轮保持具及其制造方法及使用轮保持具的刀轮保持机构.pdf

1、(10)申请公布号 CN 102248613 A (43)申请公布日 2011.11.23 CN 102248613 A *CN102248613A* (21)申请号 201110128424.2 (22)申请日 2011.05.13 2010-113040 2010.05.17 JP B28D 7/00(2006.01) B28D 1/22(2006.01) B28D 5/00(2006.01) C03B 33/02(2006.01) (71)申请人 三星钻石工业股份有限公司 地址 日本国大阪府 (72)发明人 阪口良太 辻淳一 宫川清一 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司

2、 11021 代理人 汤保平 (54) 发明名称 轮保持具及其制造方法及使用轮保持具的刀 轮保持机构 (57) 摘要 本发明提供可保持高旋转精度并使使用寿命 延长的轮保持具及其制造方法。以加工具备配置 为隔着槽(1)相对的左右的支持部(2)、 贯通此左 右的支持部(2)形成的圆柱体安装孔(5)、 与此圆 柱体安装孔 (5) 平行贯通设置的外罩安装孔 (6) 的金属制的保持具本体 (3) 的步骤 ； 于此保持具 本体 (3) 的圆柱体安装孔 (5) 安装由超硬材料构 成的圆柱体(4)的步骤 ； 通过使线放电加工机(8) 的线(8a)通过前述外罩安装孔(6)并从外罩安装 孔 (6) 移动至圆柱体

3、(4) 而于圆柱体 (4) 的轴心 部以线放电加工加工销插入孔 (9) 的步骤 ； 在前 述槽 (1) 之间切除圆柱体 (4) 的中间部位以加工 收纳刀轮 (A) 的间隙 (10) 的步骤制造轮保持具 (W)。 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 1 页 说明书 6 页 附图 8 页 CN 102248613 A1/1 页 2 1. 一种轮保持具的制造方法， 由加工具备收纳刀轮的向下开口的槽、 配置为隔着前述 槽相对的左右的支持部、 贯通此左右的支持部形成的圆柱体安装孔、 与此圆柱体安装孔平 行贯通设置的外罩安装孔

4、的金属制的保持具本体的步骤 ； 于此保持具本体的圆柱体安装孔安装由超硬材料构成的圆柱体的步骤 ； 通过使线放电加工机的线通过前述外罩安装孔并从外罩安装孔移动至圆柱体而于圆 柱体的轴心部以线放电加工加工销插入孔的步骤 ； 在前述槽之间切除圆柱体的中间部位以加工收纳刀轮的间隙的步骤构成。 2. 如权利要求 1 记载的轮保持具的制造方法， 其中， 外罩安装孔于圆柱体安装孔的上 方形成， 使线放电加工机的线的移动轨迹成为弯曲为从外罩安装孔至避开圆柱体安装孔的 上面的位置的轨迹。 3.如权利要求1或2记载的轮保持具的制造方法， 其中， 包含以线放电加工加工保持具 本体的下部的外形轮廓的步骤。 4. 一种

5、轮保持具， 于具备收纳刀轮的向下开口的槽、 配置为隔着前述槽相对的左右的 支持部、 贯通此左右的支持部形成的圆柱体安装孔、 与此圆柱体安装孔平行贯通设置的外 罩安装孔的金属制的保持具本体的圆柱体安装孔涵盖左右的支持部安装超硬材料制的圆 柱体， 通过使线放电加工机的线从外罩安装孔移动至圆柱体加工有贯通圆柱体的轴心的销 插入孔， 进而， 在前述槽之间切除圆柱体的中间部位而形成有收纳刀轮的间隙。 5. 如权利要求 4 记载的轮保持具， 其中， 前述外罩安装孔于圆柱体安装孔的上方形成， 使线放电加工机的线的移动轨迹成为弯曲为从外罩安装孔至避开圆柱体安装孔的上面的 位置的轨迹。 6.如权利要求4或5记载

6、的轮保持具， 其中， 前述保持具本体的下部侧是加工为形成圆 柱体的下部侧的一部分露出的水平面。 7. 一种刀轮保持机构， 由刀轮与保持前述刀轮的轮保持具构成， 其特征在于 ： 前述轮保持具于具备收纳刀轮的向下开口的槽、 配置为隔着前述槽相对的左右的支持 部、 贯通此左右的支持部形成的圆柱体安装孔、 与此圆柱体安装孔平行贯通设置的外罩安 装孔的金属制的保持具本体的圆柱体安装孔涵盖左右的支持部安装超硬材料制的圆柱体， 通过使线放电加工机的线从外罩安装孔移动至圆柱体加工有贯通圆柱体的轴心的销插入 孔， 进而， 在前述槽之间切除圆柱体的中间部位而形成有收纳刀轮的间隙 ； 前述刀轮配置于前述轮保持具的间

7、隙 ； 于前述圆柱体的销插入孔插通超硬材料制的刀具销， 在刀轮在前述槽内接触左右的圆 柱体的端面的状态下以刀具销支持 ； 进而， 通过于左右的支持构件的外侧面支持于前述外罩安装孔的外罩， 阻塞刀具销的 两端部而阻止刀具销的拔脱且隐藏由线放电加工时的线移动形成的槽。 权 利 要 求 书 CN 102248613 A1/6 页 3 轮保持具及其制造方法及使用轮保持具的刀轮保持机构 技术领域 0001 本发明是关于于对脆性材料基板使刀轮转动以进行刻划加工时保持刀轮的轮保 持具 ( 亦称为刀轮保持具 )。 背景技术 0002 一般于分断玻璃基板或陶瓷基板、 半导体晶圆等时是通过于刻划装置的刻划头安 装

8、轮保持具并使使保持于此轮保持具的刀轮压接于脆性材料基板同时沿刻划预定线行进 来形成刻划线。之后， 通过沿形成的刻划线以折断杆等使弯曲来分断基板。 0003 保持刀轮的轮保持具是于例如专利文献 1 记载。在于此文献显示的使用例是使于 保持具的下部形成的轴承部 ( 销插入孔 ) 支持的轴 ( 刀具销 ) 于刀轮的轴孔插通。此刀 轮要求高加工精度与长使用寿命， 故使用于耐磨耗性优良的烧结钻石或超硬合金等超硬材 料， 进行精密的加工。此外， 于轴 ( 刀具销 ) 亦多使用于耐磨耗性优良的超硬材料。 0004 另一方面， 于保持具的下部的轴承部是使用工具钢， 若与超硬材料制的零件比较 磨耗无法避免。 刀

9、轮的旋转支承部分， 亦即， 轴的外周面或刀轮的轴孔的内面部分亦会因重 复的使用所导致的旋转摩擦而磨耗， 即使以超硬材料形成刀轮及轴， 最后还是会超过容许 公差。若因磨耗而于保持具下部的轴承部或刀轮的轴孔与轴之间有间隙产生， 刀轮的垂直 度破坏而变为无法形成高精度的刻划线。 0005 专利文献 1 ： 日本特开平 9-188534 号公报 ( 图 15 等 ) 发明内容 0006 发明欲解决的课题 0007 针对上述问题， 为了减少此种磨耗所导致的问题的产生， 使用如图 10 所示的轮保 持具。 0008 此轮保持具是以通过连结螺栓 20 合体的左右一对的保持具构件 21 构成。于保持 具构件2

10、1的下部是形成有配置刀轮A的空间， 隔着此空间设有左右的支持部22。 于左右的 支持部22是设有以彼此的中心轴一致的方式于一直线上配置的刀具销插入孔23。 此外， 在 支持部 22 的相对的内侧面于销插入孔 23 的开口部以硬焊贴有具备 ( 比销插入孔 23 径稍 大的 ) 销孔 24 的超硬材料 ( 烧结钻石或超硬合金 ) 的环体 25。于此等左右的环体 25 之间 以超硬材料制作的刀轮 A 以轻微接触的状态配置并以刀具销 26 支持。 0009 刀具销 26 亦以超硬材料制作， 于左右的支持部 22 的销插入孔 23 插入并支持为贯 通环体25的销孔24， 其一端是以使一方的销插入孔23较

11、细的部分(细径孔)27固定， 另一 端是于另一方的销插入孔 23 的外侧面以螺丝 28 支持的垫片 ( 外罩 )29 阻塞而阻止拔脱。 0010 如上述， 通过使超硬材料制的环体 25 接触刀轮 A 的左右侧面， 提高刀轮 A 的垂直 度并抑制旋转支承部分的磨耗以图旋转精度的维持。此外， 即使刀轮 A 的轴孔内面与刀具 销 26 的外周面之间有磨耗所导致的间隙产生亦可维持刀轮 A 的垂直度， 由此， 可延长一次 设定的刀轮的交换周期， 亦可延长保持具本身的交换周期。 说 明 书 CN 102248613 A2/6 页 4 0011 另外， 交换刀轮 A 时是卸除垫片 29， 通过从于一方的销插

12、入孔 23 的端形成的细径 孔 27 的外部露出面将细径的棒材压入而将刀具销 26 推出， 可取出刀轮 A。 0012 然而， 上述的轮保持具的构造虽是于长期维持刀轮的旋转精度非常有效， 但其构 成上有制造步骤非常烦杂且加工成本升高的大问题。 0013 图 9(a)-(e) 是显示该制造步骤者。于轮保持具的组装时， 先如图 9(a)、 (b) 所示， 在左右分割的保持具构件 21 的支持部 22 的相对的内侧面于销插入孔 23 的开口部将形成 有销孔 24 的超硬材料的环体 25 在使销插入孔 23 的轴心与销孔 24 的轴心一致的状态下以 硬焊贴合。此作业是因环体 25 的外径 ( 约 3m

13、m) 或销插入孔 23 的径 ( 约 0.8mm) 非常小且 需要精度而有使硬焊面 ( 销插入孔 23 的开口面 ) 对外部露出的必要， 因此， 将轮保持具分 割为二个保持具构件 21。 0014 其次， 如图 9(c) 所示， 使左右的保持具构件 21 合体并以螺栓 20 结合。此时， 进行 将左右的环体 25 的间隔 L 配合安装的刀轮 A 的宽度限制于容许公差内的调整。亦即， 间隔 L 从容许公差超出时， 卸除已锁紧的螺栓 20 而分割为左右的保持具构件 21， 研磨并调整于 锁紧时保持具构件 21 彼此抵接的内侧面 ( 左右的保持具构件 21 的接合面 ) 后， 再以螺栓 20结合，

14、确认间隔L的调整是否顺利完成。 通常， 重复此一连串的作业至间隔L进入容许公 差内。 0015 其次， 如图 9(d) 所示， 将销规 30 插通左右的销插入孔 23 及环体 25 的销孔 24 并 确认真直度， 完成图 9(e) 的轮保持具。 0016 如上述， 于轮保持具的制作有多加工步骤、 调整步骤， 且烦杂且麻烦的作业为必 要， 故有花费时间、 制造成本高的课题。 0017 此外， 在上述的先前技术亦有如下的问题。亦即， 只要成为环体 25 将销插入孔 23 阻塞一部分的状况便对刀具销26的旋转、 磨耗、 寿命有重大不良影响， 故如图10所示， 环体 25 的销孔 24 的径是形成为比

15、销插入孔 23 稍大。其结果， 从刀具销 26 支持的销插入孔 23 的开口端产生至刀具销 26 支持销插入孔 23 的点的距离 ( 具体而言是相当于环体 25 的壁 厚的距离 )， 在此部分刀具销 26 与环体 25 成为非接触， 故于压接时于刀轮 A 有向上的力作 用时， 作用于刀具销 26 的力矩对应于此距离变大， 成为使刀具销 26 的磨耗加速的要因。 0018 针对上述问题， 第一， 本发明是以提供将制造步骤简化而可图成本的减少者， 同时 可保持做为刀轮的高旋转精度并使使用寿命延长的轮保持具及其制造方法为目的。 0019 此外， 第二， 本发明是以提供可将因对应于环体 25 的壁厚而

16、产生的力矩的影响而 加速的刀具销的磨耗抑制为小的轮保持具及制造方法为目的。 0020 解决课题的技术手段 0021 为了解决上述课题而为的本发明的轮保持具的制造方法由加工具备收纳刀轮的 向下开口的槽、 配置为隔着前述槽相对的左右的支持部、 贯通此左右的支持部形成的圆柱 体安装孔、 与此圆柱体安装孔平行贯通设置的外罩安装孔的金属制的保持具本体的步骤 ； 于此保持具本体的圆柱体安装孔安装由超硬材料构成的圆柱体的步骤 ； 通过使线放电加工 机的线通过前述外罩安装孔并从外罩安装孔移动至圆柱体而于圆柱体的轴心部以线放电 加工加工销插入孔的步骤 ； 在前述槽之间切除圆柱体的中间部位以加工收纳刀轮的间隙的

17、步骤构成。 0022 在此， 所谓线放电加工是指以细线为工具电极， 通过使此线以描绘 2 维的轮廓形 说 明 书 CN 102248613 A3/6 页 5 状的方式移动， 以放电热溶融材料而如线锯挖穿轮廓加工的方法。线放电加工是只要被加 工物为导电性的材料即可加工， 故可适用于工具钢等金属制保持具本体的精密加工。 0023 所谓超硬材料， 具体而言是指烧结钻石或超硬合金。此等是于耐磨耗性优良的材 料。 0024 发明的效果 0025 本发明的轮保持具的制造方法中， 将圆柱体的中间部位 ( 于槽露出的部分 ) 切除 后形成的左右的圆柱体的销插入孔是以线放电加工机的一条线同时加工， 故可彻底形成

18、于 一直线上， 可提高左右的销插入孔的真直度等加工精度， 以于此销插入孔插入的刀具销轴 支的刀轮的旋转精度提升， 可抑制旋转支承部分的磨耗。 0026 此外， 将销插入孔线放电加工时的线移动轨迹是从外罩安装孔导入者， 故于圆柱 体的下面(底面)不形成线导入轨迹所导致的狭缝， 因此， 可防止于划线加工时玻璃屑等微 细的粉体的侵入。 此外， 承载刀具销的销插入孔涵盖以超硬材料制的圆柱体全长形成为长， 故以圆柱体全体大致均匀承受荷重， 安定保持插入的刀具销， 可使耐荷重性更加提升。 0027 进而， 没有相当于环体的零件， 从刀具销于圆柱体支持的点至刀具销支持刀轮的 点的距离小至可忽视， 故使磨耗加

19、速的力矩几乎不会产生。 0028 上述制造方法中， 外罩安装孔于圆柱体安装孔的上方形成， 使线放电加工机的线 的移动轨迹为使弯曲为从外罩安装孔至避开圆柱体安装孔的上面的位置的轨迹亦可。 0029 于于圆柱体加工的销插入孔残留的线导入槽不于销插入孔的上面形成， 因此， 作 用于于销插入孔插入的刀具销的荷重可以销插入孔的无凹凸的平滑的上面承受， 可抑制耐 磨耗性或耐荷重性的劣化。 0030 上述制造方法中， 包含以线放电加工加工保持具本体的下部的外形轮廓的步骤亦 可。 0031 在此， 下部的外形轮廓虽不特别限定， 但配合使用的刀轮的径并将轮廓形成为刀 轮的刃面容易观察较理想。 例如， 使销插入孔

20、的下方紧贴处的附近为水平面， 从水平面的端 至保持具本体的端使为倾斜面亦可。 0032 通过将此种外形轮廓以线放电加工进行， 于将销插入孔以线放电加工加工的前或 后可连续加工， 故可有效率地加工。 0033 解决其它课题的手段及效果 0034 此外， 从其它观点而为的本发明的轮保持具是通过以上述的制造方法形成， 于具 备收纳刀轮的向下开口的槽、 配置为隔着前述槽相对的左右的支持部、 贯通此左右的支持 部形成的圆柱体安装孔、 与此圆柱体安装孔平行贯通设置的外罩安装孔的金属制的保持具 本体的圆柱体安装孔涵盖左右的支持部安装超硬材料制的圆柱体， 通过使线放电加工机的 线从外罩安装孔移动至圆柱体加工有

21、贯通圆柱体的轴心的销插入孔， 进而， 在前述槽之间 切除圆柱体的中间部位而形成有收纳刀轮的间隙。 0035 根据此轮保持具， 左右的支持部为一体构造故可减少零件数目且将圆柱体的中间 部位切除后的左右的圆柱体的销插入孔是通过线放电加工左右同时加工， 故可于一直线上 正确地形成而可提高真直度等加工精度。此外， 承载刀具销的销插入孔涵盖以超硬材料制 的圆柱体全长形成为长， 故以圆柱体全体大致均匀承受荷重， 安定保持插入的刀具销， 可使 耐荷重性更加提升。 说 明 书 CN 102248613 A4/6 页 6 0036 进而， 没有相当于环体的零件， 从刀具销于圆柱体支持的点至刀具销支持刀轮的 点的

22、距离小至可忽视， 故使磨耗加速的力矩几乎不会产生。 0037 此外， 于圆柱体的下面没有狭缝， 因此， 可防止于划线加工时玻璃屑等微细的粉体 的侵入。 0038 于上述的轮保持具中， 前述外罩安装孔于圆柱体安装孔的上方形成， 使线放电加 工机的线的移动轨迹为使弯曲为从外罩安装孔至避开圆柱体安装孔的上面的位置的轨迹 较理想。 0039 如此， 于于圆柱体加工的销插入孔残留的线导入槽不于销插入孔的上面形成， 因 此， 作用于于销插入孔插入的刀具销的荷重可以销插入孔的无凹凸的平滑的上面承受， 可 抑制耐磨耗性或耐荷重性的劣化。 0040 于上述的轮保持具中， 前述保持具本体的下部侧是加工为形成圆柱体

23、的下部侧的 一部分露出的水平面亦可。 0041 如此， 销插入孔与轮保持具的最下面的水平面的距离缩短， 故即使为安装有小刀 轮的场合亦可刻划。 0042 此外， 从其它观点而为的本发明的刀轮保持机构是由刀轮与保持前述刀轮的轮保 持具构成， 其特征在于 ： 前述轮保持具是于具备收纳刀轮的向下开口的槽、 配置为隔着前述 槽相对的左右的支持部、 贯通此左右的支持部形成的圆柱体安装孔、 与此圆柱体安装孔平 行贯通设置的外罩安装孔的金属制的保持具本体的圆柱体安装孔涵盖左右的支持部安装 超硬材料制的圆柱体， 通过使线放电加工机的线从外罩安装孔移动至圆柱体加工有贯通圆 柱体的轴心的销插入孔， 进而， 在前述

24、槽之间切除圆柱体的中间部位而形成有收纳刀轮的 间隙 ； 前述刀轮是配置于前述轮保持具的间隙 ； 于前述圆柱体的销插入孔插通超硬材料制 的刀具销， 在刀轮在前述槽内接触左右的圆柱体的端面的状态下以刀具销支持 ； 进而， 通过 于左右的支持构件的外侧面支持于前述外罩安装孔的外罩， 刀具销的两端部阻塞而阻止刀 具销的拔脱且通过线放电加工时的线移动形成的槽隐藏。 0043 根据此轮保持机构， 除上述的轮保持具的特征外， 通过于左右的支持构件的外侧 面支持于前述外罩安装孔的外罩， 刀具销的两端部阻塞而阻止刀具销的拔脱且藉由线放电 加工时的线移动形成的槽隐藏， 故可完全防止玻璃屑等微细粉末侵入通过线放电加

25、工时的 线移动形成的槽。此外， 于欲交换刀轮时， 通过卸除外罩并拔取刀具销可容易进行。 附图说明 0044 图 1 为显示本发明的轮保持具的一实施形态的立体图。 0045 图 2 为显示本发明的轮保持具的制造步骤的第 1 阶段的立体图。 0046 图 3 为显示本发明的轮保持具的制造步骤的第 2 阶段的立体图。 0047 图 4 为显示在上述第 2 阶段的步骤的线放电加工的线轨迹的扩大俯视图。 0048 图 5 为显示本发明的轮保持具的制造步骤的第 3 阶段的立体图。 0049 图 6 为显示在上述第 3 阶段的步骤的线放电加工的线轨迹的扩大俯视图。 0050 图 7 为阶段性显示本发明的轮保

26、持具的制造步骤的剖面图。 0051 图 8 为显示于本发明的轮保持具安装有刀轮的刀轮保持机构的立体图。 0052 图 9 为阶段性显示以往的轮保持具的制造步骤的剖面图。 说 明 书 CN 102248613 A5/6 页 7 0053 图 10 为显示安装有刀轮的以往的轮保持具的剖面图。 0054 符号说明 0055 具体实施方式 0056 以下， 基于显示其实施形态的图面详细说明本发明的细节， 其中 ： 0057 图 1 为显示以本发明的制造方法制造的轮保持具 W 的立体图， 以后述的图 7(d) 显 示其剖面图。 此轮保持具W具备于下部具有后述的收纳刀轮A的向下开口的槽1、 设有隔着 槽

27、1 相对的左右的支持部 2 的保持具本体 3。于支持部 2 以贯通支持部 2 的方式安装有由 超硬材料 ( 烧结钻石或超硬合金 ) 构成的圆柱体 4( 一部分切除 )。此外， 于圆柱体 4 的轴 心部通过线放电加工加工有销插入孔 9。 0058 以下基于图 2- 图 7 说明本发明的制造方法的步骤。 0059 首先， 如图 2 及图 7(a) 所示， 于下部形成收纳刀轮 A 的向下开口的槽 1， 制作具备 隔着前述槽 1 相对的左右的支持部 2 的工具钢等金属制的保持具本体 3。于此保持具本体 3是事先加工有贯通左右的支持部2的圆柱体安装孔5、 于内面施有螺纹的外罩安装孔6、 将 轮保持具 W

28、 安装于刻划装置的刻划头 ( 不图标 ) 的安装孔 7。另外， 外罩安装孔 6 是为使能 以后述的外罩 14 隐藏销插入孔 9( 参照图 8) 而于圆柱体安装孔 5 的附近形成。较理想是 为了使即使固定外罩14的螺丝松弛时亦因外罩14的重心位置与自重的关系而来到隐藏销 插入孔 9 的位置而于圆柱体安装孔 5 的上方形成。 0060 其次， 如图 7(b) 所示， 在将由超硬材料构成的圆柱体 4 插入保持具本体 3 的圆柱 体安装孔 5 后， 以硬焊固定。 0061 此后， 将保持具本体3如图3所示横载置于平台上， 通过使线放电加工机8的线8a 沿以图 3 及图 4 显示的轨迹 R 行进， 将保

29、持具本体 3 的下部的外形轮廓加工为既定的形状。 另外， 此加工并不限于线放电加工手段， 亦可以其它切削用工作机械加工。 加工的外形轮廓 的形状亦不特别限定， 但除去不要部分而刃前缘容易观察的形状较理想。在使用的刀轮的 轮径小的场合是配合径切除圆柱体 4 的下侧的一部分而于圆柱体 4 的下侧形成水平面。 0062 其次， 如图 5 及图 6 所示， 通过使线放电加工机 8 的线 8a 通过外罩安装孔 6 并从 外罩安装孔6至圆柱体4沿着沿箭头的轨迹R移动而于圆柱体4的轴心部加工销插入孔9， 使成为图 7(c) 的状态。 0063 此时， 将线放电加工机 8 的线 8a 的移动轨迹 R 如图 6

30、 所示弯曲形成为从外罩安装 说 明 书 CN 102248613 A6/6 页 8 孔 6 至避开圆柱体 4 的上面的位置。由此， 于于圆柱体加工的销插入孔 6 残留的线导入槽 不于销插入孔 6 的上面形成， 故成为平滑的上面。因此， 如后述， 刀具销 12 插入销插入孔 6 时的作用于刀具销12的荷重可以销插入孔6的平滑的上面承受， 可抑制耐磨耗性或耐荷重 性的劣化。 0064 此后， 通过在槽 1 之间将横断槽 1 的圆柱体 4 的中间部位以配合刀轮 A 的宽度的 厚度的钻石刀具等切除以加工收纳刀轮A的间隙10， 制作如图7(d)及图1所示的轮保持具 W。在此加工虽必须将间隙 10 的宽度

31、限制于对应于刀轮 A 的宽度的容许公差内， 但是加工 圆柱体 4， 且只要直接以间隙规等测量间隙的间隔同时加工即可， 故调整作业可简单进行。 0065 如上述可得的轮保持具 W 的左右的销插入孔 9 是以线放电加工机 8 的一条线 8a 左右同时加工， 故可于一直线上正确地形成而可提高左右的销插入孔 9 的真直度等加工精 度。另外， 承载刀具销 12 的销插入孔 9 涵盖以超硬材料制的圆柱体 4 全长形成为长， 故可 使与插入的刀具销 12 的耐磨耗性或耐荷重性更加提升。此外， 于圆柱体 4 的下面 ( 底面 ) 不形成在线放电加工的线导入轨迹所导致的狭缝， 故可防止于划线加工时玻璃屑等微细粉

32、 末的侵入。 0066 制作的轮保持具 W 是如图 7(e) 所示， 通过于左右的圆柱体 4 的间隙 10 配置以超 硬材料制作的刀轮 A 并于圆柱体 4 的销插入孔 9 及刀轮 A 的销孔 11 插通超硬材料制的刀 具销 12 来轴支刀轮 A。间隙 10 的尺寸设定为此时分断的左右的圆柱体 4 的端面几乎接触 刀轮 A 的左右侧面。 0067 之后， 如图 8 所示， 在左右的支持构件 2 的外侧面使以螺丝 13 安装有外罩 14 的刀 轮保持机构 C 完成。由此， 阻塞刀具销 12 的两端部而阻止刀具销的拔脱。同时， 隐藏通过 线放电加工时的线移动形成的轨迹 ( 槽 )， 可防止从此处的玻

33、璃屑等微细粉末的侵入。此 外， 于欲交换刀轮 A 时， 通过卸除外罩 14 并拔取刀具销 12 可容易进行。 0068 此外， 刀轮 A 的侧面于左右的圆柱体 4 的端面接触支持， 故刀轮 A 的垂直度提高， 可抑制旋转支承部分的磨耗。此外， 即使刀轮 A 的轴孔内面与刀具销 12 的外周面之间有磨 耗所导致的间隙产生亦可维持刀轮 A 的垂直度， 可延长刀轮 A 的使用寿命。 0069 以上虽已针对本发明的代表性的实施例说明， 但本发明并非必须受限于特定于上 述的实施形态， 可在达成其目的且不超出权利要求范围的范围内适当修正、 变更。 0070 例如， 通过使圆柱体安装孔 5 及圆柱体 4 的

34、径小， 不将保持具本体 3 的下部的外形 轮廓以线放电加工等切除便可安装小刀轮。 0071 产业上的可利用性 0072 本发明可适用于于玻璃基板或陶瓷基板、 半导体晶圆等脆性材料基板形成刻划线 时使用的保持刀轮的轮保持具及其制造方法。 说 明 书 CN 102248613 A1/8 页 9 图 1 图 2 说 明 书 附 图 CN 102248613 A2/8 页 10 图 3 图 4 说 明 书 附 图 CN 102248613 A3/8 页 11 图 5 说 明 书 附 图 CN 102248613 A4/8 页 12 图 6 说 明 书 附 图 CN 102248613 A5/8 页 13 图 7 说 明 书 附 图 CN 102248613 A6/8 页 14 图 8 说 明 书 附 图 CN 102248613 A7/8 页 15 图 9 说 明 书 附 图 CN 102248613 A8/8 页 16 图 10 说 明 书 附 图