构造物形成装置、构造物制造方法和构造物.pdf

1、(10)申请公布号 CN 103358551 A (43)申请公布日 2013.10.23 CN 103358551 A *CN103358551A* (21)申请号 201310088555.1 (22)申请日 2013.03.19 2012-073796 2012.03.28 JP B29C 67/00(2006.01) (71)申请人 索尼公司 地址 日本东京 (72)发明人 安河内裕之 (74)专利代理机构 北京康信知识产权代理有限 责任公司 11240 代理人 余刚 吴孟秋 (54) 发明名称 构造物形成装置、 构造物制造方法和构造物 (57) 摘要 本发明涉及构造物形成装置、 构造

2、物制造方 法和构造物。 该构造物形成装置包括旋转体、 照射 单元和保持构件。 在旋转体上， 能够设置进行了图 案化的掩模。照射单元能够利用能量线照射沿着 旋转体的旋转轴方向的区域， 其中掩模介于旋转 体与照射单元之间。保持构件被设置为与旋转体 相对， 从而形成保持利用能量线固化的材料的保 持区域。 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 权利要求书 2 页 说明书 8 页 附图 9 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书2页 说明书8页 附图9页 (10)申请公布号 CN 103358551 A CN 103358551 A *CN103358551A*

3、 1/2 页 2 1. 一种构造物形成装置， 包括 ： 旋转体， 在其上能够设置进行了图案化的掩模 ； 照射单元， 能够利用能量线照射沿着所述旋转体的旋转轴方向的区域， 其中所述掩模 介于所述旋转体与所述照射单元之间 ； 以及 保持构件， 被设置为与所述旋转体相对， 从而形成保持利用所述能量线固化的材料的 保持区域。 2. 根据权利要求 1 所述的构造物形成装置， 其中， 所述旋转体具有弯曲的外圆周表面， 从而在所述保持构件和所述外圆周表面之间形成 所述保持区域。 3. 根据权利要求 1 所述的构造物形成装置， 其中， 所述照射单元包括发射作为所述能量线的光的光源。 4. 根据权利要求 3 所

4、述的构造物形成装置， 其中， 所述照射单元进一步包括狭缝构件， 其具有狭缝， 所述狭缝通过使从所述光源发射的 光从其穿过而在所述保持区域上形成线性照射区域。 5. 根据权利要求 3 所述的构造物形成装置， 其中， 所述光源是发射激光的光源， 以及 所述照射单元进一步包括线性地扩散所发射的激光的光学系统。 6. 根据权利要求 3 所述的构造物形成装置， 其中， 所述旋转体是具有设置所述光源的中空部的筒状体。 7. 根据权利要求 1 所述的构造物形成装置， 其中， 所述旋转体具有设置所述掩模的外圆周表面。 8. 根据权利要求 1 所述的构造物形成装置， 其中， 在所述保持构件的表面上， 至少形成所

5、述保持区域的区域是平坦表面。 9. 根据权利要求 1 所述的构造物形成装置， 其中， 在所述保持构件的表面上， 至少形成所述保持区域的区域是弯曲表面。 10. 根据权利要求 9 所述的构造物形成装置， 进一步包括 ： 行进机构， 被构造为使保持通过固化材料形成的构造物的膜状基材行进， 其中， 所述保持构件将张力施加于所述基材。 11. 根据权利要求 9 所述的构造物形成装置， 进一步包括 ： 卷绕筒， 被构造为卷起通过固化材料形成的构造物。 12. 根据权利要求 1 所述的构造物形成装置， 其中， 根据所述旋转体与所述保持构件之间的距离， 确定要形成的构造物的厚度。 13. 根据权利要求 1

6、所述的构造物形成装置， 其中， 所述掩模被设置在所述旋转体的整个外表面上。 14. 一种构造物制造方法， 所述方法包括 ： 将通过能量线的能量固化的材料保持在旋转体与设置为与所述旋转体相对的保持构 件之间， 在所述旋转体上能够设置进行了图案化的掩模 ； 以及 利用所述能量线通过所述掩模照射所保持的材料的沿着所述旋转体的旋转轴方向的 区域。 权 利 要 求 书 CN 103358551 A 2 2/2 页 3 15. 一种构造物， 通过以下方法制造， 所述方法包括 ： 将通过能量线的能量固化的材料保持在旋转体与设置为与所述旋转体相对的保持构 件之间， 在所述旋转体上能够设置进行了图案化的掩模 ；

7、 以及 利用所述能量线通过所述掩模照射所保持的材料的沿着所述旋转体的旋转轴方向的 区域。 权 利 要 求 书 CN 103358551 A 3 1/8 页 4 构造物形成装置、 构造物制造方法和构造物 技术领域 0001 本发明涉及形成片状构造物的构造物形成装置、 构造物制造方法、 以及由构造物 形成装置和构造物制造方法制造的构造物。 背景技术 0002 日本专利申请公开第 2011-102039 号中公开的辊式压印装置是通过利用所谓的 纳米压印技术形成树脂片的装置。该装置设置有用于在树脂片上转印图案的转印辊。在转 印辊的外圆周表面， 形成纳米级大小的转印图案。作为树脂片， 使用提供在基膜上的

8、 UV 固 化树脂。当树脂片经过转印辊的表面时， 用 UV 光线照射树脂片， 结果是转印辊的图案形成 在树脂片上 （参见， 例如， 日本专利申请公开第 2011-102039 号中的段落 0085） 。 发明内容 0003 在日本专利申请公开第 2011-102039 号中公开的装置中， 转印图案的整个表面的 形状由具有曲率的转印辊转印， 并且从转印辊移除树脂片， 即， 随着转印辊的旋转执行释 放。因此， 要转印的图案的纵横比越高， 释放就变得越困难， 这可能损坏图案。 0004 鉴于以上所述的情况， 理想的是， 提供一种能够形成构造物并且无论构造物的图 案形状如何都不会损坏图案的构造物形成装

9、置和构造物制造方法， 并且提供由此制造的构 造物。 0005 根据本发明的实施方式， 提供了一种构造物形成装置， 包括旋转体、 保持构件和照 射单元。 0006 进行了图案化的掩模能够被设置在旋转体上。 0007 照射单元能够利用能量线照射沿着旋转体的旋转轴方向的区域， 其中掩模介于照 射单元和照射区域之间。 0008 保持构件设置为与旋转体相对， 从而形成保持利用能量线固化的材料的保持区 域。 0009 在本发明中， 通过不利用三维铸模而利用二维掩模， 利用能量线照射所固化的材 料将容易从旋转的旋转体剥去。 即， 可以防止通过固化材料形成的图案受到损坏， 这与使用 三维铸模的情况不同。 00

10、10 旋转体具有弯曲的外圆周表面， 从而在保持构件和外圆周表面之间形成保持区 域。通过该构造物， 可以形成高分辨率的微细构造物。 0011 照射单元可以包括发射作为能量线的光的光源。 0012 照射单元可以进一步包括具有狭缝的狭缝构件， 其通过使从光源发射的光穿过狭 缝可以在保持区域上形成线性照射区域。通过该构造物， 即使通过利用发射非相干光的光 源也可以形成线性光照射区域。 0013 光源可以是发射激光的光源， 并且照射单元可以进一步包括线性地扩散发射的激 光的光学系统。即使当如上所述使用激光源时， 也可以利用激光照射线性照射区域。 说 明 书 CN 103358551 A 4 2/8 页

11、5 0014 旋转体可以是具有中空部的筒状体， 其中光源设置在中空部中。光源设置在中空 部中， 中空部是作为旋转体的圆柱体的内部， 所以可以实现构造物形成装置的小型化。 0015 旋转体可以具有设置有掩模的外圆周表面。利用该结构， 减小掩模和保持构件之 间的距离， 所以可以增加图案转印的分辨率。 0016 在保持构件的表面上， 至少形成保持区域的区域可以是平坦表面或弯曲表面。 0017 构造物形成装置可以进一步包括行进机构， 其被构造为使保持通过固化材料形成 的构造物的膜状的基材行进。在该情况下， 保持构件将张力施加于基材。因此， 可以在基材 上形成构造物。 0018 构造物形成装置可以进一步

12、包括卷绕筒， 其被构造为卷起通过固化材料形成的构 造物。因此， 可以通过卷绕筒卷起该构造物。 0019 根据旋转体和保持构件之间的距离， 可以确定要形成的构造物的厚度。 因此， 通过 调节该距离可以设置构造物的厚度。 0020 根据本发明的另一个实施方式， 提供了一种构造物制造方法， 该方法包括将通过 能量线的能量固化的材料保持在旋转体和要设置为与旋转体相对的保持构件之间， 其中进 行了图案化的掩模能够设置在旋转体上。 0021 利用能量线通过掩模照射所保持的材料的沿着旋转体的旋转轴方向的区域。 0022 根据本发明的另一个实施方式， 提供了一种通过以上所述的方法制造的构造物。 0023 如上

13、所述， 根据本发明， 可以形成该构造物， 并且无论构造物的图案形状如何都不 会损坏图案。 0024 根据以下如附图所示的本发明的最佳实施方式的详细说明， 本发明的这些和其他 目的、 特征和优点将更为显而易见。 附图说明 0025 图 1 是示意性地示出了根据本发明的第一实施方式的构造物形成装置的透视图 ； 0026 图 2 是示出了图 1 中所示的构造物形成装置的侧视图 ； 0027 图 3 是示出了伸展的掩模的实例的平面图 ； 0028 图 4 是示出了图 3 中所示的掩模上形成的构造物的实例的平面图 ； 0029 图 5 是用于说明旋转鼓的外圆周表面和照射区域的平面之间的位移量的示图 ；

14、0030 图 6 是示出了作为参考例的在表面上具有在压印技术中使用的三维铸模的辊的 透视图 ； 0031 图 7 是示出了使用图 6 中所示的辊的三维铸模形成构造物的状态的示图 ； 0032 图 8 是示出了根据第一实施方式的构造物的另一个实例的平面图 ； 0033 图 9 是示出了根据本发明的第二实施方式的构造物形成装置的侧视图 ； 以及 0034 图10A和图10B分别是根据本发明的第三实施方式的构造物形成装置的光照射单 元的平面图和侧视图。 具体实施方式 0035 下文中， 将参考附图描述本发明的实施方式。 0036 （第一实施方式） 说 明 书 CN 103358551 A 5 3/8

15、 页 6 0037 （构造物形成装置的构造） 0038 图1是示意性地示出了根据本发明的第一实施方式的构造物形成装置100的透视 图。图 2 是示出了图 1 中所示的构造物形成装置 100 的侧视图。 0039 构造物形成装置100设置有用作旋转体的旋转鼓10， 用作被设置为与旋转鼓10相 对的保持构件的台 20， 以及设置在旋转鼓 10 中的光照射单元 40。 0040 旋转鼓10具有沿Y轴方向的长度， 形成为筒状形状， 一般为圆筒状， 并且具有作为 弯曲表面的圆柱形表面的外圆周表面 11。多个辊 15 接触外圆周表面 11， 并且旋转鼓 10 由 多个辊 15 保持。利用该结构， 旋转鼓

16、10 可关于作为旋转轴方向的 Y 轴方向旋转。 0041 旋转鼓 10 是由透光材料制造的， 例如玻璃和亚克力。 0042 台 20 具有与旋转鼓 10 相对的表面 21。表面 21 形成为平面形状。驱动台 20 的驱 动机构 （未示出） 连接至台 20。驱动机构具有使台 20 可以沿例如水平方向 （在该情况下， 沿 垂直于旋转鼓 10 的旋转轴方向的方向 （X 轴方向） ） 移动的构造。作为驱动机构， 例如， 使用 滚珠丝杠机构、 皮带机构、 利用电磁作用的线性电机等。 0043 如图 2 中所示， 在旋转鼓 10 的外圆周表面 11 上设置有具有光透过形状图案 （下文 中称为透光图案） 的

17、掩模 M。即， 掩模 M 沿着外圆周表面 11 的弯曲表面设置。 0044 掩模M是由金属、 树脂等制造的， 形成为薄膜形状， 并且结合在旋转鼓10的外圆周 表面 11。一般地， 掩模 M 设置在外圆周表面 11 的整个圆周 （360 度） 上。掩模 M 可以通过 光刻、 蚀刻、 切割等形成。 0045 应当注意， 掩模M的透光图案可以通过打印等直接绘制在旋转鼓10的外圆周表面 11 上。 0046 图 3 是示出了伸展的掩模 M 的实例的平面图。黑色部分是遮光部分， 而白色部分 是透光部分。换句话说， 透光图案是网目形式。掩模 M 的透光图案不限于该图案， 并且可以 具有任何形状的图案。 0

18、047 光照射单元40具有生成非相干UV线的UV灯41， 其作为发射作为能量线的光的光 源。UV 灯 41 基本上设置在旋转鼓 10 的中空部的中央， 并且具有沿着 Y 轴方向的长形状。 0048 进一步， 光照射单元 40 具有设置在旋转鼓 10 的中空部的狭缝构件 42。狭缝构件 42 不连接旋转鼓 10， 也不旋转。狭缝构件 42 可以由支撑构件 （未示出） 支撑。 0049 狭缝构件 42 具有在台 20 的相对位置沿着 Y 轴方向纵长的狭缝 42a。一般地， 狭缝 42a 形成在与旋转鼓 10 的外圆周表面 11 中旋转鼓 10 的外圆周表面 11 与台 20 的表面 21 之间的距

19、离最短的区域相对应的位置 （与外圆周表面 11 相同的半径方向上狭缝构件 42 中 的位置） 上。 0050 狭缝 42a 的沿 X 轴方向的宽度是大约 0.1mm 到 1mm， 但是不限于该范围。如上所述 最短的旋转鼓 10 的外圆周表面 11 与台 20 的表面 21 之间的距离 t 是大约 0.001mm 到 1mm。 在该实施方式的情况下， 旋转鼓 10 的外圆周表面 11 与台 20 的表面 21 之间的距离对应于 通过固化液态材料 R 形成的固化材料 R （构造物） 的厚度。即， 通过调节该距离， 可以设置 要形成的构造物的厚度。 0051 狭缝构件 42 由金属或树脂形成。狭缝构

20、件 42 的内圆周表面是对于从 UV 灯 41 发 射的光具有高反射率的材料形成。具有高反射率的内圆周表面可以通过在狭缝构件 42 上 执行高反射率涂覆或通过利用具有高反射率的材料形成基材而形成。利用该结构， 可以增 说 明 书 CN 103358551 A 6 4/8 页 7 加穿过狭缝 42a 的光量， 因此可以提高光的使用效率。 0052 UV 灯 41 以基本上时间连续的方式发射光。 “基本上时间连续的方式” 的含义包括 来自 UV 灯 41 的光发射量以充分短于旋转鼓 10 的旋转速度 （台 20 的移动速度） 的周期改变 的形式。充分短于旋转鼓 10 的旋转速度的周期意味着材料 R

21、 通过掩模 M 的透光图案接收 足量的光并且材料 R 获得预定硬度的周期。 0053 光照射单元 40 对于旋转鼓 10 与台 20 之间保持的材料的最大光照射可能范围是 等于或稍大于狭缝构件42的狭缝42a的大小。 即， 该范围是沿着Y轴方向的线性照射区域。 0054 构造物形成装置 100 设置有能够提供液态材料的材料供给单元 （未示出） 。如图 2 中所示， 材料供给单元提供材料 R 给旋转鼓 10 和台 20 之间的区域 （材料 R 的保持区域 H） 。 取决于形成旋转鼓 10 和台 20 的材料、 其形状、 表面 21 的形态、 材料种类等， 预定量的材料 R 保持在旋转鼓 10 与

22、台 20 之间的区域。 0055 作为液态材料 R， 使用通过从 UV 灯 41 发射的 UV 线固化的树脂材料， 即， UV 固化树 脂。 代替UV灯41， 可以使用发射可见光或红外线的灯， 并且取决于所使用的灯， 可以适当选 择树脂材料。 0056 材料供给单元 （未示出） 具有喷嘴， 喷嘴具有狭缝或多个孔， 并且从狭缝或多个孔 喷出材料。 0057 应当注意， 可以不设置材料供给单元， 而例如， 操作人员可以手动地提供材料。 0058 （构造物形成装置的操作） 0059 将描述构造物形成装置 100 的操作。 0060 材料供给单元 （未示出） 提供材料给旋转鼓 10 和台 20 之间的

23、区域。根据材料种 类、 可以保持在保持区域 H 中的材料量、 固化材料的移动速度 （旋转鼓 10 和台 20 的移动速 度等） 适当设置来自材料供给单元的材料供给量或材料供给流。 0061 当材料 R 保持在保持区域 H 中时， 台 20 以恒定速度移动， 并且光从 UV 灯 41 中发 射出。通过狭缝构件 42 的狭缝 42a、 旋转鼓 10 和掩模 M 的透光部分， 用光照射保持区域 H 中的材料 R。 0062 固化材料 R 的利用光照射的部分。固化的材料 R 具有以一定机械强度将台 20 和 旋转鼓 10 彼此连接在一起的功能。因此， 随着台 20 移动， 旋转鼓 10 旋转。此时，

24、如稍后将 描述， 沿着在 X 轴方向的移动方向上的移动， 旋转鼓 10 的外圆周表面 11 和台 20 的表面 21 之间的距离增加， 连接功能被固化的材料 R 减弱。因此， 防止固化的材料保持与旋转鼓 10 连接。 0063 如上所述， 台20和旋转鼓10基本上以恒定速度移动， 结果是可以形成具有细微的 高度精确的图案形状的片状构造物。 0064 如上所述， 将来自清洁单元 （清洁喷嘴） （未示出） 的清洁液体， 例如水或酒精， 提供 给台 20 上形成的构造物。因此， 移除不固化和粘附至构造物的材料 R。操作人员可以手动 地执行清洁过程。 0065 例如， 利用图 3 中所示的掩模 M，

25、形成如图 4 中所示的网目状构造物。图 4 中所示 的黑色部分是构造物 （固化的材料） ， 并且形成具有厚度 （高度） t 的肋部 （参考图 2） 。 0066 如上所述， 在该实施方式中， 通过不利用三维铸模而是利用二维掩模 M， 利用光照 射固化的材料 R 容易从旋转的旋转鼓 10 剥离。即， 可以防止通过固化材料形成的图案受 说 明 书 CN 103358551 A 7 5/8 页 8 到损坏， 这与相关领域的压印技术中使用三维铸模的情况不同。 0067 即， 构造物的纵横比越高， 构造物从三维铸模上脱落就变得越困难。然而， 根据该 实施方式， 可以克服该问题。 0068 特别地， 在该

26、实施方式中， 使用利用一维限制的液态表面方法的成型技术。即， 利 用一维限制液态表面方法的成型技术是沿着 Y 轴方向的线性液态表面受到旋转鼓 10 的限 制并且利用光照射被限制的区域中的材料 R 的技术。 0069 限制材料 R 的液体表面的区域和可固化区域成为沿着 Y 轴的线性形式， 并且朝着 X 轴方向的移动方向移动。连同此， 旋转鼓 10 的弯曲外圆周表面 11 离开台 20 的表面 21。 利用该结构， 随着台 20 移动， 固化的材料 R 很容易从旋转鼓 10 的外圆周表面 11 剥离。 0070 应当注意， 为了增加当旋转鼓 10 随着台 20 旋转时台 20 和旋转鼓 10 的连

27、接力， 沿 Y 轴方向连续形成的透光部分可以设置在掩模 M 沿 X 轴方向的一个端部或两个端部。在该 情况中， 取决于透光部分， 形成材料的连续固化部分， 并且增加固化部分与旋转鼓 10 的外 圆周表面 11 的接触区域， 因此增加连接力。 0071 或者， 构造物形成装置 100 可以进一步设置有驱动单元， 其与台 20 的移动同步地 旋转旋转鼓 10。 0072 在这个实施方式中， UV 灯 41 设置在旋转鼓 10 的中空部中， 所以可以使构造物形 成装置 100 小型化。 0073 在这个实施方式中， 掩模 M 设置在旋转鼓 10 的外圆周表面 11 上。利用该结构， 可 以尽可能地缩

28、短掩模 M 与台 20 的表面 21 之间的距离 t， 这可以增加图案转印的分辨率。 0074 在以上的实施方式中， 每小时从 UV 灯 41 发射的光量设置为基本上恒定。然而， 如 图3中所示， 在掩模M的透光图案的形状是单调的情况下， 可以如下所述控制光照射单元40 的发射光。即， 控制单元可以在透光单元面对狭缝 42a（在开启和关闭的情况下） 时启动光 的发射， 或者将发射光量控制为变量， 从而在此定时增加光量。 0075 图 5 是用于说明旋转鼓 10 的外圆周表面 11 与光照射区域的平面之间的位移量的 示图。 0076 当在保持区域 H 中沿 Y 轴方向观看时旋转半径和光宽度分别由

29、 r 和 w 表示。在图 5 中， 为了有助于理解该说明， 增加光宽度的大小。从保持区域中光照射部分的平面 G 在 Z 轴方向上的位移量 （从平面 G（具有宽度 w） 到外圆周表面 11 沿 Z 轴方向的距离） 由 d 表示。 0077 在角度 微小， 即， rsin=r 成立的情况下， 当关注微小的近似三角形 F 时， 下 面的两个等式成立。 0078 r=w/2 0079 w/2=d/sin,， 即， w/2=d/ 0080 根据这些等式， 获得 d=w2/(4r)。例如， 在 r=100mm 和 w=1mm 的情况下， 获得 d=0.0025mm。因此， 位移量 d 是相当小的值。换句话

30、说， 光入射到旋转鼓 10 的外圆周表面 11 上的弯曲表面可以视为基本上平坦的表面， 并且外圆周表面 11 上的入射宽度基本上是 保持区域的宽度 w。 0081 图 6 是示出了作为参考实例的具有在压印技术中使用的三维铸模的辊的透视图。 在辊 110 的外圆周表面 115 上形成三维铸模。例如， 在日本专利申请公开第 2011-102039 号中所公开的压印技术中， 如图 7 中所示， 通过利用这样的辊 110， UV 固化树脂提供在外圆 说 明 书 CN 103358551 A 8 6/8 页 9 周表面 115 和转印记录纸 120 之间， 并且利用 UV 线照射树脂。在该情况下， 光照

31、射区域不 是线性形状， 而是平面形状， 这与本发明中的情况不同。 这可以通过参考日本专利申请公开 第 2011-102039 号中的图 4 等来清楚地理解。 0082 在相关领域的压印技术中， 使用了三维铸模， 所以从铸模进行剥离没有如上所述 那么容易。构造物的纵横比越高， 困难就越明显。与此相反， 通过根据以上实施方式的构造 物形成装置 100， 可以克服这样的问题。 0083 图 8 是示出该构造物的另一个实例的平面图。该附图示出了具有自相似形式 （不 规则形式） 的蜂窝形状的构造物。此外， 通过根据该实施方式的构造物形成装置 100， 可以 形成具有任意图案的构造物， 例如电线和微流路径

32、。 0084 （第二实施方式） 0085 图 9 是示出了根据本发明的第二实施方式的构造物形成装置的侧视图。在下面的 描述中， 将简化或省略与包括在根据以上参考图 1 描述的实施方式的构造物形成装置 100 中所包括的相同的部分、 功能等的说明， 将主要描述不同点。 0086 构造物形成装置 200 设置有用作具有弯曲表面的保持构件的保持辊 60， 代替以上 所述的设置有平面表面 21 的台 20。具体地， 在外圆周表面 61 和旋转鼓 10 的弯曲外圆周表 面之间， 形成保持材料 R 的保持区域 H， 其中外圆周表面 61 是保持辊 60 的弯曲表面。 0087 进一步， 根据该实施方式的保

33、持辊 60 施加张力， 使得基膜 （基材） 25 接触外圆周表 面 61 并且保持材料 R， 其中基膜 25 介于其间。使基膜 25 与旋转鼓 10 和保持辊 60 同步地 至少在供给筒 （未示出） 和卷绕筒 （未示出） 之间行进， 同时经受后张力。在该情况下， 供给 盘和卷绕筒起到行进机构的作用。 0088 在以上所述构造的构造物形成装置 100 中， 作为固化材料 R 的构造物形成在基膜 25 上。卷绕筒可以将形成有构造物的基膜 25 卷起， 这可以增加构造物的生产率。 0089 （第三实施方式） 0090 图10A和图10B分别是根据本发明的第三实施方式的构造物形成装置的光照射单 元的平

34、面图和侧视图。 0091 光照射单元设置有作为光源的发射激光的激光二极管 43 和以线性形式扩散激光 的光学系统 45。光学系统 45 包括两个圆柱形透镜 451 和 452。在激光二极管 43 和光学系 统 45 之间， 设置有准直透镜 46。 0092 通过如上所述的光照射单元， 可以形成沿着 Y 轴方向的线性光。即， 即使未设置狭 缝构件 42， 也可以在保持区域 H 中形成线性光照射区域。 0093 进一步， 光照射单元具有允许设置在旋转鼓 10 中的大小， 结果是可以实现构造物 形成装置的小型化。 0094 （其他实施方式） 0095 本发明不限于以上实施方式， 可以具有各种其他实施

35、方式。 0096 在以上的实施方式中， 掩模 M 设置在旋转鼓 10 的外圆周表面 11 上， 但是也可以设 置在旋转鼓 10 的内圆周表面上。 0097 在以上的实施方式中， 掩模 M 设置在旋转鼓 10 的整个外圆周表面 11（360 度） 上， 但是也可以设置在外圆周表面 11 的一部分上。其范围是例如 30 度到 270 度， 但是不限于 该范围。 说 明 书 CN 103358551 A 9 7/8 页 10 0098 或者， 除了掩模 M 之外， 也不需要 360 度地设置狭缝构件 42， 并且可以部分地设置 狭缝构件 42。 0099 在以上的实施方式中， 作为旋转体， 使用具有

36、弯曲外圆周表面 11 的圆筒状旋转鼓 10。然而， 旋转体的形状不限于圆筒形状， 也可以仅一部分外圆周表面 （至少对应于保持材 料的保持区域 H 的部分） 形成为弯曲形状。例如， 旋转体可以具有半圆筒形状、 1/4 圆筒状、 椭圆筒状或这些形状的组合和多角筒状。 对于根据第二实施方式的具有弯曲表面的保持辊 60 也是如此。 0100 或者， 弯曲表面可以不形成在旋转体的外圆周表面上。 例如， 旋转体可以具有这样 的外圆周表面， 该外圆周表面是具有三角形或另一种多边形状 （例如五边形和六边形） 的筒 状体， 并且包括多个平面。 0101 在第二实施方式中， 未设置基膜 25。换句话说， 通过保持

37、辊 60 可以将合适的张力 直接施加于保持区域H中形成的构造物。 此外， 由此形成的构造物可以通过卷绕筒 （未示出） 卷起。 0102 根据第三实施方式的光照射单元设置有沿 Y 轴方向扩散激光宽度的光学系统 45。 然而， 光照射单元可以具有扫描器， 其利用从激光光源发射的激光沿 Y 轴方向进行扫描。在 该情况下， 扫描的往复运动频率只需要充分快于台 20 和旋转鼓 10 的移动。作为扫描器， 可 以使用多边形扫描器、 电流扫描仪等。 0103 在以上的实施方式中， 光照射单元设置在旋转鼓中。 然而， 光照射单元可以部分地 或完全地设置在旋转辊外部。 0104 在以上的实施方式中， UV 线用

38、作固化材料的能量线。然而， 除了以上所述的 UV 线 之外， 能量线可以是电子束、 热、 超声波等。 0105 在以上实施方式的特性部分中， 可以组合两个或多个特性部分。 0106 应当注意， 本发明可以采用以下的构造物。 0107 （1） 一种构造物形成装置， 包括 ： 0108 旋转体， 在其上能够设置进行了图案化的掩模 ； 0109 照射单元， 能够利用能量线照射沿着旋转体的旋转轴方向的区域， 其中掩模介于 旋转体与照射单元之间 ； 以及 0110 保持构件， 被设置为与旋转体相对， 从而形成保持利用能量线固化的材料的保持 区域。 0111 （2） 根据 （1） 所述的构造物形成装置，

39、其中， 0112 旋转体具有弯曲的外圆周表面， 从而在保持构件和外圆周表面之间形成保持区 域。 0113 （3） 根据 （1） 或 （2） 所述的构造物形成装置， 其中， 0114 照射单元包括发射作为能量线的光的光源。 0115 （4） 根据 （3） 所述的构造物形成装置， 其中， 0116 照射单元进一步包括狭缝构件， 其具有狭缝， 该狭缝通过使从光源发射的光从其 穿过而在保持区域上形成线性照射区域。 0117 （5） 根据 （3） 所述的构造物形成装置， 其中， 0118 光源是发射激光的光源， 以及 说 明 书 CN 103358551 A 10 8/8 页 11 0119 照射单元进

40、一步包括线性地扩散所发射的激光的光学系统。 0120 （6） 根据 （3） 至 （5） 中任一项所述的构造物形成装置， 其中， 0121 旋转体是具有设置光源的中空部的筒状体。 0122 （7） 根据 （1） 至 （6） 中任一项所述的构造物形成装置， 其中， 0123 旋转体具有设置掩模的外圆周表面。 0124 （8） 根据 （1） 至 （6） 中任一项所述的构造物形成装置， 其中， 0125 在保持构件的表面上， 至少形成保持区域的区域是平坦表面。 0126 （9） 根据 （1） 至 （6） 中任一项所述的构造物形成装置， 其中， 0127 在保持构件的表面上， 至少形成保持区域的区域是弯

41、曲表面。 0128 （10） 根据 （9） 所述的构造物形成装置， 进一步包括 ： 0129 行进机构， 被构造为使保持通过固化材料形成的构造物的膜状基材行进， 0130 其中， 保持构件将张力施加于基材。 0131 （11） 根据 （9） 或 （10） 所述的构造物形成装置， 进一步包括 ： 0132 卷绕筒， 被构造为卷起通过固化材料形成的构造物。 0133 （12） 根据 （1） 至 （11） 中任一项所述的构造物形成装置， 其中， 0134 根据旋转体与保持构件之间的距离， 确定要形成的构造物的厚度。 0135 （13） 一种构造物制造方法， 方法包括 ： 0136 将通过能量线的能量

42、固化的材料保持在旋转体与设置为与旋转体相对的保持构 件之间， 在旋转体上能够设置进行了图案化的掩模 ； 以及 0137 利用能量线通过掩模照射所保持的材料的沿着旋转体的旋转轴方向的区域。 0138 （14） 一种构造物， 通过以下方法制造， 方法包括 ： 0139 将通过能量线的能量固化的材料保持在旋转体与设置为与旋转体相对的保持构 件之间， 在旋转体上能够设置进行了图案化的掩模 ； 以及 0140 利用能量线通过掩模照射所保持的材料的沿着旋转体的旋转轴方向的区域。 0141 本发明包含涉及于 2012 年 3 月 28 日向日本专利局提交的日本在先专利申请 JP2012-073796 中所公

43、开的主题， 其全部内容通过引用结合于此。 0142 本领域技术人员应当理解， 根据设计需求和其他因素， 在所附权利要求或其等同 物的范围内， 可以进行各种修改、 组合、 子组合和变形。 说 明 书 CN 103358551 A 11 1/9 页 12 图 1 说 明 书 附 图 CN 103358551 A 12 2/9 页 13 图 2 说 明 书 附 图 CN 103358551 A 13 3/9 页 14 图 3 图 4 说 明 书 附 图 CN 103358551 A 14 4/9 页 15 图 5 说 明 书 附 图 CN 103358551 A 15 5/9 页 16 图 6 说 明 书 附 图 CN 103358551 A 16 6/9 页 17 图 7 说 明 书 附 图 CN 103358551 A 17 7/9 页 18 图 8 说 明 书 附 图 CN 103358551 A 18 8/9 页 19 图 9 说 明 书 附 图 CN 103358551 A 19 9/9 页 20 图 10A图 10B 说 明 书 附 图 CN 103358551 A 20