊子与第2辊子的跳动辊子单元；使该第1辊子与第2辊子移动，借此使形成为一体的该上游侧第2传送部与下游侧第2传送部以互为不同的方式动作。8如权利要求7所述的基板搬送方法，其特征在于其中借由该第1辊子与第2辊子的往返移动，在使该下游侧第2传送部的带部停止的状态下，使该上游侧第2传送部的带部往顺时针方向或逆时针方向旋转，且对载置于该上游侧第2传送部的带部上的基板进行刻划；在该进行刻划的阶段，对置于停止状态的下游侧第2传送部的带部上的完成刻划的基板进行卸载；借由一边使卷绕有该下游侧第2

7、传送部的带部的第3辊子旋转，一边使该第1辊子及第2辊子移动，在使上游侧第2传送部的带部停止的状态下，使该下游侧第2传送部的带部旋转，对留置于该下游侧第2传送部的带部上的端材进行卸载；权利要求书CN104129910A2/2页3亦在该端材卸载后，使该第3辊子持续旋转，使载置于该上游侧第2传送部的带部上的完成刻划的基板往该下游侧第2传送部的带部上进行搬送。9如权利要求8所述的基板搬送方法，其特征在于其中该第3辊子连结带部驱动马达，且在对该基板进行刻划的阶段，使该带部驱动马达的动作停止。10如权利要求9所述的基板搬送方法，其特征在于其中在对该端材进行卸载的阶段，使该带部驱动马达动作。11如权利要求8

8、所述的基板搬送方法，其特征在于其中在该跳动辊子单元，设置使该上游侧第2传送部的带部的旋转停止的第1制动器，以及使该下游侧第2传送部的带部的旋转停止的第2制动器，且在对该基板进行刻划的阶段，使该第2制动器动作。12如权利要求11所述的基板搬送方法，其特征在于其中在对该端材进行卸载的阶段，使该第1制动器动作。13如权利要求12所述的基板搬送方法，其特征在于其中在已刻划的基板往该下游侧第2传送部的带部搬送的阶段，使该第1制动器及第2制动器的动作完全解除。权利要求书CN104129910A1/9页4基板分断装置及基板分断装置的基板搬送方法0001本申请是申请号为2013101164875的名称为“基板

9、分断装置及基板分断装置的基板搬送方法”的发明专利申请的分案申请，原申请的申请日是2013年04月03日。技术领域0002本发明有关于对包含使用于液晶显示装置等显示面板的玻璃基板等母板的各种材料的母板进行分断、搬送的基板分断装置及基板分断装置的基板搬送方法，更有关于在对已刻划、分断的脆性材料基板进行搬送至下一阶段时，能够对基板在不造成损伤、良好的状态下进行搬送的基板分断装置及基板搬送方法。背景技术0003一般而言，液晶显示装置等显示面板，通常使用脆性材料基板即玻璃基板形成。液晶显示装置，借由将一对玻璃基板隔有适当的间隔而接合，且在该间隔内封入液晶而成为显示面板。在制造如此的显示面板时，是借由对已

10、接合母玻璃基板的接合母基板进行分断，而进行从接合母基板制作成多个显示面板的加工。用于分断如此的接合母基板的基板分断装置，揭示于韩国公开特许公报第20060125915号以下，称为专利文献1。0004图1，概略地表示揭示于专利文献1的图32的基板分断装置的主要构成的立体图。参照图1，基板分断装置200具备定位单元部220、刻划单元部240、裂断传送CONVEYOR部260、蒸气STEAM裂断单元部280、面板反转单元部320及面板端子分离部340。0005在将配置有定位单元部220侧设定为基板搬入侧、将配置有面板端子分离部340侧设定为基板搬出侧时，基板在由基板搬入侧的定位单元部220供给后，一

11、边依序往刻划单元部240、裂断传送部260、蒸气裂断单元部280、基板搬送单元部300、面板反转单元部320及面板端子分离部340搬送，一边进行基板分断作业，之后往基板搬出侧搬送。0006亦即，由于设置于设置台230上方的定位单元部220供给的基板，载置于形成在定位单元部220的多个基板支持单元未图示上，在将基板的位置定位于设置于基板支持单元的带部BELT未图示上后，借由带部的旋转动作而往下一阶段即刻划单元部240搬送。0007另一方面，刻划单元部240，具有在设置台250上方沿X方向设置的分断装置导引体242，以及将该分断装置导引体242夹于其间并沿Y方向配置的第1基板支持单元部241A及第

12、2基板支持单元部241B。此外，第1基板支持单元部241A的第1基板支持单元244A与第2基板支持单元部241B的第2基板支持单元244B，分别相对于构架FRAME243A及构架243B平行地配置。0008在此情形，从定位单元部220往刻划单元部240搬送的基板，载置于第1基板支持单元部241A的第1基板支持单元244A，且借由夹器CLAMP装置251而夹持。之后，一旦使设置于第1基板支持单元244A的带部旋转，同时使夹器装置251沿Y方向移动，借此使基板通过分断装置导引体242而刻划，且刻划后的基板往第2基板支持单元部241B的第2基板支持单元244B搬送。说明书CN104129910A2/

13、9页50009已往第2基板支持单元244B搬送的基板，借由设置于第2基板支持单元244B的带部旋转，往与第2基板支持单元244B的带部分离而设置的裂断传送部260的带部261搬送，之后借由蒸气裂断单元部280使基板完全地分断，且经过基板搬送单元部300、面板反转单元部320及面板端子分离部340，借由机器人等往基板搬出侧搬送。0010此外，一般而言，已完成刻划作业且往第2基板支持单元244B的带部上搬送的基板，借由第2基板支持单元244B的带部与裂断传送部260的带部261的旋转而往裂断传送部260搬送。已完成往裂断传送部260搬送的基板，在裂断传送部260的带部261的旋转已停止的状态，借由

14、蒸气裂断单元280而裂断后，借由拾起PICKUP机器人等拾起，且往基板搬送单元部300排出。此外，即使在裂断传送部260的带部261的旋转已停止的状态，为了基板的刻划，构成刻划单元部240的第1基板支持单元244A及第2基板支持单元244B的带部仍以持续旋转的方式控制。0011专利文献1韩国公开专利公报第20060125915号。0012但是，在如此般的现有习知的基板分断装置中，已刻划的基板从刻划单元部240往裂断传送部260搬送时，更具体而言，从第2基板支持单元244B往裂断传送部260搬送时，由于在第2基板支持单元244B的带部与裂断传送部260的带部261之间进行带部的移载，使得在第2基

15、板支持单元244B与裂断传送部260之间端材落下、或基板破裂的玻璃碎屑等产生。关于如此般的带部移载的问题点，参照图2更具体地进行说明。0013图2概略地表示在现有习知的基板分断装置中，将基板从刻划单元部往拾起传送部搬送过程的示意图。在图2中，符号100表示对由基板搬入侧搬送的基板进行接受、定位及/或旋转的供材部，符号110与120分别表示上游侧刻划部及下游侧刻划部，而符号130表示对已分断的基板借由机器人等进行拾起而排出的拾起传送部。0014参照图2，在现有习知的基板分断装置中，被把持于基板把持机构114的基板，一边往返移动于上游侧刻划部110与下游侧刻划部120之间，一边借由设置于刻划梁11

16、6的刻划头118而刻划。然后，载置于下游侧刻划部120的传送带134上的完成刻划的基板102A，往拾起传送部130的传送带135搬送。0015但是，由于在下游侧刻划部120的传送带134与拾起传送部130的传送带135之间，存在传送移载部，因此在基板102A往拾起传送部135上的基板102B的位置搬送时，使得从已刻划的基板102A落下端材。此外，基板102A从下游侧刻划部120往拾起传送部130上移载时，使得基板102A产生上下起伏，借此导致基板102A的已刻划部分彼此相互碰撞而产生基板的一部分破裂的玻璃碎屑。即使例如将下游侧刻划部120及拾起传送部130的与地面的高度设计为相等，实际上，下游

17、侧刻划部120与拾起传送部130的高度仍有些微地差异，或者任一方倾斜地设置，因此使得玻璃碎屑产生。尤其是，最近在处理薄型化基板的情形较多，如此般的问题更为明显。发明内容0016本发明的目的在于提供一种可防止因传送装置的移载而导致端材落下或基板碎裂的问题，且可将已刻划基板不造成损伤地搬送至下一阶段的基板分断装置及基板搬送方法。0017本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。本发明提供一种说明书CN104129910A3/9页6基板分断装置，包含第1传送部及第2传送部，在设置台上，沿基板的搬送方向即第1方向相互地隔着间隔配置，且具备在载置该基板的状态下卷绕于多个辊子ROLLER而进

18、行旋转的带部；刻划单元，设置于该第1传送部与第2传送部之间并对该基板进行刻划；以及跳动辊子DANCERROLLER单元，在该第1方向，设置在位于该第2传送部的上游侧的上游侧第2传送部与位于下游侧的下游侧第2传送部之间，且至少具备第1辊子及第2辊子；该第1辊子位于该第2传送部的带部外侧；该第2辊子位于该第2传送部的带部内侧；该第1辊子及该第2辊子，在与该第1方向交叉的第2方向，形成为可相互地往相反方向移动，且形成为一体的该上游侧第2传送部与该下游侧第2传送部，可成为互为不同的动作状态。0018本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。0019较佳的，前述的基板分断装置，其中该第

19、1辊子及第2辊子在该第2方向相互地往相反方向移动时，该第1辊子的移动距离与第2辊子的移动距离相同。0020较佳的，前述的基板分断装置，其中该第1辊子及第2辊子的至少一者，一边维持该第2传送部的带部的张力，一边与该带部接触。0021较佳的，前述的基板分断装置，其中该第1辊子及第2辊子，在夹着与齿轮驱动马达连结的小齿轮而相互地对向配置的状态下，分别与啮合于该小齿轮的第1齿条及第2齿条结合。0022较佳的，前述的基板分断装置，其中在该多个辊子中，包含第3辊子，且该第3辊子卷绕有该下游侧第2传送部的带部，且该第3辊子连结带部驱动马达。0023较佳的，前述的基板分断装置，其中在该跳动辊子单元中，设置有使

20、该上游侧第2传送部的带部的旋转停止的第1制动器STOPPER，以及使该下游侧第2传送部的带部的旋转停止的第2制动器。0024本发明的目的及解决其技术问题还采用以下技术方案来实现的。本发明还提供一种基板搬送方法，在包含具备在设置台上沿基板的搬送方向即第1方向相互地隔着间隔配置且在载置该基板的状态下卷绕于多个辊子而进行旋转的带部的第1传送部及第2传送部，以及设置于该第1传送部与该第2传送部之间并对该基板进行刻划的刻划单元的基板分断装置中，将载置于该第2传送部的带部上的基板往该第1方向进行搬送，其中在该基板分断装置中，在该第1方向，在位于该第2传送部的上游侧的上游侧第2传送部与位于下游侧的下游侧第2

21、传送部之间，具备在与该第1方向交叉的第2方向可相互地往相反方向移动的至少具有第1辊子与第2辊子的跳动辊子单元，且在使该第1辊子位于该第2传送部的带部外侧，且使该第2辊子位于该第2传送部的带部内侧的状态下，使该第1辊子与第2辊子相互地往相反方向移动，借此使形成为一体的该上游侧第2传送部与下游侧第2传送部相互地以不同的方式动作。0025本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。0026较佳的，前述的基板搬送方法，其中借由使该第1辊子与第2辊子往返移动，在使下游侧第2传送部的带部停止的状态下，使上游侧第2传送部的带部往顺时针方向或逆时针方向旋转，且对载置于该上游侧第2传送部的带部上

22、的基板进行刻划；在该进行刻划的阶段，对置于停止状态的下游侧第2传送部的带部上的完成刻划的基板进行卸载UNLOAD；借由一边使卷绕有该下游侧第2传送部的带部的第3辊子旋转，一边使该第1辊子及第2辊子移动，在使上游侧第2传送部的带部停止的状态下，使该下游侧第2传送部的说明书CN104129910A4/9页7带部旋转，对留置于该下游侧第2传送部的带部上的端材进行卸载；亦在该端材卸载后，使该第3辊子持续旋转，使载置于该上游侧第2传送部的带部上的完成刻划的基板往该下游侧第2传送部的带部上进行搬送。0027较佳的，前述的基板搬送方法，其中该第3辊子连结带部驱动马达，且在对该基板进行刻划的阶段，使该带部驱动

23、马达的动作停止。0028较佳的，前述的基板搬送方法，其中在对该端材进行卸载的阶段，使该带部驱动马达动作。0029较佳的，前述的基板搬送方法，其中在该跳动辊子单元，设置使该上游侧第2传送部的带部的旋转停止的第1制动器，以及使该下游侧第2传送部的带部的旋转停止的第2制动器，且在对该基板进行刻划的阶段，使该第2制动器动作。0030较佳的，前述的基板搬送方法，其中在对该端材进行卸载的阶段，使该第1制动器动作。0031较佳的，前述的基板搬送方法，其中已刻划的基板在往该下游侧第2传送部的带部搬送的阶段，使该第1制动器及第2制动器的动作完全解除。0032借由上述技术方案，本发明基板分断装置及基板搬送方法至少

24、具有下列优点及有益效果根据本发明，借由在形成为一体的第2传送部的上游侧第2传送部与下游侧第2传送部之间具备跳动辊子单元，可以不具有现有习知的存在于下游侧刻划部与拾起传送部之间的传送移载部的方式，将基板从上游侧第2传送部往下游侧第2传送部进行搬送。如此，可防止端材的落下或玻璃碎屑等的产生。此外，亦可防止因传送移载部而产生基板表面上的伤痕或损伤。此外，根据本发明，可使上游侧第2传送部与下游侧第2传送部相互地以不同的方式动作，因此即使在为了对下游侧第2传送部上的基板进行拾起而使下游侧第2传送部停止的状态下，亦可于上游侧第2传送部对基板的刻划作业持续进行。因此，可提高基板分断装置的整体的处理效率。00

25、33上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图,详细说明如下。附图说明0034图1概略地表示现有习知的基板分断装置的主要构成的立体图。0035图2概略地表示在现有习知的基板分断装置中，将已刻划的基板往拾起传送部搬送的示意图。0036图3概略地表示本发明实施例的基板分断装置的主要构成的侧视图。0037图4A至图4D概略地表示本发明实施例的基板分断装置的基板搬送过程的示意图。0038图5本发明实施例的设置有跳动辊子单元的基板分断装置的部分立体图。003

26、9图6本发明实施例的跳动辊子单元的立体图。0040图7本发明实施例的跳动辊子单元的侧视图。0041图8表示在本发明实施例的跳动辊子单元中，第1辊子下降且第2辊子上升的跳动辊子单元的侧剖面图。说明书CN104129910A5/9页80042图9表示在本发明实施例的跳动辊子单元中，第1辊子上升且第2辊子下降的跳动辊子单元的侧剖面图。0043【主要元件符号说明】00442、2A基板10第1传送部004514夹头梁16夹头004618带部20第2传送部004721辊子21A第3辊子004822上游侧第2传送部刻划后传送部004922A刻划后传送构架23跳动辊子单元005023A第1辊子23B第2辊子0

27、05124下游侧第2传送部拾起传送部005224A拾起传送构架25A拾起X轴机器人005325B拾起Y轴机器人25C拾起Z轴机器人005427拾起手28带部005530刻划单元32刻划梁005634刻划头40带部驱动马达005750A第1制动器50B第2制动器005852带部制动器副轴54齿条及小齿轮0059232齿轮驱动马达234小齿轮0060236A第1齿条236B第2齿条0061238导件具体实施方式0062为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的一种基板分断装置及基板分断装置的基板搬送方法的具体实施方式、结构、特征及其功

28、效，详细说明如后。0063以下，参照附图，针对本发明的实施例详细地进行说明。但本发明可以各种不同的形态具体呈现，并不限定于此处说明的实施例。在图示中，为了对本发明进行简单且清楚的说明，省略了与说明无关的部分，且针对贯通说明书整体为相同或类似的构成元件标记相同的参照符号。此外，在本发明的实施例中，对已揭示于专利文献1等现有习知的基板分断装置的在构成上的不同点为中心进行说明，关于与现有习知的基板分断装置为相同或类似的构成，省略其说明。另一方面，在本发明的实施例中，“基板”包含分断成多个基板的母基板，此外还包含钢板等金属基板、木板、塑胶基板及陶瓷基板、半导体基板、玻璃基板等脆性材料基板等单板。此外，

29、并不限定于如此的单板，亦包含接合一对基板的接合基板，以及积层一对基板的积层基板。0064图3，概略地表示本发明实施例的基板分断装置的主要构成的侧视图。参照图3，本实施例的基板分断装置，包含第1传送部10及第2传送部20、刻划单元30及跳动辊子单元23。第1传送部10及第2传送部20，在设置台未图示上沿基板搬送方向即第1方向在图3中Y方向相互地隔着间隔配置。在第1传送部10，设置有卷绕于多个辊子11说明书CN104129910A6/9页9而进行旋转的带部18，在第2传送部20，设置有卷绕于多个辊子21而进行旋转的带部28。而且，在本实施例中，以如下方式构成多个辊子21之中，第3辊子21A连结有带

30、部驱动马达40，因此借由该带部驱动马达40的动作控制第3辊子21A的旋转，借此使带部28进行旋转。0065在第1传送部10与第2传送部20之间，配置刻划单元30。刻划单元30，具备在横切设置台的方向在图3中X方向延长而设置的刻划梁32，以及安装于该刻划梁32并可沿刻划梁32延伸的方向移动的刻划头34。此外，在该第1传送部10的带部18上，设置有沿第1方向设置成可往前后在图3中Y方向及Y方向移动的夹头CHUCK梁14，以及形成于该夹头梁14一侧并把持基板2的夹头16。而且，夹头梁14朝向刻划单元30而前后方向进行移动，借此使被把持于夹头16的基板2一边通过刻划头34的下部，一边进行刻划。0066

31、在本实施例中，第2传送部20在基板的搬送方向区分成位于上游侧的上游侧第2传送部22以下，亦称刻划后传送部，以及位于下游侧的下游侧第2传送部24以下，亦称拾起传送部。0067刻划后传送部22，载置从第1传送部10通过刻划单元30刻划的基板部分；拾起传送部24，以例如借由拾起机器人等拾得基板的方式，暂时地载置从刻划后传送部22传送来的基板2A部分。0068如此进行互为不同功能的刻划后传送部22及拾起传送部24，虽在本实施例中通过带部28而作为第2传送部20并形成为一体，但其可通过配置在刻划后传送部22与拾起传送部24之间的跳动辊子单元23。0069跳动辊子单元23，设置于刻划后传送部22与拾起传送

32、部24之间，且至少具有一对第1辊子23A及第2辊子23B。在图3中，虽仅图示一对第1辊子23A及第2辊子23B，但本发明并不限定于此，亦可适用于具备2对以上辊子的跳动辊子单元。此外，在图3中，第1辊子23A位于第2传送部20的外侧亦即带部28的轨道外侧，第2辊子23B位于第2传送部20的内侧亦即带部28的轨道内侧，但本发明并不限定于此，亦可适用于第1辊子23A位于带部28的轨道内侧，第2辊子23B位于带部28的轨道外侧的构成。0070跳动辊子单元23的第1辊子23A及第2辊子23B，形成为可于与基板的搬送方向即与第1方向交叉的第2方向在图3中Z方向或Z方向移动。此外，第1辊子23A及第2辊子2

33、3B，以在进行移动时相互地往相反方向移动的方式形成。例如，以一旦第1辊子23A往Z方向移动，则第2辊子23B往Z方向移动，而一旦第1辊子23A往Z方向移动，则第2辊子23B往Z方向移动的方式，将第1辊子23A及第2辊子23B相互连动地结合。关于该结合构成，将详述于后。0071如此，在刻划后传送部22与拾起传送部24之间，形成具备有形成可相互地往相反方向移动的第1辊子23A及第2辊子23B的跳动辊子单元23，借此，第2刻划部20的带部28的移动，在刻划后传送部22及拾起传送部24中可控制成各自独立。亦即，可控制成如下的方式刻划后传送部22的带部28进行旋转，但拾起传送部24的带部28为停止，或与

34、此相反地，拾起传送部24的带部28进行旋转，但刻划后传送部22的带部28为停止。借此，刻划后传送部22及拾起传送部24，虽以不具有传送移载的方式而形成为一体的构成由1个带部28构成的构成，但动作状态可以互为不同的方式控制。说明书CN104129910A7/9页100072因此，可将载置于刻划后传送部22上的完成刻划的基板，沿着带部28以不具有往拾起传送部24移载的方式进行搬送。因此，具有如下的效果可防止如现有习知的基板分断装置，将基板从下游侧的刻划部往拾起传送部搬送时，传送部的移载导致端材的落下或玻璃碎屑等的问题，且亦可防止传送部的移载导致基板表面造成损伤的问题。针对此，参照图4A至图4D，更

35、具体地进行说明。0073图4A至图4D，概略地表示本发明实施例的基板分断装置的基板搬送过程的示意图。图4A，表示开始对基板进行刻划阶段的示意图。参照图4A，成为刻划对象的基板2被把持于夹头16。此外，在拾起传送部24上载置已完成刻划的基板2A而待拾起。0074另一方面，在本实施例的跳动辊子单元23，设置有以第1辊子23A为基准而形成于刻划后传送部22侧的第1制动器50A，以及以第1辊子23A为基准而形成于拾起传送部24侧的第2制动器50B。第1制动器50A及第2制动器50B，用于使第2传送部20的带部28的旋转确实地停止，在图4A中，第2制动器50B下降而使拾起传送部24的带部28的旋转确实地

36、停止。0075图4B，表示对基板2进行刻划，同时对拾起传送部24上的基板2A进行拾起而往搬送传送部未图示等下一阶段进行卸载阶段的示意图。0076参照图4A及图4B，夹头梁14沿基板搬送方向在图4B中Y方向移动，借此，被把持于夹头16的基板2亦通过刻划头34的下部。与此同时，第1辊子23A往Z方向移动，第2辊子23B往与第1辊子23A的移动方向相反的Z方向移动。0077此时，带部驱动马达40的动作为开启，由于带部28确实地卷绕于第3辊子21A，因此在第1辊子23A及第2辊子23B进行移动时，仅刻划后传送部22侧的带部28动作，且拾起传送部24侧的带部28为不动作。如图4B所示，亦可为使第2制动器

37、50B下降，而使拾起传送部24的带部28更确实地停止。0078此外，在本实施例中，第1辊子23A及第2辊子23B移动的距离，形成为彼此相同。亦即，一旦第1辊子23A仅往Z方向移动距离L，则第2辊子23B亦以往Z方向移动距离L的方式而调整。借此，一边使第1辊子23A往Z方向移动的距离与第2辊子23B往Z方向移动的距离抵销，一边则仅刻划后传送部22的带部28以第1辊子23A或第2辊子23B的移动距离的程度往顺时针方向进行旋转。借此，被把持于夹头16的基板2，亦可于通过刻划头34的下部而到达刻划后传送部22之后，在刻划后传送部22的带部28上持续进行移动。0079之后，一旦夹头梁14及夹头16往与基

38、板的搬送方向相反方向在图4B中Y方向后退，与此同时，第1辊子23A再度往Z方向移动，且第2辊子23B再度往Z方向移动，借此，刻划后传送部22的带部28以第1辊子23A或第2辊子23B的移动距离的程度，再度往逆时针方向进行旋转。然后，借由重复如此过程，刻划被把持于夹头16的基板2的整面。0080另一方面，拾起传送部24的带部28，如前述，即使第1辊子23A及第2辊子23B进行移动，其动作被固定。因此，即使在基板刻划的过程中，载置于拾起传送部24的带部28上的已完成刻划作业的基板2A，亦可借由例如拾起机器人等拾起，并往下一阶段卸载。0081图4C，表示已完成刻划作业而夹头梁14及夹头16返回至初期

39、位置，且残留于拾起传送部24的带部28上的端材往破碎机移送阶段的示意图。参照图4B及图4C，已完说明书CN104129910A108/9页11成刻划作业的基板2，夹头16的把持被解除并载置于刻划后传送部22的带部28上，夹头16及夹头梁14则返回至初期位置。0082此时，一旦使带部驱动马达40动作，使第3辊子21A往顺时针方向旋转，并且使第1辊子23A往Z方向移动，使第2辊子23B往Z方向移动，则仅拾起传送部24的带部28为顺时针旋转，刻划后传送部22的带部28为维持停止状态。借此，可在位于刻划后传送部22的带部28上的基板2为停止的状态下，仅使留置于拾起传送部24的带部28上的端材往破碎机移

40、送。0083此外，在该情形，以第2制动器50B上升且第1制动器50A下降的方式进行调整，借此，亦可不对拾起传送部24的带部28的旋转进行限制，而仅使刻划后传送部22的带部28的移动更确实地停止。0084图4D，表示使新的基板往第1传送部10上装载，使载置于刻划后传送部22的带部28上的基板往拾起传送部24搬送阶段的示意图。参照图4D，在第1传送部10，将新的基板2装载于第1传送部10的带部18上，并被把持于已返回初期位置的夹头梁14及夹头16。0085在第2传送部20，一旦第1辊子23A往Z方向持续移动并解除与带部28的接触，则带部28恢复至非弯曲的平坦状态，在载置基板并搬送的刻划后传送部22

41、的带部28与拾起传送部24的带部28之间成为不具有传送移载部。而且，使第1制动器50A上升而解除与带部28的接触。此时，带部驱动马达40由于持续动作中，借由拾起传送部24的带部28进行旋转，刻划后传送部22的带部28亦同时进行旋转，借此，可将载置于刻划后传送部22的带部28上的完成刻划的基板，以不具有传送移载的方式往拾起传送部24的带部28搬送。因此，可对已刻划的基板不造成损伤地往下一阶段例如，拾起阶段的搬送部进行移送。0086另一方面，在本实施例中，第1辊子23A及第2辊子23B之中的至少一者，一边维持带部28的张力一边进行接触。借此，借由第1辊子23A及第2辊子23B的移动，带部28亦可在

42、维持有张力的状态下进行旋转，且载置于带部28上的基板亦可圆滑地进行搬送。0087此外，在其他实施例中，第1辊子23A及第2辊子23B亦可利用可于卷绕有带部28的状态下，借由旋转使带部28移动的其他手段而构成。0088图5，本发明实施例的设置有跳动辊子单元的基板分断装置的部分立体图。参照图5，沿基板搬送方向即第1方向而在刻划后传送构架22A上设置刻划后传送部22，且在拾起传送构架24A上设置拾起传送部24。在拾起传送部24，设置有可分别于X、Y、Z轴移动的拾起X轴机器人25A、拾起Y轴机器人25B及拾起Z轴机器人25C，借由拾起手27拾起的基板，借由所述多个机器人的移动而移往所欲移往的位置而卸载

43、。0089而且，在刻划后传送部22与拾起传送部24之间设置跳动辊子单元23。关于跳动辊子单元23，参照图6及图7进行说明。0090图6，本发明实施例的跳动辊子单元23的立体图，图7，本发明实施例的跳动辊子单元23的侧视图。参照图6及图7，本发明实施例的跳动辊子单元23，包含与齿轮驱动马达232连结的小齿轮PINION234，以及在与该小齿轮234啮合的状态下夹着该小齿轮234并相互地对向配置的第1齿条RACK236A及第2齿条236B。而且，第1齿条236A通过连结构件结合第1辊子23A，且第2齿条236B通过连结构件结合第2辊子23B。因此，一旦借由齿轮驱动马达232的动作而小齿轮234进行

44、旋转，第1齿条236A及第2齿条236B于Z说明书CN104129910A119/9页12方向相互地往相反方向动作，第1辊子23A及第2辊子23B亦沿导件238往第1齿条236A及第2齿条236B动作的方向动作。0091此外，在跳动辊子单元23的上部具备控制带部28移动的第1制动器50A及第2制动器50B。第1制动器50A及第2制动器50B，与连结于带部制动器副轴52的齿条及小齿轮54结合。因此，借由齿条及小齿轮54的动作，第1制动器50A及第2制动器50B亦进行上升或下降。0092图8，表示在本发明实施例中，第1辊子下降且第2辊子上升的跳动辊子单元的侧剖面图；图9，表示在本发明实施例中，第1

45、辊子上升且第2辊子下降的跳动辊子单元的侧剖面图。0093参照图8，借由第1辊子23A往Z方向下降而带部28亦一同下降，与此同时，借由第2辊子23B往Z方向上升而带部28亦一同上升。此外，参照图9，然后，一旦第1辊子23A往Z方向上升则带部28恢复成维持张力的平坦状态，与此同时，第2辊子23B往Z方向下降而带部28亦一同下降。借由如此的第1辊子23A及第2辊子23B的移动，即使是一个带部28，亦可对位于跳动辊子单元23的上游侧的带部28的动作与位于跳动辊子单元23的下游侧的带部28的动作以互为不同的方式进行控制。因此，可对置于带部28上的完成刻划的基板以不具有传送移载的方式往下一阶段进行搬送，借

46、此，可防止因传送移载导致的端材落下或玻璃碎屑等问题。0094以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明,任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内,当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例,但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。说明书CN104129910A121/6页13图1图2说明书附图CN104129910A132/6页14图3图4A图4B说明书附图CN104129910A143/6页15图4C图4D说明书附图CN104129910A154/6页16图5图6说明书附图CN104129910A165/6页17图7图8说明书附图CN104129910A176/6页18图9说明书附图CN104129910A18