自动找寻干涉条纹的方法和装置.pdf

1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910164501.6 (22)申请日 2019.03.05 (71)申请人 深圳市中图仪器股份有限公司 地址 518000 广东省深圳市南山区西丽街 道学苑大道1001号南山智园B1栋2楼 (72)发明人 张和君霍阔 (74)专利代理机构 深圳市科吉华烽知识产权事 务所(普通合伙) 44248 代理人 胡吉科 (51)Int.Cl. G01B 11/25(2006.01) (54)发明名称 一种自动找寻干涉条纹的方法和装置 (57)摘要 本发明提供了一种自动找寻干涉条纹的

2、方 法和装置， 其中方法包括如下步骤： 对白光干涉 扫描图像在Z向等间隔依次采集图片， 选取其中 连续的N张图片， 计算第n帧图片对应所述图像的 像素条纹的特征值； 所述N为大于或等于3的整 数； 计算第n帧图片对应所述图像的像素条纹的 信噪比； 依据当前第n帧图片的像素条纹的特征 值与信噪比对当前状态进行检测； 根据不同Z向 位置的图片对应的像素条纹的特征值与信噪比， 检测得到条纹干涉最亮的Z向位置和条纹干涉消 失的Z向位置。 采用本发明的技术方案， 通过自动 找寻并定位至干涉位置， 从而实现安全、 高效的 找寻过程， 无需操作人员实时操作和观察， 省时 省力， 效率高， 安全可靠。 权利要

3、求书2页 说明书7页 附图3页 CN 109883355 A 2019.06.14 CN 109883355 A 1.一种自动找寻干涉条纹的方法， 其特征在于： 其包括以下步骤： 步骤S1， 对白光干涉扫描图像在Z向等间隔依次采集m张图片， 依次选取其中连续的N张 图片， 所述N为大于或等于3的整数； 步骤S2， 根据选取的N张图片， 计算第n帧图片对应所述图像的像素条纹的特征值； 所述 第n帧图片对应所述图像的像素条纹的特征值为第n帧图片对应所述图像的每个或选定像 素位置上、 Z向图片序列的第n-|N/2|n+|N/2|帧图片的灰度标准差， 其中， |N/2|+1n m-|N/2|； 步骤S

4、3， 计算第n帧图片对应所述图像的像素条纹的信噪比； 步骤S4， 依据当前第n帧图片的像素条纹的特征值与信噪比对当前状态进行检测； 步骤S5， 根据不同Z向位置的图片对应的干涉状态及像素条纹的特征值与信噪比， 检测 得到条纹干涉最亮的Z向位置和条纹干涉消失的Z向位置。 2.根据权利要求1所述的自动找寻干涉条纹的方法， 其特征在于： 步骤S2中， 第n帧图片像素条纹的特征值Sn采用如下公式进行计算： 其中， Mn为第n帧图片邻近区域的表面像素的平均值，In-i为第n-i帧图 片的灰度。 3.根据权利要求1所述的自动找寻干涉条纹的方法， 其特征在于： 步骤S3中， 第n帧图片 像素条纹的信噪比T采

5、用如下公式进行计算： 其中， 是信号平均值或预期值， 是噪声的标准偏差，xi为第i帧图片的灰度值， K为系数。 4.根据权利要求3所述的自动找寻干涉条纹的方法， 其特征在于： K值为5。 5.根据权利要求3所述的自动找寻干涉条纹的方法， 其特征在于： 步骤S5中， 检测条纹 干涉最亮的Z向位置包括如下子步骤： 子步骤S501， 采集图片， 计算第n帧图片对应所述图像的像素条纹的特征值Sn及信噪比 T， 并实时更新当前已经找到的最大的像素条纹特征值Smax； 子步骤S502， 根据计算得到的图片的像素条纹特征Sn及信噪比T进行判断， 若T大于1， 进入子步骤S504， 否者进入子步骤S503；

6、子步骤S503， 判断当前是否已经找到Smax的Z向位置， 已经找到则结束， 未找到进入子 步骤S505； 权利要求书 1/2 页 2 CN 109883355 A 2 子步骤S504， 判断Sn与当前最大的像素条纹特征值Smax的大小关系并实时更新Smax， 同时记录Sn当前Z位置， 执行子步骤S505； 子步骤S505， 判断是否达到预设扫描范围， 达到范围则结束； 反之跳转子步骤S501继续 采集。 6.根据权利要求3所述的自动找寻干涉条纹的方法， 其特征在于： 步骤S5中， 检测条纹 干涉消失的Z向位置包括如下子步骤： 子步骤S511， 采集图片， 计算第n帧图片对应所述图像的像素条纹

7、的特征值Sn及信噪比 T， 并实时更新当前已经找到的最大的像素条纹特征值Smax； 子步骤S512， 根据计算得到的图片的像素条纹特征Sn及信噪比T进行判断， 若T大于1， 进入子步骤S514， 否者进入子步骤S513； 子步骤S513， 判断当前是否已经进入干涉区域， 如果已经进入， 记录当前Z轴位置， 结 束； 未进入执行子步骤S515； 子步骤S514， 标记为已经进入干涉区域， 进入子步骤S515； 子步骤S515， 判断是否达到预设扫描范围， 达到范围则结束； 反之跳转子步骤S511继续 采集。 7.一种自动找寻干涉条纹的装置， 其特征在于： 其包括运动控制模块、 图像采集模块和 干

8、涉条纹找寻模块， 所述运动控制模块与图像采集模块连接， 驱动图像采集模块沿白光干 涉扫描图像的Z向移动， 所述图像采集模块与干涉条纹找寻模块连接； 所述干涉条纹找寻模 块按照如权利要求16任意一项所述的自动找寻干涉条纹的方法寻找干涉条纹； 所述运动 控制模块包括驱动电机和实时反馈Z位置的光栅。 8.根据权利要求7所述的自动找寻干涉条纹的装置， 其特征在于： 所述干涉条纹找寻模 块包括条纹特征计算模块、 干涉最亮特征检测模块和干涉特征消失检测模块， 所述条纹特 征计算模块分别与干涉最亮特征检测模块、 干涉特征消失检测模块连接； 所述条纹特征计 算模块计算第n帧图片对应所述图像的像素条纹的特征值S

9、n及信噪比T； 所述干涉最亮特征 检测模块对当前位置干涉状态进行确定， 检测是否达到干涉最亮位置； 所述干涉特征消失 检测模块对当前位置干涉状态进行确定， 检测是否达到干涉特征消失位置。 9.根据权利要求7所述的自动找寻干涉条纹的装置， 其特征在于： 所述图像采集模块包 括图像采集相机、 干涉物镜和干涉光源， 所述干涉光源透过干涉物镜照在测样物体表面形 成干涉并反射到图像采集相机进行成像。 权利要求书 2/2 页 3 CN 109883355 A 3 一种自动找寻干涉条纹的方法和装置 技术领域 0001 本发明涉及干涉条纹检测， 尤其涉及一种自动找寻干涉条纹的方法和装置。 背景技术 0002

10、光学3D表面轮廓仪是以白光干涉扫描技术为基础研制而成的用于样品表面微观 形貌检测的精密仪器。 以非接触的扫描方式， 实现针对样品表面的超高重复精度的3D测量， 获取表征样品表面质量的2D、 3D数据。 可广泛应用于半导体、 3C电子、 超精密加工、 光学加 工、 微纳米材料、 微机电等行业中精密元器件的表面粗糙度、 几何轮廓等参数的测量和分 析。 对各种产品、 部件和材料表面的平面度、 粗糙度、 波纹度、 面形轮廓、 表面缺陷、 磨损情 况、 腐蚀情况、 孔隙间隙、 台阶高度、 弯曲变形情况、 加工情况等表面形貌特征进行测量和分 析。 白光干涉原理如图1所示， 干涉物镜内集成有将一束入射光分成

11、测试光和参考光的分光 板和参考板， 从光源发出的光经会聚准直后经分光板进行干涉物镜， 照射到样品表面后返 回的光束经分光板和会聚透镜成像到CCD相机， 当满足光的干涉条件时会形成干涉图像。 当 运动控制系统带动光学图像采集系统以纳米级的步进从样品表面低点运动到高点时， 在样 品表面不同高度处， 形成的不同干涉条纹都会被CCD成像保存用于重建样品的3D图像。 0003 然而在利用白光干涉扫描测量过程中， 找到干涉条纹并移动到达指定的条纹位置 是整个测量过程的必要环节之一， 也是最繁琐和耗时的环节。 图2为球类样品在扫描高度从 低到高(或从高到底)变化时， 摄像机视场内干涉条纹出现到消失的变化序列

12、图。 由于白光 干涉区间非常小， 几百纳米到两微米左右， 而且时间有限， 如何快速并高效的找到条纹位 置， 对测量操作者提出了很高的要求。 0004 目前， 寻找白光干涉仪找条纹的扫描区域主要采用人工手动找寻的方式， 由于扫 描找寻范围比较大， 干涉物镜工作距离有几毫米， 所以操作者需要边操作软件观察干涉条 纹是否出现边实时移动相机镜头， 需要操作员实时操作和观察既耗时且易疲劳， 稍不注意 就有可能错过条纹而找寻不到。 而且还要切换位置到仪器附近进行人工观察物镜与测量样 品间的距离， 操作员工不断的在计算机和仪器之间来回切换操作位置和观察位置， 无法所 操作即所得， 使用起来效率低； 并且在软

13、件操作时， 极容易发生镜头与测量样品碰撞而损坏 的情况。 发明内容 0005 针对以上技术问题， 本发明公开了一种自动找寻干涉条纹的方法和装置， 解决手 动操作繁琐、 计算机与设备间低效率切换、 测量易碰撞的问题。 0006 对此， 本发明采用的技术方案为： 0007 一种自动找寻干涉条纹的方法， 其包括以下步骤： 0008 步骤S1， 对白光干涉扫描图像在Z向等间隔依次采集m张图片， 依次选取其中连续 的N张图片， 得到m-N个图片序列， 所述N为大于或等于3的整数； 0009 步骤S2， 根据选取的N张图片， 计算第n帧图片对应所述图像的像素条纹的特征值； 说明书 1/7 页 4 CN 1

14、09883355 A 4 所述第n帧图片对应所述图像的像素条纹的特征值为第n帧图片对应所述图像的每个或选 定像素位置上、 Z向图片序列的第n-|N/2|n+|N/2|帧图片的灰度标准差， 其中， |N/2|+1 nm-|N/2|； 也就是在计算第n帧图片的特征值时， 采用该图片序列的前|N/2|帧和后|N/2| 帧图片的灰度进行计算。 0010 步骤S3， 计算第n帧图片对应所述图像的像素条纹的信噪比； 0011 步骤S4， 依据当前第n帧图片的像素条纹的特征值与信噪比对当前状态进行检测； 0012 步骤S5， 根据不同Z向位置的图片对应的干涉状态及像素条纹的特征值与信噪比， 检测得到条纹干涉

15、最亮的Z向位置和条纹干涉消失的Z向位置。 0013 此技术方案通过定义条纹特征、 信噪比， 并在采样位置计算每个像素条纹特征值 和信噪比， 并通过两者对比以及迭代的方式， 找到条纹干涉最亮位置和条纹干涉消失位置， 无需操作人员实时操作和观察， 实现了干涉条纹的自动找寻， 无需在计算机和仪器之间来 回切换操作位置和观察位置， 效率高。 0014 进一步的， N优选为9。 0015 作为本发明的进一步改进， 步骤S2中， 第n帧图片像素条纹的特征值Sn采用如下公 式进行计算： 0016 0017其中， Mn为第n帧图片邻近区域的表面像素的平均值，In-i为第n-i 帧图片的灰度。 0018 作为本

16、发明的进一步改进， 步骤S3中， 第n帧图片像素条纹的信噪比T采用如下公 式进行计算： 0019其中， 是信号平均值或预期值， 0020 是噪声的标准偏差，xi为第i帧图片的灰度值， K为系数。 K 可以为110， 进一步优选的， K值为5。 K的取值根据不同的测试环境来确定， 通过大量实验 验证， 当K为5时， 找寻干涉条纹的效果更好。 0021 信号与噪声的比值被定义为信号与噪声之间的功率比， 可以从下面的公式得出： 0022 0023 是信号平均值或预期值， 说明书 2/7 页 5 CN 109883355 A 5 0024 是噪声的标准偏差， 0025 在干涉特征判断时， 本方法将信噪

17、比计算简化为： 如果最大标准差大于K倍的平均 标准差， 认为当前干涉信号足够好， 位置处在干涉条纹区域； 否则， 当前干涉信号弱， 位置不 在干涉条纹区域。 0026 作为本发明的进一步改进， 步骤S5中， 检测条纹干涉最亮的Z向位置包括如下子步 骤： 0027 子步骤S501， 采集图片， 计算第n帧图片对应所述图像的像素条纹的特征值Sn及信 噪比T， 并实时更新当前已经找到的最大的像素条纹特征值Smax； 0028 子步骤S502， 根据计算得到的图片的像素条纹特征Sn及信噪比T进行判断， 若T大 于1， 进入子步骤S504， 否者进入子步骤S503； 0029 子步骤S503， 判断当前

18、是否已经找到Smax的Z向位置， 已经找到则结束， 未找到进 入子步骤S505； 0030 子步骤S504， 判断Sn与当前最大的像素条纹特征值Smax的大小关系并实时更新 Smax， 同时记录Sn当前Z位置， 执行子步骤S505； 0031 子步骤S505， 判断是否达到预设扫描范围， 达到范围则结束； 反之跳转子步骤S501 继续采集。 0032 作为本发明的进一步改进， 步骤S5中， 检测条纹干涉消失的Z向位置包括如下子步 骤： 0033 子步骤S511， 采集图片， 计算第n帧图片对应所述图像的像素条纹的特征值Sn及信 噪比T， 并实时更新当前已经找到的最大的像素条纹特征值Smax；

19、0034 子步骤S512， 根据计算得到的图片的像素条纹特征Sn及信噪比T进行判断， 若T大 于1， 进入子步骤S514， 否者进入子步骤S513； 0035 子步骤S513， 判断当前是否已经进入干涉区域， 如果已经进入， 记录当前Z轴位置， 结束； 未进入执行子步骤S515； 0036 子步骤S514， 标记为已经进入干涉区域， 进入子步骤S515； 0037 子步骤S515， 判断是否达到预设扫描范围， 达到范围则结束； 反之跳转子步骤S511 继续采集。 0038 本发明还公开了一种自动找寻干涉条纹的装置， 其包括运动控制模块、 图像采集 模块和干涉条纹找寻模块， 所述运动控制模块与图

20、像采集模块连接， 驱动图像采集模块沿 白光干涉扫描图像的Z向移动， 所述图像采集模块与干涉条纹找寻模块连接； 所述干涉条纹 找寻模块按照如上任意一项所述的自动找寻干涉条纹的方法寻找干涉条纹； 所述运动控制 模块包括驱动电机和实时反馈Z位置的光栅。 其中， 运动控制模块用于控制图像采集模块的 Z向运动， 包括方向、 速度、 距离及当前位置反馈。 图像采集模块用于控制图片触发采样及图 像收发传输。 0039 作为本发明的进一步改进， 所述干涉条纹找寻模块包括条纹特征计算模块、 干涉 最亮特征检测模块和干涉特征消失检测模块， 所述条纹特征计算模块分别与干涉最亮特征 检测模块、 干涉特征消失检测模块连

21、接。 0040 其中， 条纹特征计算模块， 用于计算当前位置的条纹特征； 干涉最亮特征检测模 说明书 3/7 页 6 CN 109883355 A 6 块， 用于检测当前条纹特征是否最亮特征； 干涉特征消失检测模块， 用于检测当前干涉特征 是否消失。 0041 进一步的， 所述条纹特征计算模块计算第n帧图片对应所述图像的像素条纹的特 征值Sn及信噪比T； 所述干涉最亮特征检测模块对当前位置干涉状态进行确定， 检测是否达 到干涉最亮位置； 所述干涉特征消失检测模块对当前位置干涉状态进行确定， 检测是否达 到干涉特征消失位置。 0042 作为本发明的进一步改进， 所述图像采集模块包括图像采集相机、

22、 干涉物镜和干 涉光源， 所述干涉光源透过干涉物镜照在测样物体表面形成干涉并反射到图像采集相机进 行成像。 0043 与现有技术相比， 本发明的有益效果为： 0044 采用本发明的技术方案， 简化了手工找寻条纹烦琐而复杂的过程， 通过自动找寻 并定位至干涉位置， 从而实现安全、 高效的找寻过程， 无需操作人员实时操作和观察， 省时 省力； 无需在计算机和仪器之间来回切换操作位置和观察位置， 效率高； 还可以避免软件操 作时发生干涉物镜与测量样品碰撞而损坏的情况， 安全可靠。 附图说明 0045 图1是本发明现有技术的白光干涉原理示意图。 0046 图2是本发明现有技术的干涉条纹变化序列图， 其

23、中， a)、 b)、 c)、 d)、 e)分别为时刻 t为1、 2、 3、 4、 5时的干涉条纹图。 0047 图3是本发明自动找寻干涉条纹方法的流程示意图。 0048 图4是本发明实施例中自动找寻干涉条纹装置拍摄的干涉图像。 0049 图5是本发明实施例中自动找寻干涉条纹装置提取的一个像素的干涉信号数据 图。 0050 图6是本发明实施例的干涉状态变化图。 0051 图7是本发明实施例的自动找寻干涉条纹装置模块组成示意图。 具体实施方式 0052 下面对本发明的较优的实施例作进一步的详细说明。 0053 实施例1 0054 一种自动找寻干涉条纹装置， 如图7所示， 其包括运动控制模块、 图像

24、采集模块、 干 涉条纹找寻模块， 所述干涉条纹找寻模块包括条纹特征计算模块、 干涉最亮特征检测模块 和干涉特征消失检测模块， 所述运动控制模块与图像采集模块连接， 驱动图像采集模块沿 白光干涉扫描图像的Z向移动， 所述图像采集模块与条纹特征计算模块连接； 所述条纹特征 计算模块分别与干涉最亮特征检测模块、 干涉特征消失检测模块连接。 下面对其中的模块 分别描述如下： 0055 (1)运动控制模块： 包括驱动电机和光栅， 通过驱动电机运动带动图像采集模块， 光栅实时反馈Z位置。 所述运动控制模块用于精准运动控制， 包括运动速度、 方向、 距离和位 置反馈。 0056 (2)图像采集模块： 包括图

25、像采集相机、 干涉物镜和干涉光源， 所述图像采集模块 说明书 4/7 页 7 CN 109883355 A 7 就是光源透过干涉物镜照在测样物体表面形成干涉并反射到相机成像， 相机根据控制指令 进行拍照采样， 采集的图片如图4所示。 0057 (3)条纹特征计算模块： 用于计算每张采集图片中每个像素的条纹特征Sn及信噪 比T。 0058 (4)干涉最亮特征检测模块： 用于对当前位置干涉状态的计算确定， 检测是否达到 干涉最亮位置。 0059 (5)干涉特征消失检测模块： 用于对当前位置干涉状态的计算确定， 检测是否达到 干涉特征消失位置。 0060 条纹特征计算模块、 干涉最亮特征检测模块、

26、干涉特征消失检测模块具体是可存 储在能引导计算机或其它可编程数据处理设备以特定方式工作的计算机程序指令装置， 该 计算机程序指令装置可实现一个或多个流程中指定的功能。 0061 实施例2 0062 实施例1的自动找寻干涉条纹装置采用以下方法进行自动找寻干涉条纹， 包括： 0063 在Z向等间隔采集N张图片， 所述N为大于或等于9的整数； 0064 在采样位置对采集到的图片序列计算其每个像素条纹特征值； 0065 在采样位置对采集到的图片序列计算其每个像素条纹信噪比； 0066 在采样位置依据当前条纹特征与信噪比对条纹干涉最亮位置进行检测； 0067 在采样位置依据当前条纹特征与信噪比对条纹干涉

27、消失位置进行检测。 0068 如图3所示， 具体包括如下步骤： 0069 步骤S1， 对白光干涉扫描图像在Z向等间隔依次采集m张图片， 依次选取其中连续 的N张图片， 得到m-N个图片序列， 本实施例中N为9。 0070 步骤S2， 根据选取的N张图片， 计算第n帧图片对应所述图像的像素条纹的特征值； 所述第n帧图片对应所述图像的像素条纹的特征值为第n帧图片对应所述图像的每个或选 定像素位置上、 Z向图片序列的第n-4n+4帧图片的灰度标准差， 其中， 5nm-4； 也就是 在计算第n帧图片的特征值时， 采用该图片序列的前|N/2|帧和后|N/2|帧图片的灰度进行 计算， 本实施例是选择该图片

28、序列的前4帧和后4帧图片的灰度进行计算。 0071 步骤S3， 计算第n帧图片对应所述图像的像素条纹的信噪比； 0072 步骤S4， 依据当前第n帧图片的像素条纹的特征值与信噪比对当前状态进行检测； 0073 步骤S5， 根据不同Z向位置的图片对应的干涉状态及像素条纹的特征值与信噪比， 检测得到条纹干涉最亮的Z向位置和条纹干涉消失的Z向位置。 0074 下面针对步骤S2步骤S5的步骤进行分别说明。 0075 (1)计算采集到图片的条纹特征： 0076 对自动找寻干涉条纹装置拍摄的图片的每个像素灰度进行提取， 每次参与计算的 图像序列数为9。 0077 白光干涉信号可以被表示为一个包络受高斯函数

29、调制的余弦信号。 其可见度不恒 定， 随不同的扫描位置而变化。 当测量光与参考光光程差为零时， 干涉信号出现最大值， 干 涉特征最明显。 如图4是自动找寻干涉条纹装置拍摄的干涉图像， 图5是自动找寻干涉条纹 装置提取的一个像素的干涉信号数据。 0078 在Z向的图片序列上， 远离相干区域的像素灰度值比较均匀， Z向上的灰度对比度 说明书 5/7 页 8 CN 109883355 A 8 很小； 而在干涉区域， 由于干涉叠加和相消， Z向上的灰度对比度会急剧变大。 本方法采用计 算每个像素位置上的Z向灰度标准差作为当前位置的条纹特征。 0079 对于每个表面像素， 当读取第n帧时， 计算Z向邻近

30、区域的平均值Mn、 标准差Sn。 该邻 近区域的长度设置为光源的中心波长。 采用相移扫描， 单周期相移步数8， 邻近区域范围设 置为4。 下面给出邻近区域范围为4的计算： 0080 0081 0082 定义Sn为第n帧的像素条纹的特征值。 0083 (2)计算采集到图片的当前信噪比： 0084 定义干涉的信噪比为T。 0085 信号与噪声的比值被定义为信号与噪声之间的功率比， 可以从下面的公式得出： 0086 0087 是信号平均值或预期值， 0088 是噪声的标准偏差， 0089 在干涉特征判断时， 本方法将信噪比计算简化为： 如果最大标准差大于K倍的平均 标准差， 认为当前干涉信号足够好，

31、 位置处在干涉条纹区域； 否则， 当前干涉信号弱， 位置不 在干涉条纹区域。 0090定义K优选为5。 0091 (3)依据当前条纹特征与信噪比对当前状态进行检测： 0092 每读入一副图像， 计算每个像素Z向图片序列的条纹特征， 并实时更新当前已经找 到的最大条纹特征值Smax。 0093 定义初始状态： 全自动找寻条纹装置最初始开始状态， 初始状态， Smax为第一幅图 像计算得到的条纹特征。 0094 定义早期状态： 全自动找寻条纹装置刚开始便已经处于相干区域的状态， 但这是 不完整的相干区域。 0095 定义低级状态： 全自动找寻条纹装置远离相干区域的状态， 此位置的信噪比T均小 于1

32、。 0096 定义已找到状态： 信噪比T从小于1到大于1的状态变化， 说明已经进入相干区域并 找到了条纹。 0097 干涉状态变化如图6所示。 0098 (4)条纹干涉最亮位置检测方法， 包括： 0099 自动找寻条纹装置定位并采集图像， 计算每个像素条纹特征Sn及信噪比T， 执行 说明书 6/7 页 9 CN 109883355 A 9 步骤。 0100 判断T是否大于1， 如果大于执行步骤， 反之执行步骤。 0101 判断当前是否已经找到Smax位置， 已经找到跳转结束； 未找到执行。 0102 判断Sn与最大标准差值Smax大小关系并实时更新Smax， 并记录当前Z位置， 执行 步骤。

33、0103 判断是否达到预设扫描范围， 达到范围执行结束； 反之跳转步骤继续采集。 0104 结束。 0105 (5)条纹干涉消失位置检测方法： 0106 自动找寻条纹装置定位并采集图像， 计算每个像素条纹特征Sn及信噪比T， 执行 。 0107 判断T是否大于1， 如果大于执行， 反之执行。 0108 判断当前是否已经进入干涉区域， 如果已经进入记录当前Z轴位置跳转结束； 未进入执行。 0109 标记为已经进入干涉区域， 执行。 0110 判断是否达到预设扫描范围， 达到范围执行结束； 反之跳转继续采集。 0111 结束。 0112 本实施例的技术方案， 正常样品测试自动找寻条纹成功率可以达到百分之百。 0113 以上内容是结合具体的优选实施方式对本发明所作的进一步详细说明， 不能认定 本发明的具体实施只局限于这些说明。 对于本发明所属技术领域的普通技术人员来说， 在 不脱离本发明构思的前提下， 还可以做出若干简单推演或替换， 都应当视为属于本发明的 保护范围。 说明书 7/7 页 10 CN 109883355 A 10 图1 图2 说明书附图 1/3 页 11 CN 109883355 A 11 图3 图4 说明书附图 2/3 页 12 CN 109883355 A 12 图5 图6 图7 说明书附图 3/3 页 13 CN 109883355 A 13